JP2017061726A - メタルマスク製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、薄膜メタルシート8を中間メタルシート6に溶接する場合、及び薄膜メタルシート80を直接マスクフレーム40に溶接する場合の何れの場合であっても、溶接される部分の面積A(mm2)、レーザ光の温度D(℃)は変化しない。また、被溶接部材の熱伝導率C(W/mK)は、被溶接部材が中間メタルシート6であってもマスクフレーム40であっても変化しない。従って、被溶接部材の厚さB(μm)のみが被溶接部材の伝熱量E(W)に影響を与えることになる。具体的には、被溶接部材の厚さB(μm)が厚い程被溶接部材の伝熱量E(W)が小さくなり、被溶接部材が融点に達するまでの時間が長くなる。一方、被溶接部材の厚さB(μm)が薄い程被溶接部材の伝熱量E(W)が大きくなり、被溶接部材が融点に達するまでの時間が短くなる。
Claims (7)
- 薄膜メタルシートをマスクフレームにレーザ溶接してメタルマスクを製造するメタルマスク製造方法であって、
前記薄膜メタルシートよりも厚さが厚く、かつ前記薄膜メタルシートの厚さの5倍以下の厚さの中間メタルシートを前記マスクフレームに載置する第1載置工程と、
前記マスクフレームに載置された前記中間メタルシートを前記マスクフレームにレーザ溶接する第1溶接工程と、
前記マスクフレームに載置された前記中間メタルシートの上に前記薄膜メタルシートを載置する第2載置工程と、
前記中間メタルシートに載置された前記薄膜メタルシートを前記中間メタルシートにレーザ溶接する第2溶接工程と
を含むことを特徴とするメタルマスク製造方法。 - 前記マスクフレームは、対向する二辺を構成する第1フレーム部と、前記第1フレーム部と直交する方向において対向する二辺を構成する第2フレーム部とを備え、
前記中間メタルシートは、前記マスクフレームの対向する二辺の前記第1フレーム部または対向する二辺の前記第2フレーム部に載置されることを特徴とする請求項1記載のメタルマスク製造方法。 - 前記中間メタルシートは、長尺状の形状を有し、長手方向が前記第1フレーム部または前記第2フレーム部の長手方向と平行になるように前記第1フレーム部または前記第2フレーム部に載置されることを特徴とする請求項2記載のメタルマスク製造方法。
- 前記薄膜メタルシートは、長尺状の形状を有し、長手方向を前記中間メタルシートの長手方向と直交させ、かつ前記第1フレーム部と前記第2フレーム部によって形成された前記マスクフレームの開口部を跨いだ状態で長手方向の両端部が前記中間メタルシートに載置されることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のメタルマスク製造方法。
- 前記薄膜メタルシートの厚さは、20μm以下の厚さであり、
前記中間メタルシートの厚さは、30μm以上40μm以下の厚さであることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載のメタルマスク製造方法。 - 前記薄膜メタルシートの厚さは、20μm以下の厚さであり、
前記中間メタルシートの厚さは、60μm以上100μm以下の厚さであり、かつ前記中間メタルシートのレーザ溶接される位置の前記薄膜メタルシート側の表面には凹状部が形成されていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載のメタルマスク製造方法。 - 前記凹状部の深さは、前記レーザ溶接によって前記中間メタルシートの表面に形成される溶接ナゲットの高さよりも深く、かつ前記中間メタルシートの厚さの半分以下の深さであることを特徴とする請求項6記載のメタルマスク製造方法。
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