JP2016213414A - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
容について説明する。
図1は、実施の形態1にかかる半導体装置の構成を示す断面図である。図1には、SiC縦型MOSFETの断面図を示している。この半導体装置の製造方法を順に説明すると、高濃度第1導電型(n+)基板1上に5×1015/cm3の窒素ドーピングした低濃度第1導電型(n-)ドリフト層2を10μmの厚さに堆積する。次に、高濃度第2導電型(p+)層3をイオン注入し形成する。
図2は、実施の形態2にかかる半導体装置の構成を示す断面図である。実施の形態1では、Ti/Al構造を示したが、実施の形態2では、Al膜12中の水素原子・水素イオンの遮蔽性を高めるため、ソース配線電極であるAl膜12を形成するにあたって、基板おもて面にTi膜15、窒化チタン(TiN)膜17およびAl膜12をそれぞれ0.1μm、0.1μmおよび5.0μmの厚さで順にスパッタにより成膜する(Ti/TiN/Al構造)。スパッタ条件は、基板温度250℃、アルゴン圧力0.3Paのマグネトロンスパッタなどを用いることができる。
図3は、実施の形態3にかかる半導体装置の構成を示す断面図である。実施の形態3では、ソース配線電極であるAl膜12を形成するにあたって、基板おもて面にTi膜15、TiN膜17、Ti膜18およびAl膜12をそれぞれ0.1μm、0.1μm、0.1μmおよび5.0μmの厚さで順に積層する(Ti/TiN/Ti/Al構造)。Ti/TiN/Ti/Al構造は、スパッタによる成膜で形成し、スパッタ条件は、基板温度300℃、アルゴン圧力0.2Paのマグネトロンスパッタなどを用いることができる。Ti膜18とAl膜12とが反応してなるTiAl合金層16は、実施の形態1と同様に形成されるが、実施の形態3ではさらに、水素原子・水素イオンの遮蔽性を高めることが可能である。
2 エピタキシャル結晶(ドリフト層)
3 p+層
4 エピタキシャル結晶(ウエル層)
5 p+層
6 n+層
7 n-層
8 ゲート酸化膜
9 ゲート電極
10 層間絶縁膜
11 電極コンタクト(ニッケルシリサイド電極)
12 Al膜(ソース配線電極)
13 裏面電極
14 保護膜
15,18 Ti膜
16 TiAl合金層
17 TiN膜
Claims (8)
- 炭化珪素半導体基板上に二酸化珪素膜を形成した半導体装置において、
アルミニウムからなるソース配線電極とゲート酸化膜との間にチタン膜または窒化チタン膜を設け、前記チタン膜または前記窒化チタン膜の結晶粒径が50nm未満の柱状多結晶からなる構造であることを特徴とする半導体装置。 - 前記基板は第1導電型であり、当該基板上に設けた第1導電型ドリフト層と、
前記第1導電型ドリフト層に設けた第2導電型ウエル層と、
前記第2導電型ウエル層に設けた第1導電型不純物領域と、
前記第2導電型ウエル層上に形成した二酸化珪素膜の前記ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜の上に形成したゲート電極と、
前記第1導電型不純物領域と電気的に接続された前記ソース配線電極と、
前記基板の第1導電型ドリフト層が形成された面と、反対側の面に設けたドレイン電極と、
を備えたことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記ソース配線電極と前記ゲート酸化膜との間に水素を吸蔵するチタン膜を設けたことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記ソース配線電極と前記ゲート酸化膜との間に水素を遮蔽する窒化チタン膜を設けたことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記ソース配線電極と前記ゲート酸化膜との間にチタン膜と窒化チタン膜、またはチタン膜と窒化チタン膜とチタン膜を有することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 炭化珪素半導体基板上に二酸化珪素膜を形成した半導体装置の製造方法において、
アルミニウムからなるソース配線電極とゲート酸化膜との間にチタン膜または窒化チタン膜、またはチタン膜と窒化チタン膜とチタン膜を、結晶粒径が50nm未満の柱状多結晶に形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記チタン膜または前記窒化チタン膜、または前記チタン膜と窒化チタン膜とチタン膜がスパッタ法によって成膜され、当該スパッタ法の圧力が0.15Pa以上0.4Pa未満、前記基板の温度が200℃以上400℃未満であることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ソース配線電極の形成後のアニール温度が450℃以下であることを特徴とする請求項6または7に記載の半導体装置の製造方法。
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