KR20200099062A - 도전성 볼 검사 리페어 장치 - Google Patents

도전성 볼 검사 리페어 장치 Download PDF

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도모키 가와카미
다이스케 기타가와
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아스리트 에프에이 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 복수의 조명 기능을 얻을 수 있다. 본 발명은, 검사 장치(2)와, 리페어 장치(3)를 구비한다. 검사 장치(2)는, 메인 검사부(20)를 구비한다. 메인 검사부(20)는, 카메라(200)와, 렌즈(201)와, 조명 장치(41), (42), (43)를 가진다. 조명 장치(41), (42), (43)는, 메인 검사부(20)의 카메라(200) 및 렌즈(201)와, 공작물(W)과의 사이에, 연직 방향인 Z방향으로 3단 배치되어 있다. 3단의 조명 장치(41), (42), (43)는, 각각, 공작물(W)의 검사 개소(P) 및 그 주위를 조명한다. 이 결과, 본 발명은, 복수의 조명 기능을 얻을 수 있다.

Description

도전성 볼 검사 리페어 장치{CONDUCTIVE BALL INSPECTION AND REPAIR DEVICE}
본 발명은, 도전성 볼 검사 리페어 장치에 관한 것이다.
도전성 볼 검사 리페어 장치로서 이하의 특허문헌 1이 있다. 특허문헌 1의 볼 검사 리페어 장치는, 검사 장치와 리페어 장치를 구비한다. 검사 장치는, 카메라 및 조명 장치를 가지고, 공작물의 전극에 도전성 볼이 정상(正常)으로 실장(實裝)되어 있는지의 여부를 검사한다. 리페어 장치는, 검사 장치에 의해, 도전성 볼이 정상으로 실장되어 있지 않은 개소(箇所)를 검출한 경우에, 그 개소에 있어서 도전성 볼이 정상으로 실장되도록 수정(리페어)한다.
일본 공개특허 제2017-34175호 공보
그러나, 특허문헌 1의 볼 검사 리페어 장치는, 조명 장치를 카메라의 아래쪽에 일단(一段) 배치한 것이므로, 1개의 조명 기능밖에 얻을 수 없다.
본 발명이 해결하려고 하는 과제는, 복수의 조명 기능이 얻어지는, 도전성 볼 검사 리페어 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 도전성 볼 검사 리페어 장치는, 도전성 볼이 공작물의 전극에 정상으로 실장되어 있는지의 여부를 검사하는 메인 검사부를 가지는 검사 장치와, 메인 검사부에 의해, 도전성 볼이 정상으로 실장되어 있지 않은 개소를 검출한 경우에, 개소에 있어서 도전성 볼이 정상으로 실장되도록 수정하는 리페어부를 가지는 리페어 장치를 구비하고, 메인 검사부가, 카메라 및 렌즈와, 카메라 및 렌즈와 공작물과의 사이에 연직(沿直) 방향으로 복수 단(plurality step) 배치되어 있고, 공작물을 조명하는 조명 장치를 가지고, 복수 단의 조명 장치가, 각각, 중앙 부분에 공간이 설치되어 있는 환형(環形)의 프레임 부재와, 프레임 부재에 복수 개 설치되어 있는 발광 소자군을 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 도전성 볼 검사 리페어 장치에 있어서, 발광 소자군이, 프레임 부재의 환형을 따라서 환형으로 배치되어 있고, 렌즈의 중심과 프레임 부재의 중심이, 동일선 상에 위치하는 것이 바람직하다.
본 발명의 도전성 볼 검사 리페어 장치에 있어서, 복수 단의 조명 장치 중, 공작물에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 조명 장치의 발광 소자군이, 복수의 조(組)로 구성되어 있고, 복수의 조의 발광 소자군이 각각 발하는 광의 파장이, 조마다 상이하게 되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 도전성 볼 검사 리페어 장치에 있어서, 복수 단의 조명 장치 중, 공작물에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 조명 장치가, 발광 소자군에 있어서 발한 광을 입사하고, 또한 확산광으로서 공작물 측에 출사시키는 광 확산 부재를 가지는 것이 바람직하다.
본 발명의 도전성 볼 검사 리페어 장치에 있어서, 복수 단의 조명 장치 중, 공작물에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 조명 장치가, 주로, 도전성 볼을 조명하는 조명 장치인 것이 바람직하다.
본 발명의 도전성 볼 검사 리페어 장치에 있어서, 복수 단의 조명 장치 중, 공작물에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 조명 장치가, 발광 소자군에 있어서 발한 광을 입사하고, 또한 확산광으로서 공작물 측에 출사시키는 광 확산 부재를 가지고, 주로, 도전성 볼을 조명하는 조명 장치인 것이 바람직하다.
본 발명의 도전성 볼 검사 리페어 장치에 있어서, 복수 단의 조명 장치 중, 공작물에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 조명 장치의 발광 소자군이, 복수의 조로 구성되어 있고, 복수의 조의 발광 소자군이 각각 발하는 광의 파장이, 복수의 조마다 상이하게 되어 있고, 복수 단의 조명 장치 중, 공작물에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 조명 장치 이외의 조명 장치의 발광 소자군이 발하는 광의 파장이, 복수의 조의 발광 소자군이 발하는 광 중 가장 짧은 파장보다 긴 것이 바람직하다.
본 발명의 도전성 볼 검사 리페어 장치에 있어서, 공작물이, 배선이 형성되어 있는 기판으로서, 복수 단의 조명 장치 중, 공작물에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 조명 장치 이외의 조명 장치가, 주로, 공작물의 배선을 조명하는 조명 장치인 것이 바람직하다.
본 발명의 도전성 볼 검사 리페어 장치에 의하면, 복수의 조명 기능을 얻을 수 있다.
도 1은, 본 발명에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치의 실시형태를 나타낸 전체의 개략 평면도이다.
도 2는, 일부분을 나타낸 개략 정면도(도 1에서의 개략 II-II 선에서 본 도면)이다.
도 3은, 일부분을 나타낸 개략 종단면도(도 1에서의 개략 III-III선 단면도(斷面圖)이다.
도 4는, 3단의 조명 장치를 나타낸 확대 개략 종단면도이다.
도 5는, 검사 시에서의 광로를 나타낸 개념 설명도이다.
도 6은, 발광 소자군의 배치 상태를 나타낸 개략 저면도이다. 도 6의 (A)는, 청색 LED와 적색 LED를 주위 방향으로 교호적(交互的)으로 배치한 상태를 나타낸 개략 저면도이다. 도 6의 (B)는, 청색 LED와 적색 LED를 동심원 상에 배치한 상태를 나타낸 개략 저면도이다.
도 7은, 구리(Cu)의 분광 반사율을 나타내는 설명도(그래프)이다. 도 7 중의 세로축은, 반사율(%)이다. 도면 중의 가로축은, 파장(㎚)이다.
도 8은, 주석 합금(Sn 합금)의 분광 반사율을 나타내는 설명도(그래프)이다. 도 8 중의 세로축은, 반사율(%)이다. 도면 중의 가로축은, 파장(㎚)이다.
도 9는, 공작물 및 도전성 볼을 나타내는 개략 설명도이다. 도 9의 (A)는, 도전성 볼이 공작물의 전극에 정상으로 실장되어 있는 상태를 나타낸 개략 설명도이다. 도 9의 (B)는, 도전성 볼이 공작물의 전극에 정상으로 실장되어 있지 않은 상태로서, 도전성 볼이 공작물의 전극에 탑재되어 있지 않은 상태 즉 도전성 볼이 없는 상태(믹싱 보울 상태)를 나타낸 개략 설명도이다. 도 9의 (C)는, 도전성 볼이 공작물의 전극에 정상으로 실장되어 있지 않은 상태로서, 도전성 볼이 공작물의 전극으로부터 벗어난 위치에 위치하고 있는 상태(시프트 볼 상태)를 나타낸 개략 설명도이다. 도 9의 (D)는, 도전성 볼이 공작물의 전극에 정상으로 실장되어 있지 않은 상태로서, 여분의 도전성 볼이 공작물에 탑재되어 있는 상태(잉여 볼 상태)를 나타낸 개략 설명도이다.
도 10은, 공정을 나타낸 플로우 설명도이다.
이하, 본 발명에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치의 실시형태(실시예)의 일례를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 이 명세서에 있어서, 좌, 우, 전, 후, 상, 하는, 오퍼레이터가 본 발명에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치를 보았을 때의 좌, 우, 전, 후, 상, 하이다. 그리고, 도면에 있어서는, 개략도이므로, 주된 구성 부품을 도시하고, 주된 구성 부품 이외의 구성 부품의 도시를 생략한다.
[실시형태의 구성의 설명]
이하, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치의 구성에 대하여 설명한다. 그리고, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치에 대하여는, 특허문헌 1을 참조해도 된다.
도 1 내지 도 3 중에 있어서, 부호 「1」은, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치이다. 또한, 도 1 내지 도 4에 있어서, 부호 「X1」는 「좌」, 「X2」는 「우」, 「Y1」는 「전(바로 앞) 측」, 「Y2」는 「후(안쪽, 방향) 측」, 「Z1」는 「상측」, 「Z2」는 「하측」이다.
여기서, 수평 방향인 「X방향」은 「X1-X2 방향, 좌우 방향」, 동일하게 수평 방향인 「Y방향」은 「Y1-Y2 방향, 전후 방향」, 연직 방향인 「Z방향」은 「Z1-Z2 방향, 상하 방향」이다. X방향과 Y방향과 Z방향은, 각각, 서로 직교한다.
[공작물(W)의 설명]
도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 공작물(W)은, 이 예에서는, 기판이다. 이 기판은, 절연판에 도전성(導電性)의 배선이 형성되어 있는 것이다. 절연판은, 유리 섬유가 함유되어 있는 합성 수지로 구성되어 있다. 도전성의 배선은, 주로, 구리로 구성되어 있다.
여기서, 기판의 제조 과정에 있어서, 절연판에 배선을 형성할 때의 열처리에 의해, 절연판이 열팽창 수축한다. 이로써, 설계 상의 배선 패턴과 제조된 배선 패턴과의 사이에 있어서, 치수 오차가 생긴다. 그러므로, 공작물(W)이 기판인 경우에는, 검사의 전회의 공정에서, 제조된 배선의 패턴을 실제로 확인하여 등록하는 공정이 필요하다.
이 공정은, 후술하는 메인 검사부(20)에 있어서, 기판에 부여되어 있는 타겟 마크나 얼라인먼트 마크 등(도시하지 않음)을 인식하여 행해진다. 이 공정은, 도 10 중의 공정 S3에 나타낸 「공작물(W)의 검사 패턴 등록」이다.
이 예의 공작물(W)은, 원판 형상을 이룬다. 그리고, 공작물(W)로서는, 이 예의 원판 형상 이외에, 직사각형 형상을 이루는 것이 있다. 그리고, 공작물(W)의 일면에는, 복수 개의 사각형의 집적 회로 칩(도시하지 않음)이 형성되고, 또한 종횡으로 배치되어 있다. 집적 회로 칩의 개수는, 공작물(W)의 직경(직경)에 기초하여 결정된다. 공작물(W)의 직경은, 예를 들면, 50㎜로부터 300㎜이다. 또한, 공작물(W)의 두께는, 예를 들면, 0.5㎜로부터 1㎜이다. 한편, 집적 회로 칩의 1변의 길이는, 예를 들면, 30㎜이다.
원판 형상을 이루는 공작물(W)은, 작업 공정 전에, 방향을 맞출 필요가 있다. 따라서, 공작물(W)의 원주 에지에는, 방향을 맞출 때의 표적으로 되는 직선부(도시하지 않음) 또는 절결부(切缺部; cut-out portion)(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 또한, 공작물(W)은, 집적 회로 칩의 구성 및 개수가 회로 설계마다 상이하게 되어 있는 것이다. 따라서, 공작물(W)에는, 회로 설계마다 공작물(W)을 인식하기 위한 인식 마크(도시하지 않음)가 형성되어 있다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 공작물(W)(복수 개의 집적 회로 칩)에는, 도전성 볼 실장 장치(도시하지 않음)에 의해, 도전성 볼(B)이 실장되어 있다. 즉, 공작물(W)의 일면에는, 패드 상태 또는 랜드 상태의 전극(E)이 설치되어 있다. 이 전극(E)에는, 도전성 볼(B)이, 플럭스(F)의 접착을 통하여, 실장되어 있다.
도전성 볼(B)의 직경은, 예를 들면, 30㎛ 내지 70㎛이다. 도전성 볼(B)은, 도전성의 부재로 이루어진다. 예를 들면, 납땜, 금 또는 은 등의 금속 볼, 또는 수지 볼 또는 세라믹 볼의 표면에 도전성 도금이 행해진 볼 등이다.
[도전성 볼(B)의 실장 상태의 설명]
도 9는, 도전성 볼 실장 장치가 공작물(W)에 도전성 볼(B)을 실장한 상태를 나타낸다. 즉, 도 9의 (A)는, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있는 상태(정상 볼 상태)를 나타낸다. 도 9의 (B)는, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있지 않은 상태로서, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 탑재되어 있지 않은 상태 즉 도전성 볼(B)이 없는 상태(믹싱 보울 상태)를 나타낸다. 도 9의 (C)는, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있지 않은 상태로서, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)으로부터 벗어난 위치에 위치하고 있는 상태(시프트 볼 상태)를 나타낸다. 도 9의 (D)는, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있지 않은 상태로서, 여분의 도전성 볼(B1)이 공작물(W)에 탑재되어 있는 상태(잉여 볼 상태)를 나타낸다
이와 같이, 도전성 볼 실장 장치가 공작물(W)에 도전성 볼(B)을 실장했을 때, 도 9의 (A)에 나타낸 바와 같이, 모든 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있다는 것은, 반드시 한정되지 않는다. 즉, 도 9의 (B), (C), (D)에 나타낸 바와 같이, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있지 않은 경우가 있다. 따라서, 도전성 볼 실장 장치가 공작물(W)에 도전성 볼(B)을 실장한 후에는, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있는지의 여부를 검사할 필요가 있다. 또한, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있지 않은 경우에는, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되도록 수정할 필요가 있다.
여기서, 도 9의 (A)에 나타낸 바와 같이, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있는 개소를, 이하, 「정상 개소」라고 한다. 또한, 도 9의 (B), (C), (D)에 나타낸 바와 같이, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있지 않은 개소를, 이하, 「불량 개소」라고 한다. 또한, 정상 개소 및 불량 개소를, 이하, 「개소」라고 총칭한다. 개소는, 1개의 전극(E), 1개의 도전성 볼(B), 및 이들의 주위를 나타낸다
[도전성 볼 검사 리페어 장치(1)의 설명]
도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 도전성 볼 실장 장치가 공작물(W)에 도전성 볼(B)을 실장한 후에, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있는지의 여부를 검사한다. 또한, 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있지 않은 경우에, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되도록 수정한다.
도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 검사 장치(2)와, 리페어 장치(3)와, 촬상(撮像) 장치(도시하지 않음)와, 표시 장치(5)를 구비한다. 또한, 도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 캘리브레이션부(calibration part)(6)와, 스테이지 반송부(搬送部)(7)와, 검사부 반송부(20Z), (21Z)와, 리페어부 반송부(30Z), (31Z), (32Z)와, 제어부(도시하지 않음)를 구비한다. 또한, 도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 가대(mount)(10)와, 지지 부재(11)와, 로드 포트(load port)(12)와, 프리얼라이너(pre-aligner)(13)와, 스테이지(14)와, 공작물 반송부로서의 반송 로봇(15)과, 공작물 인식 정보 취득부(16)를 구비한다.
그리고, 오퍼레이터(도시하지 않음)는, 도 1 중에 있어서, 가대(10)의 전방측 Y1이면서 또한 우측 X2 가까이의 위치에 위치하고 있다. 또한, 오퍼레이터는, 표시 장치(5)와 대향하고 있다.
가대(10)는, 바닥면 또는 설치면(도시하지 않음) 상에 설치된다. 가대(10)에는, 도시하지 않지만, 작업 공간을 형성하는 벽이나 천정(ceiling)이 설치되어 있다. 여기서, 작업 공간은, 도 1에 있어서, 가대(10)의 4변에 의해 에워싸인 공간으로 한다. 작업 공간 내부에는, 검사 장치(2), 리페어 장치(3), 촬상 장치, 표시 장치(5), 캘리브레이션부(6), 스테이지 반송부(7), 검사부 반송부(20Z), (21Z), 리페어부 반송부(30Z), (31Z), (32Z), 검출부, 구동부, 지지 부재(11), 프리얼라이너(13), 스테이지(14), 반송 로봇(15) 및 공작물 인식 정보 취득부(16)가 배치되어 있다. 또한, 작업 공간 외부에는, 조작부 및 로드 포트(12)가 배치되어 있다.
도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 지지 부재(11)는, 가대(10)의 상면의 우측 및 후방측에 배치되어 있다. 지지 부재(11)는, 2개의 지주(支柱; column)(110)와, 2개의 암(111)과, 1개의 빔(beam)(112)으로 이루어진다. 2개의 지주(110)의 하단(下端)은, 가대(10)의 상면에 좌우에 각각 고정되어 있고, 2개의 지주(110)는, Z방향으로 설치되어 있다. 2개의 암(111)의 후단(後端)은, 지주(110)의 상단(上端)에 고정되어 있고, 2개의 암(111)은, Y방향으로 설치되어 있다. 1개의 빔(112)의 좌우 양단은, 2개의 암(111)의 전단(前端)에 고정되어 있고, 1개의 빔(112)은, X방향으로 설치되어 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 로드 포트(12)는, 가대(10)의 좌측의 외측에 배치되어 있다. 로드 포트(12)의 테이블면(상면)에는, 반송 용기(17)(이른바, FOUP)가 탑재된다. 반송 용기(17)는, 도시하지 않은 천정 모노 레일 또는 바닥면 주행 로봇 등에 의해 로드 포트(12)에, 또는 로드 포트(12)로부터 반송된다. 반송 용기(17)는, 공작물(W)을 밀폐 상태로 저장한다. 반송 용기(17)에는, 공작물(W)을 출입시키기 위한 도어가 설치되어 있다. 반송 용기(17)의 도어는, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 제어되는 구동부에 의해 개폐된다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 프리얼라이너(13)는, 가대(10)의 상면의 좌측 및 후방측에 배치되어 있다. 프리얼라이너(13)는, 검사 장치(2)에 의한 검사의 전에, 공작물(W)의 중심 및 방향을, 공작물(W)의 직선부 또는 절결부의 마크에 기초하여 맞춘다. 프리얼라이너(13)는, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 구동한다. 그리고, 프리얼라이너(13)는, 공작물(W)이 직사각형 형상의 기판의 경우, 구비할 필요가 없다.
도 1 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 스테이지(14)는, 스테이지 반송부(7)에 의해, X방향 및 Y방향으로 반송된다. 스테이지(14)의 상면에는, 공작물(W)이 탑재된다. 그리고, 도 1, 도 2에 나타낸 스테이지(14)의 위치는, 초기 위치로 한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 로봇(15)은, 가대(10)의 상면의 좌측 및 프리얼라이너(13)의 전방측에 배치되어 있다. 반송 로봇(15)은, 공작물(W)을, 반송 용기(17)와 프리얼라이너(13)와의 사이, 및 프리얼라이너(13)와 스테이지(14)와의 사이에 있어서 반송한다. 그리고, 작업 공간 외부 측의 반송 용기(17)와 작업 공간 내부측의 프리얼라이너(13)와의 사이의 벽에는, 공작물(W)을 출입시키기 위한 도어가 설치되어 있다. 반송 로봇(15)은, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 구동한다. 벽의 도어는, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 제어되는 구동부에 의해 개폐된다.
도 1, 도 2에 나타낸 바와 같이, 공작물 인식 정보 취득부(16)는, 이 예에서는, 카메라(160)와, 렌즈(161)와, 조명구(162)로 이루어진다. 공작물 인식 정보 취득부(16)는, 리페어 장치(3)의 플럭스 전사부(轉寫部)(30)에 설치되어 있다. 그리고, 공작물 인식 정보 취득부(16)는, 플럭스 전사부(30) 이외의 개소에 설치해도 된다.
여기서, 공작물 인식 정보 취득부(16)에 의해 취득되는 위치 정보는, 렌즈(161)의 하단(선단)의 중심[렌즈(161)의 광축]의 위치 정보이다.
공작물 인식 정보 취득부(16)는, 프리얼라이너(13)에 의한 공작물(W)의 중심 및 방향을 맞춘 후에, 스테이지(14) 상의 공작물(W)의 인식 마크로부터, 공작물(W)의 인식 정보를 취득한다. 그리고, 공작물 인식 정보 취득부(16)는, 취득한 공작물 인식 정보를, 검출 신호로서 제어부에 출력한다. 이로써, 공작물(W)은, 제어부를 통하여, 어떠한 회로 설계의 공작물(W)인지가 인식된다. 그리고, 이 공작물 인식 정보 취득부(16)는, 전술한 타겟 마크나 얼라인먼트 마크 등의 인식을 행해도 된다.
[스테이지 반송부(7)의 설명]
도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 스테이지 반송부(7)는, 가대(10)의 상면으로서, 지지 부재(11)의 전방측 또한 반송 로봇(15)의 우측에 배치되어 있다. 스테이지 반송부(7)는, 스테이지(14)를 수평 방향으로서 서로 직교하는 X방향과 Y방향으로, 각각 반송한다. 스테이지 반송부(7)는, X방향 고정부(X방향 가이드부)(70X)와, X방향 이동부(71X)와, X방향 구동부와, Y방향 고정부(Y방향 가이드부)(70Y)와, Y방향 이동부(71Y)와, Y방향 구동부로 이루어진다.
X방향 고정부(70X)는, 가대(10)의 상면에 X방향으로 고정되어 있다. X방향 이동부(71X)는, X방향 고정부(70X)에 X방향으로 이동 가능하게 장착되어 있다. X방향 구동부는, 예를 들면, 서보 모터로서, X방향 이동부(71X)를 X방향 고정부(70X)의 길이 방향의 X방향으로 이동시킨다. X방향 구동부는, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 구동한다.
Y방향 고정부(70Y)는, X방향 이동부(71X)의 상면에 Y방향으로 고정되어 있다. Y방향 이동부(71)는, Y방향 고정부(70)에 Y방향으로 이동 가능하게 장착되어 있다. Y방향 구동부는, 예를 들면, 서보 모터로서, Y방향 이동부(71Y)를 Y방향 고정부(70Y)의 길이 방향의 Y방향으로 이동시킨다. Y방향 구동부는, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 구동한다. 그리고, 도 1 내지 도 3에 있어서, X방향 이동부(71X)와 Y방향 고정부(70Y)는, 일체로 도시되어 있다.
[검사부 반송부(20Z), (21Z)의 설명]
도 2에 나타낸 바와 같이, 검사부 반송부(20Z), (21Z)는, 검사 장치(2)의 검사부로서의 메인 검사부(20), 베리파이용 검사부(21)(이하, 「검사부의 각 부(20), (21)」라고 함)을, 각각, X방향 및 Y방향에 대하여 직교하는 연직 방향인 Z방향으로 반송한다.
메인 검사부(20)의 검사부 반송부(20Z)는, Z방향 고정부(Z방향 가이드부)와, Z방향 이동부와, Z방향 구동부(200Z)로 이루어진다. Z방향 고정부는, 빔(112)의 전면(前面)의 좌측에 고정되어 있다. Z방향 이동부는, Z방향 고정부에 Z방향으로 이동 가능하게 장착되어 있다. Z방향 구동부(200Z)는, 예를 들면, 서보 모터로서, Z방향 이동부를 Z방향 고정부의 길이 방향의 Z방향으로 이동시킨다. Z방향 구동부(200Z)는, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 구동한다.
마찬가지로, 베리파이용 검사부(21)의 검사부 반송부(21Z)는, Z방향 고정부(Z방향 가이드부)와, Z방향 이동부와, Z방향 구동부(210Z)로 이루어진다. Z방향 고정부는, 빔(112)의 전면으로서 메인 검사부(20)의 검사부 반송부(20Z)의 Z방향 고정부의 좌측에 고정되어 있다. Z방향 이동부는, Z방향 고정부에 Z방향으로 이동 가능하게 장착되어 있다. Z방향 구동부(210Z)는, 예를 들면, 서보 모터로서, Z방향 이동부를 Z방향 고정부의 길이 방향의 Z방향으로 이동시킨다. Z방향 구동부(210Z)는, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 구동한다.
[리페어부 반송부(30Z), (31Z), (32Z)의 설명]
도 2, 도 3에 나타낸 바와 같이, 리페어부 반송부(30Z), (31Z), (32Z)는, 리페어 장치(3)의 리페어부로서의 플럭스 전사부30, 도전성 볼 탑재부31, 잉여 도전성 볼 제거부(32)(이하, 「리페어부의 각 부(30), (31), (32)」라고 함)를, 각각, X방향 및 Y방향에 대하여 직교하는 연직 방향인 Z방향으로 반송한다.
플럭스 전사부(30)의 리페어부 반송부(30Z)는, Z방향 고정부(Z방향 가이드부)와, Z방향 이동부와, Z방향 구동부(300Z)로 이루어진다. Z방향 고정부는, 빔(112)의 전면의 중간에 고정되어 있다. Z방향 이동부는, Z방향 고정부에 Z방향으로 이동 가능하게 장착되어 있다. Z방향 구동부(300Z)는, 예를 들면, 서보 모터로서, Z방향 이동부를 Z방향 고정부의 길이 방향의 Z방향으로 이동시킨다. Z방향 구동부(300Z)는, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 구동한다.
마찬가지로, 도전성 볼 탑재부(31)의 리페어부 반송부(31Z)는, Z방향 고정부(Z방향 가이드부)와, Z방향 이동부와, Z방향 구동부(310Z)로 이루어진다. Z방향 고정부는, 빔(112)의 전면(前面)으로서 플럭스 전사부(30)의 리페어부 반송부(30Z)의 Z방향 고정부의 우측에 고정되어 있다. Z방향 이동부는, Z방향 고정부에 Z방향으로 이동 가능하게 장착되어 있다. Z방향 구동부(310Z)는, 예를 들면, 서보 모터로서, Z방향 이동부를 Z방향 고정부의 길이 방향의 Z방향으로 이동시킨다. Z방향 구동부(310Z)는, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 구동한다.
또한, 마찬가지로, 잉여 도전성 볼 제거부(32)의 리페어부 반송부(32Z)는, Z방향 고정부(Z방향 가이드부)와, Z방향 이동부와, Z방향 구동부(320Z)로 이루어진다. Z방향 고정부는, 빔(112)의 전면으로서 도전성 볼 탑재부(31)의 리페어부 반송부(31Z)의 Z방향 고정부의 우측에 고정되어 있다. Z방향 이동부는, Z방향 고정부에 Z방향으로 이동 가능하게 장착되어 있다. Z방향 구동부(320Z)는, 예를 들면, 서보 모터로서, Z방향 이동부를 Z방향 고정부의 길이 방향의 Z방향으로 이동시킨다. Z방향 구동부(320Z)는, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 구동한다.
[캘리브레이션부(6)의 설명]
캘리브레이션부(6)는, 리페어부의 각 부(30), (31), (32)의, X방향의 위치 정보, Y방향의 위치 정보 및 Z방향의 위치 정보(이하, 「X, Y, Z방향의 위치 정보」라고 함)를 취득한다. 리페어부의 각 부(30), (31), (32)의 X, Y, Z방향의 위치 정보는, 플럭스 전사부(30)의 플럭스 전사(轉寫) 핀(300)의 선단(하단), 도전성 볼 탑재부(31)의 도전성 볼 탑재 노즐(310)의 선단(하단), 잉여 도전성 볼 제거부(32)의 잉여 도전성 볼 제거 노즐(320)의 선단(하단)의 X, Y, Z방향의 위치 정보이다. 그리고, 캘리브레이션부(6)가 취득한 위치 정보에 의해, 공작물(W)의 위치가 교정된다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 캘리브레이션부(6)는, 스테이지(14)에 고정되어 있다. 캘리브레이션부(6)는, X-Y 위치 정보 취득부(도시하지 않음)와, Z 위치 정보 취득부(도시하지 않음)를 구비한다.
X-Y 위치 정보 취득부는, 리페어부의 각 부(30), (31), (32)의 X방향의 위치 정보 및 Y방향의 위치 정보를 취득하여, 검출 신호로서 제어부에 출력한다. X-Y 위치 정보 취득부는, 이 예에서는, 카메라이다.
Z 위치 정보 취득부는, 리페어부의 각 부(30), (31), (32)의 Z방향의 위치 정보를 취득하여, 검출 신호로서 제어부에 출력한다. Z 위치 정보 취득부는, 이 예에서는, 접촉 센서 또는 접촉식 변위(變位) 센서이다.
