JP2016521000A - 電子機器用キャビネット - Google Patents
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Abstract
Description
したがって、第1の態様によれば、電子機器を収容するためのキャビネットが提供され、このキャビネットは、内部にアクセスするための開口を備えるアクセス側部とアクセス側部の対向側の第2の側部とを備えるケーシングと、ケーシングの内部に電子機器を収容するための、及びアクセス側部との間に第1のプレナム空間を画定するようにケーシング内に位置決めされたラックであって、キャビネットが電子機器と熱連通状態にある第1の冷却媒体を囲むように構成される、ラックと、第1のプレナム空間から電子機器を横断して第2の側部に向かって第1の冷却媒体の流れを発生させるための流れ発生器と、第1の冷却媒体から熱エネルギーを抽出するための熱交換器とを備え、熱交換器及び流れ発生器は、ケーシングの第2の側部に又はその付近に設けられ、ケーシングは、第2の側部から第1のプレナム空間に第1の冷却媒体を再循環させるために、ラックの側方壁部に沿って及び第2の側部及び第1のプレナム空間と流体連通状態に設けられたチャネルを備える。
閉鎖されたパネルは、さらなる構造要素を必要とせずにチャネルの境界壁部を画定し、チャネルを通り流れ戻る冷却された空気から、ラックの内部の電子機器を横断して流れる加熱された空気を分離した状態に保つ。対向し合う側方壁部は、好ましくはステンレス鋼、亜鉛メッキ鋼、及び粉体塗装鋼の中の1つである金属を備える単一材パネルシートによって形成され得る。
結果的に得られるラック壁部構成は、一方の壁部側に冷却流体チャネル境界を画定し、キャビネット全体により占められる所要側方空間を最小限に抑えつつ対向壁部側に機器(規格寸法を有する)を効率的に収容する。
代替的には又は追加的には、熱交換器は、例えばペルチエ素子などの熱電デバイスを備えてもよい。
側方垂直方向凹部は、ケーシング内の流体流を妨害することなく、及び特に第1のプレナム空間内の空気流に乱流を誘発することなく、対応する機器に必要とされる電力ケーブル及び/又は信号ケーブルを送る。各機器位置にて、ケーブルは、対応する電子機器ユニットの前方側部に連結されることとなる垂直方向凹部から出る。キャビネットの前部に機器用のケーブル及び接続部を配置することによって、(例えばメンテナンス時に)キャビネットの第2の側部から機器にアクセスする必要性が回避されるか、又は少なくとも軽減される。
一実施形態によれば、垂直方向凹部は、側方壁部全体に実質的に沿って垂直方向に延在し、前方プレナム空間のプレナム高さと実質的に等しい高さを有する。
さらなる一実施形態によれば、キャビネットは、垂直方向凹部から分岐した少なくとも1つのケーブル導管を備え、少なくとも1つのケーブル導管は、ケーシングの外部の側方壁部上に取り付けられた導管によって形成される。
平滑軌道により、ケーブルは、一方の導管端部にて挿入され、ケーブル導管を通して徐々に搬送され、妨害されることなく他方の導管端部にて退出することが可能となる。
さらなる実施形態によれば、少なくとも1つのケーブル導管は、側方壁部の内方壁部板と外方壁部板との間に備えられた屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部によって形成される。
さらなる一実施形態によれば、少なくとも1つのケーブル導管の屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部は、垂直方向へと終端する。
一実施形態によれば、キャビネットは、キャビネットの床部に沿って長手方向に配置されたレール及びリニア軸受の少なくとも一方を備える。
キャビネットの床部にレール及び/又は軸受を設けることにより、キャビネットは、設置とメンテナンスとを容易にするように下方ユニット(例えばリソグラフィシステムの真空ユニット)上に容易に位置決めされ得る及び下方ユニットから容易に除去され得る。
代替的には又は追加的には、キャビネットは、ケーシング内の流体流を局所的に測定し、流体流を表す流れ測定信号を生成するように構成された流れセンサを備え得る。
キャビネットが真空チャンバの頂部側部上に位置決めされる一実施形態によれば、真空チャンバは、長手方向に沿ってリニア軸受部材又はトラックを頂部側部に備える。
この態様の実施形態は、本明細書で以下に示される一連の項によってさらに定義される。
以下、添付の概略図を参照として、実施形態をもっぱら例として説明する。これらの図面では、対応する参照符号は、対応するパーツを示す。
図1は、当接するように横並びに配置された2つのリソグラフィユニット2a、2b(参照番号2で全体的に示される)の直列構成の斜視図を概略的に示す。
キャビネット
図2及び図3は、一実施形態によるキャビネット10の上方断面図及び正面図を概略的に示す。キャビネット10は、電子機器46を収容するためのケーシング12を備える。図2及び図3に示されるように、キャビネット10は、アクセス側部すなわち前方側部23と、後方壁部18と、第1の側方壁部16aと、第1の側方壁部16aの対向側の第2の側方壁部16bと、頂部壁部20と、床部22とを有する。ケーシング12の前方側部すなわちアクセス側部23は、開口24を画定し、この開口24は、キャビネット10の内部へのアクセスを与え、封止的に開口24を覆うための2つのドア26a、26bを備える。キャビネット10の壁部16〜22及びドア26は、固体パネルにより形成され、この固体パネルは、環境からの空気がキャビネット10に進入するのを防止する。直列の側方に離間されたラック40a、40bが、キャビネット10の内部に設けられる。各ラック40は、キャビネット10の使用時に全ての種類の電子機器46a、46bを格納する棚44を備える。各ラック40は、各ラック40の側方側部に設けられ長手方向X及び垂直方向Zに延在するラック壁部42a、42bを有する。棚44は、ラック壁部42間に水平方向に懸架され、任意の所望の配置へと垂直方向に再位置決めされ得るため、様々な高さの電子機器46が、任意の所望の配置でケーシング内部に設置され得る。電子機器46は、電荷キャリアの運動を伴った動作を行う電子構成要素47を備える。電子構成要素47は、熱を発生し、典型的には構成要素及びシステムの故障を防止するための冷却を必要とする。電子構成要素47は、任意の個数の電源、集積回路、メモリモジュール、磁気記憶媒体、光記憶媒体、もしくは固体記憶媒体、オーディオハードウェア、及び/又はビデオハードウェアを備え得るが、それらに限定されない。ラック40は、例えば、典型的には1つ又は複数のプロセッサと、メモリモジュールと、データ記憶手段と、ネットワークコントローラとを備えるサーバを支持し得る。
クーラフレーム
図4a及び図4bは、図1〜図3を参照として説明されるデュアルラック実施形態に類似の一実施形態によるキャビネット10のモジュール式クーラフレーム29の後方斜視図を示す。流れ発生器及び熱交換器は、クーラフレーム29と一体化され、このクーラフレーム29は、キャビネットケーシング12に対して個別に再位置決め可能である。再位置決め可能クーラフレーム29は、後方側部17を覆いキャビネットの後方壁部18を形成するためにケーシング12の後方側部17全体に実質的にわたって延在する(例えば図2を参照)。
冷却方法
電子機器46を冷却するための方法の一実施形態は、
熱を発生する電子機器46と熱連通状態にあるガス状の第1の冷却媒体27を囲まれたキャビネット10内で循環させ、それにより第1の冷却媒体27を加熱することと、
加熱された第1の冷却媒体27から第2の冷却媒体33に熱Qを伝達することにより熱交換器構成体31で加熱された第1の冷却媒体27を冷却することと、
チャネル36を通りキャビネット10のアクセス側部23に設けられた第1のプレナム空間35に戻るように冷却された第1の冷却媒体27を再循環させることと
を備える。
リソグラフィシステム
図5a及び図5bは、複合リソグラフィシステム(又は「クラスタ」)1を形成する複数のリソグラフィユニット2a〜2j(全体的に参照番号2で示される)の好ましい構成を概略的に示す。
側方ケーブル導管を有するキャビネット
図6は、図1〜図3に示されるキャビネット10と同様のキャビネット10’の代替的な実施形態の斜視図を示す。図1〜図3を参照として既に上述されたキャビネット10における特徴の大半が、図6に示されるキャビネット10’においても存在し得るため、これらはここでは再び論じられない。図6を参照として論じられる特徴については、同様の参照番号が、同様の特徴に対して使用されるが、実施形態同士を区別するためにプライム符号によって示される。
単一ラック及び側方通路
当業者及び本明細書の教示により通知される者は、本発明が、例えばコンピュータデータセンタ又は遠隔通信中央局などの、構成要素により発生される熱の冷却が望まれる構成要素を収容する任意のキャビネット(ハウジング、筐体、又はそれらの群)に対しても適用可能である点を理解されよう。例えば、図7は、キャビネット10’’の「非セットトップ」構成を示し、このキャビネット10’’は、単一電子機器ラック40’’を収容する内部を画定する閉鎖可能ケージング12’’を備える。ラック40’’は、ケーシング12’’の内部に様々な高さにて電子機器46’’を収容するための棚44’’を支持する。キャビネット10’’は、別個のクーラフレーム29’’を備え、このクーラフレーム29’’は、ケーシング12’’の第2の側部すなわち後方側部17’’に取付け可能である。クーラフレーム29’’は、複数の空気循環器30’’と、ケーシング12’’の後方側部17’’の全体にわたり延在する熱交換器31’’とを備える。チャネル36’’が、長手方向Xに沿ってケーシング12’’の側方壁部に沿って画定される。チャネル36’’は、ラック40’’の前方側部に画定された第1のプレナム空間すなわち前方プレナム空間35’’からケーシング12’’の後方側部17’’まで延在し、ラック壁部42’’によって側方に及び垂直方向に画定される。図7のキャビネット10’’は、本明細書において既に上述されように、第1の冷却媒体の閉ループ水平方向循環流(チャネル36’’を通り前方プレナム空間35’’内に進み電子機器46’’を横断し空気循環器30’’及び熱交換器31’’へと戻るように流れる)を誘発するための同様の長手方向冷却構成をもたらし、コンピュータデータセンタで使用するのに非常に適する。また、図7に示されるキャビネット10’’と同様の「非セットトップ」キャビネットの実施形態は、直列ラック構成と、図1〜図4を参照として既に説明された他の特徴とを伴ってもよい。
凹状壁部プロファイルを有するラック壁部パネル
上述のキャビネット実施形態のいずれにおいても、長手方向流体戻りチャネルが、少なくとも1つの側方ラック壁部と付近の壁部(例えば隣接するラックのラック壁部)との間の空間によって形成される。ラック壁部の中の任意の1つが、長手方向及び垂直方向に沿ってチャネルの境界を画定する実質的に閉鎖されたパネルによって形成されてもよい。
幅W1(一方の機器側方壁部98から同機器ユニットの対向側の壁部までで測定された)を有する電子機器46が同ラック40の壁部間に収容され得るように、同ラック40’’’の側方の対向側の壁部43b’’’から十分な大きさのヘッダ内距離W1*を有して位置決めされる。好ましくは、ヘッダ内距離W1*は、最小であり、機器幅W1と実質的に等しい(約数ミリメートル以下の差異を有する)ため、結果としてヘッダ壁部部分84b’’’とラック40b内に位置決めされた電子機器46の付近の側方機器壁部98との間にて(ほぼ)接触する構成が得られる。
先行技術のラック
