JP2016216305A - 分断方法及び分断装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラス製品をスクライブする際に生じる欠陥を減らす。【解決手段】本発明の分断方法は以下の工程を含む：(a)第一表面上に第一スクライブラインを形成する、(b)第二表面上に第二スクライブラインを形成する、(c)第一スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクし、第二スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクする。第二スクライブラインを第一表面に正投影した時、第二スクライブラインは第一スクライブラインと交差する。【選択図】図３

Description

本発明は分断方法及び分断装置に関し、特にガラス基板を分断する分断方法及び分断装置に関する。

現在、ガラス基板は、電子製品の各種の部品、例えば画面、ケース等に幅広く利用されている。最終製品の使用上の需要に適するために、多くのガラス基板の表面は強化処理を経なければならず、スクライブ工程は一層難しく、歩留まり率を向上させることは容易ではない。したがって、いかにガラス基板の表面に欠陥を生じさせず、ガラス基板をスクライブ予定ラインに沿ってスクライブすることができるかは、この業界の重要課題となっている。

図１Ａ及び１Ｂに示されているように、ガラス基板１は第一表面１１及び第一表面１１に対する第二表面１２を含む。公知のスクライブ方法は、ガラス基板１の縁１４から内へ切り込んで、第一スクライブ予定ライン３１１に沿って第一表面１１上においてガラス基板１をスクライブすることにより、第一スクライブライン３２１を形成する。しかし、スクライブ装置のスクライブヘッド３９１がガラス基板１の縁１４の外部から内部へ切り込む時にガラス基板１の縁１４に衝突するため、スクライブヘッド３９１はスクライブ圧力が不安定となったり震動したりし、ひいてはガラス基板１の縁１４に欠陥が生じ（図１Ｂのとおり）、スクライブヘッド３９１がガラス基板１をスクライブして形成した第一スクライブライン３２１が不完全で、スクライブが深かったり浅かったりし（図１Ｂのとおり）、及び亀裂が制御できず、ほぼスクライブ予定ラインに沿って進展しない（図１Ａのとおり）等の欠陥が起きる。

図２に示されているとおり、ガラス基板１を複数の相互に交差する異なるスクライブ予定ラインに沿ってスクライブする場合、公知のスクライブ方法では、まず、複数の第一スクライブ予定ライン３１１に沿って縁１４からガラス基板１の第一表面１１をスクライブすることにより、複数の第一スクライブライン３２１（図１Ａ及び図１Ｂのとおり）を形成する。この時、ガラス基板はまだ分断されていない。その後、第一スクライブ予定ライン３１１と交差する複数の第二スクライブ予定ライン３１２に沿って同じ第一表面１１上においてガラス基板１をスクライブすることにより、複数の第二スクライブラインを形成し、更に、第一スクライブライン３２１及び第二スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクすることにより、ガラス製品を形成する。しかし、公知のスクライブ方法では、第二スクライブ予定ライン３１２に沿ってスクライブする場合は、スクライブヘッド３９１は第一スクライブ予定ライン３１１に沿ってスクライブして形成された第一スクライブライン３２１を横切らなければならない。この場合、スクライブヘッド３９１が第二スクライブ予定ライン３１２に沿ってスクライブする時に、第一スクライブ予定ライン３１１と第二スクライブ予定ライン３１２との交点３１３においてスクライブ圧力が不安定となり、スクライブヘッド３９１が第一スクライブライン３２１に衝突して震動するため、交点３１３近辺において欠陥が生じ、スクライブが不完全、及び亀裂が制御されずに進展してしまう等の欠陥が生じる（図１Ａ及び図１Ｂに示されているような、スクライブヘッド３９１がガラス基板１の縁１４に衝突した状況に類似する）。

これらに鑑み、ガラス基板をスクライブする時に、いかに衝突現象及びスクライブが不完全となることを防ぎ、ガラス製品の欠陥発生を避けるかは、本発明の技術分野において、早期に解決すべき課題である。

本発明の目的は、第一表面及び第一表面に対する第二表面を含むガラス基板をスクライブする際に起きる衝突現象、及びスクライブが不完全となることを避け、ガラス製品をスクライブする際に生じる欠陥を減らすことができる、ガラス基板の分断方法及び分断装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の分断方法は、(a)第一スクライブ予定ラインに沿って前記第一表面上において前記ガラス基板をスクライブすることにより、第一スクライブラインを形成する工程と、(b)第二スクライブ予定ラインに沿って前記第二表面上において前記ガラス基板をスクライブすることにより、第二スクライブラインを形成する工程と、(c)前記第一表面上の前記第一スクライブラインに沿って前記ガラス基板をブレイクし、及び前記第二表面上の前記第二スクライブラインに沿って前記ガラス基板をブレイクすることにより、前記ガラス製品を形成する工程と、を含み、前記第二スクライブ予定ラインを前記第一表面に正投影した時、前記第二スクライブ予定ラインの投影線は前記第一スクライブ予定ラインと交差する。

また、上記目的を達成するため、本発明の分断装置は、第一スクライブ予定ラインに沿って前記第一表面上において前記ガラス基板をスクライブすることにより、第一スクライブラインを形成する第一スクライブヘッドと、第二スクライブ予定ラインに沿って前記第二表面上において前記ガラス基板をスクライブすることにより、第二スクライブラインを形成する第二スクライブヘッドと、前記第一表面上の前記第一スクライブライン及び前記第二表面上の前記第二スクライブラインに沿って前記ガラス基板をブレイクすることにより、前記ガラス製品を形成するブレイク裝置と、を含み、前記第二スクライブ予定ラインを前記第一表面に正投影した時、前記第二スクライブ予定ラインの投影線は前記第一スクライブ予定ラインと交差する。

本発明によれば、ガラス製品をスクライブする際に生じる欠陥を減らすことができる。

公知のスクライブ方法により、ガラス基板の縁からガラス基板をスクライブすることを示す斜視図である。 公知のスクライブ方法により、ガラス基板の縁からガラス基板をスクライブした場合の実際のスクライブラインに沿った断面図である。 公知のスクライブ方法により、複数の交差するスクライブ予定ラインに沿ってガラス基板をスクライブすることを示す図である。 本発明の分断方法及び分断装置により、複数のスクライブ予定ラインに沿ってガラス基板をスクライブすることを示す図である。 本発明の分断方法及び分断装置により、先に第一初期クラックを形成してからスクライブにより第一スクライブラインを形成することを示す図である。 本発明の分断方法及び分断装置により、先に第一初期クラックを形成してからスクライブにより第一スクライブラインを形成することを示す図である。 本発明の分断方法及び分断装置により、先に第一初期クラックを形成してからスクライブにより第一スクライブラインを形成することを示す図である。 本発明の分断方法及び分断装置により、先に第二初期クラックを形成してからスクライブにより第二スクライブラインを形成することを示す図である。 本発明の分断方法及び分断装置により、先に第二初期クラックを形成してからスクライブにより第二スクライブラインを形成することを示す図である。 本発明の分断方法及び分断装置により、先に第二初期クラックを形成してからスクライブにより第二スクライブラインを形成することを示す図である。

図３に示されているとおり、ガラス基板１は第一表面１１及び第一表面１１に対する第二表面１２を含む。本発明のガラス基板を分断して複数のガラス製品を形成する分断方法は、以下の工程を含む。工程(a)：第一スクライブ予定ライン５１１に沿って第一表面１１上においてガラス基板１をスクライブすることにより、第一スクライブライン５２１を形成する（図４Ｃのとおり）。工程(b)：第二スクライブ予定ライン５１２に沿って第二表面１２上においてガラス基板１をスクライブすることにより、第二スクライブライン５２２を形成する（図５Ｃのとおり）。第二スクライブ予定ライン５１２を第一表面１１に正投影した時、第二スクライブ予定ライン５１２の投影線は第一スクライブ予定ライン５１１と交差する。工程(c)：第一スクライブライン５２１に沿ってガラス基板１をブレイクし、及び第二スクライブライン５２２に沿ってガラス基板１をブレイクすることにより、複数のガラス製品を形成する。図３に示されているとおり、一般的な実施例の場合、第二スクライブ予定ライン５１２を第一表面１１に正投影した時、第二スクライブ予定ライン５１２と第一スクライブ予定ライン５１１は垂直であるが、これにより本発明の実施方式が制限されることはない。工程(c)において、例えばガラス基板１を湾曲させる等の公知のブレイク方法によりガラス基板１をブレイクすることにより、複数のガラス製品を形成することができる。

図３に示されているとおり、工程(a)において、複数の第一スクライブ予定ライン５１１に沿って第一表面１１上においてガラス基板１をスクライブすることにより、複数の第一スクライブライン５２１を形成する。工程(b)において、複数の第二スクライブ予定ライン５１２に沿って第二表面１２上においてガラス基板１をスクライブすることにより、複数の第二スクライブライン５２２を形成する。かつ、第二スクライブ予定ライン５１２を第一表面１１に正投影した時、複数の第二スクライブ予定ライン５１２の投影線は複数の第一スクライブ予定ライン５１１と交差する。

このように、本発明の分断方法によれば、公知の分断方法のように第二スクライブ予定ライン３１２をスクライブする時に、第一スクライブ予定ライン３１１に沿ってスクライブすることにより形成した第一スクライブライン３２１を横切ることがないため、第一スクライブ予定ライン３１１と第二スクライブ予定ライン３１２との交点３１３においてスクライブ圧力が不安定となり、スクライブヘッド３９１がスクライブ済みの箇所に衝突して震動するせいで、交点３１３近辺においてスクライブが不完全、及び亀裂が制御されずに進展してしまう等の欠陥が生じることはない。

更に、本発明は以下の方法により実施することができる。図４Ａ〜図４Ｃに示されているとおり、工程(a)において、ガラス基板に対しスクライブを開始する際、ガラス基板１の全ての縁１４から所定距離離れて、第一表面１１上における第一スクライブ予定ライン５１１の図４Ａに示されている第一初期位置５３１に、図４Ｃに示されている第一初期クラック５４１を形成し、そして図４Ｂに示されているように、第一表面１１上において第一初期クラック５４１から第一スクライブ予定ライン５１１に沿ってガラス基板１をスクライブすることにより、図４Ｃのような第一スクライブライン５２１を形成する。

また、図５Ａ〜図５Ｃに示されているとおり、工程(b)において、ガラス基板の第二表面１２に対しスクライブを開始する際、ガラス基板１の全ての縁１４から離れて、第二表面１２上における第二スクライブ予定ライン５１２の図５Ａに示されている第二初期位置５３２に、図５Ｃに示されている第二初期クラック５４２を形成し、そして図５Ｂに示されているように、第二表面１２上において第二初期クラック５４２から第二スクライブ予定ライン５１２に沿ってガラス基板１をスクライブすることにより、図５Ｃに示されている第二スクライブライン５２２を形成する。

このように、本発明の分断方法によれば、公知の分断方法のようにガラス基板１の縁１４の外部から内部へ切り込んでガラス基板１をスクライブする時に、スクライブヘッド３９１がガラス基板１の縁１４に衝突するせいで、スクライブヘッド３９１はスクライブ圧力が不安定となったり震動したりし、ひいてはガラス基板１の縁１４に欠陥が生じ、スクライブヘッド３９１によるガラス基板１のスクライブが不完全、及び亀裂が制御されずに進展してしまう等の欠陥が生じることはない。

図４Ｃ及び図５Ｃに示されているとおり、ガラス基板１が強化ガラス基板である場合、ガラス基板１は引張層１０１と、引張層１０１に隣接するとともに第一表面１１及び第二表面１２となる２つの圧縮層１０２とを含む。引張層１０１は引張内部応力を有し、圧縮層１０２は圧縮内部応力を有する。この場合、工程(a)及び工程(b)において形成された第一初期クラック５４１及び第二初期クラック５４２の深さｄは、圧縮層１０２の厚さｔよりも小さいものとされる。これにより、第一初期クラック５４１及び第二初期クラック５４２を形成した後、亀裂が直ちに引張層１０１において進展することによって、ガラス基板１が第一スクライブ予定ライン５１１若しくは第二スクライブ予定ライン５１２に沿って分裂してしまうこと、又はその他の欠陥を防ぐことができる。更に、第一スクライブライン５２１及び第二スクライブライン５２２の深さＤが圧縮層１０２の厚さｔよりも大きく、一部が引張層１０２に入り込む。これにより、スクライブ作業が行われる際、亀裂が第一スクライブライン５２１及び第二スクライブライン５２２に沿って進展することに有利である。

工程(a)及び工程(b)において、本発明の分断方法は、レーザを照射する、砥石により研磨する、ダイヤモンドによりスクライブする、又はスクライブホイールによりスクライブすることによって、第一初期クラック５４１及び第二初期クラック５４２を形成し、かつ、レーザを照射する、砥石により研磨する、ダイヤモンドによりスクライブする、又はスクライブホイールによりスクライブすることによって、第一スクライブライン５２１及び第二スクライブライン５２２を形成することができる。

図３に示されているとおり、本発明の分断装置は、第一スクライブヘッド５９１、第二スクライブヘッド５９２及びブレイク装置（図示されていない。例えば、スクライブラインに沿ってガラス基板１を湾曲させてブレイクする等の公知のブレイク装置を使用することができる）を含む。第一スクライブヘッド５９１は、第一スクライブ予定ライン５１１に沿って第一表面１１上においてガラス基板１をスクライブすることにより、図４Ｃのような第一スクライブライン５２１を形成する。第二スクライブヘッド５９２は、第二スクライブ予定ライン５１２に沿って第二表面１２上においてガラス基板１をスクライブすることにより、図５Ｃのような第二スクライブライン５２２を形成する。また、第二スクライブ予定ライン５１２を第一表面１１に正投影した時、第二スクライブ予定ライン５１２の投影線は第一スクライブ予定ライン５１１と交差する。図３に示されているとおり、一般的には、第二スクライブ予定ライン５１２を第一表面１１に正投影した時、第二スクライブ予定ライン５１２と第一スクライブ予定ライン５１１は垂直である。ブレイク装置は、第一表面１１上の第一スクライブライン５２１及び第二表面１２上の第二スクライブライン５２２に沿ってガラス基板１をブレイクすることにより、ガラス製品を形成する。

図３に示されているとおり、第一スクライブヘッド５９１は複数の第一スクライブ予定ライン５１１に沿って第一表面１１上においてガラス基板１をスクライブすることにより、複数の第一スクライブライン５２１を形成し、第二スクライブヘッド５９２は複数の第二スクライブ予定ライン５１２に沿って第二表面１２上においてガラス基板１をスクライブすることにより、複数の第二スクライブライン５２２を形成し、かつ、複数の第二スクライブ予定ライン５１２を第一表面１１に正投影した時、複数の第二スクライブ予定ライン５１２の投影線は複数の第一スクライブ予定ライン５１１と交差する。

図４Ａ〜図４Ｃに示されているとおり、第一スクライブヘッド５９１はガラス基板１の全ての縁１４から所定距離離れて、第一表面１１上における第一スクライブ予定ライン５１１の図４Ａに示されている第一初期位置５３１に、図４Ｃに示されている第一初期クラック５４１を形成し、かつ、図４Ｂに示されているように、第一表面１１上において第一初期クラック５４１から第一スクライブ予定ライン５１１に沿ってガラス基板１をスクライブすることにより、図４Ｃに示されているような第一スクライブライン５２１を形成する。

図５Ａ〜図５Ｃに示されているとおり、第二スクライブヘッド５９２はガラス基板１の全ての縁１４から所定距離離れて、第二表面１２上における第二スクライブ予定ライン５１２の図５Ａに示されている第二初期位置５３２に、図５Ｃに示されている第二初期クラック５４１を形成し、かつ、図５Ｂに示されているように、第二表面１２上において第二初期クラック５４２から第二スクライブ予定ライン５１２に沿ってガラス基板１をスクライブすることにより、図５Ｃに示されているような第二スクライブライン５２２を形成する。

図４Ｃ及び図５Ｃに示されているとおり、ガラス基板１が強化ガラス基板である場合、ガラス基板１は引張層１０１と、引張層１０１に形成されるとともに第一表面１１及び第二表面１２となる２つの圧縮層１０２とを含む。引張層１０１は引張内部応力を有し、圧縮層１０２は圧縮内部応力を有する。この場合、第一スクライブヘッド５９１及び第二スクライブヘッド５９２によるスクライブによって形成された第一初期クラック５４１及び第二初期クラック５４２の深さｄは圧縮層１０２の厚さｔよりも小さいものとされる。これにより、第一初期クラック５４１及び第二初期クラック５４２を形成した後、亀裂が直ちに引張層１０１において進展することによって、ガラス基板１が第一スクライブ予定ライン５１１若しくは第二スクライブ予定ライン５１２に沿って分裂してしまうこと、又はその他の欠陥を防ぐことができる。更に、第一スクライブヘッド５９１及び第二スクライブヘッド５９２によるスクライブによって形成された第一スクライブライン５２１及び第二スクライブライン５２２の深さＤが圧縮層１０２の厚さｔよりも大きく、一部が引張層１０２に入り込む。これにより、亀裂が第一スクライブライン５２１及び第二スクライブライン５２２に沿って進展することに有利である。

本発明のスクライブ装置の第一スクライブヘッド５９１及び第二スクライブヘッド５９２は、レーザを照射する、砥石により研磨する、ダイヤモンドによりスクライブする、又はスクライブホイールによりスクライブすることによって、第一初期クラック５４１及び第二初期クラック５４２を形成することができる。また、レーザを照射する、砥石により研磨する、ダイヤモンドによりスクライブする、又はスクライブホイールによりスクライブすることによって、第一スクライブライン５２１及び第二スクライブライン５２２を形成することができる。

このように、本発明の分断方法及び分断装置によれば、公知の分断方法のように、スクライブ時にスクライブヘッド又はレーザヘッド等が先にスクライブされた開口を横切るため、衝突や焦点が一致しない等の現象が起きてスクライブ圧力又は基板に施すエネルギーが不安定となったり、震動が生じる等により、スクライブが不完全、及びガラス製品の各種の欠陥が発生することを防ぐことができる。

１ ガラス基板
１０１ 引張層
１０２ 圧縮層
１１ 第一表面
１２ 第二表面
１４ 縁
３１１ 第一スクライブ予定ライン
３１２ 第二スクライブ予定ライン
３１３ 交点
３２１ 第一スクライブライン
３９１ スクライブヘッド
５１１ 第一スクライブ予定ライン
５１２ 第二スクライブ予定ライン
５２１ 第一スクライブライン
５２２ 第二スクライブライン
５３１ 第一初期位置
５３２ 第二初期位置
５４１ 第一初期クラック
５４２ 第二初期クラック
５９１ 第一スクライブヘッド
５９２ 第二スクライブヘッド

Claims (16)

1. ガラス基板を分断して複数のガラス製品を形成するガラス基板の分断方法であって、前記ガラス基板は第一表面及び前記第一表面に対する第二表面を有し、前記分断方法は、
   (a)第一スクライブ予定ラインに沿って前記第一表面上において前記ガラス基板をスクライブすることにより、第一スクライブラインを形成する工程と、
   (b)第二スクライブ予定ラインに沿って前記第二表面上において前記ガラス基板をスクライブすることにより、第二スクライブラインを形成する工程と、
   (c)前記第一表面上の前記第一スクライブラインに沿って前記ガラス基板をブレイクし、及び前記第二表面上の前記第二スクライブラインに沿って前記ガラス基板をブレイクすることにより、前記ガラス製品を形成する工程と、を含み、
   前記第二スクライブ予定ラインを前記第一表面に正投影した時、前記第二スクライブ予定ラインの投影線は前記第一スクライブ予定ラインと交差する、分断方法。
2. 前記工程(a)は、前記ガラス基板の全ての縁から離れて、前記第一表面上における前記第一スクライブ予定ラインの第一初期位置に第一初期クラックを形成し、かつ、前記第一表面上において前記第一初期クラックから前記第一スクライブ予定ラインに沿って前記ガラス基板をスクライブすることにより、前記第一スクライブラインを形成するものであり、
   前記工程(b)は、前記ガラス基板の全ての縁から離れて、前記第二表面上における前記第二スクライブ予定ラインの第二初期位置に第二初期クラックを形成し、かつ、前記第二表面上において前記第二初期クラックから前記第二スクライブ予定ラインに沿って前記ガラス基板をスクライブすることにより、前記第二スクライブラインを形成するものである、
   ことを特徴とする請求項１の分断方法。
3. 前記ガラス基板は強化ガラス基板であり、かつ、引張層と、前記引張層に隣接するとともに前記第一表面及び前記第二表面となる２つの圧縮層とを含み、前記引張層は引張内部応力を有し、前記圧縮層は圧縮内部応力を有し、前記第一初期クラック及び前記第二初期クラックの深さは前記圧縮層の厚さよりも小さい、
   ことを特徴とする請求項２の分断方法。
4. 前記第一スクライブライン及び前記第二スクライブラインは、その深さが前記圧縮層の前記厚さよりも大きく、前記引張層に入り込む、
   ことを特徴とする請求項３の分断方法。
5. 前記第二スクライブ予定ラインを前記第一表面に正投影した時、前記第二スクライブ予定ラインと前記第一スクライブ予定ラインは垂直である、
   ことを特徴とする請求項２の分断方法。
6. 前記工程(a)は、複数の前記第一スクライブ予定ラインに沿って前記第一表面上において前記ガラス基板をスクライブすることにより、複数の前記第一スクライブラインを形成し、
   前記工程(b)は、複数の前記第二スクライブ予定ラインに沿って前記第二表面上において前記ガラス基板をスクライブすることにより、複数の前記第二スクライブラインを形成し、
   かつ、前記第二スクライブ予定ラインを前記第一表面に正投影した時、前記第二スクライブ予定ラインの投影線は前記第一スクライブ予定ラインと交差する、
   ことを特徴とする請求項２の分断方法。
7. 前記工程(a)及び前記工程(b)においては、レーザを照射する、砥石により研磨する、ダイヤモンドによりスクライブする、又はスクライブホイールによりスクライブすることによって、前記第一初期クラック及び前記第二初期クラックを形成する、
   ことを特徴とする請求項２の分断方法。
8. 前記工程(a)及び前記工程(b)においては、レーザを照射する、砥石により研磨する、ダイヤモンドによりスクライブする、又はスクライブホイールによりスクライブすることによって、前記第一スクライブライン及び前記第二スクライブラインを形成する、
   ことを特徴とする請求項２の分断方法。
