JP2017034175A - ボール検査リペア装置 - Google Patents

Abstract

【課題】直径が複数種類のボールの搭載状態の検査を短時間で行うことができたり、複数種類のボールの再搭載および余剰ボールの除去を容易に行うことができたりするボール検査リペア装置を実現すること。【解決手段】ボール検査リペア装置１は、ワークＷに設けられた電極１１２上に搭載された複数の異なる種類のボールごとのボール搭載状態を検査するように、取り付けピッチが変更できる複数の検査用カメラを有する検査部７と、検査部７の検査結果に基づき、複数の電極１１２のうち、ボールＢの搭載ミスがあった位置にフラックスＦを転写するフラックス転写部４と、ボールＢの搭載ミスがあった位置にボールＢを搭載するボール搭載部５と、余分に搭載された余剰ボールを除去する余剰ボール除去部６を有する。【選択図】図２

Description

本発明は、ボール検査リペア装置に関する。

電気的な接続を得るための複数の導電性ボール（以降、ボールと記載する）を、基板やウエハなどのワークと呼ばれる物品に搭載するボール搭載装置が知られている。このボール搭載装置は、ワークのボール搭載位置に対応する位置に微小開口が形成されたマスク板をワークに重ね、マスク板のボール搭載面にボールを充填し、ボールをマスク板の微小孔に通過させることで、ワークのボール搭載予定位置にボールを搭載する構成となっている。かかる構成のボール搭載装置では、たとえば、直径が１ｍｍ以下であるようなボールを精度良く所定位置に搭載できる。

このようなボール搭載装置で、ワーク上にボールを搭載する場合、ボールの搭載抜け、位置ずれ、過剰搭載などの搭載ミスが発生することがある。このため、ボール搭載後に、ワークに搭載されたボールの搭載状態を検査し、ボール搭載ミスがある場合は、搭載抜けの存在する箇所にボールを再搭載したり、不適切な位置に搭載されたボール（余剰ボール）を排除する必要がある。なお、このような搭載ミスを補う作業を含む作業を、以下の説明においてリペアと記載する。このリペアには、ワーク上のボールの搭載抜けの箇所に個別にボールを再搭載したり、余剰ボールを個別に排除できる装置が用いられている（たとえば、特許文献１参照）。

特開２０１４−２２０４０５号公報

特許文献１に記載されているボール搭載装置は、直径が１種類のボールに関するものであり、そのボールの搭載やリペアが可能な装置である。最近では、一つのワーク上に複数の直径を有するボールを所定位置に搭載することを求められることが増加している。しかし、特許文献１に開示されたボール搭載装置は、直径が複数種類のボールの搭載状態の検査やボールの再搭載、または余剰ボールを除去する場合には、ボールの直径ごと設定条件を変えて検査をしたり、装置の構成を替えたりしなければならず、時間と費用が掛かるものである。

そこで、本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、次のいずれか一つまたは複数を実現しようとするものである。すなわち、直径が複数種類のボールの搭載状態の検査を短時間で行うことができたり、複数種類のボールの再搭載および余剰ボールの除去を容易に行うことができたりするボール検査リペア装置を実現しようとするものである。

上記課題を解決するために、本発明のボール検査リペア装置は、ワークに設けられた電極上に搭載された複数の異なる種類のボールごとのボール搭載状態を検査するように、取り付けピッチが変更可能な複数の検査用カメラを有する検査部と、検査部の検査結果に基づき、複数の電極のうち、ボールの搭載ミスがあった位置にフラックスを転写するフラックス転写部と、ボールの搭載ミスがあった位置にボールを搭載するボール搭載部と、余分に搭載された余剰ボールを除去する余剰ボール除去部を有する、こととする。

また、上記発明に加えて、フラックス転写部は、各々が独立して前記フラックスを転写できる複数のフラックス転写ピンを有し、ボール搭載部は、直径が異なる前記複数種類のボールごとに、各々が独立してボールを搭載できる複数種類のボール搭載ノズルを有している、ことが好ましい。

また、上記発明に加えて、余剰ボール除去部は、直径が異なる複数種類のボールごとに、各々が独立してボールを吸引できる複数種類の余剰ボール除去ノズルを有している、ことが好ましい。

また、上記発明に加えて、ステージを平面方向および高さ方向に移動させるステージ搬送機構を有し、ステージ搬送機構は、ステージと一体となって移動すると共に、フラックス転写ピン、ボール搭載ノズルおよび余剰ボール除去ノズルの平面方向および高さ方向の位置を較正するキャリブレーション部を有する、ことが好ましい。

また、上記発明に加えて、複数種類のボールの搭載状態を目視で確認できるベリファイ用カメラを有している、ことが好ましい。

本発明の実施の形態に係るボール検査リペア装置を上方から見たレイアウト説明図（平面図）である。 図１の手前方向から見たボール検査リペア装置の構成を示す正面図である。 本発明の実施の形態に係るフラックス転写部の構成を示す正面図であり、（Ａ）は第１転写ピンと第２転写ピンが、フラックス供給トレイから上方に離れた待機位置にある状態を示し、（Ｂ）は、第１転写ピンが、フラックスＦに接触している状態を表している。 本発明の実施の形態に係るボール搭載部の構成を示す正面図であり、（Ａ）は第１ボール搭載ノズルと第２ボール搭載ノズルが、ボール供給トレイから上方に離れた待機位置にある状態を示し、（Ｂ）は、第２ボール搭載ノズルが、径大のボールを吸引している状態を表している。 本発明の実施の形態に係る余剰ボール除去部の構成を示す正面図であり、（Ａ）は第１余剰ボール除去ノズルと第２余剰ボール除去ノズルが、各々第１余剰ボールケースと第２余剰ボールケースから上方に離れた待機位置にある状態を示し、（Ｂ）は、第２余剰ボール除去ノズルが、吸着した径大のボールを第２ボールケースに入れる様子を表す図である。 本発明の実施の形態に係るキャリブレーション部を示す斜視図である。 本発明の実施の形態に係るベリファイ用カメラを模式的に表す斜視図である。 ボール搭載ミスの主たる例を示す断面図であり、（Ａ）〜（Ｄ）に搭載ミスの状態を表している。 本発明の実施の形態に係るボール検査リペア装置によるリペア方法の主要工程を示すフロー説明図である。

以下、本発明の実施の形態に係るボール検査リペア装置１について図面を参照しながら説明する。なお、ボール検査リペア装置１は、複数種類の直径を有するボールＢ（以降、ボールの総称として使用する）に対応可能であるが、以下の実施の形態では、ボールの直径が２種類の場合を代表例として説明する。なお、ボール検査リペア装置１で取り扱うボールは、導電性を有する微小なボールであって、電気的な接続を得るために半田ボール（銀（Ａｇ）や銅（Ｃｕ）などを含み、主成分が錫（Ｓｎ）からなるボール）、金あるいは銀などの導電率が高い金属製のボールなどがある。さらに、ボールＢとしては、セラミックス製のボールあるいはプラスチック製のボールに導電性メッキなどの処理が施されたものが含まれる。また、ボールの直径は概ね１ｍｍ以下であって、たとえば、数１０μｍ〜数１００μｍ程度の微小ボールで、ボール検査リペア装置１は、直径が複数種類のボールを同時に扱うことが可能な装置である。

（ボール検査リペア装置１の全体構成）
まず、ボール検査リペア装置１の全体構成を図１、図２を参照しながら説明する。以下に説明するボール検査リペア装置１は、回路基板やウエハなどのワークＷ上のボール搭載状態を検査し、搭載ミスがある場合は、搭載抜け（所定位置にボールＢが無い）の箇所にはボールＢを再搭載したり、余剰に搭載されたボールＢ（余剰ボール）を排除して、所定位置に所定のボールＢを再搭載する装置である。

図１は、本発明の実施の形態に係るボール検査リペア装置１を上方から見たレイアウト説明図（平面図）、図２は、図１の手前方向から見たボール検査リペア装置１の構成を示す正面図である。なお、以下に説明する各図は、図１および図２の図示右側をＸ１、左側をＸ２とし、手前側をＹ１、奥側をＹ２と表し、接地側をＺ１（または下方）、その反対側をＺ２（または、上方、上面）と表し説明する。図１および図２に示すように、ボール検査リペア装置１は、ワークＷが搭載されるステージ２を移動させるステージ搬送機構３をＸ２側に有する。また、ボール検査リペア装置１は、ステージ２に搭載されたワークＷの所定の電極位置に、フラックスＦを転写するフラックス転写部４と、ボールＢを再搭載すべき選択された所定の電極位置に、ボールＢを再搭載するボール搭載部５と、余分に搭載された余剰ボールを除去する余剰ボール除去部６を装置中央部分に有している。さらに、ボール検査リペア装置１は、ボールＢが所定位置、所定の状態に有るか無いかを検査する検査部７をフラックス転写部４のＸ２側方向に有し、検査部７は、第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂを有している。第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂは、Ｙ方向に取り付けピッチ（取付け間隔）が変更できるようになっている。

ワークＷは、たとえば、表面に複数のランド状の電極（図６に電極１１２として例示する）が設けられた半導体ウエハや、半導体が実装される半導体実装基板や多層基板などを含むプリント配線基板もしくはガラス基板などである。

