JP2016183402A - スパッタリング装置およびスパッタリング方法 - Google Patents
スパッタリング装置およびスパッタリング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016183402A JP2016183402A JP2015115752A JP2015115752A JP2016183402A JP 2016183402 A JP2016183402 A JP 2016183402A JP 2015115752 A JP2015115752 A JP 2015115752A JP 2015115752 A JP2015115752 A JP 2015115752A JP 2016183402 A JP2016183402 A JP 2016183402A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sputtering
- concentration
- reactive gas
- ito film
- water vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
- C23C14/086—Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3421—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target using heated targets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
- C23C14/543—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement on the vapor source
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
- C23C14/544—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement in the gas phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
- C23C14/545—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement on deposited material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/321—Radio frequency generated discharge the radio frequency energy being inductively coupled to the plasma
- H01J37/3211—Antennas, e.g. particular shapes of coils
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Abstract
【解決手段】ロータリー型のマグネトロンカソード対に供給されるスパッター電力が1.5kW/m以下である。このため、LIAがスパッター処理を支援する態様で成膜されるITO膜の平坦度は、LIAがスパッター処理を支援しない態様で成膜されるITO膜の平坦度に比べて高くなる。その結果、本発明では、高平坦度のITO膜を成膜でき、望ましい。また、ITO膜の抵抗率が120μΩcm以下の低抵抗率となり、望ましい。
【選択図】図8
Description
<1.1 スパッタリング装置1の全体構成>
図1は、スパッタリング装置1の概略構成を模式的に示す断面模式図である。図2は、プラズマ処理部50およびその周辺を示す断面模式図である。図3は、プラズマ処理部50の誘導結合アンテナ151の例を示す側面図である。また、図4は、プラズマ処理部50およびその周辺を示す斜視図である。
以下、処理空間V内でプラズマ処理を実行するプラズマ処理部50について詳細に説明する。
成膜処理では、まず、スパッターガス供給部510が、処理空間Vに不活性ガスであるアルゴンガスなどのスパッターガスを供給する(スパッターガス供給工程)。
図5は、スパッター電力と生成されたITO膜の抵抗率との関係を示す図である。図示上側の横軸である「Planar DC-Bias power」は、プレーナー型のマグネトロンカソードに印加される直流スパッター電力値を示す。図示下側の横軸である「Rotary DC-Bias power」は、ロータリー型のマグネトロンカソード対に印加される直流スパッター電力値を示す。図中の縦軸である「Bottom Resistivity」は、成膜処理で得られたITO膜の最低抵抗率を示す。
<2.1 スパッタリング装置1Aの全体構成>
図10は、第2実施形態にかかるスパッタリング装置1Aの構成例を示す断面模式図である。以下では、第2実施形態のスパッタリング装置1Aについて説明するが、第1実施形態のスパッタリング装置1と同一の要素については同一の符号を付し重複説明を省略する。
図11は、ロータリー型のマグネトロンカソード対を用いてITO膜の成膜処理を行う場合において、ITO膜の抵抗率およびITO膜表面の平坦度と処理空間Vにおける測定部18で測定された各ガスの濃度との関係を示す図である。図11中の横軸である「O2/Total pressure」は、処理空間V中の全圧に対する反応性ガス(酸素)の圧力の割合をパーセント表示で示す。図示右側中央の縦軸である「Ra」は、成膜されるITO膜表面の平均粗さであり、ITO膜表面のうち厚さ方向に関して基準高さから見たズレ量の平均値を示す。図示右側上方の縦軸である「R max」は、成膜されるITO膜表面の最大粗さであり、ITO膜表面のうち厚さ方向に関して最も高い位置(山)と最も低い位置(谷)との高低差を示す。図示左側の縦軸である「Resistivity」は、成膜されるITO膜の抵抗率を示す。
準備工程が終了すると、搬送される複数の基材91に対して順次に成膜処理が行われる。
以下、ITO膜の抵抗率および平坦度の観点から、第2実施形態のスパッタリング装置1Aの効果について説明する。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。
50 プラズマ処理部
100 チャンバー
151 誘導結合アンテナ
153 高周波電源
163 スパッター用電源
30 搬送機構
31 搬送ローラ
5,6 回転カソード
7 支持棒
8 ベース部材
16 ターゲット
19 回転部
21,22 磁石ユニット
60 チムニー
90 キャリア
91 基材
510 スパッターガス供給部
520 反応性ガス供給部
530 水蒸気供給部
18 測定部
V 処理空間
Claims (18)
- 搬送される基材の主面にITO(Indium Tin Oxide)膜をスパッター成膜するスパッタリング装置であって、
その内部に処理空間を形成する真空チャンバーと、
前記処理空間にスパッターガスを供給するスパッターガス供給部と、
前記処理空間に反応性ガスを供給する反応性ガス供給部と、
前記処理空間内でプラズマ処理を実行する少なくとも1つのプラズマ処理部と、
前記少なくとも1つのプラズマ処理部に対向した少なくとも1つの被成膜箇所を含む搬送経路面に沿って前記基材を搬送する搬送機構と、
を備え、
前記少なくとも1つのプラズマ処理部のそれぞれは、
円筒状でその外周面がインジウム(In)、スズ(Sn)、および、酸素(O)を含むターゲット材料で被覆された2つの回転カソードを前記処理空間内で一定距離を隔てて対向配置させたカソード対と、
前記2つの回転カソードをそれぞれの中心軸線回りに回転させる回転部と、
前記2つの回転カソードにそれぞれ1.5kW/m以下のスパッター電力を供給するスパッター電力供給手段と、
前記2つの回転カソードの内部にそれぞれ収容されて前記外周面のうち自身の近傍で磁界を形成する2つの磁界形成部と、
前記処理空間のうち前記磁界が形成されている部分を含む空間に誘導結合プラズマを発生する少なくとも1つのLIA(Low Inductance Antenna)と、
前記少なくとも1つのLIAに高周波電力を供給する高周波電力供給手段と、
を有することを特徴とするスパッタリング装置。 - 請求項1に記載のスパッタリング装置であって、
前記スパッター電力供給手段は、前記2つの回転カソードに1.0kW/m以下のスパッター電力を供給することを特徴とするスパッタリング装置。 - 請求項1または請求項2に記載のスパッタリング装置であって、
前記スパッター電力供給手段は、前記2つの回転カソードに0.5kW/m以上のスパッター電力を供給することを特徴とするスパッタリング装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のスパッタリング装置であって、
前記基材を200℃以上に加熱する加熱部をさらに備えることを特徴とするスパッタリング装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のスパッタリング装置であって、
前記ITO膜は有機EL素子の陽極として用いられることを特徴とするスパッタリング装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のスパッタリング装置であって、
前記真空チャンバー内における前記反応性ガスの濃度を測定する第1測定部と、
前記処理空間に水蒸気を供給する水蒸気供給部と、
前記真空チャンバー内における前記水蒸気の濃度を測定する第2測定部と、
スパッター成膜中の前記反応性ガスの濃度が予め設定された第1目標値となるように前記第1測定部による測定結果を基に前記反応性ガス供給部をフィードバック制御し、かつ、スパッター成膜中の前記水蒸気の濃度が予め設定された第2目標値となるように前記第2測定部による測定結果を基に前記水蒸気供給部をフィードバック制御する制御部と、
を備えることを特徴とするスパッタリング装置。 - 請求項6に記載のスパッタリング装置であって、
前記反応性ガスの濃度が異なる条件下で行われた各成膜結果を基に、成膜されたITO膜の抵抗率が第1閾値よりも小さくなる際の前記反応性ガスの濃度を前記第1目標値として設定する第1工程と、
前記反応性ガスの濃度を前記第1目標値とするフィードバック制御下でかつ前記水蒸気の濃度が異なる条件下で行われた各成膜結果を基に、成膜されたITO膜の平坦度が第2閾値よりも高くなる際の前記水蒸気の濃度を前記第2目標値として設定する第2工程と、
が実行されることを特徴とするスパッタリング装置。 - 請求項7に記載のスパッタリング装置であって、
前記第1目標値は、前記第1工程の各成膜結果においてITO膜の抵抗率が最も小さくなる際の前記反応性ガスの濃度であることを特徴とするスパッタリング装置。 - 請求項7または請求項8に記載のスパッタリング装置であって、
前記第2目標値は、前記第2工程の各成膜結果においてITO膜の平坦度が最も高くなる際の前記水蒸気の濃度であることを特徴とするスパッタリング装置。 - その内部に処理空間を形成する真空チャンバーと、前記処理空間内でプラズマ処理を実行する少なくとも1つのプラズマ処理部と、を備える装置を用いて、搬送される基材の主面にITO(Indium Tin Oxide)膜をスパッター成膜するスパッタリング方法であって、
前記少なくとも1つのプラズマ処理部のそれぞれは、円筒状でその外周面がインジウム(In)、スズ(Sn)、および、酸素(O)を含むターゲット材料で被覆された2つの回転カソードを前記処理空間内で一定距離を隔てて対向配置させたカソード対と、前記外周面のうち自身の近傍で磁界を形成する2つの磁界形成部と、前記処理空間のうち前記磁界が形成されている部分を含む空間に誘導結合プラズマを発生する少なくとも1つのLIA(Low Inductance Antenna)と、
を備え、
前記方法は、
前記処理空間にスパッターガスを供給するスパッターガス供給工程と、
前記処理空間に反応性ガスを供給する反応性ガス供給工程と、
各回転カソードをそれぞれの中心軸線回りに回転させる回転工程と、
前記各回転カソードに1.5kW/m以下のスパッター電力を供給するスパッター電力供給工程と、
前記少なくとも1つのLIAに高周波電力を供給する高周波電力供給工程と、
前記少なくとも1つのプラズマ処理部に対向した少なくとも1つの被成膜箇所を含む搬送経路面に沿って前記基材を搬送する搬送工程と、
を有することを特徴とするスパッタリング方法。 - 請求項10に記載のスパッタリング方法であって、
前記スパッター電力供給工程は、前記各回転カソードに1.0kW/m以下のスパッター電力を供給することを特徴とするスパッタリング方法。 - 請求項10または請求項11に記載のスパッタリング方法であって、
前記スパッター電力供給工程は、前記各回転カソードに0.5kW/m以上のスパッター電力を供給することを特徴とするスパッタリング方法。 - 請求項10ないし請求項12のいずれかに記載のスパッタリング方法であって、
前記基材を200℃以上に加熱する加熱工程、をさらに備えることを特徴とするスパッタリング方法。 - 請求項10ないし請求項13のいずれかに記載のスパッタリング方法であって、
前記ITO膜は有機EL素子の陽極として用いられることを特徴とするスパッタリング方法。 - 請求項10ないし請求項14のいずれかに記載のスパッタリング方法であって、
前記真空チャンバー内における前記反応性ガスの濃度を測定する第1測定工程と、
前記処理空間に水蒸気を供給する水蒸気供給工程と、
前記真空チャンバー内における前記水蒸気の濃度を測定する第2測定工程と、
を備え、
前記反応性ガス供給工程では、スパッター成膜中の前記反応性ガスの濃度が予め設定された第1目標値となるように、前記第1測定部による測定結果を基に前記反応性ガスの供給がフィードバック制御され、
前記水蒸気供給工程では、スパッター成膜中の前記水蒸気の濃度が予め設定された第2目標値となるように、前記第2測定部による測定結果を基に前記水蒸気の供給がフィードバック制御されることを特徴とするスパッタリング方法。 - 請求項15に記載のスパッタリング方法であって、
前記第1目標値および前記第2目標値を設定する準備工程として、
前記反応性ガスの濃度が異なる条件下で行われた各成膜結果を基に、成膜されたITO膜の抵抗率が第1閾値よりも小さくなる際の前記反応性ガスの濃度を前記第1目標値として設定する第1工程と、
前記反応性ガスの濃度を前記第1目標値とするフィードバック制御下でかつ前記水蒸気の濃度が異なる条件下で行われた各成膜結果を基に、成膜されたITO膜の平坦度が第2閾値よりも高くなる際の前記水蒸気の濃度を前記第2目標値として設定する第2工程と、
を備えることを特徴とするスパッタリング方法。 - 請求項16に記載のスパッタリング方法であって、
前記第1目標値は、前記第1工程の各成膜結果においてITO膜の抵抗率が最も小さくなる際の前記反応性ガスの濃度であることを特徴とするスパッタリング方法。 - 請求項16または請求項17に記載のスパッタリング方法であって、
前記第2目標値は、前記第2工程の各成膜結果においてITO膜の平坦度が最も高くなる際の前記水蒸気の濃度であることを特徴とするスパッタリング方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW105103069A TWI599670B (zh) | 2015-03-26 | 2016-02-01 | Sputtering apparatus and sputtering method |
CN201610076546.4A CN106011760B (zh) | 2015-03-26 | 2016-02-03 | 溅镀装置及溅镀方法 |
KR1020160028311A KR20160115717A (ko) | 2015-03-26 | 2016-03-09 | 스퍼터링 장치 및 스퍼터링 방법 |
KR1020170129167A KR20170117986A (ko) | 2015-03-26 | 2017-10-10 | 스퍼터링 장치 및 스퍼터링 방법 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015063769 | 2015-03-26 | ||
JP2015063769 | 2015-03-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016183402A true JP2016183402A (ja) | 2016-10-20 |
JP6600492B2 JP6600492B2 (ja) | 2019-10-30 |
Family
ID=57242703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015115752A Active JP6600492B2 (ja) | 2015-03-26 | 2015-06-08 | スパッタリング装置およびスパッタリング方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6600492B2 (ja) |
KR (1) | KR20170117986A (ja) |
TW (1) | TWI599670B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019044216A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 株式会社Screenホールディングス | 成膜装置および成膜方法 |
WO2019176343A1 (ja) * | 2018-03-16 | 2019-09-19 | 株式会社アルバック | 成膜方法 |
JP2020196644A (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-10 | 国立研究開発法人理化学研究所 | AlNバッファー層を備えるテンプレート基板および窒化物半導体素子ならびにそれらの製造方法 |
CN115058695A (zh) * | 2022-08-11 | 2022-09-16 | 广州粤芯半导体技术有限公司 | 溅射方法及半导体器件的制造方法 |
JP7470677B2 (ja) | 2018-09-24 | 2024-04-18 | ファースト・ソーラー・インコーポレーテッド | テクスチャ化tco層を有する光起電デバイス、およびtcoスタックを作る方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220246411A1 (en) * | 2019-06-24 | 2022-08-04 | Applied Materials, Inc. | Method of depositing a material on a substrate |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0617247A (ja) * | 1992-07-01 | 1994-01-25 | Asahi Glass Co Ltd | 高効率交流マグネトロンスパッタリング装置 |
JP2014037555A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | スパッタリング装置 |
-
2015
- 2015-06-08 JP JP2015115752A patent/JP6600492B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-01 TW TW105103069A patent/TWI599670B/zh not_active IP Right Cessation
-
2017
- 2017-10-10 KR KR1020170129167A patent/KR20170117986A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0617247A (ja) * | 1992-07-01 | 1994-01-25 | Asahi Glass Co Ltd | 高効率交流マグネトロンスパッタリング装置 |
JP2014037555A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | スパッタリング装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019044216A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 株式会社Screenホールディングス | 成膜装置および成膜方法 |
WO2019176343A1 (ja) * | 2018-03-16 | 2019-09-19 | 株式会社アルバック | 成膜方法 |
JPWO2019176343A1 (ja) * | 2018-03-16 | 2021-02-04 | 株式会社アルバック | 成膜方法 |
JP7007457B2 (ja) | 2018-03-16 | 2022-01-24 | 株式会社アルバック | 成膜方法 |
JP7470677B2 (ja) | 2018-09-24 | 2024-04-18 | ファースト・ソーラー・インコーポレーテッド | テクスチャ化tco層を有する光起電デバイス、およびtcoスタックを作る方法 |
JP2020196644A (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-10 | 国立研究開発法人理化学研究所 | AlNバッファー層を備えるテンプレート基板および窒化物半導体素子ならびにそれらの製造方法 |
JP7364183B2 (ja) | 2019-05-31 | 2023-10-18 | 国立研究開発法人理化学研究所 | AlNバッファー層を備えるテンプレート基板および窒化物半導体素子ならびにそれらの製造方法 |
CN115058695A (zh) * | 2022-08-11 | 2022-09-16 | 广州粤芯半导体技术有限公司 | 溅射方法及半导体器件的制造方法 |
CN115058695B (zh) * | 2022-08-11 | 2022-11-04 | 广州粤芯半导体技术有限公司 | 溅射方法及半导体器件的制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20170117986A (ko) | 2017-10-24 |
JP6600492B2 (ja) | 2019-10-30 |
TWI599670B (zh) | 2017-09-21 |
TW201634722A (zh) | 2016-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6600492B2 (ja) | スパッタリング装置およびスパッタリング方法 | |
JP2015193863A (ja) | スパッタリング装置 | |
WO2011119611A2 (en) | Dielectric deposition using a remote plasma source | |
JP2011521107A5 (ja) | 回転可能なターゲットを備えたマイクロ波を援用したpvd | |
JP5969856B2 (ja) | スパッタリング装置 | |
JP6942015B2 (ja) | 成膜装置および成膜方法 | |
JP6309353B2 (ja) | スパッタリング装置およびスパッタリング方法 | |
JP6373740B2 (ja) | スパッタリング装置 | |
JP6600519B2 (ja) | 成膜装置およびデータ作成方法 | |
TWI613306B (zh) | 電漿處理裝置及電漿處理方法 | |
KR20160115717A (ko) | 스퍼터링 장치 및 스퍼터링 방법 | |
JP6600214B2 (ja) | 成膜装置 | |
JP2017066427A (ja) | 成膜装置 | |
JP6957270B2 (ja) | 成膜装置および成膜方法 | |
JP2015056529A (ja) | 膜形成方法および膜形成装置 | |
JP7285127B2 (ja) | スパッタリング装置およびスパッタリング方法 | |
JP7419114B2 (ja) | スパッタリング装置およびスパッタリング方法 | |
JP2015157993A (ja) | スパッタリング装置 | |
TWI696719B (zh) | 成膜裝置及成膜方法 | |
WO2018055878A1 (ja) | 成膜方法および成膜装置 | |
JP2014189815A (ja) | 成膜装置、及び成膜方法 | |
TWI249067B (en) | Particle beam source with adjustable divergence angle | |
CN112553581A (zh) | 成膜装置及成膜方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190312 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190415 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191001 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191007 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6600492 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |