JP2016215288A - 研磨装置、及び、研磨方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ここで、研磨対象物を研磨する際に生じる研磨摩擦力は、駆動部の駆動負荷として現れる。例えば、駆動部が電動モータの場合には、駆動負荷(トルク)はモータに流れる電流として測定することができる。このため、モータ電流(トルク電流)を電流センサで検出し、検出したモータ電流の変化に基づいて研磨の終点を検出することができる。
良好に検出し、研磨終点検出の精度を向上させることを課題とする。
本願発明の第2の形態によれば、第1の形態において、前記終点検出部は、前記整流演算部の出力を増幅する増幅部と、前記整流演算部の出力に含まれるノイズを除去するノイズ除去部と、前記整流演算部の出力から所定量を減算する減算部のうち、少なくとも1つを有する。
減算部は以下の効果を有する。検出される電流は通常、摩擦力の変化にともなって変化する電流部分と、摩擦力が変化しても変化しない一定量の電流部分(バイアス)を含む。このバイアスを除去することにより、摩擦力の変化に依存する電流部分のみを取り出して、信号処理可能な範囲内で最大の振幅まで増幅することが可能になり、摩擦力の変化から終点を検出する終点検出法の精度が向上する。
本願発明の第4の形態によれば、第3の形態において、前記終点検出部では、前記ノイズ除去部でノイズを除去された信号をさらに増幅する第2の増幅部を有する。かかる形態によれば、ノイズ除去によって減少した電流の大きさを回復することができ、終点検出法の精度が向上する。
を有し、前記第1及び第2の電動モータのうち少なくとも一方の電動モータは、複数相の巻線を有する研磨装置を用いた、前記研磨対象物の表面を研磨する研磨方法である。該方法は、前記第1及び/又は第2の電動モータのうちの少なくとも2相の電流を検出する電流検出ステップと、前記検出された少なくとも2相の電流検出値を整流し、整流された信号に対して加算及び/又は乗算を行って出力する整流演算ステップと、前記整流演算ステップの出力の変化に基づいて、前記研磨対象物の表面の研磨終了を示す研磨終点を検出する終点検出ステップとを有する。かかる形態によれば、第1の形態と同様の効果を達成できる。
図1は、本実施形態に係る研磨装置100の基本構成を示す図である。研磨装置100は、研磨パッド10を上面に取付け可能な研磨テーブル12と、研磨テーブル12を回転駆動する第1の電動モータ14と、半導体ウエハ(研磨対象物)18を保持可能なトップリング(保持部)20と、トップリング20を回転駆動する第2の電動モータ22と、を備えている。
、31b、31cは、図示しないモータドライバと第2の電動モータ22との間のU相、V相、W相の電流路に設けてもよい。
て整流部54は整流して、信号54aとして出力する。整流は、半波整流又は全波整流である。半波整流した場合の信号54aを図5(c)に、全波整流した場合の信号54aを図5(d)に示す。
流は0である。本図から明らかなように、本実施例の実効値変換器48の出力48aの変化量68は、比較例の実効値変換器56の出力56aの変化量70より大きく、曲線74と曲線76の差は、圧力が大きくなるほど顕著である。
(1)制御部50が増幅部40と、オフセット部42と、フィルタ44と、第2の増幅部46の設定を変更するかどうかに関する情報。変更する場合は、各部との通信設定を有効にする。一方、変更しない場合は、各部との通信設定を無効にする。通信設定が無効の場合には、各部は、デフォルトで設定されている値を有効にする。
(2)実効値変換部48の入力レンジに関する情報。
(3)整流演算部28の出力信号38aの変化幅(振幅)を最大値と最小値で示す情報、又は変化幅で示す情報。この情報は、トルクレンジともよばれる。
(4)フィルタ44の設定に関する情報。例えば、図9の場合は、デフォルトに設定される。
(5)研磨情報、例えば、テーブルの回転数に関する情報を制御に反映するかどうかに関する情報。
制御部50は、実効値変換器48からの信号に基づいて、研磨終点の判断を行った場合、図示しない研磨装置100の管理装置に研磨終点を検出したことを送信する。管理装置
は、研磨を終了させる(ステップ18)。研磨終了後、増幅部40と、オフセット部42と、フィルタ44と、第2の増幅部46では、デフォルトの設定値が設定される。
Claims (12)
- 研磨対象物の表面を研磨するための研磨装置であって、
研磨パッドを保持するための研磨テーブルを回転駆動する第1の電動モータと、
前記研磨対象物を保持して前記研磨パッドへ押圧するための保持部を回転駆動する第2の電動モータとを有し、
前記第1及び第2の電動モータのうち少なくとも一方の電動モータは、複数相の巻線を備え、
前記研磨装置は、前記第1及び/又は第2の電動モータのうちの少なくとも2相の電流を検出する電流検出部と、
前記電流検出部によって検出された少なくとも2相の電流検出値を整流し、整流された信号に対して加算及び/又は乗算を行って出力する整流演算部と、
前記整流演算部の出力の変化に基づいて、前記研磨対象物の表面の研磨終了を示す研磨終点を検出する終点検出部と、
を有することを特徴とする研磨装置。 - 請求項1において、前記終点検出部は、前記整流演算部の出力を増幅する増幅部と、前記整流演算部の出力に含まれるノイズを除去するノイズ除去部と、前記整流演算部の出力から所定量を減算する減算部のうち、少なくとも1つを有する、ことを特徴とする研磨装置。
- 請求項2に記載の研磨装置において、前記終点検出部は、前記増幅部と前記減算部と前記ノイズ除去部とを有し、前記増幅部で増幅された信号を前記減算部で減算し、該減算された信号から前記ノイズ除去部でノイズを除去する、ことを特徴とする研磨装置。
- 請求項3の研磨装置において、前記終点検出部では、前記ノイズ除去部でノイズを除去された信号をさらに増幅する第2の増幅部を有する、ことを特徴とする研磨装置。
- 請求項2に記載の研磨装置において、前記終点検出部は、前記増幅部と、前記増幅部の増幅特性を制御する制御部とを有する、ことを特徴とする研磨装置。
- 請求項2に記載の研磨装置において、前記終点検出部は、前記ノイズ除去部と、前記ノイズ除去部のノイズ除去特性を制御する制御部とを有する、ことを特徴とする研磨装置。
- 請求項2に記載の研磨装置において、前記終点検出部は、前記減算部と、前記減算部の減算特性を制御する制御部とを有する、ことを特徴とする研磨装置。
- 請求項4に記載の研磨装置において、前記終点検出部は、前記第2の増幅部の増幅特性を制御する制御部を有する、ことを特徴とする研磨装置。
- 研磨パッドを保持するための研磨テーブルを回転駆動する第1の電動モータと、研磨対象物を保持して前記研磨パッドへ押圧するための保持部を回転駆動する第2の電動モータとを有し、前記第1及び第2の電動モータのうち少なくとも一方の電動モータは、複数相の巻線を有する研磨装置を用いた、前記研磨対象物の表面を研磨する研磨方法において、該方法は、
前記第1及び/又は第2の電動モータのうちの少なくとも2相の電流を検出する電流検出ステップと、
前記検出された少なくとも2相の電流検出値を整流し、整流された信号に対して加算及び/又は乗算を行って出力する整流演算ステップと、
前記整流演算ステップの出力の変化に基づいて、前記研磨対象物の表面の研磨終了を示
す研磨終点を検出する終点検出ステップとを有する、ことを特徴とする研磨方法 - 請求項9の研磨方法において、前記終点検出ステップは、前記整流演算ステップの出力を増幅する増幅ステップと、前記整流演算ステップの出力に含まれるノイズを除去するノイズ除去ステップと、前記整流演算ステップの出力から所定量を減算する減算ステップのうち、少なくとも1つを有する、ことを特徴とする研磨方法
- 請求項10に記載の研磨方法において、前記終点検出ステップでは、前記増幅ステップにおいて増幅された信号に対して、前記減算ステップにおいて所定量の減算を行い、該減算された信号から前記ノイズ除去ステップにおいてノイズを除去する、ことを特徴とする研磨方法。
- 請求項11の研磨方法において、前記終点検出ステップは、前記ノイズ除去ステップでノイズを除去された信号をさらに増幅する第2の増幅ステップをさらに有する、ことを特徴とする研磨方法。
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