JP2016197743A - 薄膜トランジスタ及びその製造方法、並びにスパッタリングターゲット材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板1上に、ゲート絶縁膜5、Si系半導体層8、Cu合金9層を有するソース/ドレイン電極11/12、ソース電極及びドレイン電極とSi系半導体層との界面に形成される酸化物膜7a、を備える。Cu合金層は、Cuと少なくとも1種類の添加元素とを含み、酸化物膜中の酸素の原子濃度の深さのピーク値は40原子%以上66原子%以下であって、且つ、酸素の原子濃度のピーク値からの若しくはソース電極及びドレイン電極とSi系半導体層の界面からの酸素の分布が10原子%となる距離を酸化物膜の膜厚とした際、酸化物膜の膜厚は1.8nm以下である。
【選択図】図8
Description
本発明は、配線にCu合金を用いるTFTの電気特性値の低下を抑制することを目的とする。
前記保護膜の一部は窒化シリコン膜より成っていても良い。
の拡散が生じ電気特性の低下を起こすことがあるが、酸化物半導体層の上層の絶縁膜がこれを還元して抑制し、酸化物半導体膜への水素の拡散を防止する。
また、本発明は、上記のうちいずれか1に記載の薄膜トランジスタを用いた表示装置であっても良い。
半導体層がシリコン膜であり、SD電極配線にCu合金を適用する場合、シリコン膜は添加元素酸化物膜の自己形成に必要な酸素を充分に含んでいない為、Cu合金の成膜前に予め酸化処理を行い、シリコン膜上層(表層)を改質させ一時的に酸化シリコン膜(SiOx)を形成する。特許文献1に記載の方法と同様の手法によりTFTを作製し電気特性を評価したが、その移動度は従来配線のMoを適用したTFTより大幅に低下していた。この移動度の低下はオン電流の低下を招き、駆動電圧の上昇を引き起こすという問題がある。
ン(P)は、EELS分析では検出できないため、エネルギー分散型X線分析法(EDX:Energy Dispersive X-ray spectroscopy)を用い、EELS分析の結果に併せ込んで示している。
上記条件を満たすことにより、電気特性と信頼性に優れたCu合金配線適用の薄膜トランジスタ基板を作製できることがわかる。
次に、半導体層が酸化物半導体膜の場合について説明する。半導体層が酸化物半導体膜でSD電極配線にCu合金を適用する場合、元素添加酸化物膜はCu合金中の添加元素が酸化物半導体中の酸素を奪うことで形成される。そのため、Cu合金中の添加元素の酸化物生成反応の平衡酸素ポテンシャルは、酸化物半導体層を構成する少なくとも1つの元素のそれより小さい値をとる。この時、酸素を奪われた界面近傍の酸化物半導体膜中では自由電子数が増加し、金属的性質を有するn+酸化物半導体膜へ改質する。それにより添加元素酸化物膜と酸化物半導体との間に本来存在するキャリアの注入障壁が低下し、移動度が高くなるという利点がある。
<半導体層がシリコン膜の場合>
以下に、実施例1のTFTの製造方法について説明する。本実施例1のTFTは、半導体層がシリコン膜から成り、ボトムゲート型で、半導体層を形成した後にソース電極及びドレイン電極が形成されるトップコンタクト構造を有する。尚、正確な膜厚や大きさを反映するとTFT構造が煩雑になるため図は模式的に示すものである。
表2に示すように、実施例1では銅合金電極に添加する元素をMoとしたが、実施例2〜19ではそれぞれ表2の成分、添加濃度のターゲット材を使用して同じく表2に示す成分、目標添加濃度の銅合金電極を実施例1と同様の方法で成膜し、薄膜トランジスタの製作を行った。ソース/ドレイン銅合金電極の実際の添加元素濃度は、製作過程で基板を取り出しEDX(エネルギー分散型X線分光法)を用いて定量した。製作した薄膜トランジスタは、大気中、25℃に60日間放置し、Si半導体層とソース/ドレイン銅合金電極との剥離の有無を走査型電子顕微鏡で調査した。また、薄膜トランジスタの製作過程のソース/ドレイン銅合金電極をエッチングで形成する際のエッチング残渣の有無をSEMで調査した。エッチング液は燐酸:5wt%、リン酸二水素アンモニウム:5wt%、過酸化水素:2wt%、水:残部を用いた。これらの結果も合わせて表2に示す。
<半導体層が酸化物半導体膜の場合>
以下に、本発明の実施例20のTFTの製造方法について説明する。本実施例20のTFTは、半導体層が酸化物半導体膜から成り、ボトムゲート型で、半導体層を形成した後にソース電極及びドレイン電極が形成されるトップコンタクト構造を有する。なお、正確な膜厚やサイズを反映するとTFT構造が煩雑になるため図においては模式的に示す。また、本実施例20と実施例1とで重複する説明の一部は省略する。
に形成する。その理由は、ゲート絶縁膜5へのCu原子拡散の抑制に加え、ゲート絶縁膜5から酸化物半導体膜へ混入する水素を低減させる為である。
表3に示すように、実施例20では銅合金電極に添加する元素をMoとしたが、実施例21〜34ではそれぞれ表3の成分、添加濃度のターゲット材を使用して同じく表3に示す成分、目標添加濃度の銅合金電極を実施例20と同様の方法で成膜し、薄膜トランジスタの製作を行った。ソース/ドレイン銅合金電極の実際の添加元素濃度は、製作過程で基板を取り出しEDX(エネルギー分散型X線分光法)を用いて定量した。製作した薄膜トランジスタは、大気中、25℃に60日間放置し、酸化物半導体層とソース/ドレイン銅合金電極層との剥離の有無を走査型電子顕微鏡で調査した。また、薄膜トランジスタの製作過程のソース/ドレイン銅合金電極をエッチングで形成する際のエッチング残渣の有無をSEMで調査した。エッチング液は燐酸:5wt%、リン酸二水素アンモニウム:5wt%、過酸化水素:2wt%、水:残部を用いた。これらの結果も合わせて表3に示す。
<表示装置>
図12および図13は、実施例35の内容を図示するものであり、液晶表示装置を例にして、実施例1及び実施例20のTFTを表示装置へ用いる方法を説明するものである。なお、煩雑さを避けるためTFTの詳細な構造の図示は省略する。
放たれた光は偏光板112により特定の偏光成分のみが通過し、液晶層115へ向かう。液晶層115は画素電極105と共通電極117に供給される電圧に応じて、偏光フィルム121を通過する光透過率を調整することで画素の階調を制御する。
2:Cu合金
3:純Cu
4:ゲート電極
5:ゲート絶縁膜
6:活性半導体層
6a:絶縁膜
7:コンタクト膜
7a:極薄酸化膜
8:半導体層(6・7)
9:Cu合金
10:純Cu
11:ソース電極
12:ドレイン電極
13:保護膜
14:酸化物膜(SD電極11・12と半導体層8(6・7)の界面に形成)
15:酸化物膜(SD電極11・12とゲート絶縁膜5の界面に形成)
100:液晶表示装置
101:TFT基板
102:走査線
103:信号線
104:TFT
105:画素電極
106:ストレージキャパシタ
111:光源
112:偏光板
113:絶縁膜
114:配向膜
115:液晶層
116:スペーサ
117:共通電極
118:カラーフィルタ
119:ブラックマトリクス
120:カラーフィルタ基板
121:偏光フィルム
Claims (6)
- 基板上に、酸化物膜を有するゲート絶縁膜と、酸化物半導体層と、Cuと少なくとも1種類の添加元素とを含むCu合金層を有するソース/ドレイン電極と、前記ソース電極及びドレイン電極と前記酸化物半導体層との界面に形成される酸化物膜と、全体を保護する保護膜と、を備えた薄膜トランジスタであって、
前記酸化物膜において、前記ソース電極及びドレイン電極中の添加元素および酸素の原子濃度はピークを有し、酸素のピーク値が添加元素のピーク値より大きいことを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 前記ソース電極及びドレイン電極中の添加元素の酸化物生成反応の平衡酸素ポテンシャルが、前記酸化物半導体層を構成する少なくとも1つの元素の平衡酸素ポテンシャルより小さいことを特徴とする請求項1に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記ソース電極及びドレイン電極のCu合金層は、CuとMn、Mg、Ca、Zn、Si、Al、Be、Ga、Ti、V、Zr、Hf、Ceから選択される少なくとも1種類以上の添加元素からなり、添加元素の濃度は0.5〜20at%であることを特徴とする請求項1又は2の薄膜トランジスタ。
- 前記保護膜の一部は窒化シリコン膜より成ることを特徴とする請求項1から3までのいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ。
- 基板上に、酸化物膜を有するゲート絶縁膜と、酸化物半導体層と、Cuと少なくとも1種類の添加元素とを含むCu合金層を有するソース/ドレイン電極と、前記ソース電極及びドレイン電極と前記酸化物半導体層との界面に形成される酸化物膜と、全体を保護する保護膜と、を備えた薄膜トランジスタの製造方法であって、
前記保護膜を形成するステップにおいて、
前記酸化物膜において、前記ソース電極及びドレイン電極中の添加元素および酸素の原子濃度はピークを有し、酸素のピーク値が添加元素のピーク値より大きくなる条件とすることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 請求項1から4までのいずれか1項に記載の薄膜トランジスタの銅合金からなるソース/ドレイン電極の形成に使用されるスパッタリングターゲット材であって、銅合金層中の添加元素濃度よりも、添加元素濃度×15%以上50%未満、の範囲で濃度が高いことを特徴とするスパッタリングターゲット材。
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