JP2017042033A

JP2017042033A - 振動型モータ制御装置及びそれを有するレンズ装置及び撮像装置

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Publication number: JP2017042033A
Application number: JP2016149906A
Authority: JP
Inventors: 俊輔宮嶋; Shunsuke Miyajima
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2015-08-19
Filing date: 2016-07-29
Publication date: 2017-02-23
Anticipated expiration: 2036-07-29
Also published as: CN106469997B; CN106469997A; JP6723858B2

Abstract

【課題】速度の広ダイナミックレンジを維持しつつ制御性と低位相差時の安定性を両立させた振動型モータ制御装置を提供する事である。【解決手段】位相差を有する第１の周波信号及び第２の周波信号が印加された電気−機械エネルギー変換素子により振動が励起される振動体と、前記振動体に接触する接触体を相対移動させる振動型モータの駆動速度を制御する振動型モータ制御装置は、前記第１及び第２の周波信号の周波数と位相差との関係を記憶し、該関係に基づいて前記周波数に対する前記位相差を決定する位相差決定手段と、前記第１及び第２の周波信号の周波数と、該周波数に基づき前記位相差決定手段により決定された位相差と、に基づいて、前記振動型モータの速度を制御する制御手段と、を有し、前記位相差決定手段が記憶する周波数と位相差の前記関係は、前記振動型モータの周波数−速度特性における共振周波数より低い周波数となる周波数と位相差との関係を含まない。【選択図】図１

Description

本発明は振動型モータの制御装置、及びそれを有するレンズ装置及び撮像装置に関する。

電気−機械エネルギー変換素子（圧電素子や電歪素子）が接合された金属弾性体等により形成された振動体と、該振動体に加圧接触する接触体とを有する振動型モータの制御方法として様々な提案がされている。特許文献１は、周波数を固定して位相差を変更する位相差制御を使用し、位相差が規定の値に達すると位相差を固定して周波数を変更させる周波数制御を使用し、振動型モータの速度のダイナミックレンジを広くする技術が開示されている。

特開２０１１−０６７０３５号公報

特許文献１に開示されている技術は、振動型モータの駆動速度のダイナミックレンジを広く使用する方法が開示されている。この場合、位相差制御から周波数制御に切替えた後は、周波数を一定量増減させても振動型モータの駆動速度の増減が一定ではなくなってしまい制御性が低下する。一方、周波数制御領域における周波数に対する駆動速度の非線形性の影響を低減するために位相差制御をする周波数を低い周波数にすると、低速度域において制御性が低下しやすい。これは、周波数−速度曲線の共振周波数より低周波数側においては、周波数変化に対する速度変化が大きいことと、小位相差での周波数−速度曲線の共振周波数は、大位相差での周波数−速度曲線に対して高くなるためである。すなわち、位相差制御時の周波数をより高周波に設定すると周波数制御領域の非線形性の影響を受けて制御性が低下し、周波数制御領域の非線形性の影響を低減するために位相差制御時の周波数を低周波数側に設定すると共振周波数より低周波側の周波数−速度曲線に従って制御するため不安定な動作となる。このように、振動型モータの制御性と低位相差時の安定性の両立が困難であった。

そこで、本発明の目的は、駆動速度の広ダイナミックレンジを維持しつつ制御性と低位相差時の安定性を両立させた振動型モータ制御装置を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明の振動型モータ制御装置は、位相差を有する第１の周波信号及び第２の周波信号が印加された電気−機械エネルギー変換素子により振動が励起される振動体と、前記振動体に接触する接触体を相対移動させる振動型モータの駆動速度を制御する振動型モータ制御装置は、前記第１及び第２の周波信号の周波数と位相差との関係を記憶し、該関係に基づいて前記周波数に対する前記位相差を決定する位相差決定手段と、前記第１及び第２の周波信号の周波数と、該周波数に基づき前記位相差決定手段により決定された位相差と、に基づいて、前記振動型モータの速度を制御する制御手段と、を有し、前記位相差決定手段が記憶する周波数と位相差の前記関係は、前記振動型モータの周波数−速度特性における共振周波数より低い周波数となる周波数と位相差との関係を含まない、ことを特徴とする。

