図３のように両側板１８、１８間の一端側上部に接着テープ供給手段としての接着テープ供給ロール２１が設けられている。また、両側板１８、１８の下部にはセパレータ巻取ロール２２が設けられ、同じく両側板１８、１８の他端側の上部には切り抜き後の余剰接着テープを巻き取る接着テープ巻取ロール２３が設けられている。また、両側板１８、１８間には、さらに接着テープ供給ロール２１から引き出された接着テープＴを下方に誘導するガイドローラ２４と、前記ガイドローラ２４の下方で接着テープＴからセパレータＴｓを剥がす一対のガイドローラ２５と、前記接着テープ切断テーブル１９の上面に対して接着テープＴの供給方向の後方に位置するガイドローラ２６と、接着テープＴを上方のテープ巻取ロール２３に誘導する一対のガイドローラ２７、２７とが設けられている。そして、セパレータＴｓを剥がされた接着テープＴは、一対のガイドローラ２５、２５とガイドローラ２６の間の部分が、その粘着面を下に向けた略水平状態で、貼り付けテーブル１９の上面に供給される。
Contact adhesive tape supply roll 21 as an adhesive tape supplying means to one end side upper between the side plates 18 are provided as shown in FIG. In addition, a separator take-up roll 22 is provided at the lower part of the side plates 18, 18, and an adhesive tape take-up roll 23 for taking up the excess adhesive tape after cutting is similarly provided at the upper part on the other end side of the side plates 18, 18. Is provided. Further, a guide roller 24 that further guides the adhesive tape T drawn from the adhesive tape supply roll 21 downward between the side plates 18 and 18, and a pair that peels the separator Ts from the adhesive tape T below the guide roller 24. Guide roller 25, a guide roller 26 located behind the upper surface of the adhesive tape cutting table 19 in the direction of supply of the adhesive tape T, and a pair of guides for guiding the adhesive tape T to the upper tape take-up roll 23 Rollers 27 and 27 are provided. The adhesive tape T from which the separator Ts has been peeled off is placed on the upper surface of the affixing table 19 with the portion between the pair of guide rollers 25, 25 and the guide roller 26 in a substantially horizontal state with the adhesive surface facing downward. Supplied.
また、剥離ローラ３２も前記レール４５に沿って前後に移動自在となるように架設され、適宜の駆動源によって往復移動することにより、カッター刃５１による切り抜き後の接着テープ切断テーブル１９上に接着された余剰接着テープＴを接着テープ切断テーブル１９の上面から剥がすようになっている。
Further, the peeling roller 32 is also constructed so as to be movable back and forth along the rail 45 , and is adhered to the adhesive tape cutting table 19 after being cut by the cutter blade 51 by reciprocating with an appropriate driving source. The excess adhesive tape T is peeled off from the upper surface of the adhesive tape cutting table 19.
前記接着テープ貼り付け部ｄと接着テープ切断部ｆとの間の上方にはテープ搬送体７０が設けられている。該テープ搬送体７０の上方には前記側板１８、１８上から前記下部チャンバ８上方に至るまでの間に渡って支持板６５が設けられ、該支持板６５の下面にレール６６、６６が敷設されている。また前記レール６６に沿ってボールネジ６７が設けられている。該ボールネジ６７の一端は、前記テープ貼り付け部ｄの上方で前記支持板６５の一端に固定されたモータ枠８７に軸支されており、前記ボールネジ６７の他端は、機枠２の一端側の側板１８に軸支されている。また、モータ枠８７には、モータ６８が固定され、該モータ６８と前記ボールネジ６７の一端が接続されている。
A tape carrier 70 is provided above between the adhesive tape attaching part d and the adhesive tape cutting part f. A support plate 65 is provided above the tape carrier 70 from the side plates 18 and 18 to the upper portion of the lower chamber 8, and rails 66 and 66 are laid on the lower surface of the support plate 65. ing. A ball screw 67 is provided along the rail 66. One end of the ball screw 67 is pivotally supported on a motor frame 87 fixed to one end of the support plate 65 above the tape attaching portion d, and the other end of the ball screw 67 is one end side of the machine frame 2. The side plate 18 is pivotally supported. A motor 68 is fixed to the motor frame 87 , and the motor 68 and one end of the ball screw 67 are connected.
Ｐ１ 第１接着テープ切断位置
Ｐ２ 第２接着テープ切断位置
Ｗ 基板（ウエハ）
Ｔ 接着テープ
Ｔｈ くり貫き孔
Ｔｓ セパレータ
ａ 基板供給／収納部
ｂ 位置決め部
ｃ 基板搬送機構
ｄ 接着テープ貼り付け部
ｅ 基板搬送機構
ｆ 接着テープ切断部
ｇ 接着テープ搬送機構
１ 接着テープ貼り付け装置
２ 機台
３ 収納カセット
４ 搬送ロボット
５ 位置決めテーブル
６ 回転モータ
７ 位置決めセンサ
８ 下部チャンバ
９ 保持テーブル
１０ 吸着パッド
１１ 通気パイプ
１２ ベルト
１３ シリンダ
１４ 支持板
１５ 吸着ハンド
１６ スライダ
１７ レール
１８ 側板
１８ａ 開口部
１９ 接着テープ切断テーブル
１９ａ 切欠き部
１９ｂ 切欠き部
２０ シリンダ
２１ テープ供給ロール
２２ セパレータ巻取ロール
２３ テープ巻取ロール
２４ ガイドローラ
２５ 剥離ローラ
２６ ガイドローラ
２７ ガイドローラ
２８ 開孔
２９ 貼り付けローラ
３０ テープチャック機構
３１ 上部チャック
３２ 剥離ローラ
３３ シリンダ
３５ ガイドローラ
３６ 支持枠
３７ レール
３８ スライダ
３９ テーブル台
４０ カッター機構
４１ スライダ
４２ モータ
４３ ボールネジ
４４ ナット部材
４５ レール
４６ 支持板
４７ スライダ
５０ カッター機構（接着テープ切断手段）
５１ カッター刃
５２ 回転軸
５３ モータ
５４ 駆動プーリ
５５ 従動プーリ
５６ ベルト
５７ モータ枠
５７ａ 上方突出部
５８ 支持枠
５８ａ 底板
５９ シリンダ
６０ スライダ
６１ レール
６２ シリンダ
６５ 支持板
６６ レール
６７ ボールネジ
６８ モータ
７０ 上部チャンバ
７１ 支持枠
７２ シリンダ
７３ ガイド部材
７４ スライダ
７５ ナット部材
７６ 真空アダプタ
７７ 接着テープ搬送体
７８ 支持枠
７９ 軸
８０ バネ
８１ 押圧ローラ
８２ レール
８３ 貼り付けローラ
８４ 支持板
８５ シリンダ
８６ 支持枠
８７ モータ枠
P1 First adhesive tape cutting position P2 Second adhesive tape cutting position W Substrate (wafer)
T adhesive tape Th punch hole Ts separator a substrate supply / storage unit b positioning unit c substrate transport mechanism d adhesive tape pasting unit e substrate transport mechanism f adhesive tape cutting unit g adhesive tape pasting device 1 adhesive tape pasting device 2 machine Table 3 Storage cassette 4 Transfer robot 5 Positioning table 6 Rotating motor 7 Positioning sensor 8 Lower chamber 9 Holding table 10 Suction pad 11 Ventilation pipe 12 Belt 13 Cylinder 14 Support plate 15 Suction hand 16 Slider 17 Rail 18 Side plate 18a Opening 19 Adhesive tape Cutting table 19a Notch 19b Notch 20 Cylinder 21 Tape supply roll 22 Separator take-up roll 23 Tape take-up roll 24 Guide roller 25 Peeling roller 26 Guide roller 27 Guide roller 28 Opening hole 29 Sticking roller 3 Tape chuck mechanism 31 upper chuck 32 peel roller 33 cylinder 35 guide rollers 36 supporting frame 37 rail 38 slider 39 table top 40 cutter mechanism 41 slider 42 motor 43 ball screw 44 nut 45 rail 46 supporting plate 47 slider 50 cutter mechanism (adhesive tape cutting means)
51 Cutter Blade 52 Rotating Shaft 53 Motor 54 Drive Pulley 55 Driven Pulley 56 Belt 57 Motor Frame 57a Upper Projection 58 Support Frame 58a Bottom Plate 59 Cylinder 60 Slider 61 Rail 62 Cylinder 65 Support Plate 66 Rail 67 Ball Screw 68 Motor 70 Upper Chamber 71 Support Frame 72 Cylinder 73 Guide member 74 Slider 75 Nut member 76 Vacuum adapter 77 Adhesive tape carrier
78 Support frame
79 Shaft 80 Spring 81 Pressing roller 82 Rail 83 Sticking roller 84 Support plate 85 Cylinder 86 Support frame
87 Motor frame
