JP2016192408A - 高性能誘導プラズマトーチ - Google Patents
高性能誘導プラズマトーチ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016192408A JP2016192408A JP2016108280A JP2016108280A JP2016192408A JP 2016192408 A JP2016192408 A JP 2016192408A JP 2016108280 A JP2016108280 A JP 2016108280A JP 2016108280 A JP2016108280 A JP 2016108280A JP 2016192408 A JP2016192408 A JP 2016192408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- conductive material
- film
- confinement tube
- torch body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/28—Cooling arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/30—Plasma torches using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
Description
ξ0=自由空間の透磁率=4πx10−7(H/m)または(V.s/A.m)
σ=容量性シールド材料の電気伝導率(mho/m)または(A/V.m)
f=発振器周波数(s−1)
12 管状トーチ本体
14 誘導コイル
26 プラズマ閉込管
32 ガス分配器ヘッド
42 粉末注入プローブ
50 容量性シールド部
51 軸方向ストリップ
510 軸方向溝
Claims (34)
- 誘導プラズマトーチに使用するためのプラズマ閉込管であって、幾何学的軸および外側表面を画成し、前記外側表面に施され軸方向ストリップに分割された導電材料の膜を含む容量性シールド部を含み、前記軸方向ストリップは、一方の端部において相互接続されており、前記膜は、前記誘導プラズマトーチの動作周波数、および前記膜の前記導電材料の電気伝導率に関して計算される表皮厚さよりも小さい厚さを有することを特徴とするプラズマ閉込管。
- 導電材料の前記膜は、前記外側表面上に堆積されることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ閉込管。
- 導電材料の前記膜は、金属材料から作られることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ閉込管。
- 高い熱伝導率、高い電気抵抗率、および高い熱衝撃抵抗性を有する、純粋または複合的なセラミック材料から作られることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のプラズマ閉込管。
- 導電材料の前記膜は、100ミクロン以下の厚さを有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のプラズマ閉込管。
- 誘導プラズマトーチに使用するためのプラズマ閉込管であって、幾何学的軸および外側表面を画成し、
前記外側表面に施され一方の端部において相互接続された軸方向ストリップに分割された導電材料の膜を含む容量性シールド部と、
前記外側表面の軸方向溝であって、前記軸方向ストリップ間に配置される軸方向溝と、
を含むことを特徴とするプラズマ閉込管。 - 前記軸方向溝の1つは、側方に隣接する軸方向ストリップの各対の間に配置されることを特徴とする請求項6に記載のプラズマ閉込管。
- 前記軸方向溝は、導電材料の前記膜を含まない表面を画定することを特徴とする請求項6または7に記載のプラズマ閉込管。
- 前記軸方向溝は、1mm〜10mmの幅および1mm〜2mmの深さを有することを特徴とする請求項6〜8のいずれか一項に記載のプラズマ閉込管。
- 内側表面を有する管状トーチ本体と、
前記管状トーチ本体内に前記管状トーチ本体と同軸上に配置され、外側表面を有するプラズマ閉込管と、
前記プラズマ閉込管の一方の端部に配置され、前記プラズマ閉込管内に少なくとも1つの気体状物質を供給するように構成されたガス分配器ヘッドと、
前記プラズマ閉込管内にプラズマを生成および維持するのに前記気体状物質にエネルギーを加えるために前記管状トーチ本体の前記内側表面の外側に配置された誘導結合部材と、
前記プラズマ閉込管の前記外側表面または前記管状トーチ本体の前記内側表面に施された導電材料の膜を含む容量性シールド部であって、導電材料の前記膜は軸方向ストリップに分割され、前記軸方向ストリップは一方の端部において相互接続され、前記膜は、前記誘導結合部材に供給される電流の周波数および前記膜の前記導電材料の電気伝導率に関して計算される表皮厚さよりも小さい厚さを有する容量性シールド部と、
を含むことを特徴とする誘導プラズマトーチ。 - 導電材料の前記膜は、前記プラズマ閉込管の前記外側表面または前記管状トーチ本体の前記内側表面上に堆積される、請求項10に記載の誘導プラズマトーチ。
- 導電材料の前記膜は、金属材料から作られることを特徴とする請求項10または11に記載の誘導プラズマトーチ。
- 前記プラズマ閉込管は、高い熱伝導率、高い電気抵抗率、および高い熱衝撃抵抗性を有する、純粋または複合的なセラミック材料から作られることを特徴とする請求項10〜12のいずれか一項に記載の誘導プラズマトーチ。
- 導電材料の前記膜は、100ミクロン以下の厚さを有することを特徴とする請求項10〜13のいずれか一項に記載の誘導プラズマトーチ。