本発明によれば駆動速度の広ダイナミックレンジを維持しつつ、制御性と低位相差時の安定性を両立させる事が可能となる。

本発明の振動型モータ制御装置の実施例の構成図本発明の振動型モータ制御装置の第１の実施例のＦ−Ｖ特性曲線とＦ−Ｖ制御線本発明の振動型モータ制御装置の第１の実施例の（Ａ）Ｆ−Ｖ特性曲線とＦ−Ｖ制御線、及び（Ｂ）周波数と位相差との関係本発明の振動型モータ制御装置の第１の実施例の（Ａ）Ｆ−Ｖ特性曲線とＦ−Ｖ制御線、及び（Ｂ）周波数と位相差との関係本発明の振動型モータ制御装置の第２の実施例の（Ａ）Ｆ−Ｖ特性曲線とＦ−Ｖ制御線、及び（Ｂ）周波数と位相差との関係振動型モータの速度特性各起動周波数に対する速度軌跡本発明の各実施例における線形の定義を示す図

以下に、本発明の好ましい実施の形態を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。

（従来の振動型モータの制御の概略）
振動型モータは、電気−機械エネルギー変換素子（圧電素子や電歪素子）が接合された金属弾性体等により形成された振動体と、該振動体に加圧接触する接触体とを有する。位相差を有する複数の周波信号を圧電素子に印加すると、振動体に振動が励起され、該振動体と接触体とが相対移動して駆動力が発生する。振動型モータは、圧電素子に印加する周波信号の周波数（以下、単に周波数とも記載する）を変化させる方法（以下、周波数制御と記載する）や、圧電素子に印加する複数の周波信号の位相差（以下、単に位相差とも記載する）を変化させる方法（以下、位相差制御と記載する）で駆動制御される。周波数制御と位相差制御は公知のため詳細は省略する。

制御性を確保するとともにダイナミックレンジを広くする方法として、従来、周波数を固定して位相差を変更する位相差制御を使用し、位相差が規定の値に達した後に、位相差を固定して周波数を変更する周波数制御を使用する技術が知られている。振動型モータにおける、周波数と位相差に対する駆動速度の関係（以後、Ｆ−Ｖ特性曲線とも記載する）を図６に示す。横軸に周波数、縦軸に駆動速度を示し、各曲線は位相差を１０°から９０°に固定して周波数を変えた場合の振動型モータのＦ−Ｖ特性曲線を表す。各位相差において最高速度が得られる周波数（以下、共振周波数とも記載する）より低周波側は周波数に対する駆動速度の変化が急激であるので、制御性を良くするため、一般にこの領域を振動型モータの制御に用いることは避ける傾向にある。

図７に振動型モータの速度特性において、起点となる周波数（以下、起動周波数）を変えた場合における位相差制御と周波数制御両方を使用した場合の駆動速度の軌跡を示す。図７は図６と同様に記載した。まず、位相差制御時の周波数を位相差１０°の共振周波数Ｆｒｅｓより高周波である周波数ＦｒｅｓＨとし、位相差９０°で周波数制御に切替える場合を考える。この場合、破線の矢印に示す周波数−速度の軌跡をたどる。破線の矢印は位相差１０°においても共振周波数Ｆｒｅｓより高周波であるため制御は安定する。しかし、位相差９０°以降の周波数制御では、破線の矢印が非線形な軌跡をたどる。つまり、周波数制御領域では、周波数を一定量増減させても振動型モータの駆動速度の増減が一定ではなくなり制御性が低下してしまう。周波数制御領域における非線形性による制御性の悪化の影響を低減するために位相差制御の周波数を周波数ＦｒｅｓＨより低周波な周波数ＦｒｅｓＬとすると、実線の矢印に示す駆動速度の軌跡をたどる。実線の矢印は破線の矢印に対して周波数制御の領域が狭くなり、周波数制御の非線形性の影響を低減する事が可能となる。しかし、位相差制御時の周波数ＦｒｅｓＬは位相差１０°の共振周波数Ｆｒｅｓより低周波側となり、位相差制御時に周波数をＦｒｅｓＬとすると低位相差時に振動型モータの動作が不安定となる場合がある。一般に、振動型モータの周波数−速度特性における共振周波数は、高速度が出る位相差（図７の位相差９０°）より、低速度が出る位相差（図７中位相差１０°）の方が高い。このため、起動周波数を低周波数域に設定すると、Ｆ−Ｖ特性曲線の共振周波数より低周波数側の領域を制御に使用しなければならない場合がある。

本実施例における振動型モータ制御装置の構成を図１に示す。以下の説明では、本発明をわかりやすくするために本発明の主要な部位のみ図示し、本発明の特徴ではない部位は省略した。

