JP2017060971A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017060971A JP2017060971A JP2015188170A JP2015188170A JP2017060971A JP 2017060971 A JP2017060971 A JP 2017060971A JP 2015188170 A JP2015188170 A JP 2015188170A JP 2015188170 A JP2015188170 A JP 2015188170A JP 2017060971 A JP2017060971 A JP 2017060971A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- curvature
- laser beam
- laser
- variable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【解決手段】本開示のレーザ加工装置は、 レーザ発振器と、第1の曲率可変ミラーと、加工ヘッドと、加工テーブルと、制御装置とを有する。レーザ発振器は、レーザビームを出射する。第1の曲率可変ミラーは、レーザビームを反射し、凹形状である反射面の曲率が変化する。加工ヘッドは、レーザビームを集光し、被加工物に照射する。加工テーブルは、被加工物が搭載される。制御装置は、レーザ発振器のレーザ出力と、第1の曲率可変ミラーの曲率と、加工ヘッドと被加工物との相対位置と、を制御する。さらに、第1の曲率可変ミラーは、反射面の中心位置を変えずに曲率を変化させる。
【選択図】図4
Description
(実施の形態1)
まず、図1〜図4を用いて、本実施の形態にかかるレーザ加工装置1について説明する。図1は、本実施の形態のレーザ加工装置1の概略構成を示す図である。
(実施の形態2)
次に、図5〜図8を用いて、本実施の形態にかかるレーザ加工装置2について説明する。なお、実施の形態1と共通する構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。図5は、本実施の形態のレーザ加工装置2の概略構成を示す図である。
10 レーザ発振器
20 全反射ミラー
30、130 曲率可変ミラー
31、131 ミラー
32、132 位置制御装置
33、133 位置調整部材
40 全反射ミラー
50 加工ヘッド
60 加工テーブル
70 加工ヘッド移動装置
71 X軸モータ
72 Y軸モータ
80 制御装置
LB レーザビーム
P1、P2 反射点
R、R1、R2 曲率
RF1、RF2 反射面
W 被加工物
900 レーザ加工機
910 レーザ発振器
911 レーザビーム
912 コリメート光
920 レーザビームコリメーション装置
921 平面鏡
922 コリメーションミラー
923 ミラーホルダー
924 支持部
925 アクチュエータ
926 信号線
930 平面反射鏡
940 加工ヘッド
941 集光レンズ
950 コリメーション制御装置
951 制御信号
960 装置
970 被加工物
Claims (6)
- レーザビームを出射するレーザ発振器と、
前記レーザビームを反射し、凹形状である反射面の曲率が変化する第1の曲率可変ミラーと、
前記レーザビームを集光し、被加工物に照射する加工ヘッドと、
前記被加工物が搭載される加工テーブルと、
前記レーザ発振器のレーザ出力と、前記第1の曲率可変ミラーの曲率と、前記加工ヘッドと前記被加工物との相対位置と、を制御する制御装置と、を備え、
前記第1の曲率可変ミラーは、前記反射面の中心位置を変えずに前記曲率を変化させるレーザ加工装置。 - 前記第1の曲率可変ミラーは、第1のミラーと前記第1のミラーの位置を変更する第1のミラー移動装置とを有し、
前記第1のミラーは曲率の変化に伴って中心位置が移動し、
前記第1のミラー移動装置は、前記中心位置の移動した方向と逆方向に、前記中心位置が移動した距離だけ前記第1のミラーを移動させる請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記レーザビームを反射し、凸形状である反射面の曲率が変化する第2の曲率可変ミラーをさらに備え、
前記第2の曲率可変ミラーは、前記第1の曲率可変と前記加工ヘッドとの間に設けられた請求項1または2に記載のレーザ加工装置。 - 前記第2の曲率可変ミラーは、第2のミラーと前記第2のミラーの位置を変更する第2のミラー移動装置とを有し、
前記第2のミラーは曲率の変化に伴って中心位置が移動し、
前記第2のミラー移動装置は、前記中心位置の移動した方向と逆方向に、前記中心位置が移動した距離だけ前記第2のミラーを移動させる請求項3に記載のレーザ加工装置。 - 前記制御装置は、前記加工ヘッドの位置を移動させて前記加工ヘッドと前記被加工物との相対位置を制御する請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
- 前記制御装置は、前記加工テーブルを駆動して前記加工ヘッドと前記被加工物との相対位置を制御する請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015188170A JP6609792B2 (ja) | 2015-09-25 | 2015-09-25 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015188170A JP6609792B2 (ja) | 2015-09-25 | 2015-09-25 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017060971A true JP2017060971A (ja) | 2017-03-30 |
JP6609792B2 JP6609792B2 (ja) | 2019-11-27 |
Family
ID=58428676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015188170A Active JP6609792B2 (ja) | 2015-09-25 | 2015-09-25 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6609792B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001334380A (ja) * | 2000-05-24 | 2001-12-04 | Amada Co Ltd | レーザ加工方法及びその装置 |
JP2009229686A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Mitsubishi Electric Corp | 形状可変ミラーおよびその形状可変ミラーを用いたレーザ加工装置 |
-
2015
- 2015-09-25 JP JP2015188170A patent/JP6609792B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001334380A (ja) * | 2000-05-24 | 2001-12-04 | Amada Co Ltd | レーザ加工方法及びその装置 |
JP2009229686A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Mitsubishi Electric Corp | 形状可変ミラーおよびその形状可変ミラーを用いたレーザ加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6609792B2 (ja) | 2019-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6979810B2 (ja) | 所定の加工経路に沿ったレーザビームの移動軸の高ダイナミック制御による金属材料のレーザ加工方法並びに該方法の実施のための機械およびコンピュータプログラム | |
JP5673813B2 (ja) | レーザ加工機 | |
EP1837116B1 (en) | Laser welding apparatus for easily adjusting the laser focusing position on a workpiece | |
JP5670647B2 (ja) | 加工対象物切断方法 | |
JP2011025279A (ja) | 光学系及びレーザ加工装置 | |
JP2017104876A (ja) | レーザ加工機 | |
JP2009178720A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP6609792B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP6525224B2 (ja) | レーザーダイシング装置 | |
CN112823075B (zh) | 激光加工机及激光加工方法 | |
WO2014174659A1 (ja) | 曲率制御装置およびレーザ加工機 | |
CN106536122B (zh) | 激光加工系统以及激光加工方法 | |
JP6920540B2 (ja) | レーザ加工ヘッド及びレーザ加工装置並びにレーザ加工ヘッドの調整方法 | |
JP2005334925A (ja) | レーザ加工機における反射鏡の駆動軸制御装置 | |
JP6655702B1 (ja) | レーザ加工機及びレーザ加工方法 | |
JP2019005802A (ja) | レーザ加工方法及びレーザ加工装置及びレーザ出射ユニット | |
JP2020082149A (ja) | レーザ照射システム | |
EP3831527A1 (en) | Laser machining device and laser machining method | |
JP6820358B2 (ja) | レーザ加工機及びレーザ加工方法 | |
JP2001205469A (ja) | レーザ出射光学系 | |
JP7208703B2 (ja) | 調整方法 | |
JP7291527B2 (ja) | レーザ加工機及びレーザ加工方法 | |
KR102042992B1 (ko) | 레이저 광학계 | |
JP2012000639A (ja) | 抜型製造用レーザー加工装置 | |
JP2002001565A (ja) | レーザ加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20160525 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180330 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181220 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20190116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190416 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190529 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190917 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190930 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6609792 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |