JP2017035742A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017035742A JP2017035742A JP2015156686A JP2015156686A JP2017035742A JP 2017035742 A JP2017035742 A JP 2017035742A JP 2015156686 A JP2015156686 A JP 2015156686A JP 2015156686 A JP2015156686 A JP 2015156686A JP 2017035742 A JP2017035742 A JP 2017035742A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- workpiece
- movable holding
- holding member
- swing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】研磨装置Aは、表面が研磨面11となっている研磨テープ10(研磨部材)と、研磨面11に対しワークWを押し付けた状態に保持する可動保持部材27と、研磨面11と可動保持部材27を往復方向へ相対変位させる研磨用駆動機構43と、可動保持部材27を、ワークWに対して偏心した揺動軸26を支点として研磨面11に沿って揺動させる揺動用駆動機構37とを備えている。
【選択図】図1
Description
表面が研磨面となっている研磨部材と、
前記研磨面に対しワークを押し付けた状態に保持する可動保持部材と、
前記研磨面と前記可動保持部材を一方向又は往復方向へ相対変位させる研磨用駆動機構と、
前記可動保持部材を、前記ワークに対して偏心した揺動軸を支点として前記研磨面に沿って揺動させる揺動用駆動機構とを備えているところに特徴を有する。
この構成によれば、弾性部材により研磨面に対するワークの傾きを矯正して、良好な研磨処理を行うことができる。
この構成によれば、弾性部材とワークとの間に金属板材が介在しているので、ワークに液体が付着していても、ワークが弾性部材に貼り付く虞がない。また、合成樹脂の弾性部材に貼り付き防止加工を直接施すよりも、金属板材の方が製作が容易である。
可動保持部材が揺動する際には、ワークと研磨面との間の摩擦抵抗によってテープ状の研磨部材がその長さ方向と交差する幅方向へ位置ずれすることが懸念される。しかし、上記構成によれば、研磨部材は、ストッパによって固定されているので、幅方向に位置ずれする虞はない。
研磨部材はテープ状をなしているため、研磨工程で可動保持部材が研磨部材の幅方向に移動した場合は、ワークと研磨面との間の摩擦抵抗によって研磨部材の側縁部が捲れ上がることが懸念される。しかし、上記構成によれば、研磨工程では、可動保持部材は研磨部材の長さ方向と略平行に移動するようになっているので、研磨部材の側縁部が捲れ上がる虞はない。
(e)本発明の研磨装置は、(d)において、前記ワークに対する研磨工程で前記研磨部材の移動を規制するストッパを備えていてもよい。
この構成によれば、研磨工程ではストッパによって研磨面のずれを防止できるので、良好な研磨を行うことができる。
以下、本発明を具体化した実施例1を図1〜図12を参照して説明する。以下の説明において、前後の方向については、図1〜3,7〜12における上方を、前方と定義する。左右の方向については、図1〜3,7〜12にあらわれる向きを、そのまま左方、右方と定義する。上下方向については、図4〜6にあらわれる向きを、そのまま上方、下方と定義する。
本実施例の研磨装置Aは、円形のリング状をなす薄板からなる金属製のワークWの表裏両面に対し、夫々、略直角な2方向に研磨面11を摺接させて研磨を行うためのものである。図1及び図7に示すように、研磨装置Aは、上面(表面)が研磨面11となっている左右2本の研磨テープ10(請求項に記載の研磨部材)と、2面の研磨面11に対し、夫々、一度に2つのワークWを押し付けた状態に保持する2つの保持機構20とを備えている。
研磨テープ10は、予め繰出側プーリ(図示省略)に巻き付けられており、研磨テープ10の繰出し方向先端部は、巻取側プーリ(図示省略)に巻き付けられている。両プーリの間では、研磨テープ10が、その研磨面11を水平上向きとし、且つ長さ方向を前後方向に向けた状態でテーブル12(図4を参照)の上面に載置されている。研磨テープ10は、常には、固定されているが、ワークWに対する研磨が所定回数行われた後、所定長さだけ繰出側プーリから繰り出されるとともに巻取側プーリに巻き取られるようになっている。ワークWに対する研磨処理は、研磨テープ10のうちテーブル12に載置されている研磨領域で行われる。
研磨領域の前方近傍位置と後方近傍位置には、夫々、ストッパ13が設けられている。尚、図7〜12には、便宜上、後方に位置するストッパ13のみを図示し、前方に位置するストッパ13については、(図示省略)を省略している。ストッパ13は、図6に示すように、軸線を左右方向に向けて研磨テープ10を下から支えるテーブル12と、研磨テープ10を挟んでテーブル12の上方に位置する押さえバー15と、エアシリンダからなるストッパ用駆動部材16とを備えている。押さえバー15の左端部は、昇降支持軸17に連結され、押さえバー15の右端部は、ストッパ用駆動部材16のストッパ用ロッド18の上端部に連結されている。
図1に示すように、保持機構20は、研磨領域の左右両側方に配された前後方向に長い左右一対のガイドレール21を備えている。ガイドレール21には、図示しない駆動手段により前後方向へ移動するベース部材22が取り付けられている。ベース部材22には、研磨領域の左右両側方に配されて軸線を前後方向(研磨領域における研磨面11と平行)に向けた一対のガイドバー23が設けられている。一対のガイドバー23には、保持機構20を構成する水平な基板24が、前後方向のスライド可能に取り付けられている。基板24には、図4に示すように、左右一対の軸受部材25が固定され、各軸受部材25には、夫々、軸線を上下方向にむけた揺動軸26が水平方向への揺動(回動)を可能に、且つ上下方向への相対変位を規制された状態で取り付けられている。揺動軸26も保持機構20を構成する。
各揺動軸26の下端部(揺動軸26のうち基板24よりも下方の位置)には、夫々、可動保持部材27が、揺動軸26と一体に揺動し得るように取り付けられている。図4に示すように、可動保持部材27は、揺動部材28と、ワーク保持部29とを備えている。揺動部材28は、揺動軸26に対し一体的に揺動し得るように固着されている。ワーク保持部29は、揺動部材28のうち揺動軸26に対して水平方向後方へ偏心した位置に取り付けられている。ワーク保持部29は、揺動部材28から下方へ突出するように設けられ、揺動部材28及び揺動軸26と一体に揺動し得るようになっている。
図1〜3に示すように、揺動用駆動機構37は、エアシリンダからなる揺動用アクチュエータ38を備えており、揺動板34の前方に配されている。揺動用アクチュエータ38を構成する揺動用ロッド39は、軸線を左右方向に向けて配されており、揺動用ロッド39の左端部(先端部)には、揺動用ロッド39と略平行をなす揺動アーム40の左端部が水平方向への相対変位を可能に連結されている。
図1に示すように、研磨用駆動機構43は、ベース部材22に取り付けられて基板24の前方に配されたサーボモータ44を備えている。サーボモータ44の駆動軸45は、軸線を左右方向に向けて配されている。一方、基板24の前端部には、研磨用駆動機構43を構成する連結部46が設けられている。駆動軸45と連結部46は、クランク機構47を介して連結されている。これにより、駆動軸45の回転運動が、クランク機構47を介して基板24(保持機構20)に伝達され、保持機構20がガイドバー23に沿って前後方向へ往復移動するようになっている。この保持機構20の往復移動方向は、研磨面11の研磨領域と平行である。
図7〜12に示すように、反転機構48は、前後一対の反転部材49を備えている。前後両反転部材49が前後に並んだ状態における各反転部材49の上面は、2つのワークWを左右に並べて保持することが可能なワーク保持面50となっている。前側の反転部材49は、後側の反転部材49に対し上から重なるように反転可能であり、後側の反転部材49も、前側の反転部材49に対し上から重なるように反転可能である。一方の反転部材49の反転動作により前後の反転部材49が重なった状態では、双方のワーク保持面50同士が、対向してワークWを挟む状態となる。また、双方の反転部材49が重なってワークWを保持した状態では、双方の反転部材49が一体となって前方又は後方へ反転することが可能となっている。
次に、ワークWを研磨する工程を図7〜12を参照して説明する。尚、図7〜12では、可動保持部材27の形状を簡略化しており、図における斜め下方の端部がワーク保持部29となる。研磨工程に先立ち、図7〜12の右方において、予めワークWが洗浄される。そして、洗浄されたワークWは、エアブローにより簡易的に乾燥される。その後、図示しないチャックにより、左右に並んだ状態で右側の研磨面11(研磨面11)上に載置される。このとき、可動保持部材27は、研磨工程における往復移動経路よりも前方の待機位置で待機している。また、全ての可動保持部材27は、平面視において、ワーク保持部29が揺動軸26に対し斜め右後方に位置する向きとなっている。
上述のように本実施例1の研磨装置Aは、表面が研磨面11となっている研磨テープ10と、研磨面11に対しワークWを押し付けた状態に保持する可動保持部材27と、研磨面11と可動保持部材27を往復方向へ相対変位させる研磨用駆動機構43と、可動保持部材27を、ワークW(ワーク保持部29)に対して偏心した揺動軸26を支点として研磨面11に沿って概ね90°の範囲で揺動させる揺動用駆動機構37とを備えている。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施例に限定されるものではなく、例えば次のような実施例も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)上記実施例では、弾性部材としてウレタン樹脂を用いたが、弾性部材は、ウレタン以外の合成樹脂や、他の材料であってもよい。
(2)上記実施例では、金属板材としてスチールを用いたが、金属板材の材料は、スチール以外の金属であってもよい。
(3)上記実施例では、可動保持部材に弾性部材を設けたが、このような弾性部材を設けない形態としてもよい。
(4)上記実施例では、1つの保持機構が2つのワークを同時に保持するようになっているが、1つの保持機構が一度に保持するワークの数は、1つだけでもよく、3つ以上でもよい。
(5)上記実施例では、研磨工程において、研磨部材(研磨面)を固定し、可動保持部材を往復移動させているが、可動保持部材を固定し、研磨部材を往復移動又は一方向へ移動させてもよい。
(6)上記実施例では、研磨工程の際に、可動保持部材を研磨部材(研磨テープ)の長さ方向と平行に移動させているが、可動保持部材は研磨部材の長さ方向と交差する方向へ移動させてもよい。
(7)上記実施例では、研磨部材(研磨テープ)が長さ方向に移動するようになっているが、研磨部材は、シート状やテーブル状の固定されたものであってもよい。
(8)上記実施例では、可動保持部材の揺動方向が、研磨部材の長さ方向と交差する向きであるが、可動保持部材の揺動方向は、研磨部材の長さ方向に概ね沿う方向であってもよい。