振動型モータ制御装置１００は振動型モータ１０３の駆動制御を行う。
周波数決定部１０１は振動型モータ１０３に入力する複数の周波信号の周波数を決定する。決定方法としては、例えば、振動型モータ１０３の位置を検出する位置検出部１０５の出力と目標入力部１０６の出力との差に応じて決定する。また、周波数は起動周波数記憶部１０７にて記憶されている起動周波数から低周波側を決定する。位相差決定部１０２は周波数決定部１０１にて決定された周波数に応じて複数の周波信号の位相差を決定する。詳細な決定方法は後述する。出力部１０４（制御手段）は周波数決定部１０１にて決定された周波数と位相差決定部１０２にて決定された位相差に基づいて複数の周波信号を振動型モータ１０３に出力する。

次に、図２乃至５を使用して位相差決定部１０２における位相差の決定方法を説明する。図２は図７と同様の、振動型モータに与える２つの周波信号の周波数と駆動速度の関係を、位相差をパラメータとして表した図である。

振動型モータのＦ−Ｖ特性では前述したように共振周波数より低周波数側では周波数に対する駆動速度の傾きが大きいため、制御性を考慮し駆動制御には使用しない領域とする。また、位相差がある程度大きくなると、図２に例示するように高周波数側の端部で急激に駆動速度が低下する特性（以後、「崖落ち」とも記載する）を示すので、この領域も制御性を考慮し駆動制御には使用しない領域とする。このように、周波数の変化に対して駆動速度の変化が大きくないＦ−Ｖ特性曲線の領域を制御に使用することにより、制御性の良好な制御を可能とする。

最初に、制御に使用する位相差の範囲を決定する。ここでは制御の位相差の範囲として０゜から９０゜を使用する場合を例示して説明する。ある所定の位相差（ここでは９０゜）のＦ−Ｖ特性曲線上で、ターゲットとする制御速度範囲の最高速度Ｖ０を示す周波数（Ｆ０’、Ｆ０）の内、共振周波数より高い周波数Ｆ０を示す点Ｐ０を特定する（図３（Ａ））。いずれの位相差のＦ−Ｖ特性の共振周波数より高周波側であり、崖落ちを示す高周波数側よりも低周波数側である起動周波数Ｆａ２を設定し、起動周波数Ｆａ２で駆動速度０の点Ｐ１と、前記所定の位相差（９０゜）のＦ−Ｖ特性曲線上の点Ｐ０とを結ぶ。なお、直線Ｐ０〜Ｐ１がどの位相差のＦ−Ｖ特性曲線とも、共振周波数より低周波数側の領域で交差する（例：周波数Ｆａ１を選択した場合）ことがなく、かつ、最高速度Ｖｍａｘを呈する位相差（ここでは９０゜）のＦ−Ｖ特性曲線とも交わる（例：周波数Ｆａ３を選択した場合）ことがないように、起動周波数Ｆａ２を設定する。

このようにして決定した直線Ｐ１〜Ｐ０は、周波数と駆動速度の関係が線形となっているため、この関係に基づいて、周波数を変化させて駆動速度を制御することにより、周波数に対する駆動速度の高い制御性を実現することができる。ここで、周波数の変化に対して、制御線である直線Ｐ１〜Ｐ０で駆動速度を変化させるためには、図２、３の直線に例示する周波数と位相差との関係を満たすように、周波数の変化に応じて位相差を変化させる制御が必要である。そのため、制御線である直線Ｐ１〜Ｐ０の関係を満たす、周波数Ｆａ２から周波数Ｆ０（駆動速度０からＶ０）の範囲の周波数と位相差の関係（図３（Ｂ））を位相差決定部１０２に保持しておく。この図３（Ｂ）の周波数と位相差の関係を位相差決定部１０２にテーブル、数式等の関係として保持し、位相差決定部１０２が周波数に応じて振動型モータに出力する位相差を決定することにより、周波数の入力に対して、駆動速度を線形に制御することができる。

