JP2016187353A - 超高速の核酸配列決定のための電界効果トランジスタ装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】ＤＮＡまたはＲＮＡの個々の塩基を正確かつ有効に識別するためのシステムおよび方法を提供することである。
【解決手段】
電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）核酸配列決定装置（１０２）は、ソース（１０６）およびドレイン（１０４）領域ならびにゲート酸化物（１３６）を含む。ソース／ドレイン金属接点（１２３、１４２）に接続されたリード線（１１６）を介して電圧源（１１２）によってソースおよびドレインに電位が印加される。核酸鎖（１１１）がゲート電極領域となる開口部（１１８）を通過すると、核酸塩基（アデニン、チミン、グアニン、またはシトシン）を表す電荷が、チャネル（１１９）を介してソース（１０６）およびドレイン（１０４）間を流れる電流をその間の電界を変えることによって変え、電流計（１１４）によって測定される。
【選択図】図１

Description

本発明は、炭水化物、タンパク質のような長鎖ポリマーの個々の構成要素（mers）およびデオキシリボ核酸（ＤＮＡ）またはリボ核酸（ＲＮＡ）の個々の塩基を識別するための検出領域を有する半導体装置を使用するシステムおよび方法ならびに半導体装置を製作するための方法に関する。特に、本発明は、ＤＮＡ／ＲＮＡ鎖の塩基を識別し、これにより対象となる鎖の配列決定を可能にすることができる電界効果トランジスタ装置と同様の半導体装置を使用するシステムおよび方法に関する。
本出願は、米国特許法第１１９条（ｅ）に基づき、「超高速の半導体に基づいた遺伝子配列決定（"Ultra-Fast, Semiconductor-Based Gene Sequencing"）」という名称のジョン Ｒ．ザウアー（Jon R. Sauer）らの米国特許仮出願、第６０／１９９，１３０号、出願日２０００年４月２４日および「ＤＮＡ配列決定用電荷検知および増幅装置（"Charge Sensing and Amplification Device for DNA Sequencing"）」という名称のバート ヴァン ゼーブロック（Bart Van Zeghbroeck）らの米国特許仮出願、第６０／２１７，６８１号、出願日２０００年７月１２日の利益を主張し、米国特許法第１２０条に基づき、「超高速核酸配列決定装置ならびにそれを製作および使用するための方法（"An Ultra-Fast Nucleic Acid Sequencing Device and a Method for Making and Using the Same"）」という名称のジョン Ｒ．ザウアー（Jon R. Sauer）らの米国特許非仮出願（non-provisional application）、第０９／６５３，５４３号、出願日２００１年８月３１日の利益を主張するものであり、上記仮出願および非仮出願の双方の全内容は参照により本明細書に援用されている。
ＤＮＡは、共通の軸の周りを巻いている２つの非常に長いらせん状のポリヌクレオチド鎖からなる。二重らせんの２つの鎖は反対の向きになっている。２つの鎖は、アデニン（Ａ）、チミン（Ｔ）、グアニン（Ｇ）およびシトシン（Ｃ）からなる対の塩基間の水素結合によってまとめられている。アデニンは常にチミンと対になり、グアニンは常にシトシンと対になる。それゆえ、二重らせんの一方の鎖はもう一方と相補的である。
遺伝情報は、ＤＮＡ鎖に沿った塩基の具体的な配列において暗号化される。通常の細胞においては、遺伝情報はＤＮＡからＲＮＡへ渡される。ＲＮＡ分子の大部分は一本鎖であるが、大部分は、鎖がヘアピン状の構造に折れることから生じる広範囲の二重らせん領域を含む。
ＤＮＡ配列のマッピングは、ヒトゲノム計画によって具体化される新時代の遺伝子に基づく医療の一部を成している。この計画の尽力によって、いつか医者は個人の遺伝子の構成に基づいて治療をその人に合ったものにすることができるであろうし、出生前に遺伝子の欠陥を修正することさえできるかもしれない。しかしながら、この課題を達成するためには各個人のＤＮＡを配列決定することが必要となる。ヒトゲノム配列の差異はおよそ０．１％であるが、この小さな差異が個人の種々の病気に対する素因を理解するのに重要である。近い将来には、医療が「ＤＮＡ的に個人化（DNA personalized）」され、医師は今日のコレステロール検査を手配するのと全く同じくらい容易に、配列情報を手配するようになると考えられる。したがって、このような発展を日常生活において用いられるようにするために、より高速で経済的なＤＮＡ配列決定方法が求められる。
ＤＮＡ配列決定を行う１つの方法は、特許文献１に開示されており、その全内容は参照により本明細書に援用されている。この方法は、半導体基板のような基板上に形成されたテストサイトのモノリシックアレイを使用する。各テストサイトは、所定の標的分子構造と結合するようになっているプローブを含んでいる。テストサイトでのプローブへの分子構造の結合は、テストサイトの電気的、機械的および光学的特性を変化させる。したがって、テストサイトに信号が与えられると、各テストサイトの電気的、機械的および光学的特性を測定して、どのプローブがそれぞれの標的分子構造と結合したのかを決定することができる。しかしながら、テストサイトのアレイは製造するには複雑で、種々のタイプの標的分子構造を検出するための多数のプローブを用いなければならないため、この方法は不利である。
配列決定の別の方法は、ゲル電気泳動として公知である。この技術では、ＤＮＡを分解して１つの鎖にして４つのヌクレオチドのうちの１つ、例えばＡを破壊する化学物質に露出し、これにより、Ａで終わり、反対側の一端で標識されたＤＮＡ断片のランダムな分布を有する鎖を生成する。他の３つの残りの塩基について同じ手続きを繰り返す。ＤＮＡ断片は、ゲル電気泳動によって長さに応じて分けられる。長さは標識された端から既知の塩基への距離を示し、対象範囲にギャップがなければもとのＤＮＡ鎖断片の配列が決定される。
このＤＮＡ配列決定方法は、それと関連する欠点を多く有している。この技術ではおよそ５００の塩基の読取りしかできない。なぜなら、それより多くの塩基を含むＤＮＡ鎖だと「丸まって」しまい、正しく読取ることができないからである。また、鎖の長さが長くなると長さ決定の分解能が急激に低下し、このことも同様に鎖の解析を５００塩基長までに制限する。加えて、ゲル電気泳動は非常に時間がかかり、複雑な有機体のゲノムの配列決定という課題に対しては有効な解決手段ではない。さらに、電気泳動の前の準備および後の解析は、本質的に費用および時間がかかるものである。したがって、より高速で、一定していて、より経済的なＤＮＡ配列決定のための方法が求められている。
ＤＮＡ配列決定への別のアプローチは、特許文献２および特許文献３に記載されており、それらの全内容は参照により本明細書に援用されている。この技術では、２つの液体がアルファヘモリシン（アルファ溶血素）孔（alpha hemolysin pores）を有する生体膜によって分離される。ＤＮＡが膜を通過すると、孔を通るイオン電流が遮断される。実験によって、孔を通るイオン電流が遮断される時間の長さはＤＮＡ断片の長さと比例することが示されている。さらに、遮断の量および速度は、どの塩基が孔の最も狭い部分にあるかに依存する。このため、これらの現象から塩基配列を決定できる可能性がある。
この技術の問題には、これまでのところ個々のヌクレオチドを区別できないということがある。また、個々のヌクレオチドの空間的な向きを見分けることは困難である。さらに、電荷の流れを測定する電極が孔からかなり離れており、このことが測定の精度に悪影響を及ぼす。これは、大部分は、電流検知電極の特有の静電容量と、少量の電流の検知における統計的変動が大きいこととによるものである。さらに、特有のショットノイズなどのノイズ源が信号を歪ませ、さらなる誤差を招く。したがって、塩基がシーケンサを通過するときにそれらを区別する、より感度の高い検出システムが求められている。
米国特許第５，６５３，９３９号明細書 米国特許第５，７９５，７８２号明細書 米国特許第６，０１５，７１４号明細書
本発明の目的は、ＤＮＡまたはＲＮＡの個々の塩基を正確かつ有効に識別するためのシステムおよび方法を提供することである。
本発明の別の目的は、ＤＮＡまたはＲＮＡの個々の塩基を配列決定するための半導体装置を使用するシステムおよび方法を提供することである。
本発明のさらなる目的は、半導体に基づいたＤＮＡまたはＲＮＡ配列決定装置を製造するための方法を提供することである。
本発明の別の目的は、正確かつ有効に、炭水化物またはタンパク質のような長鎖ポリマーの個々の構成要素を識別し、かつ長鎖ポリマーの長さを測定するためのシステムおよび方法を提供することである。
本発明のさらに別の目的は、ＤＮＡまたはＲＮＡ分子がシーケンサにおいて開口部を通過する位置で電荷を測定することによってＤＮＡまたはＲＮＡの塩基を正確かつ有効に識別するための、中に開口部を有する半導体に基づいた装置を使用するシステムおよび方法を提供し、これにより、開口部を通るＤＮＡまたはＲＮＡ分子のランダムな動きと関連するショットノイズなどのノイズ源の影響を排除または少なくとも最小化することである。
第１導電型のシリコン層（ｐ型シリコン層１２６）の第１の表面に形成された第２の導電型の第１ドープ領域（ｎ型ドープ領域１２８）と、前記第１導電型のシリコン層（ｐ型シリコン層１２６）の前記第１の表面とは反対側の第２の表面に形成された第２の導電型の第２ドープ領域（ｎ型領域１３４）と、前記第１ドープ領域の前記第１表面から前記第２ドープ領域の前記第２の表面を貫通する開口部（開口部１１８）と、前記開口部の壁面に沿って垂直方向に延伸するチャネル（チャネル１１９）と、を有し、前記開口部は、１〜１０ｎｍの範囲の直径を有しており、前記第１ドープ領域、前記第２ドープ領域及び前記チャネルは、絶縁体により前記開口部から分離されている、半導体装置を備える、システムを提供する。
核酸鎖を検出する方法であって、
第１導電型のシリコン層の第１の表面に形成された第２の導電型の第１ドープ領域と、前記第１導電型のシリコン層の前記第１の表面とは反対側の第２の表面に形成された第２の導電型の第２ドープ領域と、前記第１ドープ領域の前記第１表面から前記第２ドープ領域の前記第２の表面を貫通する開口部と、前記開口部の壁面に沿って垂直方向に延伸するチャネルと、を有し、前記開口部が、１〜１０ｎｍの範囲の直径を有しており、前記第１ドープ領域、前記第２ドープ領域及び前記チャネルが、絶縁体により前記開口部から分離されている半導体装置を提供するステップと、
前記核酸鎖が前記開口を通過するステップと、
前記ソース領域及び前記ドレイン領域間において前記検出領域を通過する電流を検出するステップと、
を備える方法を提供する。
本発明の実施形態に従って構成されたＤＮＡまたはＲＮＡシーケンサを含むＤＮＡまたはＲＮＡ配列決定を行うためのシステムを図示する。 図１に示すＤＮＡまたはＲＮＡシーケンサの平面図を示す。 ＤＮＡまたはＲＮＡ配列のアデニン（Ａ）、チミン（Ｔ）、グアニン（Ｇ）およびシトシン（Ｃ）塩基がＤＮＡまたはＲＮＡシーケンサを通過するときの、図１に示すシステムの電流検出器によって検出された電流を表す波形の例を示すグラフである。 本発明の実施形態に従って図１に示すようなＤＮＡまたはＲＮＡシーケンサを作製するシリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）基板の断面図を示す。 シリコン層に形成された浅いｎ型領域および深いｎ型領域ならびに切り欠かれた基板の部分を有する図４に示すＳＯＩ基板の断面図を示す。 絶縁体の一部が切り欠かれ、別の浅いｎ型領域がシリコン層に形成された図５に示すＳＯＩ基板の断面図を示す。 エッチングで形成された開口部を有するＳＯＩ基板の断面図を示す。 図７に示すＳＯＩ基板の平面図を示す。 シリコン層上およびその中の開口部を形成する壁面上に形成された酸化層を有する図７に示すＳＯＩ基板の断面図を示す。 図９に示すＳＯＩ基板の平面図を示す。 シリコン層上およびその中の開口部を形成する壁面上に形成された酸化層を有する図９に示すＳＯＩ基板の詳細な断面図を示す。 図１１に示すＳＯＩ基板の平面図を示す。 図７に示すＳＯＩ基板の開口部の構成例の詳細な断面図を示す。 図１３に示す開口部の平面図を示す。 酸化層にエッチングされた穴および浅いｎ型領域と深いｎ型領域に接触するためにそれぞれ穴の上方に形成された金属コンタクトを有する図９に示すＳＯＩ基板の断面図を示す。 図４〜１５に示す製造ステップに従って作製された図１に示すＤＮＡまたはＲＮＡシーケンサの断面図を示す。； 本発明の別の実施形態による複数のｎ型領域によって形成された複数の検出器を有するＤＮＡまたはＲＮＡシーケンサの平面図を示す。 本発明の別の実施形態によるＤＮＡまたはＲＮＡシーケンサの断面図を示す。 本発明のさらなる実施形態によるＤＮＡまたはＲＮＡシーケンサの断面図を示す。 本発明のさらなる実施形態によるＤＮＡまたはＲＮＡシーケンサの断面図を示す。 図２０に示すＤＮＡまたはＲＮＡシーケンサの平面図を示す。
図１および２は、ＤＮＡまたはＲＮＡ、タンパク質または炭水化物のようなポリマー、あるいは石油のような長鎖ポリマーの存在を検出するための、より好ましくはポリマーまたは長鎖ポリマーの個々の構成要素およびポリマーまたは長鎖ポリマーの長さを識別するためのシステム１００を図示する。システム１００は、好ましくは、本発明の実施形態によるＤＮＡまたはＲＮＡ配列決定のような核酸の配列決定を行えるようになっている。したがって、この明細書において、核酸配列決定と関連してシステム１００を説明する。
システム１００は、以下により詳細に説明するように、半導体装置である核酸配列決定装置１０２を含む。特に、核酸配列決定装置１０２は、２つのドープ領域つまりドレイン領域１０４およびソース領域１０６を含む点で、ＭＯＳＦＥＴのような電界効果トランジスタに似ている。しかしながら、ＭＯＳＦＥＴとは異なり、核酸配列決定装置は以下に述べる理由のためにゲート領域を含まない。
核酸配列決定装置１０２は、水、ゲル、ＫＣＬなどの緩衝液、または他のあらゆる適切な溶液などの液体１１０を含む容器１０８の中に配置される。なお、溶液１１０は、油などの絶縁媒体または他のあらゆる適切な絶縁媒体であってもよい。さらに、容器１０８は液体のような媒体を含まなくてもよい。つまり、容器１０８は、核酸配列決定装置１０２が配置される真空をつくるために密封して排気することもできる。また、図１は例として容器１０８の中に１つの核酸配列決定装置１０２しか示していないが、容器は、並行して複数のＤＮＡ配列決定測定を行うための複数の核酸配列決定装置１０２を含むことができる。
容器１０８内の液体１１０などの媒体または真空は、核酸配列決定装置１０２によって配列決定される核酸鎖または核酸鎖の部分１１１を含む。さらに図示するように、直流電圧源のような電圧源１１２が、それぞれドレインおよびソース領域１０４および１０６を介してリード線１１６によって電流計１１４に直列に結合されている。この例では、電圧源１１２の正のリード線はドレイン領域１０４に結合され、電圧源１１２の負のリード線は電流計１１４を介してソース領域１０６に結合されている。
