JP2017053655A - 薄膜磁界センサおよびアレイ型薄膜磁界センサ - Google Patents
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Abstract
Description
(1)外部磁場に対して電気抵抗が変化する磁気抵抗薄膜と、
前記磁気抵抗薄膜の両側に配された一対の軟磁性薄膜と、
前記磁気抵抗薄膜に対して磁気バイアスを与える薄膜磁石と
を有し、
前記薄膜磁石は基板上に形成され、前記軟磁性薄膜は、前記薄膜磁石の上に形成されるとともに、前記薄膜磁石の少なくとも磁極を含む部分を覆うように設けられていることを特徴とする薄膜磁界センサ。
図1は、本発明の一実施形態に係る薄膜磁界センサを示す平面図および断面図である。この薄膜磁界センサ10は、外部磁場に対して電気抵抗が変化する磁気抵抗薄膜1と、その磁気抵抗薄膜1の両側に配された一対の軟磁性薄膜2と、磁気抵抗薄膜1に磁気バイアスを与える薄膜磁石3とを有している。
2;軟磁性薄膜
3;薄膜磁石
4;基板
5;電気的絶縁膜
10;薄膜磁界センサ
15;基板
20;アレイ型薄膜磁界センサ
Claims (5)
- 外部磁場に対して電気抵抗が変化する磁気抵抗薄膜と、
前記磁気抵抗薄膜の両側に配された一対の軟磁性薄膜と、
前記磁気抵抗薄膜に対して磁気バイアスを与える薄膜磁石と
を有し、
前記薄膜磁石は基板上に形成され、前記軟磁性薄膜は、前記薄膜磁石の上に形成されるとともに、前記薄膜磁石の少なくとも磁極を含む部分を被覆するように設けられていることを特徴とする薄膜磁界センサ。 - 前記軟磁性薄膜および前記薄膜磁石は、少なくとも一方が絶縁性材料で構成され、前記軟磁性薄膜は、前記薄膜磁石とが直接接するように設けられることを特徴とする請求項1に記載の薄膜磁界センサ。
- 前記軟磁性薄膜および前記薄膜磁石は、いずれも導電性材料で構成され、前記軟磁性薄膜と前記薄膜磁石との間に電気的絶縁膜が介在されていることを特徴とする請求項1に記載の薄膜磁界センサ。
- 前記軟磁性薄膜の厚みは、前記薄膜磁石の厚み以上であり、前記軟磁性薄膜の前記薄膜磁石の磁極端部からはみ出た領域の幅は、前記軟磁性薄膜の厚みの10倍以下であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の薄膜磁界センサ。
- 基板上に、請求項1から請求項4のいずれかに記載の薄膜磁界センサが複数個、周期的または非周期的に配置されてなることを特徴とするアレイ型薄膜磁界センサ。
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