なお、図３中に示した周波数−速度の制御線として示した直線Ｐ１〜Ｐ０は、どの位相差のＦ−Ｖ特性曲線とも、共振周波数より低周波数側の領域とは交差することがなく、かつ、最高速度を呈する位相差のＦ−Ｖ特性曲線とも交わることがないように、設定されれば良い。駆動速度と周波数が線形の関係であるので、最高速度に対応する周波数は制御周波数範囲の中では最低の周波数であるが、最高速度に対応する位相差については必ずしも、図３（Ｂ）で例示したように最大の位相差とは限らない。例えば図４（Ａ）に例示するように、最高速度を示すＦ−Ｖ特性曲線の位相差（図４（Ａ）では７０゜）が、制御範囲として使用する位相差範囲内で最高速度を示すＦ−Ｖ特性曲線の位相差（図４（Ａ）では９０゜）でない場合は、図４（Ｂ）のように制御範囲の最高速度Ｖ０の時が最大の位相差であるとは限らない。図４（Ｂ）の場合では、起動周波数から周波数を低下させるにつれ、一端、位相差は大きくなり、その後、小さくなって最高速度に対応する、周波数、位相差となる。このようなＦ−Ｖ制御線に基づいても、周波数と駆動速度を線形の関係で制御性良く制御することができるという効果を奏することができる。

本発明の第２の実施例に係る振動型モータ１０３について、図５を参照しながら説明する。本実施例は、振動型モータ１０３のＦ−Ｖ特性によって、所望の最高速度Ｖ０から最低速度までを、周波数に対し線形に速度制御することができない場合の実施例である。
本実施例の振動型モータの装置の構成は実施例１の構成と同様であるので、省略する。

ここでも位相差の範囲として０゜から９０゜を使用する場合を例示して説明する。必要となる制御範囲の最高速度Ｖ０に対して、最高速度を示す位相差（ここでは９０゜）のＦ−Ｖ特性曲線上で最高速度Ｖ０を示す周波数（Ｆ０’,Ｆ０）の内、共振周波数より高い周波数Ｆ０を示す点Ｐ０を特定する。次に、共振周波数より高周波側であり、崖落ちを示す高周波数側よりも低周波数側である起動周波数を設定する。ここで、起動周波数で駆動速度０の点Ｐ１と、位相差９０゜のＦ−Ｖ特性曲線上の点Ｐ０とを結ぶ直線Ｐ０〜Ｐ１は、次のような場合に、駆動速度０から最高速度Ｖ０までの間を周波数に対して線形に制御することができる。すなわち、直線Ｐ０〜Ｐ１が、どの位相差のＦ−Ｖ特性曲線とも、共振周波数より低周波数側の領域とは交差する（周波数Ｆｂ２を選択した場合）ことがなく、かつ、最高速度を呈する位相差のＦ−Ｖ特性曲線とも交わる（周波数Ｆｂ３を選択した場合）ことがない場合である。しかし、図５（Ａ）のＦ−Ｖ特性を有する振動モータの場合には、上記の条件を満たす直線Ｐ０〜Ｐ１が存在しないため、次のような周波数−速度制御線を採用する。

まず、いずれの位相差のＦ−Ｖ特性曲線の共振周波数より高周波数側で、かつ、崖落ちを示す高周波数側よりも低周波数側に、起動周波数Ｆｂ３を設定し、起動周波数Ｆｂ３の点Ｐ１からの直線が、最高速度を示す位相差９０゜のＦ−Ｖ特性曲線と交差せずに接触する最高速度の点Ｐ２を求める。大抵の場合は、この点Ｐ２において、直線Ｐ１〜Ｐ２は最高速度を示す位相差９０゜のＦ−Ｖ特性曲線の接線となる。

点Ｐ１の周波数Ｆｂ３から点Ｐ２の周波数Ｆｂ１まではこの直線をＦ−Ｖ制御線として速度制御が実施され、周波数Ｆｂ１から制御の最高速度Ｖ０を示す周波数Ｆ０までは、位相差９０゜のＦ−Ｖ特性曲線を制御線として位相差一定（ここでは９０゜）で周波数を変更する制御がなされる。

