JP2017058129A - プローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブ1が、テラヘルツ波が伝送される伝送線路L1を支持する伝送線路支持基板12と、テラヘルツ波を伝送し被測定物2に接触するプローブチップ22と、プローブチップ22を支持するプローブチップ支持基板24とを備え、プローブチップ支持基板24が伝送線路支持基板12に対して、脱着可能である。なお。プローブチップ支持基板24が、中間基板14を介して、伝送線路支持基板12に取り付けられる。プローブチップ22が、プローブチップ支持基板24に対して、一部または全体が傾斜している。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第一の実施形態にかかるプローブ1の構成を示す図であり、プローブ本体10(図1(a))、チップモジュール20(図1(b))、プローブ本体10にチップモジュール20を取り付けた構成(図1(c))を示す。
第二の実施形態にかかるプローブ1は、チップモジュール20を中間基板14の上に取り付ける点が、チップモジュール20を中間基板14の下に取り付ける第一の実施形態と異なる。
第三の実施形態にかかるプローブ1は、チップモジュール20を中間基板14の右端面に取り付ける点が、チップモジュール20を中間基板14の下に取り付ける第一の実施形態と異なる。
第四の実施形態にかかるプローブ1は、プローブチップ支持基板24が、ケーブル28を介して、プローブチップ22を支持する点が、第三の実施形態と異なる。
1 プローブ
10 プローブ本体
12 伝送線路支持基板
14 中間基板
16 本体GND
20 チップモジュール
22 プローブチップ
22a 傾斜部分
22b 水平部分
24 プローブチップ支持基板
26 チップモジュールGND
28 ケーブル
28a 接地用接触部材
28b 電極
Claims (6)
- テラヘルツ波が伝送される伝送線路を支持する伝送線路支持基板と、
前記テラヘルツ波を伝送し、被測定物に接触するプローブチップと、
前記プローブチップを支持するプローブチップ支持基板と、
を備え、
前記プローブチップ支持基板が、前記伝送線路支持基板に対して、脱着可能である、
プローブ。 - 請求項1に記載のプローブであって、
前記プローブチップ支持基板が、中間基板を介して、前記伝送線路支持基板に取り付けられるプローブ。 - 請求項1に記載のプローブであって、
前記プローブチップが、前記プローブチップ支持基板に対して、一部または全体が傾斜しているプローブ。 - 請求項1に記載のプローブであって、
前記プローブチップが、前記プローブチップ支持基板に対して、平行に取り付けられているプローブ。 - 請求項1に記載のプローブであって、
前記プローブチップ支持基板が、ケーブルを介して、前記プローブチップを支持するプローブ。 - 請求項1に記載のプローブであって、
前記プローブチップ支持基板にライズタイムフィルタが設けられているプローブ。
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