ステージ搬送機構３は、本体ベース８の上部に配置された第１ベースフレーム９の上に直交するように配置された第２ベースフレーム１０上に配置されている。第１ベースフレーム９は、Ｘ方向（Ｘ１−Ｘ２）に本体ベース８のほぼ両端部まで延長されていて、ステージ２が第１ベースフレーム９に沿ってＸ方向に往復移動できるようになっている。ステージ２は、第２ベースフレーム１０に沿ってＹ方向（Ｙ１−Ｙ２）に移動できるようになっている。すなわち、ステージ搬送機構３は、第２ベースフレーム１０と共にＸ方向に移動し、第２ベースフレーム１０上をＹ方向に移動可能となっている。また、ステージ搬送機構３は、ステージ２をＸＹ平面内で回転させることと、Ｚ方向（Ｚ１−Ｚ２）に移動させることができるようになっている。図１に示すように、ステージ２は、第２ベースフレーム１０の上面に固定された搬送テーブル１１に固定されている。

ステージ搬送機構３は、ステージ２を、ワークＷが供給される位置からＸ１方向に移動しながら、フラックス転写部４、ボール搭載部５、余剰ボール除去部６の各配置位置に精度よく移送する機能を有する。なお、ワークＷが排出される位置（Ｘ１方向端部）のステージ２を二点鎖線で表している。

ステージ２のワーク搭載面には、不図示の吸引孔が複数個設けられていて、ワークＷをステージ２上に載置した際、ワークＷを真空吸引し、ワークＷの反りを矯正しつつステージ２に吸着固定する機能を有する。

ボール検査リペア装置１は、Ｘ２方向端部に配置され、ワークＷを第１移載位置１５からステージ２上に搬送する第１搬送アーム駆動機構１６と、Ｘ１方向端部に配置され、ワークＷをステージ２上から第２移載位置１７に搬送する第２搬送アーム駆動機構１８を有している。第１移載位置１５は、ワーク供給位置であり、たとえば、ワーク供給用ストッカなどである。第２移載位置１７は、ワーク排出位置であり、たとえば、ワーク収納用ストッカなどである。

第１搬送アーム駆動機構１６は、第１搬送フレーム１９にＸ（Ｘ１−Ｘ２）方向に往復移動できるように取り付けられていて、Ｚ方向に往復移動できる第１搬送アーム２０を有している。第１搬送アーム２０の先端には、ワークＷを吸着したり離したりする第１吸着チャック（図示は省略）が配置されている。第２搬送アーム駆動機構１８は、第２搬送フレーム２２にＸ方向に往復移動できるように取り付けられていて、Ｚ方向に往復移動できる第２搬送アーム２３を有している。第２搬送アーム２３の先端には、ワークＷを吸着したり離したりする吸着チャック（図示は省略）が配置されている。なお、第１移載位置１５の位置にある第１搬送アーム駆動機構１６を二点鎖線で表している。また、ワークＷをステージ２から吸着する位置の第２搬送アーム駆動機構１８を二点鎖線で表している。

ボール検査リペア装置１は、フラックス転写手段であるフラックス転写部４と、ボール搭載手段であるボール搭載部５、および余剰ボールを除去する余剰ボール除去部６を有する。フラックス転写部４、ボール搭載部５および余剰ボール除去部６は、Ｘ方向に延長された支持支柱３０に取り付けられている。支持支柱３０は、Ｘ方向に延長された梁状部材であって、Ｘ２側端部が第1フレーム３１に支持され、Ｘ１側端部が第２フレーム３２で支持されている。フラックス転写部４は、第１フラックス転写機構２８と第２フラックス転写機構２９を有している。第１フラックス転写機構２８および第２フラックス転写機構２９は、Ｘ１方向に並設されている。また、図２に示すように、第１フラックス転写機構２８は第１フラックス転写ピン３３（以降、「第１転写ピン３３」と記載する。）を備え、第２フラックス転写機構２９には、第２フラックス転写ピン３４（以降、「第２転写ピン３４」と記載する。）が備えられている。

ボール搭載部５は、第１ボール搭載機構３５と第２ボール搭載機構３６を有している。第１ボール搭載機構３５および第２ボール搭載機構３６はＸ１方向に並設されている。また、図２に示すように、第１ボール搭載機構３５は第１ボール搭載ノズル３７を備え、第２ボール搭載機構３６には第２ボール搭載ノズル３８が備えられている。また、余剰ボール除去部６は、第１ボール除去機構３９と第２ボール除去機構４０を有している。第１ボール除去機構３９および第２ボール除去機構４０は、Ｘ１方向に並設され、第１ボール除去機構３９は第１余剰ボール除去ノズル４１を備えている。また、第２ボール除去機構４０には第２余剰ボール除去ノズル４２が備えられている。

図１に示すように、フラックス転写部４、ボール搭載部５および余剰ボール除去部６は、支持支柱３０に取り付けられている。そして、フラックス転写部４は、第１フラックス転写機構２８で第１転写ピン３３を、第２フラックス転写機構２９で第２転写ピン３４をＺ方向に移動させる。また、ボール搭載部５は、第１ボール搭載機構３５で第１ボール搭載ノズル３７を、第２ボール搭載機構３６で第２ボール搭載ノズル３８をＺ方向に移動させる。余剰ボール除去部６は、第１ボール除去機構３９で第１余剰ボール除去ノズル４１を、第２ボール除去機構で第２余剰ボール除去ノズル４２をＺ方向に移動させる。なお、第１転写ピン３３と第２転写ピン３４、第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８、第１余剰ボール除去ノズル４１と第２余剰ボール除去ノズル４２のそれぞれは、Ｚ方向に独立して移動できるようになっている。

ボール搭載リペア装置１は、図２に示すように、フラックス供給トレイ６５およびボール供給トレイ６６をＸ方向同軸上に移動させる各トレイＸ移動機構４５と、フラックス供給トレイ６５をＹ方向に移動させるフラックス供給トレイＹ移動機構４６と、ボール供給トレイ６６をＹ方向に移動させるボール供給トレイＹ移動機構４７を有している。さらに、ボール搭載リペア装置１は、余剰ボールケース移動機構４８を有している。余剰ボールケース移動機構４８は、第１余剰ボールケース６７と第２余剰ボールケース６８を共にＸ方向およびＹ方向に移動させる。よって、第１余剰ボールケース６７と第２余剰ボールケース６８を一つにしてもよい。すなわち、各トレイＸ移動機構４５、フラックス供給トレイＹ移動機構４６、ボール供給トレイＹ移動機構４７、余剰ボールケース移動機構４８の各々は、フラックス供給トレイ６５をフラックス転写部４の直下に、ボール供給トレイ６６をボール搭載部５の直下に、第１余剰ボールケース６７および第２余剰ボールケース６８を余剰ボール除去部６の直下に移動させる機能を有する。なお、フラックス転写部４、ボール搭載部５、および余剰ボール除去部６それぞれの詳細な説明は、図３〜図５を参照して後述する。

図１に示すように、搬送テーブル１１には、ステージ２から平面外側に突出した位置にキャリブレーション部５０が設けられている。キャリブレーション部５０は、Ｘ―Ｙ方向に移動可能である。キャリブレーション部５０は、フラックス転写部４の第１転写ピンピン３３と第２転写ピン３４、ボール搭載部５の第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８および余剰ボール除去部６の第１余剰ボール除去ノズル４１と第２ボール除去ノズル４２の平面方向（Ｘ−Ｙ平面）の位置と高さ方向（Ｚ方向）の位置の各データを入手して較正する機能を有する。キャリブレーション部５０の詳細構造および機能は、図６を参照して後述する。

また、図１、図２に示すように、検査部７は、ボールＢがワークＷの電極の所定位置に有るか無いかなどの搭載ミスを検査する第１検査用カメラ７Ａと第２検査用カメラ７Ｂを有している。第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂは、各々第１検査用カメラ移動機構５３および第２検査用カメラ移動機構５４によってＺ方向に独立して移動できるようになっている。また、第２検査用カメラ７Ｂは、カメラＹ移動機構５５によってＹ方向に移動できるようになっている。すなわち、このカメラＹ移動機構は、第１検査用カメラ７Ａと第２検査用カメラ７ＢとのＹ方向の間隔（ピッチ）を変更する機能を有する。

第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂは、それらの下方に移動してくるワークＷの表面を撮像して、ボールＢがワークＷの所定の電極位置に所定の状態で搭載されているかを検出する機能を有する。たとえば、ボールＢが径小のものと径大のものとの２種類の場合は、第１検査用カメラ７Ａで径小のボールＢ１の搭載状態を検出し、第２検査用カメラ７Ｂで径大のボールＢ２の搭載状態を検出するようにすればよい。検出結果は、ボール検査リペア装置１の動作を制御する不図示の制御部に出力される。なお、第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラは、ＣＣＤカメラやライン型ＣＣＤカメラ（スキャナ）などを採用できる。ワークＷ上のボールＢ１の群とボールＢ２の群は、所定の間隔で配置されている。第１検査用カメラ７Ａと第２検査用カメラ７Ｂの取り付けピッチは、この間隔に合わせて設定される。

ボールＢの搭載ミスとしては、所定の電極の上にボールＢが無い場合（ミッシングボール状態）、所定の電極からボールＢがずれている場合（シフトボール状態）および１個の電極上または付近の領域に２個以上のボールＢがある場合（余剰ボール状態）などがある。検査部７は、これらのボール搭載ミスが有るか、無いか、どのようなミスであるかを検出し、その結果と電極配置位置を対応付ける機能を有する。