또한, 마찬가지로, 캘리브레이션부(6)는, 검사부의 각 부(20), (21)의 X, Y, Z방향의 위치 정보와, 공작물 인식 정보 취득부(16)의 X, Y, Z방향의 위치 정보를 취득하여, 검출 신호로서 제어부에 출력한다.
[검사 장치(2)의 설명]
검사 장치(2)는, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있는지의 여부를 검사한다. 도 1, 도 2에 나타낸 바와 같이, 검사 장치(2)는, 검사부로서의 메인 검사부(20)와 베리파이용 검사부(21)를 구비한다.
메인 검사부(20)는, 검사부 반송부(20Z)의 Z방향 이동부에 설치되어 있다. 베리파이용 검사부(21)는, 검사부 반송부(21Z)의 Z방향 이동부에 설치되어 있다. 이 결과, 메인 검사부(20)와 베리파이용 검사부(21)는, X방향으로 좌우에 배치되어 있다.
메인 검사부(20)는, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있는지의 여부를 검사한다. 메인 검사부(20)는, 이 예에서는, 카메라(200)와, 렌즈(201)와, 조명 장치(41), (42), (43)를 가진다. 메인 검사부(20)의 카메라(200)의 시야[화각(畵角)]는, 공작물(W) 상의 1개 또는 복수 개의 집적 회로 칩을 촬상할 수 있는 범위이다. 또한, 메인 검사부(20)의 렌즈(201)를, 줌 기능을 가지는 것으로 함으로써, 메인 검사부(20)의 카메라(200)의 배율을 가변(可變)시켜, 촬상 범위를 임의로 가변할 수 있다.
여기서, 메인 검사부(20)에 의해 취득되는 X, Y, Z방향의 위치 정보는, 렌즈(201)의 하단(선단)의 중심(렌즈(201)의 광축)의 위치 정보이다.
메인 검사부(20)는, 카메라(200)에 의해 공작물(W) 상의 복수 개의 집적 회로 칩을 1개씩 촬상하여, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있는지의 여부의 정보를 취득한다. 메인 검사부(20)는, 취득한 정보를, 검출 신호로서, 제어부에 출력한다. 그리고, 메인 검사부(20)가 취득한 정보에 의해, 도전성 볼(B)이 공작물(W)의 전극(E)에 정상으로 실장되어 있는지의 여부가 제어부에 있어서 검사된다.
베리파이용 검사부(21)는, 메인 검사부(20)에 의해, 불량 개소를 검출한 경우에, 불량 개소를 확인한다. 베리파이용 검사부(21)는, 이 예에서는, 카메라(210)와, 렌즈(211)와, 조명구(212)로 이루어진다. 베리파이용 검사부(21)의 카메라(210)의 시야(화각)는, 좁아도, 1개의 개소를 촬상할 수 있는 범위이다. 따라서, 베리파이용 검사부(21)의 렌즈(211)의 배율은, 메인 검사부(20)의 렌즈(201)의 배율보다 크다.
여기서, 베리파이용 검사부(21)의 캘리브레이션부(6)에 의해 취득되는 X, Y, Z방향의 위치 정보는, 렌즈(211)의 하단(선단)의 중심[렌즈(211)의 광축]의 위치 정보이다.
베리파이용 검사부(21)는, 카메라(210)에 의해 메인 검사부(20)에 의해 검출된 불량 개소를 촬상하여, 리페어 장치(3)에 의한 수정이 필요한지의 여부의 정보를 취득한다. 베리파이용 검사부(21)는, 취득한 정보를 검출 신호로서 제어부에 출력한다. 그리고, 베리파이용 검사부(21)가 취득한 정보는, 화상으로서 표시 장치(5)에 표시된다. 오퍼레이터가, 표시 장치(5)에 표시된 화상을 육안 관찰함으로써, 리페어 장치(3)에 의한 수정을 필요로 하는지의 여부가 확인된다.
[조명 장치(41), (42), (43)의 설명]
도 3에 나타낸 바와 같이, 조명 장치(41), (42), (43)는, 메인 검사부(20)의 카메라(200) 및 렌즈(201)와, 공작물(W)과의 사이에, 연직 방향인 Z방향으로 복수 단, 이 예에서는, 3단 배치되어 있다. 3단의 조명 장치(41), (42), (43)는, 각각, 공작물(W)의 검사 개소(P) 및 그 주위를 조명한다.
그리고, 공작물(W)은, 스테이지(14)의 상면에 탑재되어 있다. 이 스테이지(14)는, 스테이지 반송부(7)에 의해, X방향 및 Y방향으로 반송된다. 이 결과, 공작물(W)은, 스테이지 반송부(7) 및 스테이지(14)를 통하여, 메인 검사부(20)의 아래쪽의 소정 위치에 위치한다. 즉, 공작물(W)의 검사 개소(P)는, 메인 검사부(20)의 렌즈(201)의 광축(C) 상에 위치한다.
그리고, 3단의 조명 장치(41), (42), (43) 중, 공작물(W)에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 조명 장치(41)를, 제1 조명 장치(최하위 조명 장치)(41)라고 한다. 또한, 3단의 조명 장치(41), (42), (43) 중, 제1 조명 장치(41)의 상측 Z1에 배치되어 있는 조명 장치(42)를, 제2 조명 장치[중위(中位) 조명 장치](42)라고 한다. 또한, 3단의 조명 장치(41), (42), (43) 중, 공작물(W)로부터 가장 이격된 위치에 배치되어 있는 조명 장치(43)를, 제3 조명 장치(최상위 조명 장치)(43)라고 한다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 3단의 조명 장치(41), (42), (43)는, 각각, 프레임 부재(410), (420), (430)와, 발광 소자군(411B), (411R), (421), (431)을 가진다. 프레임 부재(410), (420), (430)의 평면 형상(상측 Z1으로부터 하측 Z2을 본 형상)은, 환형, 이 예에서는, 원형 환형[또는 다각형(多角形) 환형]을 이룬다. 원형 환형의 프레임 부재(410), (420), (430)의 중앙 부분에는, 공간(412), (422), (432)이 설치되어 있다.
발광 소자군(411B), (411R), (421), (431)은, 프레임 부재(410), (420), (430)의 원형 환형을 따라서 원형 환형으로 배치되어 있다. 렌즈(201)의 중심과 프레임 부재(410), (420), (430)의 중심은, 렌즈(201)의 광축(C)인 동일선(C) 상에 위치한다.
[제1 조명 장치(41)의 설명]
이하, 제1 조명 장치(41)에 대하여 설명한다. 프레임 부재(410)는, 고정 부재(40)의 하단부에 고정되어 있다. 고정 부재(40)의 상단부는, 지지 부재(11)의 빔(112)에 고정되어 있다. 프레임 부재(410)의 하면에는, 발광 소자군(411B), (411R)이, 2중의 원형 환형으로 배치되어 있다.
발광 소자군(411B), (411R)은, 복수의 조, 이 예에서는, 2조로 구성되어 있다. 2조의 발광 소자군(411B), (411R)이 각각 발하는 광 L1의 파장은, 조마다 상이하게 되어 있다. 이 예에서는, 제1 조의 발광 소자군(411B)이 발하는 광 L1의 파장은, 청색광의 파장의 약 470㎚이다. 제2 조의 발광 소자군(411R)이 발하는 광 L1의 파장은, 적색광의 파장의 약 630㎚이다.
즉, 제1 조의 발광 소자군(411B)은, 청색광을 발하는 발광 소자, 이 예에서는, 청색 LED의 군으로 이루어진다. 제2 조의 발광 소자군(411R)은, 적색광을 발하는 발광 소자, 이 예에서는, 적색 LED의 군으로 이루어진다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 청색 LED의 군으로 이루어지는 제1 조의 발광 소자군(411B)와, 적색 LED의 군으로 이루어지는 제2 조의 발광 소자군(411R)은, 2중의 원형 환형으로 배치되어 있다. 그리고, 도 6에 있어서, 제1 조의 발광 소자군(청색 LED의 군)(411B)은, 흰색의 작은 원형의 도형에 의해 나타내고, 제2 조의 발광 소자군(적색 LED의 군)(411R)은, 흰색의 작은 원형 내에 ＋를 삽입한 도형에 의해 나타낸다.
그리고, 도 6의 (A)에 나타낸 바와 같이, 청색 LED와 적색 LED는, 주위 방향으로 교호적으로 각각 배치되어 있다. 또한, 도 6의 (B)에 나타낸 바와 같이, 청색 LED와 적색 LED는, 내측의 원형 환형과 외측의 원형 환형에 각각 배치되어 있다. 그리고, 청색 LED와 적색 LED와의 배치는, 도시한 예 이외의 배치라도 된다.
제1 조명 장치(41)는, 광 확산 부재(413)를 구비한다. 광 확산 부재(413)는, 프레임 부재(410) 및 발광 소자군(411B), (411R)의 하측 Z2에 설치되어 있다. 광 확산 부재(413)는, 발광 소자군(411B), (411R)에 대향하는 입사면과, 검사 개소(P)에 대향하는 출사면을 가진다. 광 확산 부재(413)는, 발광 소자군(411B), (411R)에 있어서 발한 광 L1을 입사면으로부터 입사하고, 또한 확산광 L10으로서 출사면으로부터 공작물(W) 측 즉 검사 개소(P) 측에 출사시킨다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 조명 장치(41)는, 주로, 도전성 볼(B)을 조명한다. 즉, 제1 조명 장치(41)의 광 확산 부재(413)로부터 출사된 확산광 L10는, 공작물(W)의 일면[도전성 볼(B)이 실장되어 있는 면]에 대한 입사각 θ이 크다. 그러므로, 확산광 L10는, 도전성 볼(B)의 구면(球面)의 표면에 입사하면(닿으면), 작은 반사각으로, 반사광 L11으로서 반사한다. 도전성 볼(B)로부터의 반사광 L11는, 메인 검사부(20)의 렌즈(201)에 입사한다.
한편, 확산광 L10는, 공작물(W)의 일면에 입사하면(닿으면), 큰 반사각으로, 반사광 L12로서 반사한다. 공작물(W)로부터의 반사광 L12는, 메인 검사부(20)의 렌즈(201)에 입사하지 않고, 렌즈(201)의 시야 밖으로 진행된다. 이로써, 제1 조명 장치(41)는, 주로, 도전성 볼(B)을 조명한다.
[제1 조명 장치(41)의 청색광과 적색광과의 구분의 설명]
이하, 제1 조명 장치(41)의 청색광과 적색광과의 구분에 대하여, 도 7, 도 8을 참조하여, 설명한다. 그리고, 도 7은, 구리(Cu)의 분광 반사율을 나타내는 설명도(그래프)이다. 도 7로부터 명백한 바와 같이, 구리(Cu)는, 파장이 긴 광일수록, 반사율이 높다
도 8은, 주석 합금(Sn 합금)의 분광 반사율을 나타내는 설명도(그래프)이다. 도 8로부터 명백한 바와 같이, 주석 합금(Sn 합금)은, 구리(Cu)와 마찬가지로, 파장이 긴 광일수록, 반사율이 높다. 그리고, 도 8에 있어서, 초기의 주석 합금은, 검은 색의 작은 다이아몬드형에 의해 나타낸다. 또한, 표면 산화품, 즉 표면이 녹슨 주석 합금은, 검은 색의 작은 사각형에 의해 나타낸다.
공작물(W) 즉 기판의 배선이나 전극(E)는, 주로, 구리(Cu)로 구성되어 있다. 이로써, 메인 검사부(20)에 있어서, 공작물(W)의 배선 패턴이나 전극(E)를, 고정밀도로 검사(측정)하기 위해서는, 파장이 긴 적색광을 사용하는 것이 바람직하다.
또한, 도전성 볼(B)은, 이 예에서는, 납땜으로 구성되어 있다. 납땜은, 주로, 주석과 납과의 합금, 즉 주석 합금(Sn 합금)으로 이루어진다. 이로써, 메인 검사부(20)에 있어서, 도전성 볼(B)을, 고정밀도로 검사(측정)하기 위해서는, 파장이 긴 적색광을 사용하는 것이 바람직하다. 특히, 표면이 산화한 도전성 볼(B)의 경우, 파장이 긴 적색광을 사용하는 것이 바람직하다.
여기서, 광학적 분해능은, 파장이 짧은 광일수록 작고(높고), 고정밀도의 검사(측정)를 할 수 있다. 이로써, 메인 검사부(20)에 있어서, 도전성 볼(B)을, 고정밀도로 검사(측정)하기 위해서는, 파장이 짧은 청색광을 사용하는 것이 바람직하다. 특히, 표면이 산화되어 있지 않은 초기(신품)의 도전성 볼(B)의 경우, 파장이 짧은 청색광을 사용하는 것이 바람직하다.
이상으로부터, 제1 조명 장치(41)는, 조명하는 대상물(對象物)에 맞추어, 청색광과 적색광으로 구분할 수 있다.
[제2 조명 장치(42)의 설명]
이하, 제2 조명 장치(42)에 대하여 설명한다. 프레임 부재(420)는, 고정 부재(40)의 하단부로서, 제1 조명 장치(41)의 프레임 부재(410)의 상측 Z1에 고정되어 있다. 프레임 부재(420)의 내측의 경사면에는, 발광 소자군(421)이, 3중의 원형 환형으로 배치되어 있다. 발광 소자군(421)의 중심선은, 검사 개소(P)를 향하고 있다.
제2 조명 장치(42)의 발광 소자군(421)이 발하는 광 L2의 파장은, 제1 조명 장치(41)의 2조의 발광 소자군(411B), (411R)이 발하는 광 L1 중 가장 짧은 파장(이 예에서는, 청색광의 파장의 약 470㎚)보다 길다. 즉, 제2 조명 장치(42)의 발광 소자군(421)이 발하는 광 L2의 파장은, 제1 조명 장치(41)의 제1 조의 발광 소자군(411B)이 발하는 광 L1 즉 청색광의 파장(약 470㎚)보다 길다. 이 예에서는, 발광 소자군(421)이 발하는 광 L2의 파장은, 적색광의 파장의 약 630㎚이다.
제2 조명 장치(42)는, 주로, 공작물(W)의 배선이나 전극(E)을 조명한다. 즉, 도 7에 나타낸 바와 같이, 제2 조명 장치(42)는, 적색광의 광 L2에 의해, 주로 구리(Cu)로 구성되어 있는 공작물(W)의 배선이나 전극(E)을 조명하는데, 적합하다.
[제3 조명 장치(43)의 설명]
이하, 제3 조명 장치(43)에 대하여 설명한다. 프레임 부재(430)는, 메인 검사부(20)의 렌즈(201)의 하단부에 고정되어 있다. 프레임 부재(430)의 하면에는, 발광 소자군(431)이, 3중의 원형 환형으로 배치되어 있다. 발광 소자군(431)의 중심선은, 검사 개소(P)를 향하고 있다.
제3 조명 장치(43)의 발광 소자군(431)이 발하는 광 L3의 파장은, 제1 조명 장치(41)의 2조의 발광 소자군(411B), (411R)이 발하는 광 L1 중 가장 짧은 파장(이 예에서는, 청색광의 파장의 약 470㎚)보다 길다. 즉, 제3 조명 장치(43)의 발광 소자군(431)이 발하는 광 L3의 파장은, 제1 조명 장치(41)의 제1 조의 발광 소자군(411B)이 발하는 광 L1 즉 청색광의 파장(약 470㎚)보다 길다. 이 예에서는, 발광 소자군(431)이 발하는 광 L3의 파장은, 적색광의 파장의 약 630㎚이다.
제3 조명 장치(43)는, 주로, 공작물(W)의 배선이나 전극(E)을 조명한다. 즉, 도 7에 나타낸 바와 같이, 제3 조명 장치(43)는, 적색광의 광 L2에 의해, 주로 구리(Cu)로 구성되어 있는 공작물(W)의 배선이나 전극(E)을 조명하는데 적합하다.
[리페어 장치(3)의 설명]
리페어 장치(3)는, 메인 검사부(20)에 의해 불량 개소가 검출되고, 또한 베리파이용 검사부(21)에 의해 불량 개소에 있어서 수정이 필요한 것으로 판단된 경우에, 도전성 볼(B)이 정상으로 실장되도록 수정한다. 도 1, 도 2에 나타낸 바와 같이, 리페어 장치(3)는, 플럭스 전사부(30)와, 도전성 볼 탑재부(31)와, 잉여 도전성 볼 제거부(32)를 구비한다.
플럭스 전사부(30)는, 리페어부 반송부(30Z)의 Z방향 이동부에 설치되어 있다. 도전성 볼 탑재부(31)는, 리페어부 반송부(31Z)의 Z방향 이동부에 설치되어 있다. 잉여 도전성 볼 제거부(32)는, 리페어부 반송부(32Z)의 Z방향 이동부에 설치되어 있다. 이 결과, 플럭스 전사부(30)와, 도전성 볼 탑재부(31)와, 잉여 도전성 볼 제거부(32)는, X방향으로 좌우에 배치되어 있다.
플럭스 전사부(30)는, 도전성 볼(B)이 탑재되어 있지 않은 전극(E)에 플럭스(F)를 전사한다. 플럭스 전사부(30)에는, 플럭스 전사핀(300)이, 핀 홀더, 록 기구(機構) 및 위치 측정 센서를 통하여 장착되어 있다. 여기서, 플럭스 전사부(30)의 캘리브레이션부(6)에 의해 취득되는 위치 정보는, 전술한 바와 같이, 플럭스 전사핀(300)의 하단(선단)의 중심의 위치 정보이다.
플럭스 전사핀(300)의 아래쪽에는, 플럭스 공급 트레이(301)가, Y방향 이동 기구(302)를 통하여 배치되어 있다. Y방향 이동 기구(302)는, 고정부(가이드부)와, 이동부와, 구동부(303)로 이루어진다. 구동부(303)은, 예를 들면, 서보 모터로서, 이동부를 고정부의 길이 방향의 Y방향으로 이동시킨다. 이로써, 플럭스 공급 트레이(301)는, Y방향으로 이동하여, 플럭스 전사핀(300) 아래에 위치한, 플럭스 전사핀(300) 아래로부터 퇴피한다. 구동부(303)은, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 구동한다.
플럭스 전사핀(300)은, 아래에 위치하는 플럭스 공급 트레이(301)로부터 적당량의 플럭스(F)가 부착된다. 또한, 플럭스 전사핀(300)은, 플럭스 공급 트레이(301)가 아래로부터 퇴피한 후에, Z방향으로 내려오고, 믹싱 보울 상태의 전극(E)에 플럭스(F)를 전사한다.
도전성 볼 탑재부(31)는, 플럭스 전사부(30)에 의해 전사된 플럭스(F)를 통하여 전극(E)에 도전성 볼(B)을 탑재한다. 도전성 볼 탑재부(31)에는, 도전성 볼 탑재 노즐(310)이, 노즐 홀더, 록 기구 및 위치 측정 센서를 통하여 장착되어 있다. 여기서, 도전성 볼 탑재부(31)의 캘리브레이션부(6)에 의해 취득되는 위치 정보는, 전술한 바와 같이, 도전성 볼 탑재 노즐(310)의 하단(선단)의 중심의 위치 정보이다.
도전성 볼 탑재 노즐(310)의 아래쪽에는, 도전성 볼 공급 트레이(311)가, Y방향 이동 기구(312)를 통하여 배치되어 있다. Y방향 이동 기구(312)는, 고정부(가이드부)와, 이동부와, 구동부(313)로 이루어진다. 구동부(313)는, 예를 들면, 서보 모터로서, 이동부를 고정부의 길이 방향의 Y방향으로 이동시킨다. 이로써, 도전성 볼 공급 트레이(311)는, Y방향으로 이동하여, 도전성 볼 탑재 노즐(310) 아래에 위치한, 도전성 볼 탑재 노즐(310) 아래로부터 퇴피한다. 구동부(313)는, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 구동한다.
도전성 볼 탑재 노즐(310)은, 아래에 위치하는 도전성 볼 공급 트레이(311)로부터 1개의 도전성 볼(B)을 흡착한다. 또한, 도전성 볼 탑재 노즐(310)은, 도전성 볼 공급 트레이(311)가 아래로부터 퇴피한 후에, Z방향으로 내려오고, 흡착한 도전성 볼(B)을 믹싱 보울 상태의 전극(E)의 플럭스(F)에 탑재한다.
잉여 도전성 볼 제거부(32)는, 공작물(W)에 여분으로 탑재된 잉여 도전성 볼(B1)을 제거한다. 잉여 도전성 볼 제거부(32)에는, 잉여 도전성 볼 제거 노즐(320)이, 노즐 홀더, 록 기구 및 위치 측정 센서를 통하여 장착되어 있다. 여기서, 잉여 도전성 볼 제거부(32)의 캘리브레이션부(6)에 의해 취득되는 위치 정보는, 전술한 바와 같이, 잉여 도전성 볼 제거 노즐(320)의 하단(선단)의 중심의 위치 정보이다.
잉여 도전성 볼 제거 노즐(320)의 아래쪽에는, 잉여 도전성 볼 리시빙 트레이(321)가, Y방향 이동 기구(322)를 통하여 배치되어 있다. Y방향 이동 기구(322)는, 고정부(가이드부)와, 이동부와, 구동부(323)로 이루어진다. 구동부(323)는, 예를 들면, 서보 모터로서, 이동부를 고정부의 길이 방향의 Y방향으로 이동시킨다. 이로써, 잉여 도전성 볼 리시빙 트레이(321)는, Y방향으로 이동하여, 잉여 도전성 볼 제거 노즐(320) 아래에 위치한, 잉여 도전성 볼 제거 노즐(320) 아래로부터 퇴피한다. 구동부(323)는, 제어부로부터의 제어 신호에 기초하여 구동한다.
잉여 도전성 볼 제거 노즐(320)은, 잉여 도전성 볼 리시빙 트레이(321)가 아래로부터 퇴피하고 있을 때, Z방향으로 내려와, 여분의 도전성 볼(B1)을 흡착한다. 또한, 잉여 도전성 볼 제거 노즐(320)은, Z방향으로 올라와, 아래에 위치한 잉여 도전성 볼 리시빙 트레이(321)에, 흡착한 여분의 도전성 볼(B1)을 받아건넨다.
그리고, 잉여 도전성 볼 제거 노즐(320)은, 도 9의 (C)에 나타낸 시프트하고 있는 도전성 볼(B)도, 제거한다.
[촬상 장치의 설명]
촬상 장치는, 적어도 리페어부의 각 부(30), (31), (32)가 수정하는 개소를 대상으로 하여 촬상한다. 촬상 장치는, 리페어 장치(3)에 대하여, 오퍼레이터가 위치하는 측 즉 전방측 Y1에 배치되어 있다. 촬상 장치는, 촬상한 화상을, 신호로서, 제어부에 출력한다. 촬상 장치가 촬상한 화상은, 제어부를 통하여, 확대되어 표시 장치(5)에 표시된다.
촬상 장치는, 제어부의 제어의 구동 정지(停止)에 의해, 리페어부의 각 부(30), (31), (32)의 사이를 자동 이동하고, 또한 리페어부의 각 부(30), (31), (32)의 위치에 자동 정지한다. 또한, 촬상 장치는, 오퍼레이터에 의한 수동 조정에 의해, Y방향, Z방향 및 X축 회전 방향으로, 조정된다.
[표시 장치(5)의 설명]
표시 장치(5)는, 촬상 장치가 촬상한 대상을, 오퍼레이터가 관찰하는 화상으로서, 확대하여 표시한다. 도 1, 도 2에 나타낸 바와 같이, 표시 장치(5)는, 리페어 장치(3) 측에 배치되어 있다. 즉, 표시 장치(5)는, 리페어 장치(3)보다 우측 X2에 배치되어 있다. 표시 장치(5)의 높이 및 방향은, 오퍼레이터의 눈의 위치, 즉 오퍼레이터의 표시 장치(5)에 대한 시선(視線) 방향으로 맞출 수 있다.
[제어부의 설명]
도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 제어부를 구비한다. 제어부는, 지시 신호 및 검출 신호에 기초하여, 검사부의 각 부(20), (21)가 검사하는 공정 및 리페어부의 각 부(30), (31), (32)가 수정하는 공정을 제어한다. 제어부는, 정보 처리 장치로서, 예를 들면, 전자 제어 유닛(ECU)으로 구성되어 있다. 제어부는, 마이크로 컨트롤러와 그 외의 전자 회로를 포함한다. 마이크로 컨트롤러는, 프로세서와 메모리를 포함한다. 프로세서는, CPU, MPU 또는 GPU 중 적어도 어느 하나이다. 메모리는, ROM과 RAM을 포함한다. 프로세서는, ROM에 기억된 프로그램이나 RAM에 로드된 프로그램을 실행한다.
[실시형태의 작용의 설명]
이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 이상과 같은 구성으로 이루어지고, 이하, 그 작용에 대하여 도 10의 공정을 나타낸 플로우 설명도를 참조하여 설명한다.
먼저, 오퍼레이터가, 수동에 의해 조작하여, 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)의 작동을 개시하게 한다. 또는, 제어부의 제어에 의해, 자동적으로 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)의 작동을 개시하게 한다(개시).
반송 용기(17)의 도어와 벽의 도어가 개방된다. 반송 로봇(15)이, 공작물(W)을 반송 용기(17) 내로부터 인출하여 도전성 볼 검사 리페어 장치(1) 내에 반입(搬入)한다[공작물(W)의 반입 S1]. 이와 동시에, 반송 용기(17)의 도어와 벽의 도어가 폐쇄된다. 반송 로봇(15)이 공작물(W)을 프리얼라이너(13)에 세팅한다. 프리얼라이너(13)가 공작물(W)의 중심 및 방향을 맞춘다. 그리고, 공작물(W)이 직사각형 형상의 기판의 경우, 이 프리얼라이너(13)에 의한 공작물(W)의 중심 및 방향을 맞추는 공정을 생략한다.
반송 로봇(15)이 공작물(W)을 프리얼라이너(13)로부터 초기 위치의 스테이지(14) 상에 세팅한다. 공작물(W)은, 스테이지 반송부(7) 및 캘리브레이션부(6)를 통하여, 공작물 인식 정보 취득부(16)에 위치하고, 공작물 인식 정보 취득부(16)에 의해 인식된다[공작물(W)의 인식 S2].
또한, 이 예의 공작물(W)은, 기판으로 이루어진다. 그러므로, 메인 검사부(20)에 있어서, 제조된 배선의 패턴을 실제로 확인하고, 그 인식한 패턴을 공작물(W)의 검사 패턴으로서 등록한다[공작물(W)의 검사 패턴 등록 S3]. 즉, 공작물(W)은, 스테이지 반송부(7) 및 캘리브레이션부(6)를 통하여, 메인 검사부(20)에 위치하고, 메인 검사부(20)에 있어서, 검사 패턴이 등록된다.
다음에, 공작물(W)의 복수 개의 집적 회로 칩은, 각각, 전술한 스테이지(공정)(S3)에 있어서, 스테이지 반송부(7) 및 캘리브레이션부(6)를 통하여, 메인 검사부(20)에 위치하고, 메인 검사부(20)에 의해, 검사된다[메인 검사부(20)의 검사 S4].
제어부는, 메인 검사부(20)의 검사에 기초하여, 공작물(W)의 복수 개의 집적 회로 칩에 불량 개소가 있는지의 여부를 판단한다(불량 개소 유무? S5). 여기서, 불량 개소가 없으면, 하기의 스테이지(공정) S11로 진행한다. 한편, 불량 개소가 있으면, 다음의 스테이지(공정) S6로 진행한다.
불량 개소는, 스테이지 반송부(7) 및 캘리브레이션부(6)를 통하여, 베리파이용 검사부(21)에 위치하고, 베리파이용 검사부(21)에 의해, 확인을 위하여 검사된다[베리파이용 검사부(21)의 검사 S6]. 즉, 불량 개소는, 베리파이용 검사부(21)의 카메라(210)에 의해 촬상되고, 그 촬상된 화상은, 표시 장치(5)에 확대 표시된다.
오퍼레이터는, 표시 장치(5)에 확대 표시된 불량 개소의 화상을, 육안으로 관찰하여, 수정이 필요한지의 여부를 판단한다(수정 필요? S7). 그리고, 오퍼레이터가, 「수정의 필요가 없다」라고 판단하면, 하기의 스테이지(공정) S11로 진행한다. 한편, 오퍼레이터가, 「수정의 필요가 있는」 것으로 판단하면, 다음의 스테이지(공정) S8로 진행한다.
불량 개소는, 스테이지 반송부(7) 및 캘리브레이션부(6)를 통하여, 리페어부의 각 부(30), (31), (32)에 위치한다. 그리고, 불량 개소는, 리페어부의 각 부(30), (31), (32)에 의해 수정된다[리페어 장치(3)이 불량 개소를 수정 S8]. 리페어부의 각 부(30), (31), (32)가 불량 개소를 수정하는 작업 상태는, 하기와 같다.
즉, 불량 개소가, 도 9의 (B)에 나타낸 믹싱 보울 상태의 경우. 이 경우에는, 먼저, 플럭스 전사부(30)의 플럭스 전사핀(300)이, 플럭스(F)를, 도전성 볼(B)이 탑재되어 있지 않은 전극(E)에 전사한다. 다음에, 도전성 볼 탑재부(31)의 도전성 볼 탑재 노즐(310)이, 도전성 볼(B)을, 전극(E)에 전사된 플럭스(F) 상에 탑재한다.
불량 개소가, 도 9의 (C)에 나타낸 시프트 볼 상태의 경우. 이 경우에는, 먼저, 잉여 도전성 볼 제거부(32)의 잉여 도전성 볼 제거 노즐(320)이, 전극(E)으로부터 벗어나 있는 도전성 볼(B)을 제거한다. 다음에, 플럭스 전사부(30)의 플럭스 전사핀(300)이, 플럭스(F)를, 도전성 볼(B)이 벗어나 있었던 전극(E)에 전사한다. 그리고, 도전성 볼 탑재부(31)의 도전성 볼 탑재 노즐(310)이, 도전성 볼(B)을, 전극(E)에 전사된 플럭스(F) 상에 탑재한다.
불량 개소가, 도 9의 (D)에 나타낸 잉여 볼 상태의 경우. 이 경우에는, 잉여 도전성 볼 제거부(32)의 잉여 도전성 볼 제거 노즐(320)이, 여분의 도전성 볼(B)을 제거한다. 이상과 같이 하여, 리페어부의 각 부(30), (31), (32)가 불량 개소를 수정한다.
이 스테이지(공정) S8에 있어서, 촬상 장치는, 리페어부의 각 부(30), (31), (32)가 수정하는 불량 개소를 대상으로 하여 촬상한다. 촬상된 대상은, 표시 장치(5)에 확대 표시된다. 오퍼레이터는, 표시 장치(5)에 확대 표시되어 있는 대상을 육안으로 관찰하고, 불량 개소가 리페어부의 각 부(30), (31), (32)에 의해 수정되어 있는 상태를 확인할 수 있다.
불량 개소가 수정되면, 다음의 스테이지(공정) S9로 진행한다. 수정된 불량 개소는, 스테이지 반송부(7) 및 캘리브레이션부(6)를 통하여, 베리파이용 검사부(21)에 위치하고, 베리파이용 검사부(21)에 의해, 재확인된다[베리파이용 검사부(21)의 재검사 S9]. 즉, 수정된 불량 개소는, 베리파이용 검사부(21)의 카메라(210)에 의해 촬상되고, 그 촬상된 화상은, 표시 장치(5)에 확대 표시된다.
오퍼레이터는, 표시 장치(5)에 확대 표시된 불량 개소에서 있어, 수정된 불량 개소의 화상을 육안에 의해 재확인하여, 재수정이 필요한지의 여부를 재판단한다(재수정 필요? S10). 그리고, 오퍼레이터가, 「재수정의 필요가 없다」라고 판단하면, 하기의 스테이지(공정) S11으로 진행한다. 한편, 오퍼레이터가, 「재수정의 필요가 있는」 것으로 판단하면, 전방의 스테이지(공정) S8로 다시 진행된다.
불량 개소가 없고, 또한 수정의 필요가 없고, 또한 재수정의 필요가 없는 경우. 이 경우에는, 스테이지(14)를 초기 위치로 되돌린다. 이와 동시에, 반송 용기(17)의 도어와 벽의 도어가 개방된다. 반송 로봇(15)이, 스테이지(14) 상의 공작물(W)을, 도전성 볼 검사 리페어 장치(1) 내로부터 반출(搬出)하여 반송 용기(17) 내에 저장한다[공작물(W)의 반출 S11]. 이와 동시에, 반송 용기(17)의 도어와 벽의 도어가 폐쇄된다.
이상에서, 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)의 작업이, 종료한다(종료).
[실시형태의 효과의 설명]
이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 이상과 같은 구성 및 작용으로 이루어지고, 이하에, 그 효과에 대하여 설명한다.
이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 메인 검사부(20)의 카메라(200) 및 렌즈(201)와, 공작물(W)과의 사이에, 조명 장치(41), (42), (43)를, 연직 방향인 Z방향으로 3단 배치한 것이다. 또한, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 3단의 조명 장치(41), (42), (43)가, 각각, 공작물(W)의 검사 개소(P) 및 그 주위를 조명하는 것이다. 이 결과, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)에 의하면, 복수의 조명 기능을 얻을 수 있다.
이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 복수의 조명 기능을 얻을 수 있으므로, 복수의 조명 기능 중에서, 조명하는 대상물에 적절한 조명 기능을 구분하여 사용할 수 있다. 이 결과, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 도전성 볼(B)을 고정밀도로 검사(측정)할 수 있다.
이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 발광 소자군(411B), (411R), (421), (431)이 프레임 부재(410), (420), (430)의 원형 환형을 따라서 원형 환형으로 배치되어 있고, 렌즈(201)의 중심과 프레임 부재(410), (420), (430)의 중심이 동일선(C) 상에 위치한다. 이로써, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 발광 소자군(411B), (411R), (421), (431)로부터의 광 L1(L10), L2, L3을, 공작물(W)의 검사 개소(P) 및 그 주위를 효율적으로 조명할 수 있다. 이 결과, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 도전성 볼(B)을 고정밀도로 검사(측정)할 수 있다.
이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 제1 조명 장치(41)의 발광 소자군(411B), (411R)이 2조로 구성되어 있고, 2조의 발광 소자군(411B), (411R)이 각각 발하는 광 L1의 파장이 조마다 상이하게 되어 있는 것이다. 즉, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 제1 조의 발광 소자군(411B)이 파장의 약 470㎚의 청색광의 광 L1을 발하여, 제2 조의 발광 소자군(411R)이 파장의 약 630㎚의 적색광의 광 L1을 발하는 것이다. 이로써, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 청색광의 광 L1과 적색광의 광 L1을 선택하여 구분하여 사용할 수 있다. 예를 들면, 표면이 산화되어 있지 않은 초기(신품)의 도전성 볼(B)의 경우, 청색광의 광 L1을 사용하고, 또한 표면이 산화되어 있는 도전성 볼(B)의 경우, 적색광의 광 L1을 사용한다. 이 결과, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 도전성 볼(B)을 고정밀도로 검사(측정)할 수 있다.
이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 제1 조명 장치(41)가 광 확산 부재(413)를 가지는 것이므로, 광 확산 부재(413)로부터 출사된 확산광 L10의 공작물(W)에 대한 입사각 θ이 크다. 그러므로, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)에 의하면, 확산광 L10이 도전성 볼(B)의 구면의 표면에 있어서 반사광 L11으로서 반사하여 메인 검사부(20)의 렌즈(201)에 효율적으로 입사한다. 한편, 확산광 L10이 공작물(W)에 있어서 반사광 L12로서 반사하고 메인 검사부(20)의 렌즈(201)에 입사하지 않고 렌즈(201)의 시야 밖으로 진행한다. 이 결과, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 제1 조명 장치(41)의 광 확산 부재(413)로부터의 확산광 L10이 도전성 볼(B)을 효율적으로 조명할 수 있고, 도전성 볼(B)을 고정밀도로 검사(측정)할 수 있다.
이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 공작물(W)에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 제1 조명 장치(41)가 도전성 볼(B)을 조명하는 것이다. 그러므로, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 제1 조명 장치(41)로부터의 광으로서, 광 확산 부재(413)로부터 출사된 확산광 L10의 공작물(W)에 대한 입사각 θ이 크다. 이 결과, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 전술한 바와 같이, 제1 조명 장치(41)의 광 확산 부재(413)로부터의 확산광 L10이 도전성 볼(B)을 효율적으로 조명할 수 있어, 도전성 볼(B)을 고정밀도로 검사(측정)할 수 있다.
이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 제2 조명 장치(42)의 발광 소자군(421) 및 제3 조명 장치(43)의 발광 소자군(431)이 적색광의 광 L2, L3을 발하는 것이다. 적색광의 파장이, 제1 조명 장치(41)의 제1 조의 발광 소자군(411B)이 발하는 청색광의 광 L1의 파장(약 470㎚)보다 길다. 이에 따르면, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 제2 조명 장치(42) 및 제3 조명 장치(43)로부터의 적색광의 광 L2, L3에 의해, 주로 구리(Cu)로 구성되어 있는 공작물(W)의 배선이나 전극(E)을 조명하는데 적합하다. 이 결과, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 공작물(W)의 배선이나 전극(E) 및 도전성 볼(B)을 고정밀도로 검사(측정)할 수 있고, 또한 고정밀도의 검사 패턴을 등록할 수 있다.
이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 제2 조명 장치(42) 및 제3 조명 장치(43)가 공작물(W)로부터 이격된 위치에 배치되어 있으므로, 제2 조명 장치(42) 및 제3 조명 장치(43)로부터의 광 L2, L3가 공작물(W)의 배선이나 전극(E)을 효율적으로 조명할 수 있다. 이 결과, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 공작물(W)의 배선이나 전극(E) 및 도전성 볼(B)을 고정밀도로 검사(측정)할 수 있고, 또한 고정밀도의 검사 패턴을 등록할 수 있다.
이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 제1 조명 장치(41), 제2 조명 장치(42) 및 제3 조명 장치(43)의 3방향으로부터의 적색광의 광 L1, L2, L3가 공작물(W)의 배선이나 전극(E)을 조명하는 것이다. 이 결과, 이 실시형태에 관한 도전성 볼 검사 리페어 장치(1)는, 공작물(W)의 배선이나 전극(E) 및 도전성 볼(B)을 고정밀도로 검사(측정)할 수 있고, 또한 고정밀도의 검사 패턴을 등록할 수 있다.
[실시형태 이외의 예의 설명]
그리고, 전술한 실시형태에 있어서는, 공작물(W)로서, 원판 형상을 이루는 기판에 대하여 설명하는 것이다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 공작물로서, 원판 형상 이외의 직사각형 형상을 이루는 기판이라도 되고, 기판 이외에 실리콘 등으로 이루어지는 웨이퍼라도 된다.
또한, 전술한 실시형태에 있어서는, 3단의 조명 장치(41), (42), (43)를 배치하는 것이다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 조명 장치를 2단, 또는 4단 이상, 배치하는 것이라도 된다.
또한, 전술한 실시형태에 있어서는, 3단의 조명 장치(41), (42), (43)의 프레임 부재(410), (420), (430)의 평면 형상이 원형 환형 또는 다각형 환형을 이루는 것이다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 프레임 부재(410), (420), (430)의 평면 형상이 원형 환형 또는 다각형 환형 이외의 형상, 예를 들면, 타원형 환형, 삼각형 환형, 사각형 환형 등의 환형이라도 된다.
또한, 전술한 실시형태에 있어서는, 렌즈(201)의 중심과 프레임 부재(410), (420), (430)의 중심이 동일선(C) 상에 위치하는 경우이다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 렌즈(201)의 중심과 프레임 부재(410), (420), (430)의 중심이 동일선(C) 상에 위치하지 않고 어긋나 있는 것이라도 된다.
또한, 전술한 실시형태에 있어서는, 제1 조명 장치(41)의 발광 소자군(411B), (411R)이 2조로 구성되어 있는 것이다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 제1 조명 장치(41)의 발광 소자군을 1조 또는 3조 이상으로 구성되어 있는 것이라도 된다.
그리고, 전술한 실시형태에 있어서는, 제1 조명 장치(41)의 2조의 발광 소자군(411B), (411R)이 청색광과 적색광을 발하는 것이다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 제1 조명 장치(41)의 복수의 조의 발광 소자군이 청색광, 녹색광, 적색광, 등을 발하는 것이라도 된다. 또한, 제1 조명 장치(41)의 발광 소자군이 1조의 경우에 있어서, 1조의 발광 소자군이 청색광, 녹색광, 적색광, 등의 단일 광을 발하는 것이라도 된다.
또한, 전술한 실시형태에 있어서는, 제1 조명 장치(41)가 광 확산 부재(413)를 가지는 것이다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 제1 조명 장치(41)에 광 확산 부재(413)를 형성하지 않아도 된다.
또한, 전술한 실시형태에 있어서는, 제2 조명 장치(42)의 발광 소자군(421) 및 제3 조명 장치(43)의 발광 소자군(431)이 적색광을 발하는 것이다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 제2 조명 장치(42)의 발광 소자군(421) 및 제3 조명 장치(43)의 발광 소자군(431)이 녹색광 등을 발하는 것이라도 된다. 즉, 제2 조명 장치(42)의 발광 소자군(421)이 발하는 광의 색(광의 파장)과, 제3 조명 장치(43)의 발광 소자군(431)이 발하는 광의 색(광의 파장)이 같다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 제2 조명 장치(42)의 발광 소자군(421)이 발하는 광의 색(광의 파장)과, 제3 조명 장치(43)의 발광 소자군(431)이 발하는 광의 색(광의 파장)이 상위해도 된다.
그리고, 본 발명은, 전술한 실시형태에 의해 한정되는 것은 아니다.
1: 도전성 볼 검사 리페어 장치
10: 가대
11: 지지 부재
110: 지주
111: 암
112: 빔
12: 로드 포트
13: 프리얼라이너
14: 스테이지
15: 반송 로봇(공작물 반송부)
16: 공작물 인식 정보 취득부
160: 카메라
161: 렌즈
162: 조명구
17: 반송 용기(FOUP)
2: 검사 장치
20: 메인 검사부(검사부)
200: 카메라
201: 렌즈
20Z: 메인 검사부(20)의 검사부 반송부
200Z: Z방향 구동부
21: 베리파이용 검사부(검사부)
210: 카메라
211: 렌즈
212: 조명구
21Z: 베리파이용 검사부(21)의 검사부 반송부
210Z: Z방향 구동부
3: 리페어 장치
30: 플럭스 전사부(리페어부)
300: 플럭스 전사핀
301: 플럭스 트레이
302: Y방향 이동 기구
303: 구동부
30Z: 플럭스 전사부(30)의 리페어부 반송부
300Z: Z방향 구동부
31: 도전성 볼 탑재부(리페어부)
310: 도전성 볼 탑재 노즐
311: 도전성 볼 공급 트레이
312: Y방향 이동 기구
313: 구동부
31Z: 도전성 볼 탑재부(31)의 리페어부 반송부
310Z: Z방향 구동부
32: 잉여 도전성 볼 제거부(리페어부)
320: 잉여 도전성 볼 제거 노즐
321: 잉여 도전성 볼 리시빙 트레이
322: Y방향 이동 기구
323: 구동부
32Z: 잉여 도전성 볼 제거부(32)의 리페어부 반송부
320Z: Z방향 구동부
40: 고정판
41: 제1 조명 장치(최하위 조명 장치)
410: 프레임 부재
411B: 청색 발광 소자군(청색 LED)
411R: 적색 발광 소자군(적색 LED)
412: 공간
413: 광 확산 부재
42: 제2 조명 장치(중위 조명 장치)
420: 프레임 부재
421: 적색 발광 소자군(적색 LED)
422: 공간
43: 제3 조명 장치(최상위 조명 장치)
430: 프레임 부재
431: 적색 발광 소자군(적색 LED)
432: 공간
5: 표시 장치
6: 캘리브레이션부
7: 스테이지 반송부
70X: X방향 고정부(X방향 가이드부)
71X: X방향 이동부
70Y: Y방향 고정부(Y방향 가이드부)
71Y: Y방향 이동부
B: 도전성 볼
B1: 여분의 도전성 볼
C: 렌즈(201)의 광축(동일선)
E: 전극
F: 플럭스
L1: 광(청색광 또는 적색광)
L2: 광(적색광)
L3: 광(적색광)
L10: 확산광
L11: 반사광
L12: 반사광
P: 검사 개소
W: 공작물
X1: 좌측
X2: 우측
Y1: 전(바로 앞) 측
Y2: 후(안쪽, 방향) 측
Z1: 상측
Z2: 하측
θ: 입사각

Claims (7)

  1. 도전성 볼(conductive ball)이 공작물의 전극에 정상(正常)으로 실장(實裝)되어 있는지의 여부를 검사하는 메인 검사부를 구비하는 검사 장치; 및
    상기 메인 검사부에 의해, 상기 도전성 볼이 정상으로 실장되어 있지 않은 개소(箇所)를 검출한 경우에, 상기 개소에 있어서 상기 도전성 볼이 정상으로 실장되도록 수정하는 리페어부를 구비하는 리페어 장치(repair device);
    를 포함하고,
    상기 메인 검사부는,
    카메라 및 렌즈; 및
    상기 카메라 및 상기 렌즈와 상기 공작물 사이에 연직(沿直) 방향으로 복수 단(plurality step) 배치되어 있고, 상기 공작물을 조명하는 조명 장치;를 구비하고,
    복수 단의 상기 조명 장치는, 각각,
    중앙 부분에 공간이 설치되어 있는 환형(環形)의 프레임 부재; 및
    상기 프레임 부재에 복수 개 설치되어 있는 발광 소자군;을 구비하는,
    도전성 볼 검사 리페어 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 발광 소자군은, 상기 프레임 부재의 환형을 따라서 환형으로 배치되어 있고,
    상기 렌즈의 중심과 상기 프레임 부재의 중심은, 동일선 상에 위치하는, 도전성 볼 검사 리페어 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    복수 단의 상기 조명 장치 중, 상기 공작물에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 상기 조명 장치의 상기 발광 소자군은, 복수의 조(組)로 구성되어 있고,
    복수의 조의 상기 발광 소자군이 각각 발하는 광의 파장은, 조마다 상이하게 되어 있는, 도전성 볼 검사 리페어 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    복수 단의 상기 조명 장치 중, 상기 공작물에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 상기 조명 장치는, 상기 발광 소자군에 있어서 발한 광을 입사하고, 또한 확산광으로서 상기 공작물 측에 출사시키는 광 확산 부재를 구비하는, 도전성 볼 검사 리페어 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    복수 단의 상기 조명 장치 중, 상기 공작물에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 상기 조명 장치는, 주로, 상기 도전성 볼을 조명하는 조명 장치인, 도전성 볼 검사 리페어 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    복수 단의 상기 조명 장치 중, 상기 공작물에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 상기 조명 장치의 상기 발광 소자군은, 복수의 조로 구성되어 있고,
    복수의 조의 상기 발광 소자군이 각각 발하는 광의 파장은, 복수의 조마다 상이하게 되어 있고,
    복수 단의 상기 조명 장치 중, 상기 공작물에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 상기 조명 장치 이외의 상기 조명 장치의 상기 발광 소자군이 발하는 광의 파장은, 복수의 조의 상기 발광 소자군이 발하는 광 중 가장 짧은 파장보다 긴, 도전성 볼 검사 리페어 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 공작물은, 배선이 형성되어 있는 기판으로서,
    복수 단의 상기 조명 장치 중, 상기 공작물에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 상기 조명 장치 이외의 상기 조명 장치는, 주로, 상기 공작물의 상기 배선을 조명하는 조명 장치인, 도전성 볼 검사 리페어 장치.
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