このようにして決定したＦ−Ｖ制御線（直線Ｐ１〜Ｐ２、曲線Ｐ２〜Ｐ０）は、周波数Ｆｂ３からＦｂ１までの間では周波数と駆動速度の関係が線形である。周波数Ｆｂ１からＦ０まで（駆動速度Ｖ１（第１の速度）からＶ０まで）の間では周波数と駆動速度の関係が線形ではないが、直線Ｐ１〜Ｐ２の区間での線形に近い制御性を実現可能とする。また、直線Ｐ１〜Ｐ２と曲線Ｐ２〜Ｐ０との乗り移りも、直線Ｐ１〜Ｐ２と曲線Ｐ２〜Ｐ０とが接線の関係にあるため、乗り移り時に急激な加減速が発生することはなく、制御領域間の滑らかな移行が可能となる。なお、図５（Ａ）に示した制御線Ｐ１〜Ｐ０に例示する周波数と位相差との関係を満たすように、周波数の変化に応じて位相差を変化させる制御が必要である。そのため、制御線Ｐ１〜Ｐ０の関係を満たす、周波数Ｆｂ３から周波数Ｆ０（駆動速度０からＶ０）の範囲の周波数と位相差の関係（図５（Ｂ））を位相差決定部１０２にテーブル、数式等の関係として保存しておく。この図５（Ｂ）の周波数と位相差の関係を位相差決定部１０２に保持し、位相差決定部１０２が周波数に応じて振動型モータに出力する位相差を決定することにより、周波数の入力に対して、低速度側については駆動速度を線形に、高速度側についてもほぼ線形に近い制御をすることができる。

この構成により、本発明の制御装置は、駆動速度の広いダイナミックレンジを維持しつつ、制御性と低位相差時の安定性を両立させることができる。

なお、本実施例の直線Ｐ１〜Ｐ２の範囲のＦ−Ｖ制御線として、実施例１の図４に示したような制御線を採用してもよい。

以上、説明した構成により周波数に応じて位相差を決定する事で、低位相差時も共振周波数より高周波数側でのＦ−Ｖ特性を使用しつつ、速度制御範囲の全域において、周波数に対する駆動速度の線形制御、もしくは、ほぼ線形特性を呈する制御を実現することが可能となる。よって、制御性と低位相差時の安定性を両立させる事が可能となる。また、周波数を起動周波数から低周波側に変更しつつ位相差を変更する事で駆動速度のダイナミックレンジを広く使用する事が可能である。

本実施例では、使用する位相差を９０°（０゜〜９０゜）としたが、本発明はこれに限定されることはない。例えば、８０°や７０°としても本発明の効果を得る事が出来る。

本実施例では、位相差を０°から９０°の間で変更するとしたが、位相差を変更する事で低速から高速まで得ることができればこれに限らない。例えば、９０°〜１８０°や、−９０゜〜０゜としても本発明の効果を得ることができる。

本実施例では、図５において周波数Ｆｂ３の位相差は０°としたが、制御装置として必要な最低速度が得られればこれに限らず、必ずしも本発明の効果を狙う制御速度が０を含まなければならないことはない。例えば、周波数Ｆｂ３において位相差１０°として、点P２と結んだ直線に基づいて図５（Ａ）と同様な曲線または直線を取得しても本発明の効果を得ることができる。

本実施例では、起動周波数はＦｂ３としたが、上記の条件をみたすことができればこれに限定されることはない。例えば、位相差１０°の共振周波数と周波数Ｆｂ３の中間の周波数を起動周波数とし、上記の条件のように、点Ｐ２と結んだ直線が振動型モータのＦ−Ｖ特性上、各位相差の共振周波数より高周波側を通る直線であれば本発明の効果を得ることができる。

実施例１又は２で説明した振動型モータ制御装置を、可動光学部材と該可動光学部材を駆動する振動型モータを駆動手段として備えるレンズ装置の、駆動制御装置として適用することができる。可動光学部材が可動レンズ群である場合、操作リングや操作つまみ等が目標入力部１０６に対応し、目標入力部１０６からの目標値と可動レンズ群の位置を検出する検出部１０５からの検出値との差分に基づいて、周波数決定部１０１で周波数が決定される。決定された周波数が位相差決定部１０２に入力され、記憶されている周波数と位相差との関係から位相差が決定され、この周波数と位相差に基づいて、振動型モータ１０３が制御されることになる。これにより、本発明の効果である、駆動速度の広ダイナミックレンジを維持しつつ、制御性と低位相差時の安定性を両立させることが可能となるレンズ装置を実現できる。

更に、実施例１又は２で説明した振動型モータ制御装置を、可動光学部材と該可動光学部材を駆動する振動型モータを駆動手段として備えるレンズ装置と該レンズ装置で形成された光学像を撮像する撮像素子とを有する撮像装置の、駆動制御装置として用いることができる。この場合も、上記のレンズ装置に本発明の制御装置を適用した場合と同様に、本発明の効果である、駆動速度の広ダイナミックレンジを維持しつつ、制御性と低位相差時の安定性を両立させることが可能となる撮像装置を実現できる。

（線形の定義について）
図８を用いて本発明の各実施例における駆動速度の線形制御について、より詳細に説明する。本発明の各実施例において駆動速度の線形制御とは、厳密に数学的に線形である必要はなく、図８に両矢印及び斜線で示す範囲内で位相差制御と周波数制御を繰り返すような制御であってもよい。

図８に示す範囲は、Ｐ０とＰ１を結ぶ直線を中心として低周波数側と高周波数側に所定の幅を持つ範囲である。この範囲は例えばＰ０とＰ１を結ぶ直線を中心として使用する周波数領域の幅の±１０％以下の範囲、より好ましくは±６％以下の範囲である。より詳細には、起動周波数が９４ｋＨｚであり、最高速度が得られる周波数が９０ｋＨｚである場合には、図８に示す範囲はＰ０とＰ１を結ぶ直線を中心として±０．４ｋＨｚの範囲である。さらに、図８に示す範囲は、Ｐ０とＰ１を結ぶ直線を中心として高速側と低速側に所定の幅を持つ範囲としてもよい。例えば、Ｐ０とＰ１を結ぶ直線を中心として最高速度の±１０％以下の範囲、より好ましくは±６％以下の範囲である。

なお、本発明の各実施例における駆動速度の線形制御は、定性的には次のことをいう。すなわち、振動型モータをフォーカスレンズの駆動に用い、周波数決定部が決定できる最小分解能で周波数を変更した場合に、フォーカスレンズの合焦位置が振動型モータの速度変動によってフォーカスレンズが理想的に駆動した場合の焦点深度を逸脱しないことをいう。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。

１００：振動型モータ制御装置
１０２：位相差決定部

Claims

位相差を有する第１の周波信号及び第２の周波信号が印加された電気−機械エネルギー変換素子により振動が励起される振動体と、前記振動体に接触する接触体を相対移動させる振動型モータの駆動速度を制御する振動型モータ制御装置であって、
前記第１及び第２の周波信号の周波数と位相差との関係を記憶し、該関係に基づいて前記周波数に対する前記位相差を決定する位相差決定手段と、
前記第１及び第２の周波信号の周波数と、該周波数に基づき前記位相差決定手段により決定された位相差と、に基づいて、前記振動型モータの速度を制御する制御手段と、
を有し、
前記位相差決定手段が記憶する周波数と位相差の前記関係は、前記振動型モータの周波数−速度特性における共振周波数より低い周波数となる周波数と位相差との関係を含まない、ことを特徴とする振動型モータ制御装置。
前記位相差決定手段が記憶する周波数と位相差との前記関係に基づく前記振動型モータの速度は、制御範囲の周波数に対して線形である範囲を有する、ことを特徴とする請求項１に記載の振動型モータ制御装置。
前記位相差決定手段が記憶する周波数と位相差との前記関係に基づく前記振動型モータの速度と前記周波数とが線形である範囲は、制御範囲の最低速度を含む、ことを特徴とする請求項２に記載の振動型モータ制御装置。
前記位相差決定手段が記憶する周波数と位相差との前記関係に基づく前記振動型モータの速度と前記周波数とが線形である範囲は、制御範囲の最高速度から該最高速度より低い第１の速度までの範囲を含まない、ことを特徴とする請求項２または３に記載の振動型モータ制御装置。
前記位相差決定手段は、制御範囲の前記最高速度から前記第１の速度までの範囲における位相差と周波数との関係として、位相差一定で周波数が変化する関係を保存する、ことを特徴とする請求項４に記載の振動型モータ制御装置。
前記位相差決定手段が記憶する周波数と位相差との前記関係に基づく前記振動型モータの速度と前記周波数とが線形である範囲は、制御範囲の最高速度を含む、ことを特徴とする請求項２または３に記載の振動型モータ制御装置。
前記振動型モータの周波数−速度特性における共振周波数は、各位相差一定の条件において最大の速度が得られる周波数である、ことを特徴とする請求項２に記載の振動型モータ制御装置。
可動光学部材と、該可動光学部材を駆動する振動型モータと、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動型モータ制御装置を該振動型モータの制御装置として有するレンズ装置。
請求項８に記載のレンズ装置と、該レンズ装置によって形成された光学像を撮像する撮像素子とを有することを特徴とする撮像装置。