JP2016534329A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. サンプルの表面欠陥の人間による目視検査用の欠陥検査システムであって、前記欠陥検査システムは、
   一平面内に形成された光源のアレイを備える、サンプルの表面を照光するための照明システムであって、前記光源のアレイが、前記平面内のサンプルに向かう照光方向の範囲を規定し、この範囲が少なくとも９０度に及ぶ照明システムと、
   前記光源の出力の強度を徐々に変えるように前記アレイ内の光源を制御する制御装置であって、各光源は、前記サンプルの各点が、シーケンス内のそれぞれの時点で単一入射方向での最大光源強度を持つ照明分布で照光されるように、前記シーケンス内の前記それぞれの時点で他の光源よりも大きい強度を有し、前記最大光源強度が提供される方向が時間と共に変化して前記照光方向の範囲に及ぶ、制御装置と、
   を備える、欠陥検査システム。
2. サンプルの表面欠陥の自動検査用の欠陥検査システムであって、前記欠陥検査システムは、
   一平面内に形成された光源のアレイを備える、サンプルの表面を照光するための照明システムであって、前記光源のアレイが、前記平面内のサンプルに向かう照光方向の範囲を規定し、この範囲が少なくとも９０度に及ぶ照明システムと、
   前記光源の出力の強度を徐々に変えるように前記アレイ内の光源を制御する制御装置であって、各光源は、前記サンプルの各点が、シーケンス内のそれぞれの時点で単一入射方向での最大光源強度を持つ照明分布で照光されるように、前記シーケンス内の前記それぞれの時点で他の光源よりも大きい強度を有し、前記最大光源強度が提供される方向が時間と共に変化して前記照光方向の範囲に及ぶ、制御装置と、
   少なくとも１つのカメラと、
   光源動作シーケンスで連続する画像を撮影するようにカメラを制御するためのコントローラと、
   画像を処理して少なくとも１つの差分画像を導出し、前記差分画像に基づいて欠陥検出を提供するためのプロセッサとを備え、
   前記差分画像が、他では滑らかな表面上のランダムに存在する表面欠陥によって引き起こされる陰影位置の変化を強調する、
   欠陥検査システム。
3. 前記照光方向の範囲は、少なくとも１３５度、又は更には少なくとも１８０度の範囲である、請求項１又は２に記載の欠陥検査システム。
4. 前記光源は、全てが同じ周期を有するが、異なる位相である正弦波強度プロファイルで前記光源の強度を変化するように前記光源のアレイを制御する、請求項１乃至３の何れか一項に記載の欠陥検査システム。
5. 前記平面に垂直な方向で前記照明システムに対して可動であるサンプルプラットフォームをさらに備える、請求項１乃至４の何れか一項に記載の欠陥検査システム。
6. 前記光源のアレイは、前記光源のサブアレイを複数備え、各サブアレイがそれぞれの平面内に形成され、異なるサブアレイに関する平面の法線方向は一列である、請求項１乃至５の何れか一項に記載の欠陥検査システム。
7. 前記制御装置は、それぞれのシーケンスに応じて前記それぞれの平面内に形成される前記光源のサブアレイからの前記光源の前記出力の強度を徐々に変え、前記それぞれのシーケンス内のそれぞれの時点で、前記サブアレイからの各光源は前記サブアレイからの他の光源よりも大きい強度を有し、
   前記それぞれの平面内の光源の各サブアレイからの照明分布の最大光源強度の単一入射方向は、異なるそれぞれの平面で異なる、請求項６に記載の欠陥検査システム。
8. 前記サンプルプラットフォームは、前記それぞれの平面に垂直な前記一列に沿った方向で前記照明システムに対して可動である、請求項６又は７に記載の欠陥検査システム。
9. 車体パネル塗装作業検査システムを備える、請求項１乃至８の何れか一項に記載の欠陥検査システム。
10. サンプルの欠陥の人間による目視検査を可能にするためにサンプルの表面に照明を提供する方法であって、当該方法は、
    一平面内に形成された光源のアレイを使用して前記サンプルの表面を照光するステップであって、前記光源のアレイが、前記平面内の前記サンプルに向かう照光方向の範囲を規定し、この範囲が少なくとも９０度に及ぶステップと、
    前記光源の出力の強度を徐々に変えるように前記アレイ内の光源を制御するステップであって、各光源は、前記サンプルの各点が、シーケンス内のそれぞれの時点で単一入射方向での最大光源強度を持つ照明分布で照光されるように、前記シーケンス内の前記それぞれの時点で他の光源よりも大きい強度を有し、前記最大光源強度が提供される方向が時間と共に変化して前記照光方向の範囲に及ぶ、ステップと、
    を含む、方法。
11. サンプルの欠陥の自動検査を可能にするためにサンプルの表面に照明を提供する方法であって、
    一平面内に形成された光源のアレイを使用して前記サンプルの表面を照光するステップであって、前記光源のアレイが、前記平面内の前記サンプルに向かう照光方向の範囲を規定し、この範囲が少なくとも９０度に及ぶステップと、
    前記光源の出力の強度を徐々に変えるように前記アレイ内の光源を制御するステップであって、各光源は、前記サンプルの各点が、シーケンス内のそれぞれの時点で単一入射方向での最大光源強度を持つ照明分布で照光されるように、前記シーケンス内の前記それぞれの時点で他の光源よりも大きい強度を有し、前記最大光源強度が提供される方向が時間と共に変化して前記照光方向の範囲に及ぶ、ステップと、
    光源動作シーケンスで連続するカメラ画像を撮影するステップと、
    画像を処理して、少なくとも１つの差分画像を導出するステップであって、前記差分画像が、他では滑らかな表面上のランダムに存在する表面欠陥によって引き起こされる陰影位置の変化を強調するステップと、
    前記差分画像に基づいて欠陥検出を提供するステップと、
    を含む、方法。
12. 全てが同じ周期を有するが異なる位相である正弦波強度プロファイルで、前記光源の強度を変えるように前記光源のアレイを制御するステップを有する、請求項１０又は１１に記載の方法。
13. 前記平面に対して垂直な方向に前記光源のアレイに対して前記サンプルを移動させるステップを有する、請求項１０乃至１２の何れか一項に記載の方法。
14. 光源のサブアレイを複数備える光源のアレイを使用して前記サンプルを照明するステップを有し、各サブアレイがそれぞれの平面内に形成され、異なるサブアレイに関する平面は平行である、請求項１０乃至１３の何れか一項に記載の方法。
15. 前記それぞれの平面の各々の内の光源の各サブアレイからの照明分布の最大光源強度の単一入射方向が、異なるそれぞれの平面で異なるように前記サンプルを照光するように、前記光源のサブアレイの前記光源を制御するステップを有する、請求項１４に記載の方法。