- 導電材料の前記膜および前記プラズマ閉込管の両方を冷却するための冷却流体の流れを導くのに、前記プラズマ閉込管の前記外側表面と前記管状トーチ本体の前記内側表面との間の環状チャンバを含むことを特徴とする請求項10〜14のいずれか一項に記載の誘導プラズマトーチ。
- 前記環状チャンバは、約1mmの厚さを有し、冷却流体の前記流れは、冷却流体の高速の流れである、請求項15に記載の誘導プラズマトーチ。
- プラズマ点火中に前記容量性シールド部を浮動電位に維持するための手段と、前記プラズマが点火され、維持されるとき、導電材料の前記膜上に発現する任意の容量性電位を排出するために前記容量性シールド部をグランドに接続するための手段とを含むことを特徴とする請求項10〜16のいずれか一項に記載の誘導プラズマトーチ。
- 内側表面を有する管状トーチ本体と、
前記管状トーチ本体内に前記管状トーチ本体と同軸上に配置され、外側表面を有するプラズマ閉込管と、
前記プラズマ閉込管の一方の端部に配置され、前記プラズマ閉込管内に少なくとも1つの気体状物質を供給するように構成されたガス分配器ヘッドと、
前記プラズマ閉込管内にプラズマを生成および維持するのに前記気体状物質にエネルギーを加えるために前記管状トーチ本体の前記内側表面の外側に配置された誘導結合部材と、
前記プラズマ閉込管の前記外側表面または前記管状トーチ本体の前記内側表面に施された導電材料の膜を含む容量性シールド部であって、導電材料の前記膜は軸方向ストリップに分割され、前記軸方向ストリップは一方の端部において相互接続される、容量性シールド部と、
前記プラズマ閉込管の前記外側表面または前記管状トーチ本体の前記内側表面の軸方向溝であって、前記軸方向ストリップ間に配置された軸方向溝と、
を含むことを特徴とする誘導プラズマトーチ。 - 前記軸方向溝の1つは、側方に隣接する軸方向ストリップの各対の間に配置されることを特徴とする請求項18に記載の誘導プラズマトーチ。
- 前記軸方向溝は、導電材料の前記膜を含まない表面を画定する、請求項18または19に記載の誘導プラズマトーチ。
- 前記軸方向溝は、1mm〜10mmの幅および1mm〜2mmの深さを有することを特徴とする請求項18〜20のいずれか一項に記載の誘導プラズマトーチ。
- 導電材料の前記膜は、前記プラズマ閉込管の前記外側表面または前記管状トーチ本体の前記内側表面上に堆積される、請求項18〜21のいずれか一項に記載の誘導プラズマトーチ。
- 導電材料の前記膜は、金属材料から作られることを特徴とする請求項18〜22のいずれか一項に記載の誘導プラズマトーチ。
- 前記プラズマ閉込管は、高い熱伝導率、高い電気抵抗率、および高い熱衝撃抵抗性を有する、純粋または複合的なセラミック材料から作られることを特徴とする請求項18〜23のいずれか一項に記載の誘導プラズマトーチ。
- 導電材料の前記膜は、100ミクロン以下の厚さを有することを特徴とする請求項18〜24のいずれか一項に記載の誘導プラズマトーチ。
- 導電材料の前記膜および前記プラズマ閉込管の両方を冷却するための冷却流体の流れを導くのに、前記プラズマ閉込管の前記外側表面と前記管状トーチ本体の前記内側表面との間の環状チャンバを含む、誘導プラズマトーチであって、前記冷却流体は前記軸方向溝内にも流れることを特徴とする請求項18〜25のいずれか一項に記載の誘導プラズマトーチ。
- 前記環状チャンバは、約1mmの厚さを有し、冷却流体の前記流れは、冷却流体の高速の流れであることを特徴とする請求項26に記載の誘導プラズマトーチ。
- プラズマ点火中に前記容量性シールド部を浮動電位に維持するための手段と、前記プラズマが点火され、維持されるとき、導電材料の前記膜上に発現する任意の容量性電位を排出するために前記容量性シールド部をグランドに接続するための手段とを含むことを特徴とする請求項18〜27のいずれか一項に記載の誘導プラズマトーチ。
- 誘導プラズマトーチに使用するための管状トーチ本体であって、幾何学的軸および内側表面を画成し、前記管状トーチ本体の前記内側表面に施され軸方向ストリップに分割された導電材料の膜を含む容量性シールド部を含み、前記軸方向ストリップは、一方の端部において相互接続されており、前記導電材料の膜は、前記誘導プラズマトーチの動作周波数、および前記膜の前記導電材料の電気伝導率に関して計算される表皮厚さよりも小さい厚さを有する、管状トーチ本体。
- 導電材料の前記膜は、100ミクロン以下の厚さを有することを特徴とする請求項29に記載の管状トーチ本体。
- 誘導プラズマトーチに使用するための管状トーチ本体であって、幾何学的軸および内側表面を画成し、
前記管状トーチ本体の前記内側表面に施され一方の端部において相互接続された軸方向ストリップに分割された導電材料の膜を含む容量性シールド部と、
前記管状トーチ本体の前記内側表面の軸方向溝であって、前記軸方向ストリップ間に配置される軸方向溝と、
を含むことを特徴とする管状トーチ本体。 - 前記軸方向溝の1つは、側方に隣接する軸方向ストリップの各対の間に配置されることを特徴とする請求項31に記載の管状トーチ本体。
- 前記軸方向溝は、導電材料の前記膜を含まない表面を画定することを特徴とする請求項31または32に記載の管状トーチ本体。
- 前記軸方向溝は、1mm〜10mmの幅および1mm〜2mmの深さを有することを特徴とする請求項31〜33のいずれか一項に記載の管状トーチ本体。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201161439161P | 2011-02-03 | 2011-02-03 | |
US61/439,161 | 2011-02-03 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013552080A Division JP2014509044A (ja) | 2011-02-03 | 2012-02-02 | 高性能誘導プラズマトーチ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016192408A true JP2016192408A (ja) | 2016-11-10 |
JP6158396B2 JP6158396B2 (ja) | 2017-07-05 |
Family
ID=46602038
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013552080A Pending JP2014509044A (ja) | 2011-02-03 | 2012-02-02 | 高性能誘導プラズマトーチ |
JP2016108280A Active JP6158396B2 (ja) | 2011-02-03 | 2016-05-31 | 高性能誘導プラズマトーチ |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013552080A Pending JP2014509044A (ja) | 2011-02-03 | 2012-02-02 | 高性能誘導プラズマトーチ |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9380693B2 (ja) |
EP (1) | EP2671430B1 (ja) |
JP (2) | JP2014509044A (ja) |
KR (2) | KR102023354B1 (ja) |
CN (2) | CN103503579B (ja) |
CA (1) | CA2826474C (ja) |
RU (1) | RU2604828C2 (ja) |
WO (1) | WO2012103639A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022059247A1 (ja) * | 2020-09-15 | 2022-03-24 | 株式会社島津製作所 | ラジカル発生装置及びイオン分析装置 |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103094038B (zh) | 2011-10-27 | 2017-01-11 | 松下知识产权经营株式会社 | 等离子体处理装置以及等离子体处理方法 |
US20140263181A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Jaeyoung Park | Method and apparatus for generating highly repetitive pulsed plasmas |
JP5861045B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2016-02-16 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | プラズマ処理装置及び方法 |
WO2014168876A2 (en) * | 2013-04-08 | 2014-10-16 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Capacitively coupled devices and oscillators |
US9717139B1 (en) * | 2013-08-26 | 2017-07-25 | Elemental Scientific, Inc. | Torch cooling device |
US20150139853A1 (en) * | 2013-11-20 | 2015-05-21 | Aic, Llc | Method and apparatus for transforming a liquid stream into plasma and eliminating pathogens therein |
WO2015106318A1 (en) * | 2014-01-15 | 2015-07-23 | Gallium Enterprises Pty Ltd | Apparatus and method for the reduction of impurities in films |
PT3116636T (pt) | 2014-03-11 | 2020-10-19 | Tekna Plasma Systems Inc | Processo e aparelho para produzir partículas de pó por atomização de um material de alimentação com a forma de um elemento alongado |
CA2953492C (en) * | 2014-06-25 | 2023-04-25 | The Regents Of The University Of California | System and methods for fabricating boron nitride nanostructures |
US10613007B2 (en) | 2015-03-13 | 2020-04-07 | Corning Incorporated | Edge strength testing methods and apparatuses |
CN104867801B (zh) * | 2015-05-20 | 2017-01-18 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备 |
JP6295439B2 (ja) * | 2015-06-02 | 2018-03-20 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | プラズマ処理装置及び方法、電子デバイスの製造方法 |
CN107852807B (zh) | 2015-06-29 | 2020-07-07 | 泰克纳等离子系统公司 | 具有更高等离子体能量密度的感应式等离子体喷枪 |
CA2992303C (en) | 2015-07-17 | 2018-08-21 | Ap&C Advanced Powders And Coatings Inc. | Plasma atomization metal powder manufacturing processes and systems therefor |
US10307852B2 (en) * | 2016-02-11 | 2019-06-04 | James G. Acquaye | Mobile hardbanding unit |
CA3020720C (en) | 2016-04-11 | 2020-12-01 | Ap&C Advanced Powders & Coatings Inc. | Reactive metal powders in-flight heat treatment processes |
US10212798B2 (en) * | 2017-01-30 | 2019-02-19 | Sina Alavi | Torch for inductively coupled plasma |
CN110753591B (zh) | 2017-03-03 | 2023-07-11 | 魁北克电力公司 | 包含被钝化层覆盖的核的纳米粒子、其制造方法及其用途 |
CN109304474B (zh) * | 2018-11-29 | 2023-10-27 | 中天智能装备有限公司 | Icp等离子制粉设备 |
CN109304473A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-02-05 | 中天智能装备有限公司 | Icp等离子直线加热装置 |
JP7489171B2 (ja) * | 2019-03-26 | 2024-05-23 | 株式会社ダイヘン | プラズマ発生装置 |
CN112996211B (zh) * | 2021-02-09 | 2023-12-26 | 重庆新离子环境科技有限公司 | 一种应用于危废处理的直流电弧等离子体炬 |
KR102356083B1 (ko) * | 2021-08-19 | 2022-02-08 | (주)제이피오토메이션 | 고온 공정 처리 장치 |
AT526353B1 (de) | 2022-08-09 | 2024-02-15 | Thermal Proc Solutions Gmbh | Einrichtung zur thermischen Behandlung eines Stoffes |
AT526239B1 (de) * | 2022-08-09 | 2024-01-15 | Thermal Proc Solutions Gmbh | Vorrichtung zur Bereitstellung eines Plasmas |
AT526238B1 (de) * | 2022-08-09 | 2024-01-15 | Thermal Proc Solutions Gmbh | Vorrichtung zur Bereitstellung eines Plasmas |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4886160A (en) * | 1988-11-07 | 1989-12-12 | Kligerman Alan E | Carton for containing a plurality of items for transport, storage and display |
US4897579A (en) | 1987-04-13 | 1990-01-30 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Method of processing materials using an inductively coupled plasma |
JPH01140600A (ja) * | 1987-11-26 | 1989-06-01 | Jeol Ltd | 誘導プラズマ発生装置 |
DE69128345T2 (de) | 1990-01-04 | 1998-03-26 | Mattson Tech Inc | Induktiver plasmareaktor im unteren hochfrequenzbereich |
US5200595A (en) | 1991-04-12 | 1993-04-06 | Universite De Sherbrooke | High performance induction plasma torch with a water-cooled ceramic confinement tube |
US5234529A (en) * | 1991-10-10 | 1993-08-10 | Johnson Wayne L | Plasma generating apparatus employing capacitive shielding and process for using such apparatus |
US5360941A (en) * | 1991-10-28 | 1994-11-01 | Cubic Automatic Revenue Collection Group | Magnetically permeable electrostatic shield |
JPH06342640A (ja) * | 1993-06-01 | 1994-12-13 | Yokogawa Analytical Syst Kk | 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 |
US5560844A (en) | 1994-05-26 | 1996-10-01 | Universite De Sherbrooke | Liquid film stabilized induction plasma torch |
US5811022A (en) * | 1994-11-15 | 1998-09-22 | Mattson Technology, Inc. | Inductive plasma reactor |
TW283250B (en) * | 1995-07-10 | 1996-08-11 | Watkins Johnson Co | Plasma enhanced chemical processing reactor and method |
JPH09129397A (ja) | 1995-10-26 | 1997-05-16 | Applied Materials Inc | 表面処理装置 |
CA2244749A1 (en) | 1996-02-06 | 1997-08-14 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Treatment of deagglomerated particles with plasma-activated species |
TW327236B (en) * | 1996-03-12 | 1998-02-21 | Varian Associates | Inductively coupled plasma reactor with faraday-sputter shield |
US6056848A (en) | 1996-09-11 | 2000-05-02 | Ctp, Inc. | Thin film electrostatic shield for inductive plasma processing |
JPH10284299A (ja) | 1997-04-02 | 1998-10-23 | Applied Materials Inc | 高周波導入部材及びプラズマ装置 |
US5877471A (en) * | 1997-06-11 | 1999-03-02 | The Regents Of The University Of California | Plasma torch having a cooled shield assembly |
CN1131892C (zh) | 1998-08-03 | 2003-12-24 | 东京电子株式会社 | 静电屏蔽的射频室冷却系统和方法 |
JP2000182799A (ja) | 1998-12-17 | 2000-06-30 | Fuji Electric Co Ltd | 誘導結合プラズマ装置ならびにこれを用いる処理炉 |
US6248251B1 (en) | 1999-02-19 | 2001-06-19 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and method for electrostatically shielding an inductively coupled RF plasma source and facilitating ignition of a plasma |
JP2002237486A (ja) | 2001-02-08 | 2002-08-23 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
US6693253B2 (en) | 2001-10-05 | 2004-02-17 | Universite De Sherbrooke | Multi-coil induction plasma torch for solid state power supply |
JP2004160338A (ja) | 2002-11-12 | 2004-06-10 | Pearl Kogyo Kk | 半導体プロセス用排ガス処理装置 |
US20050194099A1 (en) * | 2004-03-03 | 2005-09-08 | Jewett Russell F.Jr. | Inductively coupled plasma source using induced eddy currents |
KR100793154B1 (ko) * | 2005-12-23 | 2008-01-10 | 주식회사 포스코 | 고주파 플라즈마를 이용한 은나노 분말 제조방법 |
JP2009021492A (ja) | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Samco Inc | プラズマ反応容器 |
KR101006382B1 (ko) * | 2008-04-24 | 2011-01-10 | 익스팬테크주식회사 | 플라즈마 발생장치 |
EP2341525B1 (en) | 2009-12-30 | 2013-10-23 | FEI Company | Plasma source for charged particle beam system |
-
2012
- 2012-02-02 KR KR1020187022914A patent/KR102023354B1/ko active IP Right Grant
- 2012-02-02 CN CN201280015875.8A patent/CN103503579B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-02-02 CN CN201710063927.3A patent/CN106954331B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-02-02 KR KR1020137023122A patent/KR102023386B1/ko active IP Right Grant
- 2012-02-02 US US13/498,736 patent/US9380693B2/en active Active
- 2012-02-02 JP JP2013552080A patent/JP2014509044A/ja active Pending
- 2012-02-02 WO PCT/CA2012/000094 patent/WO2012103639A1/en active Application Filing
- 2012-02-02 RU RU2013140578/07A patent/RU2604828C2/ru active
- 2012-02-02 CA CA2826474A patent/CA2826474C/en active Active
- 2012-02-02 EP EP12742194.9A patent/EP2671430B1/en active Active
-
2016
- 2016-05-31 JP JP2016108280A patent/JP6158396B2/ja active Active
- 2016-06-09 US US15/178,068 patent/US10893600B2/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022059247A1 (ja) * | 2020-09-15 | 2022-03-24 | 株式会社島津製作所 | ラジカル発生装置及びイオン分析装置 |
JP7396508B2 (ja) | 2020-09-15 | 2023-12-12 | 株式会社島津製作所 | ラジカル発生装置及びイオン分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20180095097A (ko) | 2018-08-24 |
CN103503579B (zh) | 2017-02-22 |
JP6158396B2 (ja) | 2017-07-05 |
CA2826474C (en) | 2020-06-09 |
US20160323987A1 (en) | 2016-11-03 |
JP2014509044A (ja) | 2014-04-10 |
EP2671430B1 (en) | 2018-05-16 |
KR102023354B1 (ko) | 2019-09-20 |
US10893600B2 (en) | 2021-01-12 |
KR20140007888A (ko) | 2014-01-20 |
WO2012103639A8 (en) | 2012-10-11 |
WO2012103639A1 (en) | 2012-08-09 |
CN106954331A (zh) | 2017-07-14 |
EP2671430A1 (en) | 2013-12-11 |
US20120261390A1 (en) | 2012-10-18 |
CN106954331B (zh) | 2019-06-11 |
CN103503579A (zh) | 2014-01-08 |
KR102023386B1 (ko) | 2019-09-20 |
EP2671430A4 (en) | 2014-12-31 |
RU2604828C2 (ru) | 2016-12-10 |
CA2826474A1 (en) | 2012-08-09 |
US9380693B2 (en) | 2016-06-28 |
RU2013140578A (ru) | 2015-03-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6158396B2 (ja) | 高性能誘導プラズマトーチ | |
US5200595A (en) | High performance induction plasma torch with a water-cooled ceramic confinement tube | |
US5560844A (en) | Liquid film stabilized induction plasma torch | |
AU2016288266B2 (en) | Induction plasma torch with higher plasma energy density | |
JP7271489B2 (ja) | 高エネルギー効率、高出力のプラズマトーチ | |
CN107182164B (zh) | 一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器 | |
Kim et al. | Enthalpy probe measurements and three-dimensional modelling on air plasma jets generated by a non-transferred plasma torch with hollow electrodes | |
Essiptchouk et al. | Thermal and power characteristics of plasma torch with reverse vortex | |
CN106817833B (zh) | 双旋子高频感应等离子发生器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170322 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170508 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170607 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6158396 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |