JP2016183421A - グラフェン膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記ロールツーロール機構によって上記成膜対象物を搬送し、
上記成膜対象物に成膜材料を供給し、
上記ロールツーロール機構によって上記成膜対象物に印加されている張力が銅において
双晶変形が生じる張力以下に緩和された状態で、上記成膜対象物を加熱する。
本技術の第1の実施形態に係る成膜装置について説明する。図1は、本技術の第1の実施形態に係る成膜装置100を示す模式図である。なお、本実施形態に係る成膜装置100は、成膜対象物上にグラフェンを成膜する成膜装置であるものとする。
上述のように成膜装置100のロールツーロール機構には成膜対象物Sがセットされる。成膜対象物Sは、金属箔であるものとすることができ、触媒活性や成膜条件等によって適宜選択することが可能であるが、銅(銅合金を含む)を含む材料が好適である。銅はグラフェンの成膜に対する触媒活性を有し、内部に炭素が溶け込まない性質を有するためである。また、銅はエッチング液(塩化鉄等)によって除去することができ、生成したグラフェンを別の物質に転写する(銅は除去される)際に好適である。さらに、銅は比較的に安価である。
(成膜方法1)
成膜装置100を利用した成膜方法(成膜方法1)について説明する。図1に示すように、ロールツーロール機構に成膜対象物Sをセットする。具体的には、巻出ロール102にロール状の成膜対象物Sを取り付け、成膜対象物Sの一端を第1ガイドロール103及びピンチロール110(第2ガイドロール104及び弾性ロール105)を介して巻取ロール106に接続する。成膜対象物Sは、ピンチロール110によって挟持される。
は張力を弱めることにより、成膜領域での張力を下げることが可能である。
成膜装置100を利用した成膜方法(成膜方法2)について説明する。上記成膜方法1と同様に、ロールツーロール機構に成膜対象物Sをセットする(図1参照)。成膜対象物Sのセットの後、上述のようにチャンバ101内を成膜環境に適合するように調整し、ガス供給系108から炭素源ガスを導入する。
上述のように、本実施形態においては、成膜対象物Sに印加される張力が緩和されるため、成膜対象物Sの双晶変形が防止される。図2及び図3は、EBSD(electron backscatter diffraction:電子線後方散乱回折)によって銅箔の結晶配向分布を測定した結果である。図2は低張力(0.1MPa)が印加された状態で加熱された銅箔の、図3は高張力(1MPa)が印加された状態で加熱された銅箔の測定結果である。
本技術の第2の実施形態に係る成膜装置について説明する。図6は、本技術の第2の実施形態に係る成膜装置200を示す模式図である。なお、本実施形態に係る成膜装置200は、成膜対象物上にグラフェンを成膜する成膜装置であるものとする。
成膜装置200を利用した成膜方法について説明する。図6に示すように、ロールツーロール機構に成膜対象物Sをセットする。具体的には、巻出ロール202にロール状の成膜対象物Sを取り付け、成膜対象物Sの一端を第1ピンチロール214、第2ピンチロール215、第3弾性ロール207及び第4弾性ロール208を介して巻取ロール209に接続する。成膜対象物Sは、第1ピンチロール214及び第2ピンチロール215によって挟持される。
本技術の変形例について説明する。
図7は変形例1に係る成膜装置300を示す模式図である。同図に示すように、成膜装置300は、チャンバ301、巻出ロール302、第1ガイドロール303、第1弾性ロール304、第2ガイドロール305、第3ガイドロール306、第4ガイドロール307、第2弾性ロール308、巻取ロール309及び搬送ベルト310を有する。なお、ガス供給系、真空排気系及び成膜対象物の加熱源については第1及び第2の実施形態と同様であり、記載を省略する。
図8は変形例2に係る成膜装置400を示す模式図である。同図に示すように、成膜装置400は、チャンバ401、巻出ロール402、第1ガイドロール403、第1弾性ロール404、第2ガイドロール405、第3ガイドロール406、第4ガイドロール407、第2弾性ロール408、巻取ロール409及び搬送ロール410を有する。なお、ガス供給系、真空排気系及び成膜対象物の加熱源については第1及び第2の実施形態と同様であり、記載を省略する。
銅からなる成膜対象物をロールツーロール機構にセットし、
上記ロールツーロール機構によって上記成膜対象物を搬送し、
上記成膜対象物に成膜材料を供給し、
上記ロールツーロール機構によって上記成膜対象物に印加されている張力が銅において
双晶変形が生じる張力以下に緩和された状態で、上記成膜対象物を加熱する
グラフェン膜の製造方法。
上記(1)に記載のグラフェン膜の製造方法であって、
上記成膜対象物を加熱する工程は、上記成膜対象物に印加される張力を1MPa未満に緩和した後に実施する
グラフェン膜の製造方法。
上記(1)または(2)に記載のグラフェン膜の製造方法であって、
上記成膜材料が、炭素を含む炭素源物質である
グラフェン膜の製造方法。
上記(3)に記載のグラフェン膜の製造方法であって、
上記炭素源物質がメタンガスである
グラフェン膜の製造方法。
上記(1)から(4)のうちいずれか一つに記載のグラフェン膜の製造方法であって、
上記成膜対象物を加熱する工程は、抵抗加熱により実施される
グラフェン膜の製造方法。
上記(1)から(5)のうちいずれか一つに記載のグラフェン膜の製造方法であって、
上記成膜対象物が金属箔であり、
上記金属箔の厚みが1〜100μmである
グラフェン膜の製造方法。
上記(1)から(6)のうちいずれか一つに記載のグラフェン膜の製造方法であって、
上記成膜材料とともに水素ガスを供給する
グラフェン膜の製造方法。
上記(1)から(7)のうちいずれか一つに記載のグラフェン膜の製造方法であって、
上記ロールツーロール機構が、弛み検出機構を有する
グラフェン膜の製造方法。
上記(8)に記載のグラフェン膜の製造方法であって、
上記弛み検出機構の出力に応じて上記成膜対象物に印加される張力を調整する
グラフェン膜の製造方法。
上記(1)から(9)のうちいずれか一つに記載のグラフェン膜の製造方法であって、
上記成膜対象物を加熱する工程は、上記ロールツーロール機構による上記成膜対象物の搬送を停止し、張力を緩和した後に実施する
グラフェン膜の製造方法。
102、202、302、402…巻出ロール
103、104、203、205、303、307、403、407…ガイドロール
105、204、206、303、304、308、404、408…弾性ロール
110、214、215、311、312、411、412…ピンチロール
106、209、309、409…巻取ロール
107、210…電流源
211…弛み検出センサ
Claims (10)
- 銅からなる成膜対象物をロールツーロール機構にセットし、
前記ロールツーロール機構によって前記成膜対象物を搬送し、
前記成膜対象物に成膜材料を供給し、
前記ロールツーロール機構によって前記成膜対象物に印加されている張力が銅において
双晶変形が生じる張力以下に緩和された状態で、前記成膜対象物を加熱する
グラフェン膜の製造方法。 - 請求項1に記載のグラフェン膜の製造方法であって、
前記成膜対象物を加熱する工程は、前記成膜対象物に印加される張力を1MPa未満に緩和した後に実施する
グラフェン膜の製造方法。 - 請求項1または2に記載のグラフェン膜の製造方法であって、
前記成膜材料が、炭素を含む炭素源物質である
グラフェン膜の製造方法。 - 請求項3に記載のグラフェン膜の製造方法であって、
前記炭素源物質がメタンガスである
グラフェン膜の製造方法。 - 請求項1から4のいずれか一つに記載のグラフェン膜の製造方法であって、
前記成膜対象物を加熱する工程は、抵抗加熱により実施される
グラフェン膜の製造方法。 - 請求項1から5のいずれか一つに記載のグラフェン膜の製造方法であって、
前記成膜対象物が金属箔であり、
前記金属箔の厚みが1〜100μmである
グラフェン膜の製造方法。 - 請求項1から6のいずれか一つに記載のグラフェン膜の製造方法であって、
前記成膜材料とともに水素ガスを供給する
グラフェン膜の製造方法。 - 請求項1から7のいずれか一つに記載のグラフェン膜の製造方法であって
前記ロールツーロール機構が、弛み検出機構を有する
グラフェン膜の製造方法。 - 請求項8に記載のグラフェン膜の製造方法であって、
前記弛み検出機構の出力に応じて前記成膜対象物に印加される張力を調整する
グラフェン膜の製造方法。 - 請求項1に記載のグラフェン膜の製造方法であって、
前記成膜対象物を加熱する工程は、前記ロールツーロール機構による前記成膜対象物の搬送を停止し、張力を緩和した後に実施する
グラフェン膜の製造方法。
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