核酸配列決定装置１０２のドレインおよびソース領域１０４および１０６に印加される電位は、例えば約１００ｍＶと小さくてもよく、これは、核酸配列決定装置１０２の開口部１１８に核酸鎖を引き込むためにドレインおよびソース領域１０４および１０６に勾配をつくるのに十分である。つまり、核酸鎖１１１は、局部的な勾配によって開口部１１８を通って移動する。あるいはまたはさらに、液体はイオン溶液を含み得る。この場合、局部的な勾配によって溶液中のイオンが開口部１１８を通って流れ、このことがＤＮＡまたはＲＮＡのような核酸鎖１１１が同様に開口部１１８を通って移動する助けとなる。
媒体１１０内に置かれてさらなる電圧源１１７および１２１に接続されたさらなる電極１１３および１１５があれば、開口部１１８に向かう核酸鎖の移動をさらに容易にする。すなわち、外部電極１１３および１１５は、媒体１１０内に電界を印加するために用いられる。この電界は、核酸鎖１１１などの全ての荷電した粒子が開口部１１８へ向けてか開口部１１８から離れてかのいずれかに流れる原因となる。このため、電極１１３および１１５は、核酸鎖１１１を開口部１１８の中へまたはその外へ向けるための手段として用いられる。電圧源１１２および１１７を核酸シーケンサ１０２に接続するために、金属コンタクト１２３が以下により詳細に説明するｎ型ドープ領域１２８および１３０に結合されている。電極１１３および１１５は、交流電圧源１２５によってＤＣ電圧に重畳される高周波電圧を提供することもでき得る。メガヘルツ範囲（例えば１０ＭＨｚ）のような無線周波数範囲の周波数を有し得るこの高周波電圧によって、核酸鎖１１１およびイオンが振動する。この振動は、塩の粒がシェーカーの開口部を通過できるようにソルトシェーカーを振るのと同様の方法で、核酸鎖１１１がより円滑に開口部１１８を通るようにする。あるいは、音波発生装置のような装置１２７を液体１１０の中または他のあらゆる適切な位置に配置することができ、同様の機械的振とう機能を提供するために装置１０２を介して音波の振動を送るように制御される。
当業者が十分に理解できるように、核酸鎖は、それぞれが特定の大きさおよび極性のイオン電荷を含有する塩基Ａ、Ｃ、ＧおよびＴの異なる組み合わせをそれぞれ含んでいる。このため、ドレインおよびソース領域１０４および１０６間またはそうでなければ開口部１１８の両端の電荷勾配は、荷電した核酸鎖に開口部１１８を通過させる。あるいは、開口部１１８と液体の間に電位差をつくるために別の電圧源（図示せず）を用いることができる。また、ソースおよびドレイン１０６および１０４間に印加される電圧と無関係にＤＮＡの流れを制御するために開口部１１８の両端に圧力差を与えることができる。
また、配列決定装置１０２は、電圧源１１２を基準として媒体１１０に正の電圧を印加することによって核酸鎖を開口部１１８に引き寄せることができる。さらに、ドレインおよびソース領域１０４および１０６の極性をそれぞれ反転することによって、媒体１１０中の核酸鎖を開口部１１８に押し込んだりそこから押し出したりし、複数回解析することもできる。
以下により詳細に説明するように、開口部１１８は、ナノメートルの範囲内、例えば約１ｎｍから約１０ｎｍの範囲内の直径を有するように構成される。したがって、常に１つのＤＮＡ鎖だけしか開口部１１８を通過することができない。ＤＮＡ鎖が開口部１１８を通過すると、塩基の配列は、鏡像電荷を誘起する。この鏡像電荷は、開口部１１８が形成された装置の壁面に沿って垂直方向に延伸するチャネル１１９をドレインおよびソース領域１０４および１０６間に形成する。電圧源１１２によってソース領域１０６およびドレイン領域１０４間に電圧が印加されると、チャネル内のこれらの鏡像電荷はソースからドレインへと流れ、結果として電流計１１４によって検出することができる電流フローとなる。開口部１１８内に電荷がある限り電流がチャネル内に存在するので、電流計１１４によって検出される装置電流は、移動電荷と関連する電流よりもはるかに大きい。例えば、開口部１１８を通過する１つ１つの荷電イオンは、０．１６ｐＡのイオン電流および１６０ｎＡの装置電流の原因となる。
あるいは、塩基は、チャネル１１９内に電荷の変化を誘起し、電流計１１４によって検出されるような電流の＋変化をもたらす。ＤＮＡ鎖の存在による開口部を通るイオンの流れの変化が同様にチャネル１１９内の鏡像電荷の変化の原因となり、結果として電流計１１４によって検出される電流の変化となる。つまり、電流計１１４によって測定される装置電流は、ＤＮＡ鎖１１１が開口部１１８を通過すると、例えば８０μＡから４μＡに減少する。
各タイプの塩基Ａ、Ｃ、ＧおよびＴのそれぞれは、それぞれの塩基のタイプと関連する特定の電荷を表す特定の大きさおよび波形を有する電流を誘起する。すなわち、Ａタイプの塩基は、核酸配列決定装置１０２のドレインおよびソース領域間のチャネル内にＡタイプの塩基であることを示す大きさおよび波形を有する電流を誘起する。同様に、Ｃ、ＴおよびＧ塩基は、それぞれ特定の大きさおよび波形を有する電流を誘起する。
検出された電流の波形の例を図３に示す。この図は、Ａ、Ｃ、ＧおよびＴ塩基の存在によって生成される予想信号の形、大きさおよび時間分解能を象徴的に図示している。電流の大きさは、一般的にマイクロアンペア（μＡ）の範囲にあり、これはピコアンペアの範囲にある開口部１１８を通って流れるイオン電流の１０6倍の大きさである。個々の塩基の静電位の計算は、水素結合をもたらす電荷の相補分布を示す。例えば、Ｔ−ＡおよびＣ−Ｇの対は、外から対にして見ると同様の分布を有するが、対ではない一本鎖ＤＮＡを解析する場合は、水素結合が起こる面が独特である。大きなＡおよびＧ塩基は、水素結合面上でほぼ相補的（正と負が逆）であり、小さなＴおよびＣ塩基についても同様である。
したがって、ＤＮＡ鎖が開口部１１８を通過すると、電流計１１４によって検出された誘起された電流の波形および大きさを解釈することによって、鎖の塩基の配列を検出し、それゆえ確認できる。したがって、システム１００は、非常に正確で効率的な方法でＤＮＡ配列決定を行うことを可能にする。
チャネル１１９内の電子の速度は開口部を通過するイオンの速度よりもはるかに大きいので、ドレイン電流もまた開口部１１８を通るイオン電流よりもはるかに大きい。イオンの速度１ｃｍ／秒および電子の速度１０6ｃｍ／秒の場合、１００万倍の増幅が得られる。
また、ＤＮＡ分子の存在は、開口部１１８を通る電流ＩPを監視することによって検出できる。つまり、開口部を通る電流ＩPは、ＤＮＡ分子が開口部を通過するとき８０ｐＡから４ｐＡに減少する。これは、分子が開口部を通過する際の１マイクロ秒当たり２５の電子の電荷に相当する。
開口部を通る電流ではなく装置電流を測定することには以下の利点がある。装置電流は比較的大きいので測定しやすい。大きな電流は短時間での正確な測定を可能にし、それにより２つのｎ型領域の間に位置する１つのＤＮＡ塩基と関連する電荷の測定を可能にする。これに対して、開口部を通る電流の測定の帯域幅は、開口部１１８を通る電荷のランダムな動きと関連したショットノイズによって制限される。例えば、１０ＭＨｚの帯域幅で１ｐＡの電流を測定すると、１．８ｐＡのノイズ電流が生じる。また、装置電流は、開口部１１８の両側の液体が電気的に絶縁されていなくても測定することができる。つまり、上述のように、配列決定装置１０２は単一の液体の容器に浸されている。このため、複数の電流測定を並行して行えるようにするために複数のシーケンサ１０２を単一の液体の容器に浸すことができる。さらに、以下により詳細に述べるように、ナノメートルサイズの開口部１１８の代わりにＤＮＡ分子を２つのｎ型領域に極めて接近させる他のあらゆる構造または方法を用いることができる。
核酸配列決定装置１０２を作製する好適な方法を図４〜１６を参照して説明する。図４に示すように、作製工程は、シリコン基板１２２、二酸化シリコン（ＳｉＯ2）層１２４および薄いｐ型シリコン層１２６を含むシリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）基板のようなウエハ１２０から始まる。この例では、シリコン基板１２２は約３００μｍから約６００μｍの範囲内の厚さを有し、二酸化シリコン層１２４は約２００から６４００ｎｍの範囲内の厚さを有し、ｐ型シリコン層１２６は約１μｍ以下（例えば約１００ｎｍから約１０００ｎｍの範囲内）の厚さを有する。
図５に示すように、ヒ素、リンなどのようなｎ型ドーパントのイオン注入およびアニーリングまたは拡散によってドープｎ型領域１２８がｐ型シリコン層１２６につくられる。図示するように、ｎ型領域１２８は、ｐ型シリコン１２６を完全には貫通しない浅い領域である。図５に示すように深いｎ型領域１３０もまたｐ型シリコン１２６につくられる。深いｎ型領域１３０は、ｐ型シリコン１２６を貫通して二酸化シリコン１２４に至り、ｎ型領域１２８をつくるのに用いられるｎ型物質と同一または同様であり得るｎ型物質の拡散、あるいはイオン注入およびアニーリングのような公知の方法によってつくられる。図５にさらに示すように、シリコン基板１２２は、水酸化カリウム（ＫＯＨ）中でのエッチングなどのような公知の方法によってその（１１１）平面に沿ってエッチングされる。基板１２２の背面はテフロン（登録商標）ジグ（teflon jig）でエッチングすることもできる。図示するように、エッチング工程によりシリコン基板１２２の中央部分が二酸化シリコン１２４まで切り欠かれて、シリコン基板１２２に開口部１３２がつくられる。
図６に示すように、開口部１３２に露出した二酸化シリコン１２４の部分が、フッ化水素酸中でのエッチング、反応性エッチングなどのような従来のエッチング方法によって切り欠かれる。ｎ型領域１２８および１３０をつくるのに用いられるのと同一または同様のｎ型物質の注入または拡散のような公知の方法によって、開口部１３２で露出したｐ型シリコン１２６の場所に別の浅いｎ型領域１３４がつくられる。
次いで開口部１１８（図１および２参照）が、例えば図７および８に示すようにフレオン（Freon）１４（ＣＦ4）を用いる反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）、光学リソグラフィー、電子ビームリソグラフィーまたはその他の細線リソグラフィーによって、ｎ型領域１２８、ｐ型シリコン１２６および底部のｎ型領域１３４を貫いて形成され、約１０ｎｍの直径を有する開口部となる。図９に示すように、開口部の直径は、シリコンを酸化することでｐ型シリコン層１２６および開口部１１８を形成する壁面の上に二酸化シリコン層１３６を形成することによってさらに小さくすることができる。この酸化状態は、例えば１０００℃の酸素雰囲気中でのシリコンの熱酸化により形成することができる。図１１および１２に詳細に示すように、結果としての酸化物は、酸化工程中に使われたシリコンよりも大きな体積を有しており、このことが開口部１１８の直径をさらに狭める。開口部１１８の直径が１ｎｍほどの小ささであると望ましい。
例示のために図１、２および３〜９は開口部１１８を円筒形の開口部であるように示しているが、例えば図１３および１４に示すように開口部１１８が漏斗形を有するのが好ましい。この漏斗形の開口部１１８は、水酸化カリウム（ＫＯＨ）を用いて（１００）ｐ型シリコン層１２６のＶ字形溝エッチングを行うことによってつくられ、ｐ型シリコン１２６の（１１１）平面１３８に沿って形成されたＶ字形の溝となる。図１４に明示するように、Ｖ字形または漏斗形の開口部は、開口部１１８を通るＤＮＡ鎖の動きを容易にし、ＤＮＡ鎖が丸まってしまうために開口部１１８を通過するのが困難になる可能性を最小にする。酸化およびＶ字形溝エッチングを組み合わせてさらに小さい開口部を生み出すことができる。さらに、上記のように、熱酸化の代わりに陽極酸化を用いることができる。陽極酸化は、最適な開口部サイズが得られると工程を中止できるように酸化の際に開口部サイズの監視を可能にするというさらなる利点を有する。
特に、開口部１１８は、１度に１つのＤＮＡ鎖の分子だけを通過させるのに十分に小さくなければならない。電子ビームリソグラフィーでは１０ｎｍほどの小ささの開口部１１８を形成できるが、さらに小さな開口部が必要である。上記のようなシリコンの酸化およびＶ字形溝エッチングは、開口部をさらに小さくして１〜２ｎｍという所望のサイズにするために用いることができる。シリコンの酸化によって酸化の際に消費されたシリコンの約２倍の体積を有する二酸化シリコンが得られることが公知である。小さな開口部１１８の酸化によって開口部サイズが徐々に小さくなり、それにより所望の開口部サイズが提供される。ＫＯＨを用いた（１００）配向シリコンのＶ字形溝エッチングにより、（１１１）平面によって形成されたＶ字形溝が得られる。正方形のＳｉＯ2またはＳｉ3Ｎ4マスクを介してのＫＯＨエッチングにより、正方形の断面を有する漏斗形の開口部が得られる。薄いシリコン層のエッチングにより、極めて小さなサイズの開口部１１８がもう一方の側に得られる。
酸化およびＶ字形溝エッチングを組み合わせてさらに小さな開口部１１８を形成することもできる。熱酸化の代わりに、酸化の際の開口部１１８のサイズの監視を可能にするというさらなる利点を有する陽極酸化を用いることができ、適切のサイズの開口部１１８が得られると酸化を中止することができる。
ここで図１５を参照すると、ｎ型領域１２８およびｎ型領域１３０を露出させるために二酸化シリコン１３６に穴１４０がエッチングされる。次いで、各ｎ型領域１２８および１３０に接触するために、金属コンタクト１４２が二酸化シリコン層１３６上および穴１４０内に堆積される。その後、図１６に示すように金属コンタクト１４２の上に絶縁体１４４が堆積され、このようにして図１に示す装置１０２が得られる。
図１にさらに示すように、リード線１１６がｎ型領域１２８および１３０に接触できるように絶縁体１４４の一部を取り除くことができ、このことによりこれらの領域はそれぞれドレイン領域１０４およびソース領域１０６を形成する。リード線１１６がｎ型領域１２８および１３０に接触するために延伸して通る開口部を密閉するために、さらなる絶縁体１４６が絶縁体１４４の上に堆積される。その結果、上述のようなＤＮＡ配列決定を行うために完成した装置１０２を作動させることができる。
ＤＮＡ分子の塩基を識別するためには、単一の電子の電荷を測定するのが望ましい。配列決定装置１０２が０．１×０．１μｍの長さおよび幅を有すように製作され、二酸化シリコン層の厚さが開口部１１８の壁面に沿って０．１μｍであると、０．３５ｆＦの静電容量、０．４５ｍＶの電圧の変化、１ｍＳの装置の相互コンダクタンスおよび０．５ｎＡの電流の変化が実現される。したがって、これらの寸法および特徴を有する配列決定装置１０２は、単一の電子の電荷を検出するのに用いることができる。配列決定装置１０２は、異なるヌクレオチドを区別するのに十分な特別の分解能を得るためにさらにサイズを小さくすることができる。
装置１０２のさらなる実施形態もまた作製することができる。例えば、図１７は、本発明の別の実施形態による核酸配列決定装置の平面図を示す。この実施形態では、最終的にドレインおよびソース領域を形成するｎ型領域を形成するために、図３から１６に関して上述したステップが実行される。しかしながら、この実施形態では、例えば図５に示すｎ型領域１２８は、４つの別個のｎ型領域１５０として上記のｐ型シリコン層１２６と同様のｐ型シリコン層に形成される。二酸化シリコン層１５４は、中にｎ型領域１５０がつくられたｐ型シリコン層を覆っている。穴１５６は、二酸化シリコン層１５４上に置かれた金属コンタクト１５８がｎ型領域１５０に接触できるように、二酸化シリコン層１５４においてエッチングされる。ｎ型領域１５０によって形成された４つのドレイン領域およびソース領域（図示せず）間を流れる電流を検出することによって、開口部１５２を通過するＤＮＡ鎖の塩基の空間的な向きを検出することができる。
図１８は、本発明の別の実施形態による核酸配列決定装置１６０の断面である。核酸配列決定装置１０２と同様に、核酸配列決定装置１６０は、シリコン基板１６２、二酸化シリコン層１６４、ｐ型シリコン１６８に注入されたｎ型領域１６６およびｐ型シリコン１６８に注入された第２のｎ型領域１７０を含む。核酸配列決定装置１６０は、それを貫通する開口部１７２をさらに有する。開口部は円筒形でもよいし、上記のようなＶ字形または漏斗形の開口部でもよい。二酸化シリコン層１７４は、図示するようにｐ型シリコン層１６８、ｎ型領域１７０およびｎ型領域１６６を覆っており、上記のようにして開口部１７２の直径を減少させる。リード線１７６をｎ型領域１７０に接合させるために二酸化シリコン層１７４に開口部がエッチングされている。別のリード線１７６もまたｎ型領域１６６の露出部分に接合されているので、電圧源１７８はｎ型領域１７０によって形成されたドレイン領域１８０およびｎ型領域１６６によって形成されたソース領域１８２の間に電位を印加することができる。このようにして、核酸配列決定装置１６０は、上記の方法でＤＮＡ鎖１８４の塩基を検出するのに用いることができる。
図１９は、本発明の別の実施形態によるＤＮＡ配列決定システム１８６を示す。システム１８６は、この例では互いの上部に積み重ねられた３つのＭＯＳＦＥＴ型装置を含む多層核酸配列決定装置１８８を含む。つまり、装置１８８は、上記のシリコン基板１２２と同様のシリコン基板１９０を含む。二酸化シリコン層１９２はシリコン基板１９０の上にある。装置１８８は、ｎ型ドープシリコン領域１９４、ｐ型二酸化シリコン領域１９６、ｎ型ドープシリコン領域１９８、ｐ型二酸化シリコン領域２００、ｎ型ドープシリコン領域２０２、ｐ型二酸化シリコン領域２０４およびｎ型ドープシリコン領域２０６をさらに含む。領域１９４から２０６は、図１９に明示するように互いの上部に積み重ねられている。しかしながら、当業者は十分に理解できるように、この実施形態および本明細書に記載のその他の全ての実施形態について層の極性を反転させることができる。つまり、装置１８８は、ｐ型ドープシリコン領域１９４、ｎ型二酸化シリコン領域１９６、ｐ型ドープシリコン領域１９８などを含んでもよい。
さらに、薄い二酸化シリコン層２０８が図示するように層の上に形成され、開口部１１８に関して上述した方法で開口部２１０の直径を減少させるために開口部２１０を形成する壁面上にも形成される。また、開口部２１０は、上記のように円筒形でもＶ字型の溝または漏斗形の溝でもあり得る。以下に説明するように電圧源２１４、２１６および２１８ならびに電流計２２０、２２２および２２４を装置１８８に結合するためにリード線２１２を領域１９４、１９８、２０２および２０６に接合できるように、二酸化シリコン層２０８に穴が形成される。上記のように、電圧源２１４、２１６および２１８ならびに電流計２２０、２２２および２２４は、それぞれ電圧源１１２および電流計１１４と同様である。
特に、リード線２１２は、電圧源２１４および電流計２２０をｎ型ドープシリコン領域２０２およびｎ型ドープシリコン領域２０６に直列に結合する。したがって、電圧源２１４は、ｐ型二酸化シリコン領域２０４によって分離された領域２０２および２０６の間に電圧を印加する。リード線２１２はまた、図示するように電圧源２１６および電流計２２２をｎ型ドープシリコン領域１９８およびｎ型ドープシリコン領域２０２に結合する。さらに、リード線２１２は、図示するように電圧源２１８および電流計２２４をｎ型ドープシリコン領域１９４およびｎ型ドープシリコン領域２０２に結合する。その結果、図１９から十分に理解できるように、ｎ型ドープシリコン領域１９８およびｎ型ドープシリコン領域１９４はそれぞれ第１のＭＯＳＦＥＴのドレインおよびソース領域として作用し、ｎ型ドープシリコン領域２０２およびｎ型ドープシリコン領域１９８はそれぞれ第２のＭＯＳＦＥＴのドレインおよびソース領域として作用し、ｎ型ドープシリコン領域２０６およびｎ型ドープシリコン領域２０２はそれぞれ第３のＭＯＳＦＥＴのドレインおよびソース領域として作用する。これらの３つのＭＯＳＦＥＴ型装置は、開口部２１０を通過するＤＮＡ鎖の塩基によって誘起された電流を測定することができ、これにより、精度を高めるためにこれらの塩基の複数の測定を行うことができる。
また、図２０および２１に示すように、上記の核酸配列決定装置は、ＤＮＡ鎖が装置の開口部を通過することを必要とすることなく核酸鎖の塩基を検知するように構成することができる。つまり、上記の技術を用いて、図１に示す核酸配列決定装置１０２と同様の、表面に近接してドレインおよびソース領域を有する核酸配列決定装置２２６を作製することができる。なお、図１、２０および２１に示す同様の構成要素は、同様の参照番号で識別されている。しかしながら、開口部１１８の代わりに、ドレイン領域からソース領域へと延伸する表面に１つ以上の溝（groove）２２８を任意に形成することができる。あるいは、表面に溝は形成されないが、核酸鎖１１１を検出するための検出領域がドレインおよびソース領域間にある。電圧源１１７および１２１による電位の印加ならびに容器１０８内の圧力差の生成のような、上述したものと同様の技術は、核酸鎖１１１を装置の表面に沿って溝２２８の上を水平方向に移動させるために用いることができる。核酸鎖の塩基は、電流がドレインおよびソース領域間を流れられるようにする鏡像電荷チャネル２３０をドレインおよびソース領域間につくる。塩基によって核酸配列決定装置内に誘起された電流は、上記のものと同様の方法で測定することができる。
さらに、装置２２６は、鏡像電荷を含むチャネル２３０が垂直ではなく水平である点で、図１、１７および１９に表すその他の実施形態と異なる。この構造は図１、１７および１９に示す装置１０２におけるような開口部１１８を含まないが、この実施形態は、チャネル２３０のすぐ上方に電荷検知領域を含む。図１と同様に、核酸鎖１１１を電荷検知領域の方へまたはそれから離れるように向ける電界を与えるために外部電極１１３および１１５が用いられる。つまり、核酸鎖１１１の動きは、ドープ領域１３０に印加される電圧を基準として外部電極１１３および１１５に電圧を印加することによって制御される。核酸鎖１１１を図２０に示す平面に垂直に動かすために、さらなる電極（図示せず）を加えることもできる。
装置の電荷検知領域は、チャネル２３０のすぐ上方かつ２つのドープ領域１３０の間に位置している。個々の塩基の識別には、２つのドープ領域間の距離が１つの塩基程度であり、各塩基が連続して電荷検知領域の上方にあるように核酸鎖１１１が動くことが必要である。この水平構成は、さらに並行的かつ連続的な核酸鎖１１１の解析を可能にし、小さな開口部の作製を必要としない。このアプローチをさらに高めるために、核酸鎖１１１を導く上述のような溝２２８の形成などのさらなる表面処理を用いることができる。
図１９および２０に示す水平の実施形態はまた、多数の核酸鎖１１１の存在を検出するためにも有利である。例えば、媒体として電気泳動ゲルを用いて、種々の長さの核酸鎖１１１を電極１１３および１１５間に置くことから始める。ドープ領域１３０を基準として負の電圧を電極１１３および１１５に印加する。そうすると、核酸鎖１１１は電荷検知領域へ向けて移動する。小さな鎖は速く移動し、大きな鎖はゆっくり移動する。したがって、小さな鎖がまず電荷検知領域に到着し、その後に大きなものが続く。したがって、電荷検知領域に蓄積された電荷は、およびそれゆえにチャネル２３０の鏡像電荷もまた、時間とともに「階段状に」増加する。この結果として、電流計１１４によって測定される電流が階段状に増加または減少する。
この処理は、１つのＤＮＡ／ＲＮＡ鎖の個々の塩基の識別とはならないが、電気泳動測定によって行われるのと同等の鎖の長さの測定を提供する。標準の電気泳動に対する利点は、ＤＮＡ／ＲＮＡ鎖の位置のリアルタイムの測定が行われることである。また、標準の電気泳動がｃｍサイズではないとしてもｍｍサイズの泳動領域を用いるのに対して、ミクロンサイズの装置を容易に製作できるので寸法を大幅に低減することができる。このサイズの低減によって、単一の電荷の検知装置の費用も削減しながら、必要なＤＮＡ／ＲＮＡ鎖がより少ない高速の測定がもたらされる。
本発明のいくつかの実施例だけを上記に詳細に説明したが、当業者には、この発明の新規な教示および利点から著しく逸脱することなく、実施例において多くの変形が可能であることが容易に理解される。したがって、このような変形の全ては、以下の請求の範囲において規定されるような本発明の範囲内に含まれるものである。

Claims (14)

  1. 第１導電型のシリコン層の第１の表面に形成された第２の導電型の第１ドープ領域と、前記第１導電型のシリコン層の前記第１の表面とは反対側の第２の表面に形成された第２の導電型の第２ドープ領域と、前記第１ドープ領域の前記第１表面から前記第２ドープ領域の前記第２の表面を貫通する開口部と、前記開口部の壁面に沿って垂直方向に延伸するチャネルと、を有し、前記開口部は、１〜１０ｎｍの範囲の直径を有しており、前記第１ドープ領域、前記第２ドープ領域及び前記チャネルは、絶縁体により前記開口部から分離されている、半導体装置を備える、システム。
  2. 前記開口部は、１の前記核酸鎖のみが一度に通過することができる寸法である、請求項１に記載のシステム。
  3. 前記開口部は漏斗形状をなしている、請求項１に記載のシステム。
  4. 前記開口部はＶ字形溝の形状を成している、請求項１に記載のシステム。
  5. 前記Ｖ字形溝は、１〜２ｎｍのサイズを有している、請求項４に記載のシステム。
  6. 前記絶縁体は二酸化シリコンを含む、請求項１に記載のシステム。
  7. 前記半導体装置の第１側において媒体内に位置する第１電極と、
    前記半導体装置の第２側において媒体内に位置する第２電極と、をさらに備える、
    請求項１に記載のシステム。
  8. 核酸鎖を検出する方法であって、
    第１導電型のシリコン層の第１の表面に形成された第２の導電型の第１ドープ領域と、前記第１導電型のシリコン層の前記第１の表面とは反対側の第２の表面に形成された第２の導電型の第２ドープ領域と、前記第１ドープ領域の前記第１表面から前記第２ドープ領域の前記第２の表面を貫通する開口部と、前記開口部の壁面に沿って垂直方向に延伸するチャネルと、を有し、前記開口部が、１〜１０ｎｍの範囲の直径を有しており、前記第１ドープ領域、前記第２ドープ領域及び前記チャネルが、絶縁体により前記開口部から分離されている半導体装置を提供するステップと、
    前記核酸鎖が前記開口を通過するステップと、
    前記ソース領域及び前記ドレイン領域間において前記検出領域を通過する電流を検出するステップと、
    を備える方法。
  9. 前記開口部は、１の前記核酸鎖のみが一度に通過することができる寸法である、請求項８に記載の方法。
  10. 前記開口部は漏斗形状をなしている、請求項８に記載の方法。
  11. 前記開口部はＶ字形溝の形状を成している、請求項８に記載の方法。
  12. 前記Ｖ字形溝は、１〜２ｎｍのサイズを有している、請求項１１に記載の方法。
  13. 前記絶縁体は二酸化シリコンを含む、請求項８に記載の方法。
  14. 前記核酸鎖は、前記半導体装置の互いに反対側において媒体内に位置する第１電極及び第２電極間に形成される電界によって前記開口部を通過する、前記請求項８に記載の方法。
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JP2011082517A Pending JP2011177180A (ja) 2000-04-24 2011-04-04 超高速の核酸配列決定のための電界効果トランジスタ装置
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JP2014140320A Ceased JP2014198052A (ja) 2000-04-24 2014-07-08 超高速の核酸配列決定のための電界効果トランジスタ装置

Country Status (7)

Country Link
US (2) US6413792B1 (ja)
EP (2) EP2278317B1 (ja)
JP (5) JP4758047B2 (ja)
AT (1) ATE489621T1 (ja)
AU (1) AU2001255604A1 (ja)
DE (1) DE60143523D1 (ja)
WO (1) WO2001081908A1 (ja)

Families Citing this family (230)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8206568B2 (en) * 1999-06-22 2012-06-26 President And Fellows Of Harvard College Material deposition techniques for control of solid state aperture surface properties
US20060292041A1 (en) * 2000-03-23 2006-12-28 Dugas Matthew P Solid state membrane channel device for the measurement and characterization of atomic and molecular sized samples
US6616895B2 (en) * 2000-03-23 2003-09-09 Advanced Research Corporation Solid state membrane channel device for the measurement and characterization of atomic and molecular sized samples
US7001792B2 (en) * 2000-04-24 2006-02-21 Eagle Research & Development, Llc Ultra-fast nucleic acid sequencing device and a method for making and using the same
US6413792B1 (en) * 2000-04-24 2002-07-02 Eagle Research Development, Llc Ultra-fast nucleic acid sequencing device and a method for making and using the same
US8232582B2 (en) 2000-04-24 2012-07-31 Life Technologies Corporation Ultra-fast nucleic acid sequencing device and a method for making and using the same
WO2002001647A1 (en) * 2000-06-23 2002-01-03 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Microelectronic device and method for label-free detection and quantification of biological and chemical molecules
GB0105831D0 (en) * 2001-03-09 2001-04-25 Toumaz Technology Ltd Method for dna sequencing utilising enzyme linked field effect transistors
US8114591B2 (en) 2001-03-09 2012-02-14 Dna Electronics Ltd. Sensing apparatus and method
CA2444649C (en) 2001-04-20 2012-10-02 The Penn State Research Foundation Methods for nucleic acid manipulation
US8765167B2 (en) 2001-10-12 2014-07-01 Monosol Rx, Llc Uniform films for rapid-dissolve dosage form incorporating anti-tacking compositions
US10285910B2 (en) 2001-10-12 2019-05-14 Aquestive Therapeutics, Inc. Sublingual and buccal film compositions
US8603514B2 (en) 2002-04-11 2013-12-10 Monosol Rx, Llc Uniform films for rapid dissolve dosage form incorporating taste-masking compositions
US8900497B2 (en) 2001-10-12 2014-12-02 Monosol Rx, Llc Process for making a film having a substantially uniform distribution of components
US11207805B2 (en) 2001-10-12 2021-12-28 Aquestive Therapeutics, Inc. Process for manufacturing a resulting pharmaceutical film
US20110033542A1 (en) 2009-08-07 2011-02-10 Monosol Rx, Llc Sublingual and buccal film compositions
US7357891B2 (en) 2001-10-12 2008-04-15 Monosol Rx, Llc Process for making an ingestible film
US20070281003A1 (en) 2001-10-12 2007-12-06 Fuisz Richard C Polymer-Based Films and Drug Delivery Systems Made Therefrom
US20190328679A1 (en) 2001-10-12 2019-10-31 Aquestive Therapeutics, Inc. Uniform films for rapid-dissolve dosage form incorporating anti-tacking compositions
US8900498B2 (en) 2001-10-12 2014-12-02 Monosol Rx, Llc Process for manufacturing a resulting multi-layer pharmaceutical film
US8017150B2 (en) * 2002-04-11 2011-09-13 Monosol Rx, Llc Polyethylene oxide-based films and drug delivery systems made therefrom
US20050019784A1 (en) * 2002-05-20 2005-01-27 Xing Su Method and apparatus for nucleic acid sequencing and identification
GB0211564D0 (en) * 2002-05-21 2002-06-26 Tournaz Technology Ltd Reference circuit
US8257962B2 (en) * 2003-03-07 2012-09-04 Panasonic Corporation Extracellular potential measuring device and its manufacturing method
US8202439B2 (en) * 2002-06-05 2012-06-19 Panasonic Corporation Diaphragm and device for measuring cellular potential using the same, manufacturing method of the diaphragm
JP4449519B2 (ja) * 2004-03-22 2010-04-14 パナソニック株式会社 細胞外電位測定デバイスおよびその製造方法
WO2003104788A1 (ja) * 2002-06-05 2003-12-18 松下電器産業株式会社 細胞外電位測定デバイスおよびその製造方法
AU2003301244A1 (en) * 2002-10-15 2004-05-04 Advanced Research Corporation Solid state membrane channel device for the measurement and characterization of atomic and molecular sized samples
CA2517216A1 (en) * 2003-02-28 2004-10-07 Brown University Nanopores, methods for using same, methods for making same and methods for characterizing biomolecules using same
NL1022855C2 (nl) * 2003-03-05 2004-09-07 Univ Delft Tech Werkwijze en inrichting voor het gecontroleerd vervaardigen van openingen op nanometerschaal.
US7250115B2 (en) 2003-06-12 2007-07-31 Agilent Technologies, Inc Nanopore with resonant tunneling electrodes
DE10329820B3 (de) * 2003-06-26 2005-01-13 Technische Universität Dresden Bio-Chip mit mehreren DNA-Zellen
US7347921B2 (en) 2003-07-17 2008-03-25 Agilent Technologies, Inc. Apparatus and method for threading a biopolymer through a nanopore
US7138672B2 (en) 2003-09-25 2006-11-21 Agilent Technologies, Inc. Apparatus and method for making a tensile diaphragm with an insert
US6846702B1 (en) 2003-10-24 2005-01-25 Agilent Technologies, Inc. Nanopore chip with N-type semiconductor
US7279337B2 (en) * 2004-03-10 2007-10-09 Agilent Technologies, Inc. Method and apparatus for sequencing polymers through tunneling conductance variation detection
US8536661B1 (en) 2004-06-25 2013-09-17 University Of Hawaii Biosensor chip sensor protection methods
JP3874772B2 (ja) * 2004-07-21 2007-01-31 株式会社日立製作所 生体関連物質測定装置及び測定方法
US7972858B2 (en) 2004-08-13 2011-07-05 President And Fellows Of Harvard College Ultra high-throughput opti-nanopore DNA readout platform
US20060086626A1 (en) * 2004-10-22 2006-04-27 Joyce Timothy H Nanostructure resonant tunneling with a gate voltage source
US7785785B2 (en) 2004-11-12 2010-08-31 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Charge perturbation detection system for DNA and other molecules
EP2348300A3 (en) 2005-04-06 2011-10-12 The President and Fellows of Harvard College Molecular characterization with carbon nanotube control
US7695981B2 (en) * 2005-05-13 2010-04-13 Siluria Technologies, Inc. Seed layers, cap layers, and thin films and methods of making thereof
US8677377B2 (en) 2005-09-08 2014-03-18 Apple Inc. Method and apparatus for building an intelligent automated assistant
US20070190542A1 (en) * 2005-10-03 2007-08-16 Ling Xinsheng S Hybridization assisted nanopore sequencing
US7835870B2 (en) * 2005-11-01 2010-11-16 Georgia Institute Of Technology Methods and systems for evaluating the length of elongated elements
CN101495656B (zh) * 2006-06-07 2017-02-08 纽约哥伦比亚大学理事会 采用带修饰的核苷酸通过纳米通道进行dna序列测定
WO2008005674A2 (en) 2006-06-30 2008-01-10 Applera Corporation Methods of analyzing binding interactions
US9318108B2 (en) 2010-01-18 2016-04-19 Apple Inc. Intelligent automated assistant
US8262900B2 (en) 2006-12-14 2012-09-11 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays
US11339430B2 (en) 2007-07-10 2022-05-24 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays
US8349167B2 (en) 2006-12-14 2013-01-08 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for detecting molecular interactions using FET arrays
ES2923759T3 (es) 2006-12-14 2022-09-30 Life Technologies Corp Aparato para medir analitos utilizando matrices de FET
US9034637B2 (en) * 2007-04-25 2015-05-19 Nxp, B.V. Apparatus and method for molecule detection using nanopores
WO2009020682A2 (en) 2007-05-08 2009-02-12 The Trustees Of Boston University Chemical functionalization of solid-state nanopores and nanopore arrays and applications thereof
WO2008157640A2 (en) 2007-06-18 2008-12-24 Illumina, Inc. Microfabrication methods for the optimal patterning of substrates
EP3540436B1 (en) * 2007-09-12 2023-11-01 President And Fellows Of Harvard College High-resolution molecular sensor
US8278047B2 (en) 2007-10-01 2012-10-02 Nabsys, Inc. Biopolymer sequencing by hybridization of probes to form ternary complexes and variable range alignment
WO2009045472A1 (en) * 2007-10-02 2009-04-09 President And Fellows Of Harvard College Capture, recapture, and trapping of molecules with a nanopore
CA2700862C (en) * 2007-10-02 2016-11-15 President And Fellows Of Harvard College Carbon nanotube synthesis for nanopore devices
US8996376B2 (en) 2008-04-05 2015-03-31 Apple Inc. Intelligent text-to-speech conversion
US8470164B2 (en) 2008-06-25 2013-06-25 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays
US10670559B2 (en) * 2008-07-11 2020-06-02 Cornell University Nanofluidic channels with integrated charge sensors and methods based thereon
US8262879B2 (en) * 2008-09-03 2012-09-11 Nabsys, Inc. Devices and methods for determining the length of biopolymers and distances between probes bound thereto
US9650668B2 (en) 2008-09-03 2017-05-16 Nabsys 2.0 Llc Use of longitudinally displaced nanoscale electrodes for voltage sensing of biomolecules and other analytes in fluidic channels
WO2010028140A2 (en) 2008-09-03 2010-03-11 Nabsys, Inc. Use of longitudinally displaced nanoscale electrodes for voltage sensing of biomolecules and other analytes in fluidic channels
KR101118461B1 (ko) * 2008-10-10 2012-03-06 나노칩스 (주) 초고속 고감도 dna 염기서열 분석 시스템
US20100137143A1 (en) 2008-10-22 2010-06-03 Ion Torrent Systems Incorporated Methods and apparatus for measuring analytes
US20100301398A1 (en) 2009-05-29 2010-12-02 Ion Torrent Systems Incorporated Methods and apparatus for measuring analytes
US9778188B2 (en) 2009-03-11 2017-10-03 Industrial Technology Research Institute Apparatus and method for detection and discrimination molecular object
US20100243449A1 (en) * 2009-03-27 2010-09-30 Oliver John S Devices and methods for analyzing biomolecules and probes bound thereto
US8455260B2 (en) * 2009-03-27 2013-06-04 Massachusetts Institute Of Technology Tagged-fragment map assembly
US8926904B2 (en) 2009-05-12 2015-01-06 Daniel Wai-Cheong So Method and apparatus for the analysis and identification of molecules
US9309566B2 (en) 2010-12-17 2016-04-12 Life Technologies Corporation Methods, compositions, systems, apparatuses and kits for nucleic acid amplification
US9334531B2 (en) 2010-12-17 2016-05-10 Life Technologies Corporation Nucleic acid amplification
US9309557B2 (en) 2010-12-17 2016-04-12 Life Technologies Corporation Nucleic acid amplification
US8246799B2 (en) * 2009-05-28 2012-08-21 Nabsys, Inc. Devices and methods for analyzing biomolecules and probes bound thereto
US8776573B2 (en) 2009-05-29 2014-07-15 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes
US8673627B2 (en) 2009-05-29 2014-03-18 Life Technologies Corporation Apparatus and methods for performing electrochemical reactions
US8574835B2 (en) 2009-05-29 2013-11-05 Life Technologies Corporation Scaffolded nucleic acid polymer particles and methods of making and using
US20120261274A1 (en) 2009-05-29 2012-10-18 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes
US10241752B2 (en) 2011-09-30 2019-03-26 Apple Inc. Interface for a virtual digital assistant
US10241644B2 (en) 2011-06-03 2019-03-26 Apple Inc. Actionable reminder entries
US8864969B2 (en) 2009-06-25 2014-10-21 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Electro-diffusion enhanced bio-molecule charge detection using electrostatic interaction
WO2011040996A1 (en) 2009-09-30 2011-04-07 Quantapore, Inc. Ultrafast sequencing of biological polymers using a labeled nanopore
CN101694474B (zh) * 2009-10-22 2012-10-10 浙江大学 一种纳米孔电学传感器
US9127313B2 (en) 2009-12-01 2015-09-08 Oxford Nanopore Technologies Limited Biochemical analysis instrument
US20110192723A1 (en) * 2010-02-08 2011-08-11 Genia Technologies, Inc. Systems and methods for manipulating a molecule in a nanopore
US9678055B2 (en) 2010-02-08 2017-06-13 Genia Technologies, Inc. Methods for forming a nanopore in a lipid bilayer
US8324914B2 (en) 2010-02-08 2012-12-04 Genia Technologies, Inc. Systems and methods for characterizing a molecule
US9605307B2 (en) 2010-02-08 2017-03-28 Genia Technologies, Inc. Systems and methods for forming a nanopore in a lipid bilayer
US8682667B2 (en) 2010-02-25 2014-03-25 Apple Inc. User profiling for selecting user specific voice input processing information
WO2011108540A1 (ja) 2010-03-03 2011-09-09 国立大学法人大阪大学 ヌクレオチドを識別する方法および装置、ならびにポリヌクレオチドのヌクレオチド配列を決定する方法および装置
US8039250B2 (en) * 2010-03-15 2011-10-18 International Business Machines Corporation Piezoelectric-based nanopore device for the active control of the motion of polymers through the same
US8603303B2 (en) * 2010-03-15 2013-12-10 International Business Machines Corporation Nanopore based device for cutting long DNA molecules into fragments
US9482615B2 (en) 2010-03-15 2016-11-01 Industrial Technology Research Institute Single-molecule detection system and methods
EP2566985A4 (en) * 2010-05-06 2014-08-06 Ibis Biosciences Inc INTEGRATED SAMPLE PREPARATION SYSTEMS AND MIXTURES OF STABILIZED ENZYMES
US9670243B2 (en) 2010-06-02 2017-06-06 Industrial Technology Research Institute Compositions and methods for sequencing nucleic acids
US8865078B2 (en) 2010-06-11 2014-10-21 Industrial Technology Research Institute Apparatus for single-molecule detection
US20120001646A1 (en) 2010-06-30 2012-01-05 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for testing isfet arrays
US8455927B2 (en) 2010-06-30 2013-06-04 Life Technologies Corporation One-transistor pixel array with cascoded column circuit
AU2011226767B1 (en) 2010-06-30 2011-11-10 Life Technologies Corporation Ion-sensing charge-accumulation circuits and methods
US11307166B2 (en) 2010-07-01 2022-04-19 Life Technologies Corporation Column ADC
US8653567B2 (en) 2010-07-03 2014-02-18 Life Technologies Corporation Chemically sensitive sensor with lightly doped drains
JP5427722B2 (ja) * 2010-07-28 2014-02-26 株式会社日立ハイテクノロジーズ ナノポア式分析装置及び試料分析用チャンバ
JP5459554B2 (ja) * 2010-09-15 2014-04-02 株式会社リコー センサデバイス
EP2617061B1 (en) 2010-09-15 2021-06-30 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes
US8685324B2 (en) 2010-09-24 2014-04-01 Life Technologies Corporation Matched pair transistor circuits
US8715933B2 (en) 2010-09-27 2014-05-06 Nabsys, Inc. Assay methods using nicking endonucleases
EP2622343B1 (en) 2010-10-01 2016-01-20 Oxford Nanopore Technologies Limited Biochemical analysis apparatus using nanopores
US9149959B2 (en) 2010-10-22 2015-10-06 Monosol Rx, Llc Manufacturing of small film strips
EP2640849B1 (en) 2010-11-16 2016-04-06 Nabsys 2.0 LLC Methods for sequencing a biomolecule by detecting relative positions of hybridized probes
KR20120065792A (ko) * 2010-12-13 2012-06-21 삼성전자주식회사 나노 센서 및 그의 제조 방법
CN103282518B (zh) 2010-12-17 2016-11-16 纽约哥伦比亚大学理事会 使用经修饰的核苷酸和纳米孔检测的dna边合成边测序
JP5907990B2 (ja) 2010-12-17 2016-05-11 ライフ テクノロジーズ コーポレーション 核酸増幅のための方法、組成物、システム、装置およびキット
GB2500360B (en) 2010-12-22 2019-10-23 Genia Tech Inc Nanopore-based single DNA molecule characterization, identification and isolation using speed bumps
US9581563B2 (en) 2011-01-24 2017-02-28 Genia Technologies, Inc. System for communicating information from an array of sensors
US9110478B2 (en) 2011-01-27 2015-08-18 Genia Technologies, Inc. Temperature regulation of measurement arrays
US20120193231A1 (en) 2011-01-28 2012-08-02 International Business Machines Corporation Dna sequencing using multiple metal layer structure with organic coatings forming transient bonding to dna bases
US8986524B2 (en) 2011-01-28 2015-03-24 International Business Machines Corporation DNA sequence using multiple metal layer structure with different organic coatings forming different transient bondings to DNA
US8852407B2 (en) 2011-01-28 2014-10-07 International Business Machines Corporation Electron beam sculpting of tunneling junction for nanopore DNA sequencing
WO2012109574A2 (en) 2011-02-11 2012-08-16 Nabsys, Inc. Assay methods using dna binding proteins
US9362568B2 (en) 2011-02-18 2016-06-07 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Battery with hybrid electrocatalysts
EP3825687B1 (en) * 2011-04-04 2024-06-05 President and Fellows of Harvard College Multi-nanopore sensor system and transduction elements for measurement of local electrical potential at the nanopores
US9147505B2 (en) 2011-11-02 2015-09-29 Ut-Battelle, Llc Large area controlled assembly of transparent conductive networks
US9970984B2 (en) 2011-12-01 2018-05-15 Life Technologies Corporation Method and apparatus for identifying defects in a chemical sensor array
US8747748B2 (en) 2012-01-19 2014-06-10 Life Technologies Corporation Chemical sensor with conductive cup-shaped sensor surface
US8821798B2 (en) 2012-01-19 2014-09-02 Life Technologies Corporation Titanium nitride as sensing layer for microwell structure
JP2013156167A (ja) * 2012-01-30 2013-08-15 Osaka Univ 物質の移動速度の制御方法および制御装置、並びに、これらの利用
EP3540077B1 (en) 2012-02-16 2021-01-27 Genia Technologies, Inc. Methods for creating bilayers for use with nanopore sensors
US8986629B2 (en) 2012-02-27 2015-03-24 Genia Technologies, Inc. Sensor circuit for controlling, detecting, and measuring a molecular complex
US10029915B2 (en) 2012-04-04 2018-07-24 International Business Machines Corporation Functionally switchable self-assembled coating compound for controlling translocation of molecule through nanopores
CN107082792A (zh) 2012-04-09 2017-08-22 纽约哥伦比亚大学理事会 纳米孔的制备方法和其用途
US20130274148A1 (en) 2012-04-11 2013-10-17 Illumina, Inc. Portable genetic detection and analysis system and method
US10030262B2 (en) 2012-04-19 2018-07-24 Life Technologies Corporation Method of performing digital PCR
US8786331B2 (en) 2012-05-29 2014-07-22 Life Technologies Corporation System for reducing noise in a chemical sensor array
US9721563B2 (en) 2012-06-08 2017-08-01 Apple Inc. Name recognition system
EP2861768A4 (en) 2012-06-15 2016-03-02 Genia Technologies Inc CHIP SETUP AND HIGH ACCURACY NUCLEIC ACID SEQUENCING
EP2864502B1 (en) 2012-06-20 2019-10-23 The Trustees of Columbia University in the City of New York Nucleic acid sequencing by nanopore detection of tag molecules
KR20150041146A (ko) 2012-08-17 2015-04-15 오사카 유니버시티 시료의 분석 방법
KR20140028602A (ko) * 2012-08-29 2014-03-10 삼성전자주식회사 그래핀을 포함하는 나노 센서 및 이의 제조 방법
US9547647B2 (en) 2012-09-19 2017-01-17 Apple Inc. Voice-based media searching
US10526218B2 (en) 2012-10-01 2020-01-07 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Flow control method and apparatuses
US9651539B2 (en) 2012-10-28 2017-05-16 Quantapore, Inc. Reducing background fluorescence in MEMS materials by low energy ion beam treatment
US9605309B2 (en) 2012-11-09 2017-03-28 Genia Technologies, Inc. Nucleic acid sequencing using tags
US9914966B1 (en) 2012-12-20 2018-03-13 Nabsys 2.0 Llc Apparatus and methods for analysis of biomolecules using high frequency alternating current excitation
JP6282036B2 (ja) 2012-12-27 2018-02-21 クオンタムバイオシステムズ株式会社 物質の移動速度の制御方法および制御装置
US9080968B2 (en) 2013-01-04 2015-07-14 Life Technologies Corporation Methods and systems for point of use removal of sacrificial material
US9841398B2 (en) 2013-01-08 2017-12-12 Life Technologies Corporation Methods for manufacturing well structures for low-noise chemical sensors
EP2956550B1 (en) 2013-01-18 2020-04-08 Nabsys 2.0 LLC Enhanced probe binding
US8962366B2 (en) 2013-01-28 2015-02-24 Life Technologies Corporation Self-aligned well structures for low-noise chemical sensors
US9759711B2 (en) 2013-02-05 2017-09-12 Genia Technologies, Inc. Nanopore arrays
US8963216B2 (en) 2013-03-13 2015-02-24 Life Technologies Corporation Chemical sensor with sidewall spacer sensor surface
US8841217B1 (en) 2013-03-13 2014-09-23 Life Technologies Corporation Chemical sensor with protruded sensor surface
CN116622812A (zh) 2013-03-14 2023-08-22 生命技术公司 基质阵列和其制备方法
CN105102627B (zh) 2013-03-15 2018-10-19 纽约哥伦比亚大学理事会 用于检测样品中多种预定化合物的方法
EP2972280B1 (en) 2013-03-15 2021-09-29 Life Technologies Corporation Chemical sensor with consistent sensor surface areas
US9835585B2 (en) 2013-03-15 2017-12-05 Life Technologies Corporation Chemical sensor with protruded sensor surface
WO2014149779A1 (en) 2013-03-15 2014-09-25 Life Technologies Corporation Chemical device with thin conductive element
US9046511B2 (en) 2013-04-18 2015-06-02 International Business Machines Corporation Fabrication of tunneling junction for nanopore DNA sequencing
US20140336063A1 (en) 2013-05-09 2014-11-13 Life Technologies Corporation Windowed Sequencing
EP3004385B1 (en) 2013-05-24 2018-11-28 Quantapore Inc. Nanopore-based nucleic acid analysis with mixed fret detection
DK3004378T3 (en) 2013-05-24 2018-03-26 Illumina Cambridge Ltd Pyrophosphorolytic sequencing using nanopores
WO2014197334A2 (en) 2013-06-07 2014-12-11 Apple Inc. System and method for user-specified pronunciation of words for speech synthesis and recognition
US10458942B2 (en) 2013-06-10 2019-10-29 Life Technologies Corporation Chemical sensor array having multiple sensors per well
US9188578B2 (en) 2013-06-19 2015-11-17 Globalfoundries Inc. Nanogap device with capped nanowire structures
US9182369B2 (en) 2013-06-19 2015-11-10 Globalfoundries Inc. Manufacturable sub-3 nanometer palladium gap devices for fixed electrode tunneling recognition
CA2929929A1 (en) 2013-09-18 2015-03-26 Quantum Biosystems Inc. Biomolecule sequencing devices, systems and methods
JP2015077652A (ja) 2013-10-16 2015-04-23 クオンタムバイオシステムズ株式会社 ナノギャップ電極およびその製造方法
US9551697B2 (en) 2013-10-17 2017-01-24 Genia Technologies, Inc. Non-faradaic, capacitively coupled measurement in a nanopore cell array
US9567630B2 (en) 2013-10-23 2017-02-14 Genia Technologies, Inc. Methods for forming lipid bilayers on biochips
CA2926138A1 (en) 2013-10-23 2015-04-30 Genia Technologies, Inc. High speed molecular sensing with nanopores
JP6153856B2 (ja) * 2013-12-05 2017-06-28 株式会社日立ハイテクノロジーズ 生体分子特性解析チップ及びその製造方法
MA39774A (fr) 2014-03-24 2021-05-12 Roche Sequencing Solutions Inc Procédés chimiques pour produire des nucléotides étiquetés
US9970914B1 (en) * 2014-04-04 2018-05-15 The United States Of America As Represented By The Administrator Of National Aeronautics And Space Administration Gas sensors with contact pads
US10438811B1 (en) 2014-04-15 2019-10-08 Quantum Biosystems Inc. Methods for forming nano-gap electrodes for use in nanosensors
US9338493B2 (en) 2014-06-30 2016-05-10 Apple Inc. Intelligent automated assistant for TV user interactions
US9668121B2 (en) 2014-09-30 2017-05-30 Apple Inc. Social reminders
CA2963604C (en) 2014-10-10 2023-02-14 Quantapore, Inc. Nanopore-based polymer analysis with mutually-quenching fluorescent labels
CN107002126B (zh) 2014-10-24 2021-05-25 昆塔波尔公司 使用纳米结构阵列的聚合物的高效光学分析
US10077472B2 (en) 2014-12-18 2018-09-18 Life Technologies Corporation High data rate integrated circuit with power management
EP3234576B1 (en) 2014-12-18 2023-11-22 Life Technologies Corporation High data rate integrated circuit with transmitter configuration
WO2016100521A1 (en) 2014-12-18 2016-06-23 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes using large scale fet arrays
US10567477B2 (en) 2015-03-08 2020-02-18 Apple Inc. Virtual assistant continuity
EP3277427A1 (en) 2015-04-03 2018-02-07 Abbott Laboratories Devices and methods for sample analysis
CN107690582B (zh) 2015-04-03 2023-10-20 雅培制药有限公司 用于样品分析的装置和方法
US9578173B2 (en) * 2015-06-05 2017-02-21 Apple Inc. Virtual assistant aided communication with 3rd party service in a communication session
WO2017004463A1 (en) 2015-07-01 2017-01-05 Abbott Laboratories Devices and methods for sample analysis
US10671428B2 (en) 2015-09-08 2020-06-02 Apple Inc. Distributed personal assistant
US10366158B2 (en) 2015-09-29 2019-07-30 Apple Inc. Efficient word encoding for recurrent neural network language models
US11010550B2 (en) 2015-09-29 2021-05-18 Apple Inc. Unified language modeling framework for word prediction, auto-completion and auto-correction
US10691473B2 (en) 2015-11-06 2020-06-23 Apple Inc. Intelligent automated assistant in a messaging environment
US10049668B2 (en) 2015-12-02 2018-08-14 Apple Inc. Applying neural network language models to weighted finite state transducers for automatic speech recognition
US10223066B2 (en) 2015-12-23 2019-03-05 Apple Inc. Proactive assistance based on dialog communication between devices
US10446143B2 (en) 2016-03-14 2019-10-15 Apple Inc. Identification of voice inputs providing credentials
US11273131B2 (en) 2016-05-05 2022-03-15 Aquestive Therapeutics, Inc. Pharmaceutical compositions with enhanced permeation
KR20190005199A (ko) 2016-05-05 2019-01-15 어퀘스티브 테라퓨틱스, 아이엔씨. 강화된 전달 에프네프린 조성물
US9934775B2 (en) 2016-05-26 2018-04-03 Apple Inc. Unit-selection text-to-speech synthesis based on predicted concatenation parameters
US9972304B2 (en) 2016-06-03 2018-05-15 Apple Inc. Privacy preserving distributed evaluation framework for embedded personalized systems
US10249300B2 (en) 2016-06-06 2019-04-02 Apple Inc. Intelligent list reading
US10049663B2 (en) 2016-06-08 2018-08-14 Apple, Inc. Intelligent automated assistant for media exploration
DK179309B1 (en) 2016-06-09 2018-04-23 Apple Inc Intelligent automated assistant in a home environment
US10509862B2 (en) 2016-06-10 2019-12-17 Apple Inc. Dynamic phrase expansion of language input
US10490187B2 (en) 2016-06-10 2019-11-26 Apple Inc. Digital assistant providing automated status report
US10586535B2 (en) 2016-06-10 2020-03-10 Apple Inc. Intelligent digital assistant in a multi-tasking environment
US10067938B2 (en) 2016-06-10 2018-09-04 Apple Inc. Multilingual word prediction
US10192552B2 (en) 2016-06-10 2019-01-29 Apple Inc. Digital assistant providing whispered speech
DK179415B1 (en) 2016-06-11 2018-06-14 Apple Inc Intelligent device arbitration and control
DK179049B1 (en) 2016-06-11 2017-09-18 Apple Inc Data driven natural language event detection and classification
DK201670540A1 (en) 2016-06-11 2018-01-08 Apple Inc Application integration with a digital assistant
DK179343B1 (en) 2016-06-11 2018-05-14 Apple Inc Intelligent task discovery
US11124827B2 (en) 2016-06-23 2021-09-21 Roche Sequencing Solutions, Inc. Period-to-period analysis of AC signals from nanopore sequencing
JP2019522983A (ja) 2016-07-05 2019-08-22 クアンタポール， インコーポレイテッド 光学ベースのナノポア配列決定
US9768104B1 (en) 2016-08-19 2017-09-19 International Business Machines Corporation Method and structure to fabricate a nanoporous membrane
US10043516B2 (en) 2016-09-23 2018-08-07 Apple Inc. Intelligent automated assistant
US11565258B2 (en) 2016-10-03 2023-01-31 Genvida Technology Company Limited Method and apparatus for the analysis and identification of molecules
WO2018067878A1 (en) 2016-10-05 2018-04-12 Abbott Laboratories Devices and methods for sample analysis
US10593346B2 (en) 2016-12-22 2020-03-17 Apple Inc. Rank-reduced token representation for automatic speech recognition
US10724065B2 (en) * 2017-02-21 2020-07-28 Qualcomm Incorporated Noise improvement in DNA sequencing circuit by FinFET-like nanopore formation
DK201770439A1 (en) 2017-05-11 2018-12-13 Apple Inc. Offline personal assistant
DK179496B1 (en) 2017-05-12 2019-01-15 Apple Inc. USER-SPECIFIC Acoustic Models
DK179745B1 (en) 2017-05-12 2019-05-01 Apple Inc. SYNCHRONIZATION AND TASK DELEGATION OF A DIGITAL ASSISTANT
DK201770432A1 (en) 2017-05-15 2018-12-21 Apple Inc. Hierarchical belief states for digital assistants
DK201770431A1 (en) 2017-05-15 2018-12-20 Apple Inc. Optimizing dialogue policy decisions for digital assistants using implicit feedback
DK179549B1 (en) 2017-05-16 2019-02-12 Apple Inc. FAR-FIELD EXTENSION FOR DIGITAL ASSISTANT SERVICES
JP7038215B2 (ja) 2017-12-28 2022-03-17 エフ．ホフマン－ラ ロシュ アーゲー 交流信号によって駆動されるナノポアｄｎａ配列決定システム由来の不規則信号におけるノイズの測定および除去
EP3752830A4 (en) * 2018-02-16 2021-12-15 Illumina, Inc. SEQUENCING DEVICE
KR20230029669A (ko) 2020-07-02 2023-03-03 일루미나, 인코포레이티드 전계 효과 트랜지스터들을 갖는 디바이스들
CN113333042B (zh) * 2021-06-21 2022-04-22 太原理工大学 一种用于核酸检测的微流控芯片及其制作方法
EP4160199A1 (en) * 2021-10-04 2023-04-05 Depixus Apparatus for biomolecule analysis with a well and a cavity below the well

Family Cites Families (58)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US476797A (en) 1892-06-14 hunter
NL294124A (ja) 1962-06-18
US4238757A (en) * 1976-03-19 1980-12-09 General Electric Company Field effect transistor for detection of biological reactions
US4180771A (en) 1977-12-02 1979-12-25 Airco, Inc. Chemical-sensitive field-effect transistor
US4256514A (en) 1978-11-03 1981-03-17 International Business Machines Corporation Method for forming a narrow dimensioned region on a body
US4209349A (en) 1978-11-03 1980-06-24 International Business Machines Corporation Method for forming a narrow dimensioned mask opening on a silicon body utilizing reactive ion etching
US4870004A (en) 1984-06-08 1989-09-26 Autoseq, Inc. Apparatus and method of analyzing nucleic acid molecules
US4656732A (en) 1984-09-26 1987-04-14 Texas Instruments Incorporated Integrated circuit fabrication process
US4609932A (en) * 1985-03-18 1986-09-02 General Electric Company Nonplanar ion-sensitive field-effect transistor devices
US4660063A (en) * 1985-03-18 1987-04-21 General Electric Company Immersion type ISFET
US4597002A (en) * 1985-03-18 1986-06-24 General Electric Company Flow through ISFET and method of forming
DE3513168A1 (de) * 1985-04-12 1986-10-16 Thomas 8000 München Dandekar Biosensor bestehend aus einem halbleiter auf silizium oder kohlenstoffbasis (elektronischer teil) und nukleinbasen (od. anderen biol. monomeren)
GB8522785D0 (en) * 1985-09-14 1985-10-16 Emi Plc Thorn Chemical-sensitive semiconductor device
US5110760A (en) 1990-09-28 1992-05-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method of nanometer lithography
CA2121797A1 (en) 1991-10-21 1993-04-29 James W. Holm-Kennedy Method and device for biochemical sensing
US5632957A (en) 1993-11-01 1997-05-27 Nanogen Molecular biological diagnostic systems including electrodes
US6051380A (en) 1993-11-01 2000-04-18 Nanogen, Inc. Methods and procedures for molecular biological analysis and diagnostics
US5849486A (en) 1993-11-01 1998-12-15 Nanogen, Inc. Methods for hybridization analysis utilizing electrically controlled hybridization
US6017696A (en) 1993-11-01 2000-01-25 Nanogen, Inc. Methods for electronic stringency control for molecular biological analysis and diagnostics
US5605662A (en) 1993-11-01 1997-02-25 Nanogen, Inc. Active programmable electronic devices for molecular biological analysis and diagnostics
IL103674A0 (en) 1991-11-19 1993-04-04 Houston Advanced Res Center Method and apparatus for molecule detection
US5846708A (en) 1991-11-19 1998-12-08 Massachusetts Institiute Of Technology Optical and electrical methods and apparatus for molecule detection
US5429734A (en) * 1993-10-12 1995-07-04 Massachusetts Institute Of Technology Monolithic capillary electrophoretic device
ATE424927T1 (de) 1993-10-28 2009-03-15 Houston Advanced Res Ct Mikrofabriziertes poröses durchflussgerät zur diskreten bestimmung von bindungsreaktionen
US5871918A (en) 1996-06-20 1999-02-16 The University Of North Carolina At Chapel Hill Electrochemical detection of nucleic acid hybridization
FR2722294B1 (fr) * 1994-07-07 1996-10-04 Lyon Ecole Centrale Procede d'analyse qualitative et/ou quantitative de substances biologiques presentes dans un milieu liquide conducteur et capteurs biochimiques d'affinite utilises pour la mise en oeuvre de ce procede
US6045995A (en) 1994-08-24 2000-04-04 Isis Pharmaceuticals, Inc. Capillary electrophoretic detection of nucleic acids
US5556790A (en) 1994-12-05 1996-09-17 Pettit; John W. Method for Automated DNA sequencing
US5795782A (en) 1995-03-17 1998-08-18 President & Fellows Of Harvard College Characterization of individual polymer molecules based on monomer-interface interactions
JPH08278281A (ja) * 1995-04-07 1996-10-22 Hitachi Ltd 電界効果型化学物質検出装置およびそれを用いたｄｎａ配列決定装置
JPH11508042A (ja) * 1995-06-08 1999-07-13 ビジブル ジェネティクス インコーポレイテッド バイオポリマーの分析のためのナノ規模で造られた分離マトリックス、それを製造する方法および使用する方法
JPH0936385A (ja) 1995-07-25 1997-02-07 Nissan Motor Co Ltd 半導体装置の製造方法
US5654238A (en) 1995-08-03 1997-08-05 International Business Machines Corporation Method for etching vertical contact holes without substrate damage caused by directional etching
WO1997010612A1 (en) 1995-09-14 1997-03-20 Advanced Micro Devices, Inc. Damascene process for reduced feature size
US5736332A (en) 1995-11-30 1998-04-07 Mandecki; Wlodek Method of determining the sequence of nucleic acids employing solid-phase particles carrying transponders
US5641634A (en) 1995-11-30 1997-06-24 Mandecki; Wlodek Electronically-indexed solid-phase assay for biomolecules
JP4054379B2 (ja) * 1995-12-01 2008-02-27 イノジェネティックス・ナムローゼ・フェンノートシャップ インピーダンス式検出システム及びその製造方法
US5847460A (en) 1995-12-19 1998-12-08 Stmicroelectronics, Inc. Submicron contacts and vias in an integrated circuit
US6054277A (en) 1996-05-08 2000-04-25 Regents Of The University Of Minnesota Integrated microchip genetic testing system
US6057167A (en) 1996-05-31 2000-05-02 Motorola, Inc. Magnetoresistance-based method and apparatus for molecular detection
US5800690A (en) * 1996-07-03 1998-09-01 Caliper Technologies Corporation Variable control of electroosmotic and/or electrophoretic forces within a fluid-containing structure via electrical forces
US5827482A (en) 1996-08-20 1998-10-27 Motorola Corporation Transistor-based apparatus and method for molecular detection and field enhancement
US5789316A (en) 1997-03-10 1998-08-04 Vanguard International Semiconductor Corporation Self-aligned method for forming a narrow via
JPH10270657A (ja) * 1997-03-24 1998-10-09 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置及びその製造方法
US6060327A (en) 1997-05-14 2000-05-09 Keensense, Inc. Molecular wire injection sensors
US5945286A (en) 1997-10-23 1999-08-31 Motorola, Inc. Electrochemical-based molecular detection apparatus and method
AU2559599A (en) 1998-01-20 1999-08-02 Bruce Parkinson Detection of genetic information
JP3245124B2 (ja) * 1998-02-19 2002-01-07 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 垂直ゲート側壁を有する電界効果トランジスタおよびその製造方法
US6040214A (en) 1998-02-19 2000-03-21 International Business Machines Corporation Method for making field effect transistors having sub-lithographic gates with vertical side walls
JP3233207B2 (ja) * 1998-03-20 2001-11-26 日本電気株式会社 電界効果トランジスタの製造方法
US6002131A (en) 1998-03-25 1999-12-14 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Scanning probe potentiometer
US6060023A (en) 1998-03-31 2000-05-09 Motorola, Inc. Molecular sensing apparatus
JP2000124461A (ja) * 1998-10-20 2000-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 薄膜トランジスタおよびその製造方法
US6100014A (en) 1998-11-24 2000-08-08 United Microelectronics Corp. Method of forming an opening in a dielectric layer through a photoresist layer with silylated sidewall spacers
JP2000275680A (ja) * 1999-03-19 2000-10-06 Fujitsu Ltd 反射型液晶表示装置及びそれを用いた表示パネル
WO2000079257A1 (en) * 1999-06-22 2000-12-28 President And Fellows Of Harvard College Molecular and atomic scale evaluation of biopolymers
WO2001081896A1 (en) * 2000-04-24 2001-11-01 Eagle Research & Development, Llc An ultra-fast nucleic acid sequencing device and a method for making and using the same
US6413792B1 (en) * 2000-04-24 2002-07-02 Eagle Research Development, Llc Ultra-fast nucleic acid sequencing device and a method for making and using the same

Also Published As

Publication number Publication date
ATE489621T1 (de) 2010-12-15
JP2003531592A (ja) 2003-10-28
DE60143523D1 (de) 2011-01-05
EP2278317A1 (en) 2011-01-26
AU2001255604A1 (en) 2001-11-07
JP2011177180A (ja) 2011-09-15
US6413792B1 (en) 2002-07-02
JP4758047B2 (ja) 2011-08-24
JP2013013413A (ja) 2013-01-24
EP1285261A4 (en) 2007-01-31
EP1285261A1 (en) 2003-02-26
WO2001081908A1 (en) 2001-11-01
EP1285261B1 (en) 2010-11-24
US20030003609A1 (en) 2003-01-02
JP2014198052A (ja) 2014-10-23
EP2278317B1 (en) 2016-11-23

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