JP2016183887A - 測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
重力加速度方向を基準として、走査測定の開始点と終了点で前記センサホルダの走査方向における傾斜角を測定してその差をとり、また前記ステージの走査方向における傾斜角を測定してその差をとり、得られた2つの差に基づいて前記プローブのゼロ点誤差の影響を排除しつつ前記被測定物の直線形状を求めることを特徴とする。
m1(x)=f(x−d)+ez(x)−d・Ep(x) (1)
m2(x)=f(x)+ez(x) (2)
m3(x)=f(x+d)+ez(x)+d・Ep(x) (3)
μ1(x)=m3(x)−m2(x)=f(x+d)−f(x)+d・Ep(x) (4)
μ2(x)=m2(x)−m1(x)=f(x)−f(x−d)+d・Ep(x) (5)
Δμ(x)=μ1(x)−μ2(x)=f(x+d)−2f(x)+f(x−d) (6)
Δ2f(x)
={f(x+d)−2・f(x)+f(x−d)}/d2
=[{f(x+d)−f(x)}−{f(x)−f(x−d)}]/d2
={m3(x)−2・m2(x)−m1(x)}/d2 (7)
m1(x)=f(x−d)+ez(x)−d・Ep(x)+k1 (1)′
m2(x)=f(x)+ez(x)+k2 (2)′
m3(x)=f(x+d)+ez(x)+d・Ep(x)+k3 (3)′
Δ2f(x)
={f(x+d)−2・f(x)+f(x−d)}/d2
={m3(x)−2・m2(x)−m1(x)}/d2−{k3−2・k2+k1}/d2
={m3(x)−2・m2(x)−m1(x)}−k123/d2 (7)′
ただし、式(7)′において、k3−2・k2+k1=k123とした。
μ1(x+d)=f(x+2d)−f(x+d)+d・Ep(x+d) (4)′
μ2(x)=f(x)−f(x−d)+d・Ep(x)+α (5)′
ΔEp(x)≡d(Ep(x+d)−Ep(x))=μ1(x+d)−μ2(x)+α (8)
Ep(Nd)−Ep(0)=Δ1+Δ2 (10)
CA ケース
DR 駆動機構
FR 門形フレーム
FT 浮き子
DL 光束
LD 光源
LQ 高粘度液体
LV 水準器
MD 測定装置
OBJ 被測定物
PB1,PB2,PB3 プローブ
PD 光検出器
PDa 受光面
SG 糸
SH センサホルダ
SP 支持部
SPa 脚部
SR 基準鏡
ST ステージ
VL 容器
Claims (3)
- 被測定物の置かれたステージと、3本のプローブを保持するセンサホルダとが相対的に移動可能となっており、前記プローブを用いて前記被測定物の直線形状を走査測定する逐次3点法による測定方法において、
重力加速度方向を基準として、走査測定の開始点と終了点で前記センサホルダの走査方向における傾斜角を測定してその差をとり、また前記ステージの走査方向における傾斜角を測定してその差をとり、得られた2つの差に基づいて前記プローブのゼロ点誤差の影響を排除しつつ前記被測定物の直線形状を求めることを特徴とする測定方法。 - 前記センサホルダの傾斜角又は前記ステージの傾斜角は、光束を出射する光源と、重力加速度に従い垂下された状態で前記光束を反射する基準鏡と、前記基準鏡で反射した前記光束を入射する受光面を備えた光検出器とを有する角度測定ユニットにより測定されることを特徴とする請求項1に記載の測定方法。
- 前記センサホルダの傾斜角又は前記ステージの傾斜角は、光束を出射する光源と、容器内の液体中に浮遊し、前記光束を反射する基準鏡を表面の少なくとも一部に設けた浮き子と、前記基準鏡で反射した前記光束を入射する受光面を備えた光検出器とを有する水準器により測定されることを特徴とする請求項1に記載の測定方法。
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2015
- 2015-03-26 JP JP2015063746A patent/JP6430874B2/ja active Active
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