(9)上記実施例では、可動保持部材を揺動させるための揺動用駆動機構の駆動源としてエアシリンダを用いたが、揺動用駆動機構の駆動源は、油圧シリンダやモータ等であってもよい。
(10)上記実施例では、ワークが円形のリング状をなしているが、本発明は、ワークが円形のリング状以外の形状である場合にも適用できる。
(11)上記実施例では、可動保持部材の揺動角度を概ね90°としたが、本発明によれば、可動保持部材の揺動角度は、90°より小さくてもよく、90°より大きくてもよい。即ち、揺動角度は、0°〜180°の範囲で適宜に設定することができる。
W…ワーク
10…研磨テープ(研磨部材)
11…研磨面
13…ストッパ
26…揺動軸
27…可動保持部材
31…弾性部材
32…金属板材
37…揺動用駆動機構
43…研磨用駆動機構
Claims (6)
- 表面が研磨面となっている研磨部材と、
前記研磨面に対しワークを押し付けた状態に保持する可動保持部材と、
前記研磨面と前記可動保持部材を一方向又は往復方向へ相対変位させる研磨用駆動機構と、
前記可動保持部材を、前記ワークに対して偏心した揺動軸を支点として前記研磨面に沿って揺動させる揺動用駆動機構とを備えていることを特徴とする研磨装置。 - 前記可動保持部材には、前記ワークを前記研磨面に弾性的に押圧する弾性部材が設けられていことを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記弾性部材が合成樹脂製であり、
前記弾性部材と前記ワークとの間に金属板材を介在させていることを特徴とする請求項2記載の研磨装置。 - 前記研磨部材がテープ状をなしており、
前記可動保持部材の揺動方向が、前記研磨部材の長さ方向と交差する方向きであり、
前記可動保持部材が揺動するときには、前記研磨部材がストッパによって固定されるようになっていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の研磨装置。 - 前記研磨部材がテープ状をなしており、
前記ワークに対する研磨工程では、前記可動保持部材が、前記研磨部材の長さ方向と略平行に移動するようになっていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の研磨装置。 - 前記ワークに対する研磨工程で前記研磨部材の移動を規制するストッパを備えていることを特徴とする請求項5記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015156686A JP6573381B2 (ja) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015156686A JP6573381B2 (ja) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | 研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017035742A true JP2017035742A (ja) | 2017-02-16 |
JP6573381B2 JP6573381B2 (ja) | 2019-09-11 |
Family
ID=58047847
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015156686A Active JP6573381B2 (ja) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | 研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6573381B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59182057A (ja) * | 1983-03-29 | 1984-10-16 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 平面板の研摩方法 |
JPH08216000A (ja) * | 1995-02-09 | 1996-08-27 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 研磨装置 |
JPH11505181A (ja) * | 1995-05-18 | 1999-05-18 | エクスクルーシブ デザイン カンパニー,インコーポレイテッド | 化学的、機械的研磨の改善された方法および装置 |
JP2000094316A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-04 | Sony Corp | 平坦化研磨装置 |
JP2001009698A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-16 | Canon Inc | 研磨加圧装置 |
US20010024880A1 (en) * | 1999-08-31 | 2001-09-27 | Jim Hofmann | Methods and apparatuses for monitoring and controlling mechanical or chemical-mechanical planarization of microelectronic substrate assemblies |
JP3161598U (ja) * | 2010-05-22 | 2010-08-05 | 株式会社池上精機 | 研磨機 |
-
2015
