KR102042992B1 - 레이저 광학계 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 레이저 광학계에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 단일 파장 다양한 레이저 광원부가 장착가능한 레이저 광학계에 관한 것이다.
실시 형태에 따른 레이저 광학계는, 테이블; 소정의 레이저 광원부가 장착될 수 있고, 상기 테이블에 다수로 배치된 다수의 장착부; 및 상기 테이블에 배치되고, 광축을 따라 일렬로 배치된 다수의 레이저 경로 변경부;를 포함하고, 상기 레이저 경로 변경부는, 상기 다수의 장착부에 장착되는 다수의 레이저 광원부 중 어느 하나의 레이저 광원부로부터 발생된 레이저의 이동 경로를 상기 광축으로 변경시키는 변경 모드와 상기 레이저의 이동 경로를 변경시키지 않는 비변경 모드로 구동가능하고, 상기 레이저 경로 변경부는, 미러; 상기 미러를 홀딩하는 미러 홀더; 상기 미러 홀더를 회전축을 중심으로 회전시켜 상기 미러를 상기 광축 상에 위치시켜 상기 변경 모드로 구동되도록 하거나 상기 광축 밖에 위치시켜 상기 비변경 모드로 구동되도록 하는 미러 회전부; 및 상기 미러 회전부를 지지하고, 상기 테이블과 체결가능한 지지부;를 포함한다.

Description

레이저 광학계{LASER OPTICAL SYSTEM}
본 발명은 레이저 광학계에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 단일 파장 다양한 레이저 광원부가 장착가능한 레이저 광학계에 관한 것이다.
레이저(Laser)란 Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation(복사 유도 방출을 통한 광증폭)의 머리 글자를 딴 것으로, 공진기를 이용하여 빛(전자파)을 증폭시켜 얻을 수 있는 인공적인 빛이다.
레이저는 지향성 및 수속성이 뛰어나고, 또한 파장을 일정하게 유지할 수 있는 등의 물리적인 특징이 있으며, 이 특징을 살려 부가 가치가 높은 첨단 가공 용도에 사용되고 있다.
레이저는 1917년에 아인슈타인이 '유도 방출 이론'을 발표하면서 그 가능성을 지적했다. 그 후 1960년에 미국의 메이먼이 세계 최초로 루비 결정을 이용한 레이저 발진을 성공시켰다. 그 후 전 세계의 연구자들을 통해 다양한 레이저 발진 현상이 발견되었다. 1961년에 He-Ne 레이저, 글래스 레이저, 1962년에 반도체 레이저, 1963년에 Ar 레이저, 1964년에 CO2 레이저, 1966년에 색소 레이저, 피코초 레이저, 1970년에 엑시머 레이저, 1981년에는 펨토초 레이저 등이 발견되었다.
이러한 레이저를 이용한 다양한 가공 기술이 존재한다. 이 중 레이저 미세 가공기술은 가공 도구인 레이저 빔의 고집속 및 시/공간적 정밀제어가 가능하여 반도체, 전자, 자동차, 메카트로닉스 등의 첨단산업 분야에서 고품질의 부품을 가공하는데 필수적인 기술로 널리 활용되어 왔다. 또한 환경 친화적이며, 비접촉 공정으로서, 수십 마이크로미터 크기의 형상을 갖는 부품 가공영역에서 기존의 공정을 대체하는 신 공정 개발에 기여하여 왔다.
레이저 가공 기술에 사용되는 레이저 광학계는 가공 품질을 향상시키기 위해서 가공 대상물에 레이저 빔이 원하는 방향으로 정확하게 조사될 수 있도록 올바르게 정렬될 필요가 있다.
한편, 단일 파장의 다양한 레이저 광원들을 구비한 레이저 광학계에서는, 기존 레이저 광원을 새로운 레이저 광원으로 교체할 때마다, 새로운 레이저 광원을 정렬해야 하는 불편함이 존재한다.
해결하고자 하는 과제는, 단일 파장의 레이저를 발생하는 다수의 레이저 광원부들을 구비한 레이저 광학계에서, 소정의 레이저 광원부를 새로운 레이저 광원부로 교체 시 교체된 레이저 광원부를 다시 정렬해야 하는 과정을 거처야 하는 불편함을 해소할 수 있는 레이저 광학계를 제공한다.
실시 형태에 따른 레이저 광학계는, 테이블; 및 상기 테이블에 배치되고, 광축을 따라 일렬로 배치되는 다수의 레이저 경로 변경부;를 포함하고, 상기 레이저 경로 변경부는, 상기 테이블에 장착되는 다수의 레이저 광원부 중 어느 하나의 레이저 광원부로부터 발생된 레이저의 이동 경로를 상기 광축으로 변경시킨다.
여기서, 상기 다수의 레이저 경로 변경부는, 상기 다수의 레이저 광원부로부터 다수의 레이저를 수신하고, 수신된 레이저 중 하나의 레이저의 이동 경로를 상기 광축으로 변경시키고, 나머지 레이저의 이동 경로는 변경시키지 않을 수 있다.
여기서, 상기 다수의 레이저 광원부에서 방출되는 다수의 레이저는 동일한 단일 파장이되, 펄스 길이 또는 강도가 서로 다를 수 있다.
여기서, 상기 레이저 경로 변경부는, 미러; 상기 미러를 홀딩하는 미러 홀더; 상기 미러 홀더를 회전축을 중심으로 회전시키 상기 미러 홀더를 회전축을 중심으로 회전시켜 상기 미러를 상기 광축 상에 위치시키거나 상기 광축 밖에 위치시키는 미러 회전부; 및 상기 미러 회전부를 지지하고, 상기 테이블과 체결가능한 지지부;를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 테이블에 배치되고, 상기 광축 상에 배치되며, 상기 다수의 레이저 경로 변경부 중 어느 하나의 레이저 경로 변경부에서 출력되는 레이저를 평행광으로 콜리메이트하는 빔 익스펜더;를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 테이블에 배치되고, 상기 광축 상에 배치되며, 상기 빔 익스펜더로부터 출력되고 상기 광축을 따라 직선으로 진행하는 레이저를 웨지 광학계를 이용하여 광 진행 경로를 바꾸고, 상기 웨지 광학계를 회전시켜 상기 레이저를 회전시켜 출력하는 트레파닝 모듈;을 더 포함할 수 있다.
실시 형태에 따른 레이저 광학계를 사용하면, 소정의 레이저 광원부를 새로운 레이저 광원부로 교체 시 교체된 레이저 광원부를 다시 정렬해야 하는 과정을 거처야 하는 불편함을 해소할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 레이저 광학계의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 다수의 레이저 경로 변경부 중 제1 레이저 경로 변경부(300a)가 제1 레이저의 진행 경로를 변경하는 변경 모드인 경우의 정면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 제1 레이저 경로 변경부(300a)가 제1 레이저의 진행 경로를 변경하지 않는 비변경 모드인 경우의 정면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다.
또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 본 발명에 따른 실시 형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 레이저 광학계의 평면도이다.
실시 형태에 따른 레이저 광학계는, 레이저 광학장치로도 명명될 수 있으며, 단일 파장의 다수의 레이저를 사용해야 하는 광학계로 이용될 수 있고, 다양한 레이저 가공 시스템을 구성하는 하나로서도 이용될 수 있다.
도 1을 참조하면, 실시 형태에 따른 레이저 광학계는, 테이블(100), 다수의 레이저 광원부(200a, 200b, 200c), 다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c), 빔 익스펜더(400), 트레파닝 모듈(500), 및 하나 이상의 미러부(600a, 600b)를 포함할 수 있다.
테이블(100) 상에 다수의 레이저 광원부(200a, 200b, 200c), 다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c), 빔 익스펜더(400), 트레파닝 모듈(500), 및 하나 이상의 미러부(600a, 600b)가 배치된다.
다수의 레이저 광원부(200a, 200b, 200c)는 테이블(100) 상에 배치된다.
다수의 레이저 광원부(200a, 200b, 200c)는 소정의 단일 파장의 레이저를 발생한다.
다수의 레이저 광원부(200a, 200b, 200c) 각각은 동일한 단일 파장의 레이저를 발생하지만, 발생되는 레이저의 펄스 길이(pulse duration) 또는 강도(intensity)는 서로 다를 수 있다. 예를 들어, 제1 레이저 광원부(200a)는 상기 단일 파장의 펨토초 레이저를 발생하고, 제2 레이저 광원부(200b)는 상기 단일 파장의 피코초 레이저를 발생하고, 제3 레이저 광원부(200b)는 상기 단일 파장의 나노초 레이저를 발생할 수 있다.
펨토초 레이저를 이용하면, 레이저의 펄스폭이 재료의 열 전파 시간보다 짧기 때문에 재료의 열적손상이나 구조변화를 발생시키지 않는 장점이 있다. 다시 말하면, 재료의 국부적인 부분이 극도의 짧은 시간 내에 제거되어 일반적인 레이저 가공에서 나타나는 열 확산 현상은 발생되지 않으며 기존 레이저의 열적 가공보다 정밀한 가공이 가능하다.
또한, 펨토초 레이저는 가공물의 주변에 형성되던 용융물 및 잔유물(debris)의 발생도 대부분 억제할 수 있고, 발생된다 하더라도 매우 미세한 파우더 형태이며 이는 쉽게 세척이 가능하다는 장점이 있다. 또한, 펨토초 레이저는 다광자 흡수(multiphoton absorption)에 의한 가공 원리에 의해서 가공물질에 제한적 이지 않으며 금속, 유전체, 세라믹 등 다양한 재질의 정밀 가공이 가능하다.
피코초 레이저를 이용하면, 레이저 가공에서의 가장 큰 문제점인 열변형 등의 단점을 크게 보완 할 수 있으며, 보다 정밀한 미세가공이 가능해 진다. 또한, 콜드 프로세싱이 가능하여 기존 열변형등의 문제로 레이저 가공이 힘들었던 재료들의 미세가공도 가능해진다.
테이블(100) 상에는 다수의 레이저 광원부(200a, 200b, 200c)가 장착되는 다수의 장착부(미도시)가 배치될 수 있다. 따라서, 사용자는 다양한 종류의 레이저 광원부를 테이블(100)에 장착시킬 수 있다. 다수의 장착부(미도시)는 테이블(100)에 고정되어 설치된 다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c)가 수신되는 레이저를 광축(10)으로 보낼 수 있는 위치에 설정될 수 있다. 사용자는 자신이 사용하고자 하는 레이저 광원을 다수의 장착부(미도시) 중 임의의 장착부에 장착시킨 후에, 새롭게 장착된 레이저 광원에서 나오는 레이저를 광축(10)에 정렬(Alignation)해야 하는 정렬 작업이 필요가 없는 이점이 있다.
다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c)는 테이블(100) 상에 배치되고, 실시 형태에 따른 레이저 광학계의 광축(10) 상에 일렬로 배치되고, 서로 소정 거리 떨어져 배치되며, 배치된 위치에서 고정될 수 있다.
다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c)는 다수의 레이저 광원부(200a, 200b, 200c)와 일대일로 대응할 수 있다. 예를 들어, 제1 레이저 경로 변경부(300a)는 제1 레이저 광원부(200a)와 대응되고, 제2 레이저 경로 변경부(300b)는 제2 레이저 광원부(200b)와 대응되며, 제3 레이저 경로 변경부(300c)는 제3 레이저 광원부(200c)와 대응될 수 있다.
다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c)는 다수의 레이저 광원부(200a, 200b, 200c)로부터 발생된 레이저를 수신하고, 수신된 레이저를 광축(10)을 따라 진행되도록 진행 방향을 변경시킬 수 있다. 또한, 다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c)는 다수의 레이저 광원부(200a, 200b, 200c)로부터 발생된 레이저를 수신하지 않거나 그대로 통과시켜 레이저의 진행 방향을 변경시키지 않을 수도 있다.
각 다수의 레이저 광원부(200a, 200b, 200c)로부터 발생된 레이저의 진행 방향을 변경하거나 변경시키지 않는 것은, 사용자의 선택일 수도 있고, 미리 프로그램된 프로세스에 따라 선택될 수도 있다.
다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c)의 구동에 있어서, 다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c) 중 적어도 하나의 레이저 경로 변경부는 수신되는 레이저를 광축(10)을 따라 진행되도록 진행 방향을 변경시킨다.
예를 들어 설명하면, 제1 내지 제3 레이저 광원부(200a, 200b, 200c) 각각에서 레이저가 발생되고 있는 것을 가정하면, 제1 내지 제3 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c) 중 하나의 레이저 경로 변경부는 수신되는 레이저를 광축(10)으로 진행되도록 진행 방향을 변경시키고, 나머지 레이저 경로 변경부들은 수신된 레이저를 광축(10)으로 진행되지 않도록 한다. 이는 선택된 1개의 레이저만 광축(10)을 따라 진행되도록 하기 위함이다. 이러한 다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c)의 구동은, 별도의 제어부(미도시)가 제어할 수 있다. 제어부(미도시)는 테이블(100)에 장착될 수도 있고, 테이블(100) 외부에 장착되어 유/무선으로 다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c)를 제어할 수 있다.
다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c) 중 제1 레이저 경로 변경부(300a)의 일 예를 도 2 내지 도 3을 참조하여 설명한다. 제2 내지 제3 레이저 경로 변경부(300b, 300c)는 제1 레이저 경로 변경부(300a)와 동일하므로, 구체적인 설명은 이하의 설명으로 대체한다.
도 2는 도 1에 도시된 다수의 레이저 경로 변경부 중 제1 레이저 경로 변경부(300a)가 변경 모드인 경우의 정면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 제1 레이저 경로 변경부(300a)가 비변경 모드인 경우의 정면도이다.
도 2 내지 도 3을 참조하면, 제1 레이저 경로 변경부(300a)는 미러(310), 미러 홀더(330), 미러 회전부(350) 및 지지부(370)를 포함한다.
지지부(370)는 도 1에 도시된 테이블(100)과 접촉하는 구성이다. 지지부(370)는 테이블(100)의 상면에 배치되고, 스크류와 같은 체결 수단을 통해 테이블(100)에 결합될 수 있다.
지지부(370) 상에는 미러 회전부(350)가 배치된다. 지지부(370)는 미러 회전부(350)를 지지하여 미러 회전부(350)를 위치를 고정시킨다.
미러 회전부(350)는 미러 홀더(330)를 소정 각도 회전시킨다. 미러 회전부(350)는 회전축(355)을 중심으로 소정 각도 회전시킬 수 있다.
미러 홀더(330)는 미러 회전부(350)의 일 측에 결합되고, 미러 회전부(350)의 회전에 연동하여 소정 각도 회전할 수 있다.
미러 홀더(330)는 미러(310)의 가장자리 일 부분을 그립하여 미러(310)를 홀딩한다. 미러 홀더(330)의 회전에 연동하여 미러(310)가 소정 각도 회전할 수 있다.
미러(310)는 제1 레이저 발생부(200a)로부터 발생된 제1 레이저의 진행 경로를 변경한다. 즉, 미러(310)는 수신되는 제1 레이저를 도 1에 도시된 광축(10)으로 반사한다. 미러(310)는 미러 홀더(330)의 회전에 의해서, 광축(10) 상에 위치될 수 있고, 광축(10) 밖에 위치될 수 있다.
제1 레이저 경로 변경부(300a)는 수신되는 레이저의 진행 경로를 변경시키는 변경 모드와 수신되는 레이저의 진행 경로를 변경시키지 않는 비변경 모드로 구동할 수 있다. 도 2에 도시된 예가 변경 모드이고, 도 3에 도시된 예가 비변경 모드이다.
제1 레이저 경로 변경부(300a)는 사용자 또는 제어 신호에 의해 변경 모드와 비변경 모드가 선택될 수 있다. 사용자에 의한 모드 선택은, 사용자가 미러 홀더(330)를 회전축(355)을 기준으로 회전 이동시켜 미러(310)를 도 2 또는 도 3의 위치에 위치시키는 것일 수 있다. 한편, 제어 신호에 의한 모드 선택은, 미러 회전부(350) 내의 모터(미도시)를 전기적으로 구동시켜 미러 홀더(330)를 회전축(355)을 기준으로 회전 이동시켜 미러(310)를 도 2 또는 도 3의 위치에 위치시키는 것일 수 있다.
다시, 도 1을 참조하면, 빔 익스펜더(beam expander, 400)는 테이블(100) 상에 배치되고, 광축(10) 상에 배치되고, 다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c) 중 어느 하나의 레이저 경로 변경부로부터 제공되는 하나의 레이저를 평행광으로 콜리메이트(collimate)한다.
트레파닝 모듈(500)은 레이저 드릴링의 효과적인 가공을 위해서 사용되는 광 학계를 의미한다.
트레파닝 모듈(500)에는 렌즈의 옵셋(offset)을 이용한 방식, 갈바노 미러를 이용한 스캐너를 이용하는 방식, 이미지 로테이터(image rotator)를 이용하는 방식, 웨지를 이용한 방식이 있다.
웨지를 이용한 방식의 트레파닝 모듈(500)은 광축(10)을 따라 직선으로 진행하는 레이저를 2개 이상의 웨지 광학계를 이용하여 광 진행 경로를 바꾸고, 웨지 광학계 자체를 회전시켜 직선의 레이저를 회전시키는 모듈이다.
하나 이상의 미러부(600a, 600b)는 테이블(100) 상에 존재하는 레이저의 진행 경로를 변경한다.
제1 미러부(600a)는 제1 레이저 광원부(200a)와 제1 레이저 경로 변경부(300a) 사이에 배치되고, 제1 레이저 광원부(200a)로부터 발생된 제1 레이저의 경로를 소정 경로(20a)로 변경시킨다. 이러한 제1 미러부(600a)는 제1 레이저 광원부(200a)의 크기나 테이블(100)의 크기에 의해서, 제1 레이저 광원부(200a)에서 발생되는 제1 레이저가 제1 레이저 경로 변경부(300a)로 직접 입사되지 못하는 경우에 이용될 수 있다.
제2 미러부(600b)는 트레파닝 모듈(500)에서 출력되는 레이저 빔의 이동 경로를 출구(700)로 변경시킨다. 이러한 제2 미러부(600b)는 트레파닝 모듈(500)의 크기나 테이블(100)의 크기에 의해서, 트레파닝 모듈(500)에서 출력되는 레이저 빔이 출구(700)로 직접 입사되지 못하는 경우에 이용될 수 있다.
이와 같이, 도 1 내지 도 3에 도시된 본 발명의 실시 형태에 따른 레이저 광학계는 소정의 레이저 광원을 교체 사용함에 있어서, 교체된 레이저 광원을 하나씩 다시 정렬해야 하는 과정을 거처야 하는 불편함을 해소할 수 있다.
또한, 사용자는 다수의 레이저 경로 변경부(300a, 300b, 300c) 중 적어도 하나의 레이저 경로 변경부를 광축(10)에 삽입하는 하나의 심플한 과정으로, 다수의 레이저 광원부(200a, 200b, 200c) 중 하나의 레이저 광원부에서 방출되는 레이저를 선택적으로 이용할 수 있는 이점이 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
100: 테이블,
200a, 200b, 200c: 레이저 광원부,
300a, 300b, 300c: 레이저 경로 변경부
400: 빔 익스펜더
500: 트레파닝 모듈
600a, 600b: 미러부

Claims (6)

  1. 테이블;
    소정의 레이저 광원부가 장착될 수 있고, 상기 테이블에 다수로 배치된 다수의 장착부;
    상기 테이블에 배치되고, 광축을 따라 일렬로 배치된 다수의 레이저 경로 변경부;
    상기 테이블에 배치되고, 상기 광축 상에 배치되며, 상기 다수의 레이저 경로 변경부 중 어느 하나의 레이저 경로 변경부에서 출력되는 레이저를 평행광으로 콜리메이트하는 빔 익스펜더; 및
    상기 테이블에 배치되고, 상기 광축 상에 배치되며, 상기 빔 익스펜더로부터 출력되고 상기 광축을 따라 직선으로 진행하는 레이저를 웨지 광학계를 이용하여 광 진행 경로를 바꾸고, 상기 웨지 광학계를 회전시켜 상기 레이저를 회전시켜 출력하는 트레파닝 모듈;을 포함하고,
    상기 레이저 경로 변경부는, 상기 다수의 장착부에 장착되는 다수의 레이저 광원부 중 어느 하나의 레이저 광원부로부터 발생된 레이저의 이동 경로를 상기 광축으로 변경시키는 변경 모드와 상기 레이저의 이동 경로를 변경시키지 않는 비변경 모드로 구동가능하고,
    상기 레이저 경로 변경부는,
    미러;
    상기 미러를 홀딩하는 미러 홀더;
    상기 미러 홀더를 회전축을 중심으로 회전시켜 상기 미러를 상기 광축 상에 위치시켜 상기 변경 모드로 구동되도록 하거나 상기 광축 밖에 위치시켜 상기 비변경 모드로 구동되도록 하는 미러 회전부; 및
    상기 미러 회전부를 지지하고, 상기 테이블과 체결가능한 지지부;를 포함하는, 레이저 광학계.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 레이저 광원부에서 방출되는 다수의 레이저는 동일한 단일 파장이되, 펄스 길이 또는 강도가 서로 다른, 레이저 광학계.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
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