図10aでは、19インチ規格にしたがった先行技術の機器ラック120の上方断面図が、本明細書において上述された本発明の実施形態による凹状プロファイルを有するラック壁部との相違点を説明するために示される。先行技術のラック120は、ラック120の隅部に4つの矩形C字形ストラット122を備える。L字形取付けブラケット124が、ブラケットコネクタ126(例えばボルト)を取り付けることにより垂直方向長さに沿って各ストラット122に固定される。各L字形取付けブラケット124は、規格垂直方向距離をおいた取付け穴を有する内方向フランジを備える。電子機器ユニット46の前方パネル94は、パネルコネクタ96(例えばボルト)によりL字形取付けブラケット124に固定される。各対のストラット122は、垂直方向に機器ユニット46を支持する役割を果たす機器支持ブラケット128の一部を形成する垂直方向フランジ130によって長手方向に沿って相互連結される。各垂直方向フランジ130は、ブラケットコネクタ132(例えばボルト)により2つの対応するストラット122に連結される。取付けブラケット124及び対応するストラット122は、機器パネル94の各側に追加の幅W5を占め、これらにより、先行技術の全ラック幅が本発明の実施形態による凹状壁部プロファイルの実現可能な幅よりも大きくなる。
流れ案内ビーム
図11は、一実施形態によるキャビネット10の流れ案内ビーム28の前方斜視図を示す。流れ案内ビーム28は、図1〜図3に示されるように、垂直方向に沿って配向されて及びキャビネット10のアクセス側部23の前方プレナム空間35内に取り付けられるように構成される。流れ案内ビーム28は、キャビネット10のラック40内の専用棚44上に設けられ得る電源(図示せず)に接続するための給電ソケット110を備える。他方で、流れ案内ビーム28は、キャビネット10のラック40内の様々な他の棚44上に設けられ得る様々な機器ユニット46のための電気接続部を与えるために、ビーム28の長さに沿って設けられた電源ソケット112に向かって給電ソケット110から案内される電源ケーブル66bを収容するための空間を与える。安全フューズ114及び/又は電力モニタリングインジケータ116が、電源ソケット112の中のいくつか又は全てに対してビーム28に沿って設けられてもよい。
c1:電子機器(46)を収容するためのキャビネット(10)であって、
ケーシングの内部にアクセスするための開口(24)を備えるアクセス側部(23)とアクセス側部の対向側の第2の側部(17)とを備えるケーシング(12)と、
ケーシングの内部に電子機器(46)を収容するための、及びアクセス側部とラックとの間に第1のプレナム空間(35)を画定するようにケーシング内に位置決めされたラック(40a)と
を備え、
第1のプレナム空間(35)が、垂直方向(Z)に沿って電子機器(46)用のケーブル布線(66c)を収容するためにケーシング(12)の側方壁部(16)に垂直方向凹部(38)を備えることを特徴とする、キャビネット(10)。
c2:垂直方向凹部(38)が、側方壁部(16)付近で第1のプレナム空間(35)の側方部分を形成する直方体空部を画定する、項c1に記載のキャビネット(10)。
c3:垂直方向凹部(38)が、実質的に側方壁部(16)全体に沿って垂直方向に延在し、前方プレナム空間(35)のプレナム高さ(Hp)と実質的に等しい高さを垂直方向(Z)に有する、項c1又はc2に記載のキャビネット(10)。
c4:キャビネットの下方外部に垂直方向凹部(38)内に収容されたケーブル布線(66c)を案内するために床部孔(45)を備える、項c1〜c3のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
c5:床部孔(45)が、第1のプレナム空間(35)の側方端部に設けられる、項c4に記載のキャビネット(10)。
c6:垂直方向凹部(38)から分岐する少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)を備え、ここにおいて、少なくとも1つのケーブル導管は、ケーシング(12)の外部の側方壁部(16)上に取り付けられた導管によって形成される、項c1〜c5のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
c7:少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)が、好ましくは平滑曲線を有して湾曲状に形状設定される、項c6に記載のキャビネット(10)。
c8:少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)が、垂直方向(Z)に下方に配向される、項c6又はc7に記載のキャビネット(10)。
c9:少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)が、側方壁部(16)の内方壁部板と外方壁部板との間に備えられる屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部(64)によって形成される、項c6〜c8のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
c10:少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)の屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部(64)は、垂直方向(Z)へと終端する、項9に記載のキャビネット(10)。
c11:垂直方向凹部(38)の側方壁部が、少なくとも1つのケーブル取付具を備える、項c1〜c10のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
c12:少なくとも1つのケーブル取付具は、電子機器ユニットがキャビネット内に収容される高さ範囲にてケーブル布線(66c)が側方方向(Y)へと垂直方向凹部(38)から分岐するのを可能にするために、所定の電子機器ユニット(46)用の高さ範囲内又はその付近に設けられる、項c11に記載のキャビネット(10)。
c13:キャビネット(10)が、電子機器(46)と熱連通状態にある第1の冷却媒体(27)を囲むように構成され、キャビネットが、
第1のプレナム空間(35)から電子機器(46)を横断して第2の側部(17)に向かって第1の冷却媒体(27)の流れ(Φf)を発生させるための流れ発生器(30)と、
第1の冷却媒体(27)から熱エネルギー(Q)を抽出するための熱交換器(31)と
を備え、
熱交換器(31)及び流れ発生器(30)が、ケーシング(12)の第2の側部(17)に又はその付近に設けられ、ケーシングが、第2の側部(17)から第1のプレナム空間(35)に第1の冷却媒体(27)を再循環させるために第2の側部(17)及び第1のプレナム空間(35)と流体連通状態にあるチャネル(36)を備える、項c1〜c12のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
c14:ラック(40)が、対向し合う側方壁部(42)を備え、少なくとも1つの側方壁部が、チャネル(36)の垂直方向境界部を画定する実質的に閉鎖されたパネルを備える、項c13に記載のキャビネット(10)。
c15:キャビネットが、キャビネットの内部に配置されラック(40a)から側方に離間されたさらなるラック(40b)を備え、それによりキャビネットの長手方向正中線に沿ってラックとさらなるラックとの間にチャネル(36)を画定する、項c13又はc14に記載のキャビネット(10)。
c16:キャビネットが、ケーシング(12)の頂部壁部(20)及び床部(22)の内方表面同士の間に画定された内方高さ(Hi)を有し、チャネル(36)が、内方高さ(Hi)に等しいチャネル高さ(Hc)を有する垂直方向間隙を画定する、項c13〜c15のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
c17:第1のプレナム空間内への第1の冷却媒体(27)の再循環流(Φf)を調整するために、チャネル(36)の前方孔(37)に沿って第1のプレナム空間(35)内に配置された流れ案内ビーム(28)を備える、項C13〜c16のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
c18:流れ案内ビーム(28)が、ケーシング(12)の頂部壁部(20)と床部(22)との間に延在し、流れ案内ビームが、頂部壁部(20)と床部(22)との間に少なくとも1つのケーブル(66b)を収容及び案内するための中空部材として形成される、項c17に記載のキャビネット(10)。
c19:第1の冷却媒体(27)が、ガスであり、熱交換器(31)が、流体を備える第2の冷却媒体(33)に熱エネルギー(Q)を伝達するように構成されたガス−流体間熱交換器である、項c13〜c18のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
c20:ガス−流体間熱交換器(31)が、キャビネットの外部に第2の冷却媒体(33)を搬送するための流体回路(34)に結合される、項c19に記載のキャビネット(10)。
c21:ガス−流体間熱交換器(31)が、第2の側部(17)の付近のキャビネット内に位置決めされたチューブタイプ熱交換器であり、それにより熱交換器とキャビネットの後方壁部(18)との間に第2のプレナム空間(39)を画定し、流れ発生器(30)が、第2のプレナム空間内に設けられた少なくとも1つのファンを備える、項c19又はc20に記載のキャビネット(10)。
c22:キャビネットの床部(22)に沿って長手方向(X)に配置されたレール及びリニア軸受(8)の少なくとも一方を備える、項c1〜c21のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
c23:ケーシング(12)内の温度(T)を測定し、温度を表す温度測定信号を生成するように構成された温度センサ(52)と、ケーシング(12)内の流体流(Φf)を局所的に測定し、流体流を表す流れ測定信号を生成するように構成された流れセンサ(54)との少なくとも一方を備える、項c1〜c22のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
c24:
真空チャンバ(4)と、
項c1〜c23のいずれか一項に記載の電子機器(46)を収容するためのキャビネット(10)と
を備える、リソグラフィユニット(2)。
c25:真空チャンバ(4)が、頂部側部(5)に及び長手方向(X)に沿ってリニア軸受部材(8)を備え、キャビネット(10)が、真空チャンバの頂部側部上に位置決めされる、項c24に記載のリソグラフィユニット(2)。
c26:真空チャンバ(4)が、キャビネット(10)の内部の電子機器(46)に接続された導管及び/又はケーブル(66)を受ける及び通すためのアクセスポートを備えた界面壁部(6)を頂部側部(5)の凹状セクション(7)に備える、項c25に記載のリソグラフィユニット(2)。
c27:界面壁部(6)が、真空チャンバ(4)の頂部側部(5)の全幅にわたって延在し、好ましくは垂直方向(Z)に配向される、項c26に記載のリソグラフィユニット(2)。
c28:凹状セクション(7)が、真空チャンバ(4)の後方側部にて凹状をなし、後方凹状側部が、導管及び/又はケーブル(66)を受ける及び通すためのさらなるアクセスポートを備えるさらなる界面壁部に設けられる、項c26又はc27に記載のリソグラフィユニット(2)。
c29:項c24〜c28のいずれか一項に記載の少なくとも2つのリソグラフィユニット(2)を備え、ここにおいて、リソグラフィユニットは、背面合わせに配置され、背面合わせに配置されたリソグラフィユニット(2)の各キャビネット(10)の第2の側部(17)同士が、相互に対面する、リソグラフィシステム(1)。
2a〜2e リソグラフィユニット
4a〜4e 真空チャンバ
5 頂部側部
6 界面壁部
7 凹状セクション
8 リニア軸受部材(レール)
9 側方ダクト
10a〜10e キャビネット
12 ケーシング(筐体)
14 チャンバ
16a〜16b 側方壁部
17 第2の側部(後方側部)
18a〜18e 後方壁部
20 頂部壁部
22 床部
23 アクセス側部(前方側部)
24 開口
26a〜26b キャビネットドア
27 第1の冷却媒体(例えばガス/空気)
28 流れ案内ビーム(電力バー)
29a〜29b クーラフレーム
30 流れ発生器(空気循環器、例えばファンなど)
31 熱交換器
32 ガス孔
33 第2の冷却媒体(例えば流体)
34 流体導管
35 第1のプレナム空間(前方プレナム空間)
36 チャネル(通路、中央間隙)
37 キャビネットチャネル孔
38 垂直方向凹部(ケーブル溝)
39 第2のプレナム空間(後方プレナム空間)
40a〜40b ラック
41 クーラフレームチャネル孔
42a〜42b ラック壁部
43a〜43b 対向側ラック壁部
44 棚
45 床部孔
46 電子機器
47 電子構成要素
48 前方入口
49 ブラインドパネル
50 後方出口
51 空気供給開口
52 温度センサ
53a〜53b ファン取付けパネル
54 流れセンサ
56 制御ユニット
58 第1の湾曲ケーブル導管
59 第2の湾曲ケーブル導管
60 第3の湾曲ケーブル導管
62 導管孔
63 床部導管孔
64 湾曲ガイド壁部(金属ストリップ)
66a〜66c ケーブル布線
70a〜70e ロードロックシステム
72 基板供給システム
74a〜74e チャンバドア
76a〜76e 基板移送システム
77a〜77d ファン取付具
78 流体供給導管
79 流体排出導管
80 冷却マニホルド
81 チャネル壁部部分
82 壁部ヘッダ
84 ヘッダ壁部部分
86 後方傾斜壁部部分
88 凹状壁部部分
90 棚支持具(取付けストリップ)
92 棚コネクタ(ボルト)
93 さらなる棚コネクタ(ねじ穴又はナット)
94 機器パネル
96 パネルコネクタ(ボルト)
97 さらなるパネルコネクタ(ねじ穴又はナット)
98 機器側方壁部
100 穴封止部材
110 給電ソケット
112 電源ソケット
114 安全フューズ
116 電力モニタリングインジケータ
120 先行技術のラック
122 ストラット
124 L字形取付けブラケット
126 取付けブラケットコネクタ
128 支持ブラケット
130 垂直方向フランジ
132 支持ブラケットコネクタ
Φf ガス流
Φl 液体流
T キャビネット内部温度
X 長手方向
Y 横方向
Z 垂直方向
Q 熱エネルギー(熱)
Hr ラック高さ
Hc チャネル高さ
Hp プレナム高さ
Hi キャビネット内方高さ
W1 機器幅
W1* ヘッダ内幅
W2 空間幅
W3 フランジ幅
W3* ヘッダ幅
W4 パネル幅
W5 追加の幅
以下に、出願当初の特許請求の範囲に記載の事項を、そのまま、付記しておく。
[1] 電子機器(46)を収容するためのキャビネット(10)であって、
内部にアクセスするための開口(24)を備えるアクセス側部(23)と前記アクセス側部の対向側の第2の側部(17)とを備えるケーシング(12)と、
前記ケーシングの内部に前記電子機器(46)を収容するための、及び前記アクセス側部との間に第1のプレナム空間(35)を画定するように前記ケーシング内に位置決めされたラック(40a)と、ここにおいて、前記キャビネット(10)は、前記電子機器(46)と熱連通状態にある第1の冷却媒体(27)を囲むように構成される、
前記第1のプレナム空間(35)から前記電子機器(46)を横断して前記第2の側部(17)に向かって前記第1の冷却媒体(27)の流れ(Φf)を発生させるための流れ発生器(30)と、
前記第1の冷却媒体(27)から熱エネルギー(Q)を抽出するための熱交換器(31)と
を備え、
前記熱交換器(31)及び前記流れ発生器(30)は、前記ケーシング(12)の前記第2の側部(17)に又はその付近に設けられることと、前記ケーシングは、前記第2の側部(17)から前記第1のプレナム空間(35)に第1の冷却媒体(27)を再循環させるために、前記ラックの側方壁部(42)に沿って設けられ、前記第2の側部(17)及び前記第1のプレナム空間(35)と流体連通状態に設けられたチャネル(36)を備えることとを特徴とする、キャビネット(10)。
[2] 前記ラック(40)は、対向し合う側方ラック壁部(42、43)を備え、少なくとも1つの側方ラック壁部が、前記チャネル(36)の垂直方向境界部を画定する実質的に閉鎖されたパネルを備える、[1]に記載のキャビネット(10)。
[3] 前記側方ラック壁部(42)は、前記チャネル(36)の方を向いた外方壁部部分(81)と、前記チャネル(36)から離れる方向に向き凹状プロファイル(84、86、88)を備える内方壁部部分とを備え、前記凹状プロファイルは、ヘッダ壁部部分(84)と、前記ヘッダ壁部部分に対して平行であり同一平面をなし、前記内方壁部部分に棚(44)を固定するための棚支持具(90)を収容するように構成された凹状壁部部分(88)とを備える、[2]に記載のキャビネット(10)。
[4] 前記熱交換器(31)及び前記流れ発生器(30)は、前記ケーシング(12)に対して別個に再位置決め可能であるクーラフレーム(29)へと一体化される、[1]〜[3]のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
[5] 前記再位置決め可能なクーラフレーム(29)は、前記ケーシング(12)の前記第2の側部(17)全体に実質的にわたって延在し、それにより前記第2の側部上の開口を覆い、前記キャビネットの後方壁部(18)を形成する、[4]に記載のキャビネット(10)。
[6] 前記キャビネットは、前記キャビネットの内部に配置され前記ラック(40a)から側方に離間されたさらなるラック(40b)を備え、それにより前記キャビネットの長手方向正中線に沿って前記ラックと前記さらなるラックとの間に前記チャネル(36)を画定する、[1]〜[5]のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
[7] 前記キャビネットは、前記ケーシング(12)の頂部壁部(20)及び床部(22)の内方表面同士の間に画定された内方高さ(Hi)を有し、前記チャネル(36)は、前記内方高さ(Hi)に等しいチャネル高さ(Hc)を有する垂直方向間隙を画定する、[1]〜[6]のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
[8] 前記第1のプレナム空間内への前記第1の冷却媒体(27)の再循環流(Φf)を調整するために、前記チャネル(36)の前方孔(37)に沿って前記第1のプレナム空間(35)内に配置された流れ案内ビーム(28)を備える、[1]〜[7]のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
[9] 前記流れ案内ビーム(28)は、前記ケーシング(12)の前記頂部壁部(20)と前記床部(22)との間に延在し、前記流れ案内ビームは、前記頂部壁部(20)と前記床部(22)との間に少なくとも1つのケーブル(66c)を収容する及び案内するための中空部材として形成される、[8]に記載のキャビネット(10)。
[10] 前記第1の冷却媒体(27)は、ガスであり、前記熱交換器(31)は、流体を備える第2の冷却媒体(33)に前記熱エネルギー(Q)を伝達するように構成されたガス−流体間熱交換器である、[1]〜[9]のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
[11] 前記ガス−流体間熱交換器(31)は、前記第2の側部(17)の付近の前記キャビネット内に位置決めされ、それにより前記熱交換器と前記キャビネットの後方壁部(18)との間に第2のプレナム空間(39)を画定するチューブタイプ熱交換器であり、前記流れ発生器(30)は、前記第2のプレナム空間内に設けられた少なくとも1つのファンを備える、[10]に記載のキャビネット(10)。
[12] 前記第1のプレナム空間(35)は、垂直方向(Z)に沿って前記電子機器(46)用のケーブル布線を収容するために、前記ケーシング(12)の側方壁部(16)に垂直方向凹部(38)を備える、[1]〜[11]のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
[13] [1]〜[12]のいずれか一項に記載の、電子機器(46)を収容するためのキャビネット(10)であって、
内部にアクセスするための開口(24)を備えるアクセス側部(23)と前記アクセス側部の対向側の第2の側部(17)とを備えるケーシング(12)と、
前記ケーシングの内部に前記電子機器(46)を収容するための、及び前記アクセス側部との間に第1のプレナム空間(35)を画定するように前記ケーシング内に位置決めされたラック(40a)と
を備え、
前記第1のプレナム空間(35)は、垂直方向(Z)に沿って前記電子機器(46)用のケーブル布線(66c)を収容するために前記ケーシング(12)の側方壁部(16)に垂直方向凹部(38)を備える、キャビネット(10)。
[14] 前記垂直方向凹部(38)の側方壁部が、少なくとも1つのケーブル取付具を備える、[12]又は[13]に記載のキャビネット(10)。
[15] 前記少なくとも1つのケーブル取付具は、所定の電子機器ユニット(46)が前記キャビネット内に収容される高さの範囲にてケーブル布線(66c)が側方方向へと前記垂直方向凹部(38)から分岐するのを可能にするために、前記所定の電子機器ユニット(46)用のレベル範囲内又はその付近に設けられる、[14]に記載のキャビネット(10)。
[16] 前記キャビネットの下方外部に前記垂直方向凹部(38)内に収容されたケーブル布線(66c)を案内するための床部孔(45)を備える、[12]〜[15]のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
[17] 前記床部孔(45)は、前記第1のプレナム空間(35)の側方端部に設けられる、[16]に記載のキャビネット(10)。
[18] 前記垂直方向凹部(38)から分岐する少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)を備え、前記少なくとも1つのケーブル導管は、前記ケーシング(12)の外部の前記側方壁部(16)上に取り付けられた導管によって形成される、[12]〜[17]のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
[19] 前記少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)は、前記側方壁部(16)の内方壁部板と外方壁部板との間に備えられた屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部(64)によって形成される、[18]に記載のキャビネット(10)。
[20] 前記少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)は、好ましくは平滑曲線を有して湾曲状に形状設定される、[19]に記載のキャビネット(10)。
[21] 前記少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)の前記屈曲上方壁部及び前記屈曲下方壁部(64)は、垂直方向(Z)へと終端する、[19]又は[20]に記載のキャビネット(10)。
[22] 前記少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)は、前記垂直方向(Z)に下方に配向される、[21]に記載のキャビネット(10)。
[23] 前記ケーシング(12)内の温度(T)を測定し、前記温度を表す温度測定信号を生成するように構成された温度センサ(52)と、前記ケーシング(12)内の流体流(Φf)を局所的に測定し、前記流体流を表す流れ測定信号を生成するように構成された流れセンサ(54)との少なくとも一方を備える、[1]〜[22]のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
[24] 真空チャンバ(4)と、
[1]〜[23]のいずれか一項に記載の電子機器(46)を収容するためのキャビネット(10)と
を備える、リソグラフィユニット(2)。
[25] 前記真空チャンバ(4)は、頂部側部(5)に及び長手方向(X)に沿ってリニア軸受部材(8)を備え、前記キャビネット(10)は、前記真空チャンバの頂部側部上に位置決めされる、[24]に記載のリソグラフィユニット(2)。
[26] 前記真空チャンバ(4)は、前記キャビネット(10)の内部の電子機器(46)に接続された導管及び/又はケーブル(66)を受ける及び通すためのアクセスポートを備えた界面壁部(6)を前記頂部側部(5)の凹状セクション(7)に備える、[25]に記載のリソグラフィユニット(2)。
[27] 前記界面壁部(6)は、前記真空チャンバ(4)の前記頂部側部(5)の全幅にわたって延在し、好ましくは前記垂直方向(Z)に配向される、[26]に記載のリソグラフィユニット(2)。
[28] 前記凹状セクション(7)は、前記真空チャンバ(4)の後方側部にて凹状をなし、この後方凹状側部は、導管及び/又はケーブル(66)を受ける及び通すためのさらなるアクセスポートを備えるさらなる界面壁部に設けられる、[26]又は[27]に記載のリソグラフィユニット(2)。
[29] [24]〜[28]のいずれか一項に記載の少なくとも2つのリソグラフィユニット(2)を備え、前記リソグラフィユニットは、背面合わせに配置され、背面合わせに配置されたリソグラフィユニット(2)の各キャビネット(10)の前記第2の側部(17)同士は、相互に対面する、リソグラフィシステム(1)。
Claims (29)
- 電子機器(46)を収容するためのキャビネット(10)であって、
内部にアクセスするための開口(24)を備えるアクセス側部(23)と前記アクセス側部の対向側の第2の側部(17)とを備えるケーシング(12)と、
前記ケーシングの内部に前記電子機器(46)を収容するための、及び前記アクセス側部との間に第1のプレナム空間(35)を画定するように前記ケーシング内に位置決めされたラック(40a)と、ここにおいて、前記キャビネット(10)は、前記電子機器(46)と熱連通状態にある第1の冷却媒体(27)を囲むように構成される、
前記第1のプレナム空間(35)から前記電子機器(46)を横断して前記第2の側部(17)に向かって前記第1の冷却媒体(27)の流れ(Φf)を発生させるための流れ発生器(30)と、
前記第1の冷却媒体(27)から熱エネルギー(Q)を抽出するための熱交換器(31)と
を備え、
前記熱交換器(31)及び前記流れ発生器(30)は、前記ケーシング(12)の前記第2の側部(17)に又はその付近に設けられることと、前記ケーシングは、前記第2の側部(17)から前記第1のプレナム空間(35)に第1の冷却媒体(27)を再循環させるために、前記ラックの側方壁部(42)に沿って設けられ、前記第2の側部(17)及び前記第1のプレナム空間(35)と流体連通状態に設けられたチャネル(36)を備えることとを特徴とする、キャビネット(10)。 - 前記ラック(40)は、対向し合う側方ラック壁部(42、43)を備え、少なくとも1つの側方ラック壁部が、前記チャネル(36)の垂直方向境界部を画定する実質的に閉鎖されたパネルを備える、請求項1に記載のキャビネット(10)。
- 前記側方ラック壁部(42)は、前記チャネル(36)の方を向いた外方壁部部分(81)と、前記チャネル(36)から離れる方向に向き凹状プロファイル(84、86、88)を備える内方壁部部分とを備え、前記凹状プロファイルは、ヘッダ壁部部分(84)と、前記ヘッダ壁部部分に対して平行であり同一平面をなし、前記内方壁部部分に棚(44)を固定するための棚支持具(90)を収容するように構成された凹状壁部部分(88)とを備える、請求項2に記載のキャビネット(10)。
- 前記熱交換器(31)及び前記流れ発生器(30)は、前記ケーシング(12)に対して別個に再位置決め可能であるクーラフレーム(29)へと一体化される、請求項1〜3のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
- 前記再位置決め可能なクーラフレーム(29)は、前記ケーシング(12)の前記第2の側部(17)全体に実質的にわたって延在し、それにより前記第2の側部の上の開口を覆い、前記キャビネットの後方壁部(18)を形成する、請求項4に記載のキャビネット(10)。
- 前記キャビネットは、前記キャビネットの内部に配置され前記ラック(40a)から側方に離間されたさらなるラック(40b)を備え、それにより前記キャビネットの長手方向正中線に沿って前記ラックと前記さらなるラックとの間に前記チャネル(36)を画定する、請求項1〜5のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
- 前記キャビネットは、前記ケーシング(12)の頂部壁部(20)及び床部(22)の内方表面同士の間に画定された内方高さ(Hi)を有し、前記チャネル(36)は、前記内方高さ(Hi)に等しいチャネル高さ(Hc)を有する垂直方向間隙を画定する、請求項1〜6のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
- 前記第1のプレナム空間内への前記第1の冷却媒体(27)の再循環流(Φf)を調整するために、前記チャネル(36)の前方孔(37)に沿って前記第1のプレナム空間(35)内に配置された流れ案内ビーム(28)を備える、請求項1〜7のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
- 前記流れ案内ビーム(28)は、前記ケーシング(12)の前記頂部壁部(20)と前記床部(22)との間に延在し、前記流れ案内ビームは、前記頂部壁部(20)と前記床部(22)との間に少なくとも1つのケーブル(66c)を収容する及び案内するための中空部材として形成される、請求項8に記載のキャビネット(10)。
- 前記第1の冷却媒体(27)は、ガスであり、前記熱交換器(31)は、流体を備える第2の冷却媒体(33)に前記熱エネルギー(Q)を伝達するように構成されたガス−流体間熱交換器である、請求項1〜9のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
- 前記ガス−流体間熱交換器(31)は、前記第2の側部(17)の付近の前記キャビネット内に位置決めされ、それにより前記熱交換器と前記キャビネットの後方壁部(18)との間に第2のプレナム空間(39)を画定するチューブタイプ熱交換器であり、前記流れ発生器(30)は、前記第2のプレナム空間内に設けられた少なくとも1つのファンを備える、請求項10に記載のキャビネット(10)。
- 前記第1のプレナム空間(35)は、垂直方向(Z)に沿って前記電子機器(46)用のケーブル布線を収容するために、前記ケーシング(12)の側方壁部(16)に垂直方向凹部(38)を備える、請求項1〜11のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
- 請求項1〜12のいずれか一項に記載の、電子機器(46)を収容するためのキャビネット(10)であって、
内部にアクセスするための開口(24)を備えるアクセス側部(23)と前記アクセス側部の対向側の第2の側部(17)とを備えるケーシング(12)と、
前記ケーシングの内部に前記電子機器(46)を収容するための、及び前記アクセス側部との間に第1のプレナム空間(35)を画定するように前記ケーシング内に位置決めされたラック(40a)と
を備え、
前記第1のプレナム空間(35)は、垂直方向(Z)に沿って前記電子機器(46)用のケーブル布線(66c)を収容するために前記ケーシング(12)の側方壁部(16)に垂直方向凹部(38)を備える、キャビネット(10)。 - 前記垂直方向凹部(38)の側方壁部が、少なくとも1つのケーブル取付具を備える、請求項12又は13に記載のキャビネット(10)。
- 前記少なくとも1つのケーブル取付具は、所定の電子機器ユニット(46)が前記キャビネット内に収容される高さの範囲にてケーブル布線(66c)が側方方向へと前記垂直方向凹部(38)から分岐するのを可能にするために、前記所定の電子機器ユニット(46)用のレベル範囲内又はその付近に設けられる、請求項14に記載のキャビネット(10)。
- 前記キャビネットの下方外部に前記垂直方向凹部(38)内に収容されたケーブル布線(66c)を案内するための床部孔(45)を備える、請求項12〜15のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
- 前記床部孔(45)は、前記第1のプレナム空間(35)の側方端部に設けられる、請求項16に記載のキャビネット(10)。
- 前記垂直方向凹部(38)から分岐する少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)を備え、前記少なくとも1つのケーブル導管は、前記ケーシング(12)の外部の前記側方壁部(16)上に取り付けられた導管によって形成される、請求項12〜17のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
- 前記少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)は、前記側方壁部(16)の内方壁部板と外方壁部板との間に備えられた屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部(64)によって形成される、請求項18に記載のキャビネット(10)。
- 前記少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)は、好ましくは平滑曲線を有して湾曲状に形状設定される、請求項19に記載のキャビネット(10)。
- 前記少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)の前記屈曲上方壁部及び前記屈曲下方壁部(64)は、垂直方向(Z)へと終端する、請求項19又は20に記載のキャビネット(10)。
- 前記少なくとも1つのケーブル導管(58、59、60)は、前記垂直方向(Z)に下方に配向される、請求項21に記載のキャビネット(10)。
- 前記ケーシング(12)内の温度(T)を測定し、前記温度を表す温度測定信号を生成するように構成された温度センサ(52)と、前記ケーシング(12)内の流体流(Φf)を局所的に測定し、前記流体流を表す流れ測定信号を生成するように構成された流れセンサ(54)との少なくとも一方を備える、請求項1〜22のいずれか一項に記載のキャビネット(10)。
- 真空チャンバ(4)と、
請求項1〜23のいずれか一項に記載の電子機器(46)を収容するためのキャビネット(10)と
を備える、リソグラフィユニット(2)。 - 前記真空チャンバ(4)は、頂部側部(5)に及び長手方向(X)に沿ってリニア軸受部材(8)を備え、前記キャビネット(10)は、前記真空チャンバの頂部側部上に位置決めされる、請求項24に記載のリソグラフィユニット(2)。
- 前記真空チャンバ(4)は、前記キャビネット(10)の内部の電子機器(46)に接続された導管及び/又はケーブル(66)を受ける及び通すためのアクセスポートを備えた界面壁部(6)を前記頂部側部(5)の凹状セクション(7)に備える、請求項25に記載のリソグラフィユニット(2)。
- 前記界面壁部(6)は、前記真空チャンバ(4)の前記頂部側部(5)の全幅にわたって延在し、好ましくは前記垂直方向(Z)に配向される、請求項26に記載のリソグラフィユニット(2)。
- 前記凹状セクション(7)は、前記真空チャンバ(4)の後方側部にて凹状をなし、この後方凹状側部は、導管及び/又はケーブル(66)を受ける及び通すためのさらなるアクセスポートを備えるさらなる界面壁部に設けられる、請求項26又は27に記載のリソグラフィユニット(2)。
- 請求項24〜28のいずれか一項に記載の少なくとも2つのリソグラフィユニット(2)を備え、前記リソグラフィユニットは、背面合わせに配置され、背面合わせに配置されたリソグラフィユニット(2)の各キャビネット(10)の前記第2の側部(17)同士は、相互に対面する、リソグラフィシステム(1)。
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