9. ガラス基板を分断して複数のガラス製品を形成するガラス基板の分断装置であって、前記ガラス基板は第一表面及び前記第一表面に対する第二表面を有し、前記分断装置は、
   第一スクライブ予定ラインに沿って前記第一表面上において前記ガラス基板をスクライブすることにより、第一スクライブラインを形成する第一スクライブヘッドと、
   第二スクライブ予定ラインに沿って前記第二表面上において前記ガラス基板をスクライブすることにより、第二スクライブラインを形成する第二スクライブヘッドと、
   前記第一表面上の前記第一スクライブライン及び前記第二表面上の前記第二スクライブラインに沿って前記ガラス基板をブレイクすることにより、前記ガラス製品を形成するブレイク装置と、を含み、
   前記第二スクライブ予定ラインを前記第一表面に正投影した時、前記第二スクライブ予定ラインの投影線は前記第一スクライブ予定ラインと交差する、分断装置。
10. 前記第一スクライブヘッドは、前記ガラス基板の全ての縁から離れて、前記第一表面上における前記第一スクライブ予定ラインの第一初期位置に第一初期クラックを形成し、かつ、前記第一表面上において前記第一初期クラックから前記第一スクライブ予定ラインに沿って前記ガラス基板をスクライブすることにより、前記第一スクライブラインを形成し、
    前記第二スクライブヘッドは、前記ガラス基板の全ての縁から離れて、前記第二表面上における前記第二スクライブ予定ラインの第二初期位置に第二初期クラックを形成し、かつ、前記第二表面上において前記第二初期クラックから前記第二スクライブ予定ラインに沿って前記ガラス基板をスクライブすることにより、前記第二スクライブラインを形成する、
    ことを特徴とする請求項９の分断装置。
11. 前記ガラス基板は強化ガラス基板であり、かつ、引張層と、前記引張層に隣接するとともに前記第一表面及び前記第二表面となる２つの圧縮層とを含み、前記引張層は引張内部応力を有し、前記圧縮層は圧縮内部応力を有し、前記第一初期クラック及び前記第二初期クラックの深さは前記圧縮層の厚さよりも小さい、
    ことを特徴とする請求項１０の分断装置。
12. 前記第一スクライブライン及び前記第二スクライブラインは、その深さが前記圧縮層の前記厚さよりも大きく、前記引張層に入り込む、
    ことを特徴とする請求項１１の分断装置。
13. 前記第二スクライブ予定ラインを前記第一表面に正投影した時、前記第二スクライブ予定ラインと前記第一スクライブ予定ラインは垂直である、
    ことを特徴とする請求項１０の分断装置。
14. 前記第一スクライブヘッドは複数の前記第一スクライブ予定ラインに沿って前記第一表面上において前記ガラス基板をスクライブすることにより、複数の前記第一スクライブラインを形成し、
    前記第二スクライブヘッドは複数の前記第二スクライブ予定ラインに沿って前記第二表面上において前記ガラス基板をスクライブすることにより、複数の前記第二スクライブラインを形成し、かつ、前記第二スクライブ予定ラインを前記第一表面に正投影した時、前記第二スクライブ予定ラインの投影線は前記第一スクライブ予定ラインと交差する、
    ことを特徴とする請求項１０の分断装置。
15. 前記第一スクライブヘッド及び前記第二スクライブヘッドは、レーザを照射する、砥石により研磨する、ダイヤモンドによりスクライブする、又はスクライブホイールによりスクライブすることによって、前記第一初期クラック及び前記第二初期クラックを形成する、
    ことを特徴とする請求項１０の分断装置。
16. 前記第一スクライブヘッド及び前記第二スクライブヘッドは、レーザを照射する、砥石により研磨する、ダイヤモンドによりスクライブする、又はスクライブホイールによりスクライブすることによって、前記第一スクライブライン及び前記第二スクライブラインを形成する、
    ことを特徴とする請求項１０の分断装置。