また、第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂ各々の下方（Ｚ２方向）には、検査用照明装置５６が配置されている。検査用照明装置５６は、ワークＷが第１検査用カメラ７Ａまたは第２検査用カメラ７Ｂの下方に移動してきたときに、ワークＷの表面の照明を行うようになっている。

また、検査部７には、第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂの検査後に、ボールＢの搭載状態を目視で再確認するためのベリファイ用カメラ５９（目視再確認用カメラと呼ぶことがある）を有している。ベリファイ用カメラ５９は、Ｘ−Ｙ方向には固定位置とされ、Ｚ方向には不図示のＺ移動機構によって移動可能となっている。第１検査用カメラ７Ａと第２検査用カメラ７Ｂの間に配置されている。なお、ベリファイ用カメラ５９による再確認は、第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂによる検査の都度、または所定の間隔をあけて行われる。なお、ベリファイ用カメラ５９の詳細構成は、図７を参照して後述する。

また、図１、図２に示すように、ボール検査リペア装置１は、ワーク位置認識カメラ６０を有している。ワーク位置認識カメラ６０は、フラックス転写部４の固定位置（動かない部分）に取り付けられている。ワーク位置認識カメラ６０は、フラックス転写部４近傍の所定位置にワークＷが移動してきたことを認識する機能を有する。ワークＷが所定位置に移動してきたとき、フラックス転写の実行可能位置を検出し、制御部（不図示）にその情報を出力し、制御部からステージ２に停止命令を出力する。フラックス転写動作の実行可能位置は、第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂで検出したフラックスＦの再転写位置と第１転写ピン３３または第２転写ピン３４のＸ−Ｙ位置と正確な相関位置を決定するために設けられる。なお、ワーク位置認識カメラ６０は、フラックス転写部４に代えて、または」加えて、ボール搭載部５および余剰ボール除去部６に設けてもよい。ただし、前述したキャリブレーション部５０による位置の較正が行われているので、ワーク位置検出用カメラ６０は、フラックス転写部４に配置しておけばよく、省略することも可能である。

図２に示すように、ボール検査リペア装置１は、フラックスＦを表面に貯留するフラックス供給トレイ６５と、ボールＢを供給するボール供給トレイ６６と、除去したボールＢを貯留する第１余剰ボールケース６７と第２余剰ボールケース６８を有している。図１、図２に示すように、フラックス供給トレイ６５およびボール供給トレイ６６は、各トレイＸ移動機構４５により、Ｘ方向に移動可能となっており、フラックス供給トレイ６５はフラックス供給トレイＹ移動機構４６によってＹ方向に移動可能となっている。したがって、第１転写ピン３３と第２転写ピン３４にフラックスＦを供給する場合には、各トレイＸ移動機構４５およびフラックス供給トレイＹ移動機構４６によってフラックス供給トレイ６５を第１転写ピン３３および第２転写ピン３４の直下に移動する。なお、第１転写ピン３３と第２転写ピン３４をクリーニングする必要があるときは、不図示のクリーニングユニットが第１転写ピン３３と第２転写ピン３４の下方になるようにフラックス供給トレイ６５を移動すればよい。

ボール供給トレイ６６は、各トレイＸ移動機構４５およびボール供給トレイＹ移動機構４７によってＸ−Ｙ方向に移動可能となっている。第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８にボールＢを供給する場合には、ボール供給トレイ６６を第１ボール搭載ノズル３７および第２ボール搭載ノズル３８の直下に移動する。ボール供給トレイ６６は、径小のボールＢ１を貯留する第１ボールケース部６９と径大のボールＢ２を貯留する第２ボールケース部７０を有している（図４参照）。なお、第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８をクリーニングする必要があるときは、不図示のクリーニングユニットを第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８下方になるように移動すればよい。

第１余剰ボールケース６７および第２余剰ボールケース６８は、図５に示すように、Ｘ１方向に並んで備えられていて、余剰ボールケース移動機構４８により、共にＸ−Ｙ方向に移動可能となっている。第１余剰ボールケース６７は、第１余剰ボール除去ノズル４１の直下になるように、第２余剰ボールケース６８は、第２余剰ボール除去ノズル４２の直下にくるように移動する。第１余剰ボールケース６７には、除去された径小のボールＢ１を入れ、第２余剰ボールケース６８には、除去された径大のボールＢ２を入れる（図５参照）。なお、第１余剰ボールケース６７と第２余剰ボールケース６８に、径小のボールＢ１と径大のボールＢ２をそれぞれ混在させてもよい。第１余剰ボール除去ノズル４１と第２余剰ボール除去ノズル４２をクリーニングする必要があるときには、不図示のクリーニングユニットが、第１余剰ボール除去ノズル４１と第２余剰ボール除去ノズル４２それぞれの下方になるように移動すればよい。

なお、第１余剰ボールケース６７と第２余剰ボールケース６８を一体化した余剰ボールケースとしてもよい。また、たとえば、フラックス供給トレイ６５、ボール供給トレイ６６および第１余剰ボールケース６７と第２余剰ボールケース６８を一つのパレット上に配置し、パレット移動機構によって、このパレットをＸ−Ｙ方向に移動するようにしてもよい。

（フラックス転写部４の構成）
続いて、フラックス転写部４の構成について図３を参照しながら説明する。なお、フラックス転写部４のボール検査リペア装置１における配置などは、図１および図２を参照する。

図３は、フラックス転写部４の構成を示す正面図であり、（Ａ）は第１転写ピン３３および第２転写ピン３４が、平面四角形のフラックス供給トレイ６５から上方に離れた待機位置にある状態を示し、（Ｂ）は、第１転写ピン３３が、フラックスＦに接触している状態を表している。すなわち、図３（Ｂ）は、第１転写ピン３３にフラックスＦを供給する状態を表している。なお、第１転写ピン３３および第２転写ピン３４の先端形状は、平面型または丸型などが用いられている。図３に示すように、フラックス転写部４は、第１フラックス転写機構２８と第２フラックス転写機構２９を有している。第１フラックス転写機構２８と第２フラックス転写機構２９は、第１転写ピン３３と第２転写ピン３４をそれぞれ単独にＺ方向に移動することが可能である。しかし、構成は同じなので、代表して第１フラックス転写機構２８を説明する。なお、フラックス供給トレイ６５は、２つに分割し、各転写ピン用としてもよい。また、その形状は、平面丸形としてもよい。

第１フラックス転写機構２８は、第１転写ピン３３を取り付けたり、取り外したりできるピンホルダー７５と、このピンホルダー７５が取り付けられるキャリッジ７６と、キャリッジ７６をＺ方向に移動させるキャリッジ移動機構７７を有している。キャリッジ移動機構７７は、キャリッジ７６のＺ方向（Ｚ１−Ｚ２）の移動量（つまり、第１転写ピン３３の移動量）を測定する手段であるロータリーエンコーダー７８を有している。ロータリーエンコーダー７８は、キャリッジ移動機構７７の駆動源となる不図示のサーボモーターの回転量を測定する。この回転量に基づきキャリッジ７６の移動量を測定することになる。

ピンホルダー７５は、第１転写ピン３３を保持する不図示のチャック部を有している。第１転写ピン３３は、このチャック部によって取り付けたり、取り外したりできるようになっている。また、このチャック部は、ピンホルダー７５に対して上下方向（Ｚ１−Ｚ２方向）に移動可能となっている。すなわち、第１転写ピン３３は、ピンホルダー７５に対して上下方向に移動可能に保持されていることになる。したがって、第１転写ピン３３に上方（Ｚ２方向）に向けての移動力が作用したときに、第１転写ピン３３は上方に移動する。第１転写ピン３３に上方への移動力が作用していないときは、チャック部は下端位置（ガイド部によるガイド範囲の下端）に配置され、第１転写ピン３３に上方への移動力が作用したときに、チャック部は第１転写ピン３３と共に上方に移動する。移動力としては、バネや空気圧による付勢力を利用してもよい。

ピンホルダー７５には、チャック部を規定値よりも上方に移動させないようにロックするロック機構７９が備えられている。このロック機構７９は、チャック部の進路内に、たとえば、プランジャを電磁ソレノイドなどにより進出したり、戻したりすることで、プランジャが進出するときにチャック部の上方への移動を阻止するようになっている。このロック機構７９を作動させることで、第１転写ピン３３に上方に向けた付勢力などの移動力が作用する場合でも、第１転写ピン３３を上方に移動させないようにすることができる。

第１フラックス転写機構２８には、移動位置測定手段である位置測定センサー８０が備えられている。第１転写ピン３３に対して上方へ向けて付勢力などの移動力が作用し、第１転写ピン３３がピンホルダー７５に対して上方に移動したときの位置を移動位置とする。位置測定センサー８０は、第１転写ピン３３の移動位置を測定することができる。位置測定センサー８０としては、たとえば、渦電流センサーを用いる。渦電流センサーの他、エンコーダー、静電容量センサー等を用いることもできる。

キャリッジ７６は、ガイド軸８１を介して支持支柱３０（図１，２参照）に取り付けられている。ガイド軸８１は、キャリッジ７６を、Ｘ−Ｙ方向（左右前後方向）には移動しないように、Ｚ方向（上下方向）だけに移動可能にガイドする。ガイド軸８１によりＺ方向にガイドされるキャリッジ７６は、キャリッジ移動機構７７の駆動力を受けて、上下方向（Ｚ方向）に移動させられる。キャリッジ移動機構７７は、たとえば、ボールねじとこれを回転させるモーター等により構成することができる。ピンホルダー７５は、キャリッジ７６に固定されている。したがって、ピンホルダー７５およびピンホルダー７５に保持される第１転写ピン３３は、キャリッジ７６と一体となって上下方向に移動する。

第１フラックス転写機構２８には、キャリッジ移動機構７７の駆動量、すなわち、キャリッジ７６の移動量を測定するロータリーエンコーダー７８が備えられている。第１転写ピン３３、ピンホルダー７５、およびキャリッジ７６は、一体となって移動する。したがって、ロータリーエンコーダー７８により測定されるキャリッジ７６の移動量は、第１転写ピン３３およびピンホルダー７５の移動量である。

第２フラックス転写機構２９は、第１フラックス転写機構２８と同じ構成なので、第１フラックス転写機構２８と同じ符号を付し、説明を省略する。ただし、第２転写ピン３４は、径小のボールＢ１と径大のボールＢ２とで、フラックスＦの転写面積が異なる場合には、直径を変更する。転写面積が同一の場合には、第１転写ピン３３と第２転写ピン３４は、同じものを使用できる。

図３（Ｂ）は、第１転写ピン３３が、フラックスＦに接触している状態を表している。すなわち、第１転写ピン３３にフラックスＦを供給する状態を表している。第２転写ピン３４は、移動させていない（図３（Ａ）と同じ待機位置にある）ので、説明を省略する。次いで、第１転写ピン３３へフラックスＦを転写する動作を説明する。

第１転写ピン３３は、キャリッジ移動機構７７によって下方に移動させられ、フラックスＦに接触し、所定量のフラックスＦを第１転写ピン３３に供給する。図３（Ｂ）に示す第１フラックス転写機構２８において、二点鎖線で表すキャリッジ７６は、待機位置を示し、実線で表すキャリッジ７６は、フラックスＦの供給状態を表している。図示は省略するが、フラックスＦが供給された第１転写ピン３３は、キャリッジ移動機構７７によって、上方に移動する。フラックス供給トレイ６５は、各トレイＸ移動機構４５およびフラックス供給トレイＹ移動機構４６を動作させることによってステージ２の移動の妨げにならない待機位置に移動させられる。次いで、ステージ２（ワークＷ）のフラックスＦの転写位置を、第１転写ピン３３の延長線状に移動させる。そして、第１転写ピン３３が、ワークＷの電極１１２（図６参照）に接触するまで降下させることで、転写対象位置にフラックスＦを転写することができる。その後、第１転写ピン３３を待機位置まで移動させるが、転写対象位置が複数存在する場合には、フラックスＦの第１転写ピン３３への供給から転写までの動作を繰り返す。フラックスＦの転写後、ボール再搭載または余剰ボール除去動作に移行する。第２転写ピン３４の動作も第１転写ピン３３と同様な動作で、第１転写ピン３３とは異なる転写対象位置（たとえば、径大のボールＢ２の再搭載位置）へのフラックスＦの転写を行う。

（ボール搭載部５の構成）
続いて、ボール搭載部５の構成について図４を参照しながら説明する。なお、ボール搭載部５のボール検査リペア装置１における配置などは、図１および図２を参照する。

図４は、ボール搭載部５の構成を示す正面図であり、（Ａ）は第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８が、ボール供給トレイ６６から上方に離れた待機位置にある状態を示し、（Ｂ）は、第２ボール搭載ノズル３８が、径大のボールＢ２を吸引している状態を表している。図４に示すように、ボール搭載部５は、第１ボール搭載機構３５および第２ボール搭載機構３６を有している。第１ボール搭載機構３５と第２ボール搭載機構３６は、それぞれ第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８を単独にＺ方向に移動可能としているが、構成は同じなので、代表して第１ボール搭載機構３５を説明する。

第１ボール搭載機構３５は、第１ボール搭載ノズル３７を取り付けたり、取り外したりできるノズルホルダー８５と、ノズルホルダー８５が取り付けられるキャリッジ８６と、キャリッジ８６をＺ方向に移動させるキャリッジ移動機構８７を有している。キャリッジ移動機構８７は、キャリッジ８６のＺ方向（Ｚ１−Ｚ２）の移動量（つまり、第１ボール搭載ノズル３７の移動量）を測定する手段であるロータリーエンコーダー８８を有している。ロータリーエンコーダー８８は、キャリッジ移動機構８７の駆動源となる不図示のサーボモーターの回転量を測定する。この回転量に基づきキャリッジ８６の移動量を測定することになる。

ノズルホルダー８５は、第１ボール搭載ノズル３７を保持する不図示のチャック部を有している。第１ボール搭載ノズル３７は、このチャック部によって取り付けたり、取り外したりできるようになっている。また、このチャック部は、ノズルホルダー８５に対して上下方向（Ｚ１−Ｚ２方向）に移動可能となっている。すなわち、第１ボール搭載ノズル３７は、ノズルホルダー８５に対して上下方向に移動可能に保持されていることになる。したがって、第１ボール搭載ノズル３７に上方（Ｚ２方向）に向けて移動力が作用したときに、第１ボール搭載ノズル３７は上方に移動する。第１ボール搭載ノズル３７に上方への移動力が作用していないときは、チャック部は下端位置（ガイド部によるガイド範囲の下端）に配置され、第１ボール搭載ノズル３７に上方への移動力が作用したときに、チャック部は第１ボール搭載ノズル３７と共に上方に移動する。移動力としては、バネや空気圧による付勢力を利用してもよい。

ノズルホルダー８５には、チャック部を規定値よりも上方に移動させないようにロックするロック機構８９が備えられている。このロック機構８９は、チャック部の進路内に、たとえば、プランジャを電磁ソレノイドなどにより進退させることで、プランジャが進出するときにチャック部の上方への移動を阻止するようになっている。このロック機構８９を作動させることで、第１ボール搭載ノズル３７に上方に向けた付勢力などの移動力が作用する場合でも、第１ボール搭載ノズル３７を上方に移動させないようにすることができる。

第１ボール搭載機構３５には、移動位置測定手段としての位置測定センサー９０が備えられている。第１ボール搭載ノズル３７に対して上方へ向けて付勢力などの移動力が作用し、第１ボール搭載ノズル３７がノズルホルダー８５に対して上方に移動したときの位置を移動位置とする。位置測定センサー９０は、第１ボール搭載ノズル３７の移動位置を測定することができる。位置測定センサー９０としては、たとえば、渦電流センサーを用いる。渦電流センサーの他、エンコーダー、静電容量センサー等を用いることもできる。

キャリッジ８６は、ガイド軸９１を介して支持支柱３０（図１，２参照）に取り付けられている。ガイド軸９１は、キャリッジ８６を、Ｘ−Ｙ方向（左右前後方向）には移動しないように、Ｚ方向（上下方向）に移動可能にガイドする。ガイド軸９１によりＺ方向にガイドされるキャリッジ８６は、キャリッジ移動機構８７の駆動力を受けて、上下方向（Ｚ方向）に移動させられる。キャリッジ移動機構８７は、たとえば、ボールねじとこれを回転させるモーター等により構成することができる。ノズルホルダー８５は、キャリッジ８６に固定されている。したがって、ノズルホルダー８５およびノズルホルダー８５に保持される第１ボール搭載ノズル３７は、キャリッジ８６と一体となって上下方向に移動する。

第１ボール搭載機構３５には、キャリッジ移動機構８７の駆動量、すなわち、キャリッジ８６の移動量を測定するロータリーエンコーダー８８が備えられている。第１ボール搭載ノズル３７、ノズルホルダー８５およびキャリッジ８６は、一体となって移動する。したがって、ロータリーエンコーダー８８により測定されるキャリッジ８６の移動量は、第１ボール搭載ノズル３７およびノズルホルダー８５の移動量である。図４に示す例では、第１ボール搭載ノズル３７は、径小のボールＢ１を吸着するノズル径を有する。

第２ボール搭載機構３６は、第１ボール搭載機構３５と同じ構成なので、第１ボール搭載機構３５と同じ符号を付し、説明を省略する。ただし、第２ボール搭載ノズル３８は、径大のボールＢ２を吸着可能なノズル径を有している。ボールＢ１とボールＢ２が同じ直径の場合は、当然同じボール搭載ノズルを使用することができる。

図４（Ｂ）は、第２ボール搭載ノズル３８が、１個のボールＢ２を吸着している状態を表している。第１ボール搭載ノズル３７は、移動させていない（図４（Ａ）と同じ待機位置にある）ので、説明を省略する。次いで、第２ボール搭載ノズル３８が、ボールＢ２を吸着する動作を説明する。なお、ボール搭載部５の下方には、平面四角形のボール供給トレイ６６が配設され、ボール供給トレイ６６には、径小のボールＢ１を貯留する第１ボールケース部６９と、径大のボールＢ２を貯留する第２ボールケース部７０が配置されている。第１ボールケース部６９は、第１ボール搭載ノズル３７の下方延長線上に配置され、第２ボールケース部７０は、第２ボール搭載ノズル３８の下方延長線に配置される。なお、ボール供給トレイ６６は、２つに分割し、各ボール搭載ノズル用としてもよい。また、その形状は、平面丸形としてもよい。

図４（Ｂ）に示すように、第２ボール搭載ノズル３８は、キャリッジ移動機構８７によって下方に移動させられ、ボールＢ２を吸着する。第１ボール搭載ノズル３７および第２ボール搭載ノズル３８は、たとえば、吸引ポンプ（不図示）に接続され、いわゆる真空吸着式を採用している。真空吸着式の第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８は、その先端から空気を吸い込むことにより、ボールＢ１またはボールＢ２を吸着することが可能となる。第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８は、それぞれのエアーフローを検出することにより、第１ボール搭載ノズル３７および第２ボール搭載ノズル３８の先端にボールＢ１またはボールＢ２が有るか無いかを判断することができる。なお、第１ボールケース部６９は、第１ボール搭載ノズル３７の先端が挿通可能な円形の孔９２を有し、第２ボールケース部７０は、第２ボール搭載ノズル３８の先端が挿通可能な円形の孔９３を有している。孔９２は、径小のボールＢ１の１個が通過可能な大きさで、同時に複数個は通過できないようになっている。孔９３は、径大のボールＢ２の１個が通過可能な大きさで、同時に複数個は通過できないようになっている。

第１ボール搭載ノズル３７および第２ボール搭載ノズル３８は、各々ボールＢ１とボールＢ２の直径に対応したノズル径を有する。図４（Ｂ）に示す第２ボール搭載機構３６において、二点鎖線で表されたキャリッジ８６は、動作前の待機位置を示し、実線で表すキャリッジ８６は、ボール吸着後の保持位置を表している。図示は省略するが、ボールＢ２を吸着した第２ボール搭載ノズル３８は、キャリッジ移動機構８７によって、上方に移動する。ボール供給トレイ６６は、不図示のボール供給トレイ移動機構を動作させることによってステージ２の移動の妨げにならない位置に移動させられる。次いで、ステージ２（ワークＷ）のボール再搭載位置を、第２ボール搭載ノズル３８の延長線状に移動させる。そして、第２ボール搭載ノズル３８が、少なくともワークＷのボール再搭載対象位置のフラックスＦに接触するまで降下させ、ボール吸着を解除することで、ボール再搭載位置にボールＢ２を再搭載することができる。その後、第２ボール搭載ノズル３８を待機位置まで移動させるが、ボール再搭載対象位置が複数存在する場合には、第２ボール搭載ノズル３８がボールＢ２の吸着からボール再搭載までの動作を繰り返す。第１ボール搭載ノズル３７の動作も第２ボール搭載ノズル３８と同様な動作で、第２ボール搭載ノズル３８とは異なるボール再搭載対象位置（たとえば、径小のボールＢ１の再搭載位置）へのボールＢ１の再搭載を行う。

（余剰ボール除去部６の構成）
続いて、余剰ボール除去部６の構成について図５を参照しながら説明する。なお、余剰ボール除去部６のボール検査リペア装置１における配置などは、図１および図２を参照する。

図５は、余剰ボール除去部６の構成を示す正面図であり、（Ａ）は第１余剰ボール除去ノズル４１および第２余剰ボール除去ノズル４２が、各々第１余剰ボールケース６７および第２余剰ボールケース６８から上方（Ｚ２方向）に離れた待機位置にある状態を示し、（Ｂ）は、第２余剰ボール除去ノズル４２が、吸着した径大のボールＢ２を第２余剰ボールケース６８に入れる様子を表す図である。図５に示すように、余剰ボール除去部６は、第１ボール除去機構３９および第２ボール搭載機構４０を有している。第１ボール除去機構３９および第２ボール除去機構４０は、第１余剰ボール除去ノズル４１と第２ボール除去ノズル４２を、それぞれ単独にＺ方向（Ｚ１−Ｚ２）に移動可能としているが、構成は同じなので、代表して第１ボール除去機構３９を説明する。

第１ボール除去機構３９は、第１余剰ボール除去ノズル４１を取り付けたり、取り外したりできるノズルホルダー９５と、ノズルホルダー９５が取り付けられるキャリッジ９６と、キャリッジ９６を上下方向（Ｚ１−Ｚ２方向）に移動させるキャリッジ移動機構９７を有している。キャリッジ移動機構９７は、キャリッジ９６の上下方向の移動量（つまり、第１余剰ボール除去ノズル４１の上下方向の移動量）を測定する手段であるロータリーエンコーダー９８を有している。ロータリーエンコーダー９８は、キャリッジ移動機構９７の駆動源となる不図示のサーボモーターの回転量を測定する。この回転量に基づきキャリッジ９６の移動量を測定することになる。

ノズルホルダー９５は、第１余剰ボール除去ノズル４１を保持する不図示のチャック部を有している。第１余剰ボール除去ノズル４１は、このチャック部によって取り付けたり、取り外したりできるようになっている。また、このチャック部は、ノズルホルダー９５に対して上下方向に移動可能となっている。すなわち、第１余剰ボール除去ノズル４１は、ノズルホルダー９５に対して上下方向に移動可能に保持されていることになる。したがって、第１余剰ボール除去ノズル４１に上方（Ｚ２方向）に向けて移動力が作用したときに、第１余剰ボール除去ノズル４１は上方に移動することができる。第１余剰ボール除去ノズル４１に上方への移動力が作用していないとき、チャック部は下端位置（ガイド部によるガイド範囲の下端）に配置され、第１ボール搭載ノズル４１に上方への移動力が作用したときに、チャック部は第１余剰ボール除去ノズル４１と共に上方に移動する。移動力としては、バネや空気圧による付勢力を利用してもよい。

ノズルホルダー９５には、チャック部を規定値よりも上方に移動させないようにロックするロック機構９９が備えられている。このロック機構９９は、チャック部の進路内に、たとえば、プランジャを電磁ソレノイドなどにより進退させることで、プランジャが進出するときにチャック部の上方への移動を阻止するようになっている。このロック機構９９を作動させることで、第１余剰ボール除去ノズル４１に上方に向けた付勢力などの移動力が作用する場合でも、第１余剰ボール除去ノズル４１を上方に移動させないようにすることができる。

第１ボール除去機構３９には、移動位置測定手段としての位置測定センサー１００が備えられている。第１余剰ボール除去ノズル４１に対して上方へ向けて付勢力などの移動力が作用し、第１余剰ボール除去ノズル４１がノズルホルダー９５に対して上方に移動したときの位置を移動位置とする。位置測定センサー１００は、第１余剰ボール除去ノズル４１の移動位置を測定することができる。位置測定センサー１００としては、たとえば、渦電流センサーを用いる。渦電流センサーの他、エンコーダー、静電容量センサー等を用いることもできる。

キャリッジ９６は、ガイド軸１０１を介して支持支柱３０（図１，２参照）に取り付けられている。ガイド軸１０１は、キャリッジ９６を、Ｘ−Ｙ方向（左右前後方向）には移動しないように、Ｚ方向（上下方向）に移動可能にガイドする。ガイド軸１０１によりＺ方向にガイドされるキャリッジ９６は、キャリッジ移動機構９７の駆動力を受けて、上下方向（Ｚ方向）に移動させられる。キャリッジ移動機構９７は、たとえば、ボールねじとこれを回転させるモーター等により構成することができる。ノズルホルダー９５は、キャリッジ９６に固定されている。したがって、ノズルホルダー９５およびここに保持される第１余剰ボール除去ノズル４１は、キャリッジ９６と一体となって移動する。

第１ボール除去機構３９には、キャリッジ移動機構９７の駆動量、すなわち、キャリッジ９６の移動量を測定するロータリーエンコーダー９８が備えられている。第１余剰ボール除去ノズル４１、ノズルホルダー９５およびキャリッジ９６は、一体となって移動する。したがって、ロータリーエンコーダー９８により測定されるキャリッジ９６の移動量は、第１余剰ボール除去ノズル４１およびノズルホルダー９５の移動量である。図５に示す例では、第１余剰ボール除去ノズル４１は、径小のボールＢ１を吸着するノズル径を有する。

第２ボール除去機構４０は、第１ボール除去機構３９と同じ構成なので、第１ボール除去機構３９と同じ符号を付し、説明を省略する。ただし、第２余剰ボール除去ノズル４２は、径大のボールＢ２を吸着可能なノズル径を有している。ボールＢ１とボールＢ２が同じ直径の場合は、同じ余剰ボール除去ノズルを使用することができる。

図５（Ｂ）は、第２余剰ボール除去ノズル４２が、１個の径大のボールＢ２の吸着を解除している状態を表している。なお、図５（Ｂ）で示す第２ボール除去機構４０では、二点鎖線で表されたキャリッジ９６は、動作前の待機位置を示し、実線で表すキャリッジ９６は、吸着した径大のボールＢ２を第２ボールケース６８に入れたときの状態を表している。第１余剰ボール除去ノズル４１は、移動させていない（図５（Ａ）と同じ待機位置にある）ので、説明を省略する。第１余剰ボール除去ノズル４１の下方延長線上には、第１ボールケース６７が配置され、第２余剰ボール除去ノズル４２の下方延長線上には、第２ボールケース６８が配置される。第１ボールケース６７には、径小のボールＢ１を入れ、第２ボールケース６８には、径大のボールＢ２を入れるようになっている。ただし、第１ボールケース６７と第２ボールケース６８を一つにして、径小のボールＢ１と径大のボールＢ２を混在させるようにしてもよい。

第１余剰ボール除去ノズル４１と第２余剰ボール除去ノズル４２は、それぞれキャリッジ移動機構９７によって下方に独立して移動し、それぞれが、ワークＷに搭載されたボールＢ１またはボールＢ２を吸着する。第１余剰ボール除去ノズル４１および第２余剰ボール除去ノズル４２は、たとえば、吸引ポンプ（不図示）に接続され、いわゆる真空吸着式を採用可能である。真空吸着式の第１余剰ボール除去ノズル４１と第２余剰ボール除去ノズル４２は、その先端から空気を吸い込むことにより、ワークＷに誤搭載された余剰ボールを吸着し、径小のボールＢ１と径大のボールＢ２ごとに、第１ボールケース６９または第２ボールケース７０に入れ、ワークＷから除去する。吸着していたボールＢ１またはボールＢ２を離す方法としては、真空吸引を停止するか、または逆に圧空を噴射するなどがある。第１余剰ボール搭載ノズル４１および第２余剰ボール除去ノズル４２は、各々ボールＢ１とボールＢ２の直径に対応したノズル径を有している。

なお、第１ボールケース６７および第２ボールケース６８には、各々ボールＢ１またはボールＢ２各々を入れる孔１０２，１０３が設けられ、この孔１０２，１０３の下方側には、ボール除去ブラシ１０４が配設されている。ボール除去ブラシ１０４は、第１余剰ボール除去ノズル４１および第２余剰ボール除去ノズル４２の先端にボールＢ１またはボールＢ２が貼り付いてしまった場合に、刷き落とす機能を有している。

真空吸着式の第１余剰ボール除去ノズル４１と第２余剰ボール除去ノズル４２は、それぞれのエアーフローを検出することにより、第１余剰ボール除去ノズル４１および第２余剰ボール除去ノズル４２の先端にボールＢ１またはボールＢ２が有るか無いかを判断することができる。

次いで、ワークＷに搭載された余剰ボールの除去動作について説明する。なお、径大のボールＢ２を例にして説明する。まず、ワークＷ上に誤搭載されたボールＢ（余分に搭載された余剰ボールまたは所定位置からずれて搭載されたボール）の位置が、第２余剰ボール除去ノズル４２の下方延長線上に来るようにワークＷを移動させる。そして、第２余剰ボール除去ノズル４２を下方に移動させて、余剰ボールを吸引吸着し、第２余剰ボール除去ノズル４２を待機位置まで上昇させる。次いで、ステージ２を待機位置まで移動させると共に、第２余剰ボールケース６８を、第２余剰ボール除去ノズル４２の下方延長線上まで移動させる。そして、余剰ボールを第２余剰ボールケース６８に入れ、その後、第２余剰ボール除去ノズル４２および第２余剰ボールケース６８を待機位置まで移動させる。余剰ボールが複数または複数位置に存在する場合には、第２ボール搭載ノズル４２がボールＢの吸着から第２余剰ボールケース６８に入れるまでの動作を繰り返す。第１余剰ボール除去ノズル４１の動作も第２余剰ボール除去ノズル４２と同様な動作で、第２ボール搭載ノズル４２とは異なるボール除去載対象位置のボール除去を行う。ボール除去後、ボール再搭載位置にフラックスＦの転写を行い、ボールの再搭載を行う。

（キャリブレーション部５０の構成）
続いて、キャリブレーション部５０の構成について図６を参照しながら説明する。キャリブレーション部５０は、第１転写ピン３３と第２転写ピン３４、第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８および第１余剰ボール除去ノズル４１と第２余剰ボール除去ノズル４２のＸ−Ｙ方向（平面方向）の位置情報およびＺ方向（Ｚ１−Ｚ２）の位置情報を取得し、制御部（不図示）に出力する機能を有する。

図６は、キャリブレーション部５０を示す斜視図である。キャリブレーション部５０は、Ｘ−Ｙ位置検出ユニットであるＸ−Ｙキャブレーション用カメラ１０８（以降、「キャブレーション用カメラ１０８」と記載する。）と、Ｚ位置検出ユニットであるＺキャリブレーション用センサー１０９（以降、「キャリブレーション用センサー１０９」と記載する。）を備える。キャリブレーション用カメラ１０８とキャリブレーション用センサー１０９は、第２ベースフレーム１０上の搬送テーブル１１（図１参照）に固定されている。キャリブレーション用センサー１０９は、キャリブレーション用カメラ１０８のＹ２方向に近接されて取り付けられている。

キャリブレーション用カメラ１０８は、第１転写ピン３３と第２転写ピン３４、第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８および第１余剰ボール除去ノズル４１と第２余剰ボール除去ノズル４２それぞれの先端位置を下方から（Ｚ１方向からＺ２方向に向けて）撮像することで、Ｘ−Ｙ方向の位置を検出することができる。このＸ−Ｙ方向の位置は、制御部が有するＸ−Ｙ方向位置を基準にして検出することができるようになっている。

キャリブレーション用センサー１０９は、Ｚ方向の変位センサー１１０を備えていて、第１転写ピン３３と第２転写ピン３４、第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８および第１余剰ボール除去ノズル４１と第２余剰ボール除去ノズル４２の先端が変位センサー１１０に接触した位置を検出し、この検出値と、フラックス転写部４、ボール搭載部５および余剰ボール除去部６のそれぞれが備える各ロータリーエンコーダー７８，８８，９８が待機位置から変位センサー１１０に接触するまでの移動量検出値からＺ方向の位置を検出することができるようになっている。なお、ステージ２上に載置されたワークＷは、図６に示すように、四角形の電極１１２が格子状に配置された基板を例示している。なお、ワークＷの対角に配置される電極１１２Ａと電極１１２Ｂは、ワーク位置認識用カメラ６０によるワークＷの位置を認識するための基準マークとして位置づけられる。

（ベリファイ用カメラ５９の構成）
続いて、ベリファイ用カメラ５９について図７を参照しながら説明する。ベリファイ用カメラ５９は、検査部７（第１検査用カメラ７Ａと第２検査用カメラ７Ｂ）で、ボール搭載ミスが有ったか、無かったかを検査した結果を目視で再確認する機能を有する。

図７は、ベリファイ用カメラ５９を模式的に示す斜視図である。ベリファイ用カメラ５９は、撮像部１１５と、撮像部１１５から延出された鏡筒部１１６と、鏡筒部１１６の先端部に取り付けられたレンズ鏡筒部１１７を有する。レンズ鏡筒部１１７から入射した光は、鏡筒部１１６を通って撮像部１１５に送られ、ワークＷ上を撮像するようになっている。撮像されたワークＷの画像は、不図示の制御部に出力され、制御部に備えられたモニターなどで、ワーク上のボール搭載状態を観察することが可能となっている。なお、図２に示すように、ベリファイ用カメラ５９は、ステージ２よりも上方（Ｚ２方向側）で、第１フレーム３１に取り付けられ、ステージ２が下方（Ｚ２方向側）を通過できる配置となっている。また、レンズ鏡筒部１１７の下方には、中央に円柱状の空間部１１９を有するリング状のベリファイ用カメラ用照明装置１１８が設けられていて、ベリファイ用カメラ５９の下方に移動してきたワークＷを照らす。したがって、ベリファイ用カメラ照明装置１１８は、高さ方向で、レンズ鏡筒部１１７とステージ２の間に配置される。

（ボール検査リペア装置１によるリペア方法）
次に、ボール検査リペア装置１によるリペア方法について図面を参照しながら説明する。まず、図８を参照しながらボール搭載ミスの主たる例をあげ説明する。

図８は、ボール搭載ミスの主たる例を示す断面図であり、（Ａ）〜（Ｄ）に搭載ミスの例を表している。なお、径小のボールＢ１と径大のボールＢ２では、リペア方法に相違がないので、両者を総称してボールＢとして説明する。図８（Ａ）で示す状態は、搭載ミスが無い正常状態を表していて、電極１１２上の所定位置にボールＢが１個搭載されている状態である。この状態では、リペア作業は必要ない。ボールＢは、電極１１２にフラックスＦで貼着されている。この状態では、ボールＢは固定されてはおらず、移動させたり、除去させたりできる状態である。なお、電極１１２は、たとえば、図６で示したように格子状に配列されているものとする。

図８（Ｂ）で示す状態は、複数の電極１１２のうち、１か所の電極１１２Ａ上にボールＢが搭載されていない状態である。この状態を「ミッシングボール状態」と記載する。電極１１２Ａ上にはフラックスＦが最初の状態のまま残っている。ミッシングボールの場合には、電極１１２Ａ上にボールＢを搭載する必要がある。このようなボール搭載を再搭載と呼ぶこととする。

図８（Ｃ）に示す状態は、複数の電極１１２のうち、電極１１２Ｂ位置からボールＢの位置がずれて搭載された状態である。この状態を「シフトボール状態」と記載する。シフトボール状態の場合には、ずれてしまったボールＢを除去し、電極１１２Ｂ上にボールＢを再搭載する必要がある。また、図８（Ｄ）で示す状態は、電極１１２Ｃの配置位置に２個のボールＢが搭載されている状態である。余分なボールＢを余剰ボールＢ０と記載し、この状態を「余剰ボール状態」と記載する。余剰ボール状態の場合には、余剰ボールＢ０とボールＢを除去し、ボールＢを再搭載する必要がある。図８（Ｄ）の状態のときには、余剰ボールＢ０のみを除去し、ボールＢを再搭載しない処理としてもよい。続いて、図９を参照しながらリペア方法について説明する。

図９は、ボール検査リペア装置１によるリペア方法の主要工程を示すフロー説明図である。ここでは、ボールＢ（径小のボールＢ１または径大のボールＢ２を総称する）をワークＷに再搭載する場合を説明する。図９に示すように、まず、ボールＢが搭載されているワークＷを第１搬送アーム駆動機構１６によって第１移載位置１５からステージ２の位置まで搬送し、ステージ２に搭載すると共に、ステージ２の上面に吸着させる（ステップＳ１）。次いで、ステージ２をＸ１方向に移動しながら、ワーク位置認識カメラ６０で、ワークＷの位置を認識する（ステップＳ２）。ワークＷの位置を認識したところで、第１検査用カメラ７Ａと第２検査用カメラ７Ｂによって、ワークＷのボール搭載ミスの検査を開始する（ステップＳ３）。たとえば、第１検査用カメラ７Ａで径小のボールＢ１を検出し、第２検査用カメラ７Ｂで径大のボールＢ２を検出する。この検出は、まず径小のボールＢ１を第１検査用カメラ７Ａで検出し、その後、径大のボールＢ２を第２検査用カメラ７Ｂで検出することで行う。しかし、ワークＷの区域ごとに検査用カメラ７Ａ，７Ｂを交互または所定順序で使用するようにしてもよい。

なお、フラックス転写部４の第１転写ピン３３と第２転写ピン３４、ボール搭載部５の第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８および余剰ボール除去部６の第１余剰ボール除去ノズル４１と第２ボール除去ノズル４２の平面方向（Ｘ−Ｙ平面）の位置と高さ方向（Ｚ方向）位置は、キャリブレーション部５０によってステップＳ２の前に正確に較正されている。したがって、ワークＷの移動量と、第１転写ピン３３と第２転写ピン３４、第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８およびの第１余剰ボール除去ノズル４１と第２ボール除去ノズル４２の平面方向（Ｘ−Ｙ平面）の位置と高さ方向（Ｚ方向）位置は、正確な相関が取れているので、ステップＳ２のワーク位置を認識する工程を省略することが可能である。

本来搭載すべきボールＢ１およびボールＢ２の配置位置（基準配置位置とする）は、制御部のメモリに記録されている。したがって、第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂで検出したボールＢ１およびボールＢ２の配置位置を基準配置位置と比較すれば、メモリに記録されている基準配置位置との差からボール搭載ミスが有るか、無いかを判定することができる。そして、ボール搭載ミス検査の１サイクルが終わったところで、ボール搭載ミス検査を終了する（ステップＳ４）。ボール搭載ミス検査結果は、制御部に出力される。続いて、ベリファイ用カメラ５９を用いて、ボール搭載ミスが有るか、無いかを目視で再確認する（ステップＳ５）。この目視再確認は、ボール搭載ミス検査が適切に行われたかを作業者が確認するもので、ボール搭載ミス検査が終了した時点で（ステップＳ４）都度行ってもよく、所定の間隔をおいて行ってもよい。また、ボール搭載ミスが検出されたときに行ってもよく、または省略することも可能である。目視再確認（ステップＳ５）を省略する場合は、ステップＳ４からステップＳ６に移行する。

次に、ボール搭載ミスが有るか、無いかを判定する（ステップＳ６）。この判定は、第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂによるボール搭載ミス検査の結果と、目視による再確認の結果の一致をみて行われる。ボール搭載ミスの判定としては、ボール搭載ミスがない正常状態（図８（Ａ）の状態）、ミッシングボール状態（図８（Ｂ）の状態）、シフトボール状態（図８（Ｃ）の状態）、または余剰ボール状態（図８（Ｄ）の状態）であるかを判別する。さらに、ボール搭載ミスがある電極位置と、上記ボール搭載ミスの種別を判別し、制御部に出力する。制御部は、これらの情報を記録する。制御部には、どの電極にどのボール（径小のボールＢ１および径大のボールＢ２）が配置されるかが記録されている。

ボール搭載ミスが無いと判定された場合には、第２搬送アーム駆動機構１８によってワークＷを第２移載位置１７に搬送し、ワークＷの吸着を解除して終了する（ステップＳ１０）。

ボール搭載ミス有りと判定された場合は、ボール搭載の不良個所を修正する（ステップＳ７）。不良個所の修正は、上記検査結果と制御部に記録されている修正プログラムに基づいて行われる。ミッシングボール状態では、ボールＢが搭載されていない電極１１２Ａ（図８（Ｂ）参照）に、第１転写ピン３３または第２転写ピン３４によってフラックスＦを転写後、第１ボール搭載ノズル３７または第２ボール搭載ノズル３８でボールＢの再搭載を実行する。径小のボールＢ１を再搭載するか、径大のボールＢ２を再搭載するかは、制御部の命令によって実行する。

シフトボール状態の場合では、位置ずれのあるボールＢを第１余剰ボール除去ノズル４１または第２余剰ボール除去ノズル４２で除去した後、ボールＢが搭載されるべき電極１１２Ｂ（図８（Ｃ）参照）に、第１転写ピン３３または第２転写ピン３４によってフラックスＦを転写後、第１ボール搭載ノズル３７または第２ボール搭載ノズル３８でボールＢの再搭載を実行する。径小のボールＢ１を再搭載するか、径大のボールＢ２を再搭載するかは、制御部の命令によって実行する。

余剰ボール状態では、まず、余分な余剰ボールＢ０を第１余剰ボール除去ノズル４１または第２余剰ボール除去ノズル４２で除去する。しかし、図８（Ｄ）に示すように、余剰ボールＢ０に隣り合うボールＢは、フラックスＦで余剰ボールＢ０が貼りついていて、ボールＢ０の除去と共に移動してしまうことがあるため、一旦、ボールＢと余剰ボールＢ０共に除去することが好ましい。次いで、ボールＢが除去された電極１１２Ｃ（図８（Ｄ）参照）に、第１転写ピン３３または第２転写ピン３４によってフラックスＦを転写後、第１ボール搭載ノズル３７または第２ボール搭載ノズル３８でボールＢの再搭載を実行する。径小のボールＢ１を再搭載するか、径大のボールＢ２を再搭載するかは、制御部の命令によって実行する。

不良個所の修正作業（ステップＳ７）が終了した後、再度、第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂでボール再搭載検査を行い（ステップＳ８）、ボール搭載ミスの修正ができたか判定する（ステップＳ９）。修正ができている（ＹＥＳ）と判定した場合には、第２搬送アーム駆動機構１８によってワークＷを第２移載位置１７に搬送し、ワークＷの吸着を解除して終了する（ステップＳ１０）。修正できていなければ（ＮＯ）、目視再確認工程（ステップＳ５）に移行し、ステップＳ５以降の工程を繰り返す。なお、このボール搭載ミスに関わる修正プログラムは、搭載ミスの種類や搭載ミスの発生数など品質基準（または検査基準）に基づいて実行される。

電気的な接続を得るための複数のボールを、一つのワークに搭載（マウント）するボール搭載装置は、ワークのボール搭載位置に対応する位置に微小開口が形成されたマスク板をワークに重ね、ボールをマスク板の微小開口に通過させることで、ワークの所定のボール搭載位置にボールを搭載するものである。しかし、このようなボール搭載方法では、ボールの搭載ミスが発生することがある。特許文献１に記載のボール検査リペア装置は、直径が１種類のボールに対応可能ではあるが、直径が複数種類のボールには対応できず、ボールの直径ごとに検査をしたり、装置の構成を替えたりしなければならなかった。

しかし、以上説明したボール検査リペア装置１は、ワークＷに設けられた複数の電極１１２に搭載された複数の異なる種類のボールＢごとのボール搭載状態を検査するように、取り付けピッチが変更可能な複数の検査用カメラを備えた検査部７を有している。また、ボール検査リペア装置１は、検査部７の検査結果に基づき、複数の電極のうち、ボールＢの搭載ミスがあった位置にフラックスＦを転写するフラックス転写部４と、ボールＢの搭載ミスがあった位置にボールＢを再搭載するボール搭載部５を有している。さらに、ボール検査リペア装置１は、余分に搭載された余剰ボールＢ０を除去する余剰ボール除去部６を有している。

本実施の形態に記載のボール検査リペア装置１は、多数の径小のボールＢ１および径大のボールＢ２が一つのワークＷに搭載された例であり、ボールＢ１およびボールＢ２に対応して第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂを有している。しかし、このようなボール検査リペア装置１は、直径が複数種類のボールＢが搭載される一つのワークＷ上のボール搭載状態を、ボールＢの種類に対応して検査可能な複数の検査用カメラで検査することが可能である。したがって、検査の１工程で複数種類のボール搭載状態の検査が可能となり、ボールＢ搭載後の検査を短時間に行うことができ、複数の検査用カメラの検査結果の基づき、ボールＢのリペアを効率的に実行できる。第１検査用カメラ７Ａと第２検査用カメラ７Ｂは、取り付けピッチが変更できるようになっているので、ワークＷに搭載されたボールＢ１の群と径大のボールＢ２の群の間隔に合わせて配置でき、第１検査用カメラ７ＡでボールＢ１を、第２検査用カメラ７ＢでボールＢ２というように異なる種類のボールごとに検査できるので、検査を短時間に行うことができる。

また、フラックス転写部４は、各々が独立してフラックスＦを転写できる複数のフラックス転写ピンを有し、ボール搭載部５は、直径が異なる複数種類のボールごとに、各々が独立してボールＢを搭載できる複数種類のボール搭載ノズルを有している。

一つのワークＷに搭載されるボールＢが、径小のボールＢ１と径大のボールＢ２の２種類のときには、フラックス転写部４は、第１転写ピン３３および第２転写ピン３４を有し、ボール搭載部５は、第１ボール搭載ノズル３７および第２ボール搭載ノズル３８を有している。したがって、第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂによって得られた検査結果に基づき、ボールＢ１およびボールＢ２ごとにボール再搭載を行うことが可能となる。すなわち、一つのワークＷに、直径が複数種類のボールＢが搭載される場合において、ボールＢの直径ごとに転写ピンやボール搭載ノズルを設置しておけば、ボールＢの再搭載を効率的に行うことが可能となる。

また、余剰ボール除去部６は、直径が異なる複数種類のボールＢの直径ごとに、各々が独立してボールを吸引できる複数種類の余剰ボール除去ノズルを有している。なお、余剰ボール除去部６が除去するのは、シフトボール状態（図８（Ｃ）参照）や余剰ボール状態（図８（Ｄ）参照）の位置ずれのボールＢや余剰ボールＢ０などである。一つのワークＷに搭載されるボールＢが、径小のボールＢ１と径大のボールＢ２の２種類のときには、余剰ボール除去部６は、第１余剰ボール除去ノズル４１および第２余剰ボール除去部４２を有している。したがって、第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂによって得られた検査結果に基づき、直径が異なる２種類の余剰ボールの除去を効率的行うことが可能となる。すなわち、一つのワークＷに、直径が複数種類のボールＢが搭載される場合において、ボールＢの直径ごとに余剰ボール除去ノズルを設置しておけば、余剰ボールの除去を効率的に行うことができる。

また、ボール検査リペア装置１は、ワークＷを搭載するステージ２と一体となって移動すると共に、第１転写ピン３３と第２転写ピン、第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８および第１余剰ボール除去ノズル４１と第２余剰ボール除去ノズル４２の平面方向（Ｘ−Ｙ平面）および高さ方向（Ｚ１−Ｚ２）の位置を較正するキャリブレーション部５０を有する。キャリブレーション部５０は、キャリブレーション用カメラ１０８でＸ−Ｙ平面の位置を較正し、キャリブレーション用センサー１０９でＺ方向の位置を較正する。したがって、ステージ２（ワークＷ）に対する第１転写ピン３３と第２転写ピン、第１ボール搭載ノズル３７と第２ボール搭載ノズル３８および第１余剰ボール除去ノズル４１と第２余剰ボール除去ノズル４２を高精度で制御できるので、信頼性が高いフラックス転写、ボール再搭載および余剰ボール除去などのリペア動作を実現できる。

また、ボール検査リペア装置１は、複数種類のボールの搭載状態を目視で確認できるベリファイ用カメラ６０を有している。ベリファイ用カメラ５０は、第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７Ｂでボール搭載状態を検査した後、ボール搭載状態を目視で再確認するもので、検査結果の再確認によって、リペアの信頼性を高めることができる。

なお、本発明は前述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。前述した実施の形態では、第１移載位置１５方向から第２移載位置１７に向かって、フラックス転写部４、ボール搭載部５、余剰ボール除去部６の順に配列させているが、この配列順は限定されず、たとえば、余剰ボール除去部６、フラックス転写部４、ボール搭載部５というように配列させてもよい。

また、前述した実施の形態では、第１検査用カメラ７Ａおよび第２検査用カメラ７ＢをＹ方向に配列したが、配列方向は限定されず、たとえば、Ｘ方向に配列するようにしてもよい。また、ボールＢの種類が多数になるような場合には、フラックス転写部４を構成する複数の各転写ピン、ボール搭載部５の各ボール搭載ノズルおよび余剰ボール除去部６の各余剰ボール除去ノズルのいずれか、または全部をＸ方向とＹ方向の両方に群として配列するようにしてもよい。

また、フラックス転写部４は、第１転写ピン３３および第２転写ピン３４によって、フラックスＦを転写する方式を記載したが、ディスペンサー方式などにして、フラックスＦを適量吐出する方式としてもよい。

また、前述した実施の形態では、２種類のボールＢ１，Ｂ２に対して２台の検査用カメラ７Ａ，７Ｂを用意して、それぞれの検査用カメラに対し１種類のボールの搭載状態を検査するようにしたが、３種類のボールに対してそれぞれ専用に３台の検査用カメラを配置してもよい。また、３種類のボールに対して２台の検査用カメラを用意し、１台の検査用カメラは１種類のボール用とし、他のカメラは、他の２種類のボール用としてもよい。さらに、２種類のボールに２台の検査カメラを用意し、一方の検査用カメラは、ある１種類用とし、他方の検査用カメラは、２種類のボールを検査できるようにしてもよい。

また、前述した実施の形態では、第２検査用カメラ７ＢをカメラＹ移動機構５５によってＹ方向に移動して第１検査用カメラ７Ａとの距離（ピッチ）を変更できるようにしているが、第１検査用カメラ７Ａと第２検査用カメラ７ＢそれぞれをＹ方向に移動できるようにしてもよい。

さらに、前述の実施の形態では、ボールＢ１に対し、第１フラックス転写機構２８、第１ボール搭載機構３５および第１ボール除去機構３９を、ボールＢ２に対し、第２フラックス転写機構２９、第２ボール搭載機構３６および第２ボール除去機構４０を、それぞれ使用するようにいるが、フラックス転写部４、ボール搭載部５、余剰ボール除去部６のいずれか１つ、または複数の部分には、各１つの機構のみを配置するようにしてもよい。

また、本発明のボール検査リペア装置１は、リペア装置に限定されるものではなく、直径が異なる複数種類のボールＢを新規にワークＷの所定の位置に搭載するボール搭載装置としても適用できる。

１…ボール搭載リペア装置
２…ステージ
３…ステージ搬送機構
４…フラックス転写部
５…ボール搭載部
６…余剰ボール除去部
７…検査部
７Ａ…第１検査用カメラ
７Ｂ…第２検査用カメラ
２８…第１フラックス転写機構
２９…第２フラックス転写機構
３３…第１転写ピン
３４…第２転写ピン
３５…第１ボール搭載機構
３６…第２ボール搭載機構
３７…第１ボール搭載ノズル
３８…第２ボール搭載ノズル
３９…第１ボール除去機構
４０…第２ボール除去機構
４１…第１余剰ボール除去ノズル
４２…第２余剰ボール除去ノズル
４８…余剰ボールケース移動機構
５０…キャリブレーション部
５９…ベリファイ用カメラ
６０…ワーク位置認識カメラ
６５…フラックス供給トレイ
６６…ボール供給トレイ
６７…第１余剰ボールケース
６８…第２余剰ボールケース
６９…第１ボールケース部
７０…第２ボールケース部

Claims (5)

1. ワークに設けられた電極上に搭載された複数の異なる種類のボールごとのボール搭載状態を検査するように、取り付けピッチが変更可能な複数の検査用カメラを有する検査部と、
   前記検査部の検査結果に基づき、
   前記複数の電極のうち、前記ボールの搭載ミスがあった位置にフラックスを転写するフラックス転写部と、
   前記ボールの搭載ミスがあった位置に前記ボールを搭載するボール搭載部と、
   余分に搭載された余剰ボールを除去する余剰ボール除去部を有する、
   ことを特徴とするボール検査リペア装置。
2. 請求項１に記載のボール検査リペア装置において、
   前記フラックス転写部は、各々が独立して前記フラックスを転写できる複数のフラックス転写ピンを有し、
   前記ボール搭載部は、直径が異なる前記複数種類のボールごとに、各々が独立して前記ボールを搭載できる複数種類のボール搭載ノズルを有している、
   ことを特徴とするボール検査リペア装置。
3. 請求項１または請求項２に記載のボール検査リペア装置において、
   前記余剰ボール除去部は、直径が異なる複数種類のボールごとに、各々が独立してボールを吸引できる複数種類の余剰ボール除去ノズルを有している、
   ことを特徴とするボール検査リペア装置。
4. 請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のボール検査リペア装置において、
   前記ワークを搭載するステージと一体となって移動すると共に、前記フラックス転写ピン、前記ボール搭載ノズルおよび前記余剰ボール除去ノズルの平面方向および高さ方向の位置を較正するキャリブレーション部を有する、
   ことを特徴とするボール検査リペア装置。
5. 請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のボール検査リペア装置において、
   前記複数種類のボールの搭載状態を目視で確認できるベリファイ用カメラを有している、ことを特徴とするボール検査リペア装置。

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