JP2017005225A - 接続体、接続体の製造方法、検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の端子19が形成された透明基板12と、導電性粒子4が配置された異方性導電接着剤1を介して透明基板12に接続され、複数の端子19と導電性粒子4を介して電気的に接続された複数のバンプ21が形成された電子部品18とを備え、導電性粒子4同士は互いに非接触で独立し、バンプ21は、表面に、導電性粒子4の粒子径の10%以上の高低差を有する凹凸部28が形成され、一つのバンプ21表面において、最も突出した凸部28aからの高低差が導電性粒子4の粒子径の20%以上である領域がバンプ21表面積の70%以下である。
【選択図】図5
Description
以下では、本発明が適用された接続体として、ガラス基板に、電子部品として液晶駆動用のICチップが実装された液晶表示パネルを例に説明する。この液晶表示パネル10は、図1に示すように、ガラス基板等からなる二枚の透明基板11,12が対向配置され、これら透明基板11,12が枠状のシール13によって互いに貼り合わされている。そして、液晶表示パネル10は、透明基板11,12によって囲繞された空間内に液晶14が封入されることによりパネル表示部15が形成されている。
ここで、液晶駆動用IC18の入出力バンプ21a,21bは、導電性粒子4を捕捉する表面に、押圧前における導電性粒子4の粒子径の10%以上の高低差を有する凹凸部28が設けられている。凹凸部28は、例えば図5、図6に示すように、導電性粒子4を捕捉する表面の両側縁、あるいは中央部が突出することにより形成される。また、凹凸部28の高低差とは、入出力バンプ21a,21bの表面において最も突出した凸部28aと凸部28aよりも低い凹部28bとの差をいうものとする。なお、凹凸部28の高低差は、例えば高精度形状測定システム(商品名:KS−1100、株式会社キーエンス社製)を用いて計測することができる。なお、凹凸部28は、バンプ表面の側縁部(図5参照)やバンプ表面の中央部(図6参照)、或いはその両方に形成されることが多い。
導電性粒子4は、一対の入出力端子19a,19b及び入出力バンプ21a,21bが重畳することにより導電性粒子4を捕捉し異方性導電接続に寄与する有効バンプ面積に占める面積割合が、10%以上であることが好ましい。導電性粒子4が有効バンプ面積の10%以上を占めることにより、バンプ表面積の30%以上を占める高低差が粒子径の20%未満の領域において多くの導電性粒子を捕捉し、捕捉した導電性粒子4による導通性及び圧痕の視認性を確保することができる。
このように、互いに非接触で独立して存在する導電性粒子4が遍在された異方性導電フィルム1を介して、導電性粒子4の粒子径の20%以上の高低差を有する領域がバンプ表面積の70%以下とされた凹凸部28が形成された入出力バンプ21a,21bを入出力端子19a,19bに接続することにより、液晶表示パネル1は、入出力バンプ21a,21b一つ当たりの導電性粒子4の最少捕捉数が3個以上とすることができる。したがって、液晶表示パネル1は、捕捉した導電性粒子4による導通性及び圧痕の視認性を確保することができる。
また、互いに非接触で独立して存在する導電性粒子4が遍在された異方性導電フィルム1を介して、導電性粒子4の粒子径の20%以上の高低差を有する領域がバンプ表面積の70%以下とされた凹凸部28が形成された入出力バンプ21a,21bを入出力端子19a,19bに接続することにより、液晶表示パネル1は、一つのバンプ表面内に存在する導電性粒子4の独立した圧痕の割合が、入出力バンプ21a,21bの表面内に捕捉した導電性粒子4の70%以上となる。したがって、入出力端子19a,19bに現れる圧痕は、コントラストないしはそれを形成する曲線が明確に現れ、個々の圧痕の視認性が大幅に向上されている。これにより、液晶表示パネル10は、圧痕に基づく入出力バンプ21a,21bと入出力端子19a,19bとの接続性を迅速、的確に検査することができる。
次いで、異方性導電フィルム1について説明する。異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)1は、図9に示すように、通常、基材となる剥離フィルム2上に導電性粒子4を含有するバインダー樹脂層(接着剤層)3が形成されたものである。異方性導電フィルム1は、熱硬化型あるいは紫外線等の光硬化型の接着剤であり、液晶表示パネル10の透明基板12に形成された入出力端子19a,19b上に貼着されるとともに液晶駆動用IC18が搭載され、熱圧着ヘッド33により熱加圧されることにより流動化して導電性粒子4が相対向する透明電極17の入出力端子19a,19bと液晶駆動用IC18の入出力バンプ21a,21bとの間で押し潰され、加熱あるいは紫外線照射により、導電性粒子が押し潰された状態で硬化する。これにより、異方性導電フィルム1は、透明基板12と液晶駆動用IC18とを接続し、導通させることができる。
導電性粒子4としては、異方性導電フィルム1において使用されている公知の何れの導電性粒子を挙げることができる。導電性粒子4としては、例えば、ニッケル、鉄、銅、アルミニウム、錫、鉛、クロム、コバルト、銀、金等の各種金属や金属合金の粒子、金属酸化物、カーボン、グラファイト、ガラス、セラミック、プラスチック等の粒子の表面に金属をコートしたもの、或いは、これらの粒子の表面に更に絶縁薄膜をコートしたもの等が挙げられる。樹脂粒子の表面に金属をコートしたものである場合、樹脂粒子としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、アクリロニトリル・スチレン(AS)樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ジビニルベンゼン系樹脂、スチレン系樹脂等の粒子を挙げることができる。導電性粒子4の大きさは1〜10μmが好ましいが、本発明はこれに限定されるものではない。
異方性導電フィルム1は、平面視において、互いに非接触で独立して配列された導電性粒子4が遍在されている。例えば、導電性粒子4は所定の配列パターンで配列され、図10(A)(B)や図11(A)(B)に示すように、四方格子状に規則配列され、あるいは六方格子状に規則配列される。導電性粒子4の配列パターンは、任意に設定することができる。このような導電性粒子4の配列距離は適宜調整することができ、例えば図12(A)(B)に示すように、互いに非接触で独立する導電性粒子4が不規則に遍在される、即ち、配列の方向によって異なる配列距離であってもよい。
次いで、透明基板12に液晶駆動用IC18を接続する接続工程について説明する。先ず、透明基板12の入出力端子19a,19bが形成された実装部27上に異方性導電フィルム1を仮貼りする。次いで、この透明基板12を接続装置のステージ上に載置し、透明基板12の実装部27上に異方性導電フィルム1を介して液晶駆動用IC18を配置する。
入出力バンプ21a,21bとの間で導電性粒子4が押圧されることにより、透明基板12側から入出力端子19a,19bの箇所に、互いに非接触で独立した圧痕30を観察できる。液晶駆動用IC18の接続後、透明基板12の裏面(入出力端子19a,19bの反対側)より目視(顕微鏡など)あるいは撮像画像によって観察することで接続性の検査を行うことができる。
評価用ICの接続に用いる異方性導電フィルムのバインダー樹脂層は、フェノキシ樹脂(商品名:YP50、新日鐵化学社製)50質量部、エポキシ樹脂(商品名:YL980、三菱化学社製)45質量部、シランカップリング剤(商品名:KBM−403、信越化学工業社製)2質量部、カチオン系硬化剤(商品名:SI−60L、三新化学工業社製)3質量部を溶剤に加えたバインダー樹脂組成物を調整し、このバインダー樹脂組成物を剥離フィルム上に塗布、70℃オーブンにて乾燥することにより厚さ16μmに形成した。このバインダー樹脂層に、導電性粒子を所定の粒子密度で配置又はランダムに分散させた。
圧痕数及び導通抵抗測定用の評価素子として、外形;0.7mm×20mm、厚み0.2mm、バンプ(Au‐plated);幅15μm×長さ100μm、高さ12μm、バンプピッチ14μmの評価用ICを用いた。
バンプ間ショートの発生率計測用の評価素子として、7.5μmスペースの櫛歯TEG(Test Element Group)を用いた。
導通抵抗測定用の評価用IC及び圧痕による粒子捕捉数計測用の評価用ICが接続される評価用ガラス基板として、外形;30mm×50mm、厚み0.5mm、導通抵抗測定用の評価用ICのバンプと同サイズ同ピッチの端子が複数配列された端子列が形成されたITOパターングラス(コーニング社製)を用いた。
実施例1では、バインダー樹脂層に互いに非接触で独立して六方格子状に配置された導電性粒子が遍在する異方性導電フィルムを用いた。実施例1で用いた異方性導電フィルムは、延伸可能なシート上に粘着剤を塗布し、その上に導電性粒子を格子状かつ均等に単層配列した後、当該シートを所望の延伸倍率で延伸させた状態で、バインダー樹脂層をラミネートすることにより製造した。また、実施例1で用いた異方性導電フィルムの導電性粒子(商品名:AUL704、積水化学工業社製)は粒子径4μmで、粒子個数密度は28000pcs/mm2である。
実施例2では、実施例1と同じ異方性導電フィルム及び評価用ICを用いて実施例1と同じ条件で接続体サンプルを製造した。実施例2に係る接続体サンプルの接続時バンプ幅は5μmであり、10μmのアライメントずれが生じた。
実施例3では、実施例1と同じ異方性導電フィルム及び評価用ICを用いて実施例1と同じ条件で接続体サンプルを製造した。実施例3に係る接続体サンプルの接続時バンプ幅は15μmであり、アライメントずれは生じなかった。
実施例4では、実施例1と同じ異方性導電フィルムを用いて実施例1と同じ条件で接続体サンプルを製造した。また、圧痕数及び導通抵抗測定用の評価用ICとして、導電性粒子を捕捉するバンプ表面に、導電性粒子の粒子径の10%以上の高低差を有する凹凸部が形成され、一つのバンプ表面において、最も突出した位置からの高低差が導電性粒子の粒子径の20%以上である領域がバンプ表面積の70%である評価用ICを用いた。実施例4に係る接続体サンプルの接続時バンプ幅は10μmであり、5μmのアライメントずれが生じた。
実施例5では、実施例4と同じ異方性導電フィルム及び評価用ICを用いて実施例1と同じ条件で接続体サンプルを製造した。実施例5に係る接続体サンプルの接続時バンプ幅は5μmであり、10μmのアライメントずれが生じた。
実施例6では、実施例1と同じ異方性導電フィルムを用いて実施例1と同じ条件で接続体サンプルを製造した。また、圧痕数及び導通抵抗測定用の評価用ICとして、導電性粒子を捕捉するバンプ表面に、導電性粒子の粒子径の10%以上の高低差を有する凹凸部が形成され、一つのバンプ表面において、最も突出した位置からの高低差が導電性粒子の粒子径の20%以上である領域がバンプ表面積の30%である評価用ICを用いた。実施例6に係る接続体サンプルの接続時バンプ幅は10μmであり、5μmのアライメントずれが生じた。
実施例7では、粒子径3μmの導電性粒子(商品名:AUL703、積水化学工業社製)を含有した異方性導電フィルムを用いた他は、実施例4と同じ条件で接続体サンプルを製造した。実施例7に係る接続体サンプルの接続時バンプ幅は10μmであり、5μmのアライメントずれが生じた。
比較例1では、バインダー樹脂組成物に導電性粒子を加えて調整し、剥離フィルム上に塗布、焼成することにより、バインダー樹脂層に導電性粒子がランダムに分散されている異方性導電フィルムを用いた。使用した導電性粒子(商品名:AUL704、積水化学工業社製)は粒子径4μmで、粒子個数密度は28000pcs/mm2である。評価用ICや接続条件等は実施例1と同じである。比較例1に係る接続体サンプルの接続時バンプ幅は10μmであり、5μmのアライメントずれが生じた。
比較例2では、粒子個数密度が65000pcs/mm2である異方性導電フィルムを用いた他は、比較例1と同じ条件で接続体サンプルを製造した。比較例2に係る接続体サンプルの接続時バンプ幅は10μmであり、5μmのアライメントずれが生じた。
比較例3では、比較例2と同じ異方性導電フィルムを用いて接続体サンプルを製造した。また、圧痕数及び導通抵抗測定用の評価用ICとして、導電性粒子を捕捉するバンプ表面に、導電性粒子の粒子径の10%以上の高低差を有する凹凸部が形成され、一つのバンプ表面において、最も突出した位置からの高低差が導電性粒子の粒子径の20%以上である領域がバンプ表面積の70%である評価用ICを用いた。比較例3に係る接続体サンプルの接続時バンプ幅は10μmであり、5μmのアライメントずれが生じた。
比較例4では、粒子径3μmの導電性粒子(商品名:AUL703、積水化学工業社製)を含有した異方性導電フィルムを用いた他は、比較例3と同じ条件で接続体サンプルを製造した。比較例4に係る接続体サンプルの接続時バンプ幅は10μmであり、5μmのアライメントずれが生じた。
Claims (6)
- 複数の端子が形成された透明基板と、
バインダー樹脂に導電性粒子が配置された異方性導電接着剤を介して上記透明基板に接続され、上記複数の端子と上記導電性粒子を介して電気的に接続された複数のバンプが形成された電子部品とを備え、
上記導電性粒子同士は互いに非接触で独立し、
上記バンプは、上記導電性粒子を捕捉する表面に、上記導電性粒子の粒子径の10%以上の高低差を有する凹凸部が形成され、一つの上記バンプ表面において、最も突出した凸部からの高低差が上記導電性粒子の粒子径の20%以上である領域がバンプ表面積の70%以下である接続体。 - 上記導電性粒子の、一対の上記端子及び上記バンプが重畳する面積に占める割合が10%以上である請求項1記載の接続体
- 一つの上記バンプにおける上記導電性粒子の最少捕捉数が3個以上である請求項1又は2に記載の接続体。
- 上記導電性粒子の独立した圧痕の割合は、一つの上記バンプの表面内に存在する上記導電性粒子数の70%以上である請求項1〜3のいずれか1項に記載の接続体。
- 透明基板上に、導電性粒子を含有した接着剤を介して電子部品を搭載し、
上記電子部品を上記透明基板に対して押圧するとともに、上記接着剤を硬化させることにより、上記導電性粒子を介して上記電子部品に形成されたバンプと上記透明基板に形成された端子とを電気的に接続する接続体の製造方法において、
上記異方性導電接着剤は、バインダー樹脂に上記導電性粒子が互いに非接触で独立して配置され、
上記バンプは、上記導電性粒子を捕捉する表面に、上記導電性粒子の粒子径の10%以上の高低差を有する凹凸部が形成され、一つの上記バンプ表面において、最も突出した位置からの高低差が上記導電性粒子の粒子径の20%以上である領域がバンプ表面積の70%以下である接続体の製造方法。 - 複数の端子が形成された透明基板上に導電性粒子が配置された異方性導電接着剤を介して複数のバンプが形成された電子部品が接続された接続体の接続状態を検査する検査方法において、
上記異方性導電接着剤は、バインダー樹脂に上記導電性粒子が互いに非接触で独立して配置され、
上記バンプは、上記導電性粒子を捕捉する表面に、上記導電性粒子の粒子径の10%以上の高低差を有する凹凸部が形成され、一つの上記バンプ表面において、最も突出した位置からの高低差が上記導電性粒子の粒子径の20%以上である領域がバンプ表面積の70%以下であり、
上記透明基板の端子に現れる上記異方性導電接着剤に含有された上記導電性粒子の圧痕を観察して、上記電子部品の接続状態を検査する検査方法。
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