- 2015-08-07 JP JP2015156686A patent/JP6573381B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59182057A (ja) * | 1983-03-29 | 1984-10-16 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 平面板の研摩方法 |
JPH08216000A (ja) * | 1995-02-09 | 1996-08-27 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 研磨装置 |
JPH11505181A (ja) * | 1995-05-18 | 1999-05-18 | エクスクルーシブ デザイン カンパニー,インコーポレイテッド | 化学的、機械的研磨の改善された方法および装置 |
JP2000094316A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-04 | Sony Corp | 平坦化研磨装置 |
JP2001009698A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-16 | Canon Inc | 研磨加圧装置 |
US20010024880A1 (en) * | 1999-08-31 | 2001-09-27 | Jim Hofmann | Methods and apparatuses for monitoring and controlling mechanical or chemical-mechanical planarization of microelectronic substrate assemblies |
JP3161598U (ja) * | 2010-05-22 | 2010-08-05 | 株式会社池上精機 | 研磨機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6573381B2 (ja) | 2019-09-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7976361B2 (en) | Polishing apparatus and polishing method | |
WO2018092520A1 (ja) | 曲面板の加工装置、および外周部が加工された曲面板の製造方法 | |
US9358655B2 (en) | Outer periphery polishing apparatus for disc-shaped workpiece | |
JP2008126322A (ja) | バイト加工方法及びバイト加工装置 | |
JP2017100280A (ja) | 平坦加工方法および平坦加工装置 | |
JPH11267956A (ja) | 研削盤 | |
CN106625151B (zh) | 一种多自由度混联抛光系统 | |
JP2017222162A (ja) | スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法 | |
JP6573381B2 (ja) | 研磨装置 | |
JP2015034842A (ja) | 反転装置 | |
JP2017205838A (ja) | 板状基板の片面ポリッシング装置 | |
CN207668711U (zh) | 一种用于板材拼接的定位机构 | |
KR101657993B1 (ko) | 인쇄회로기판 등 판상가공물 연마용 화학기계적 연마장치 | |
TWM624422U (zh) | 具自動補償施壓復位之拋光設備 | |
JP4881630B2 (ja) | 缶体巻締装置 | |
KR101832808B1 (ko) | 폴리싱 장치 | |
CN105500159B (zh) | 一种砂带抛光双补偿装置 | |
JP4078183B2 (ja) | デバイスウェハの周辺部研磨装置 | |
JP4250594B2 (ja) | 遊星ギヤ機構を用いた移動装置及び平面研磨機 | |
JP2005335002A (ja) | スキージ研磨装置 | |
JP2017087305A (ja) | 円板状ワークの研磨加工方法及び研磨加工装置 | |
TWI777835B (zh) | 具自動補償施壓復位之拋光設備 | |
JPS61173852A (ja) | レンズ研摩装置 | |
JP2015035444A (ja) | 反転装置 | |
JP2012148386A (ja) | 加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180412 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181218 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190530 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190722 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190808 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190809 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6573381 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |