JP2016181373A - 発光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】出荷後に封止膜の封止能力が低下するリスクを減らす。【解決手段】発光部は基板に形成されており、有機層を有している。封止膜200は発光部を封止している。被覆層210は封止膜200の上に形成され、水分及び酸素の少なくとも一方により劣化する。保護膜220は被覆層210の上に形成され、水分の透過率が被覆層210よりも低い材料によって形成されている。被覆層210は、例えば蛍光性を有する有機材料を用いて形成されており、保護膜220は、例えば金属又は無機材料を用いて形成されている。【選択図】図5
Description
本発明は、発光装置に関する。
近年は、発光部に有機EL(Organic Electroluminescence)素子を有する発光装置の開発が進んでいる。有機EL素子は、有機層を、第1電極及び第2電極で挟んだ構成を有している。有機層は水分や酸素に弱いため、発光部は封止される必要がある。発光部を封止する方法の一つに、封止膜を用いる方法がある。封止膜を形成する方法としては、ALD(Atomic Layer Deposition)法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、又はスパッタリング法などの気相成膜法がある。
気相成膜法を用いて封止膜を形成した場合、異物が入るなどして、封止膜に欠陥が入る可能性がある。特許文献1には、この欠陥を検出するために封止膜の上に検査用導電膜を形成し、第2電極と検査用導電膜の間に直流又は交流の電圧を印加することが記載されている。
第2電極の上や第2電極が形成される前に異物が存在した場合、封止膜は、この異物、あるいは異物上に形成される第2電極の上に形成される。ここで、異物と第2電極の境目において、封止膜は薄くなりやすい。この場合、出荷後にこの薄くなった部分に亀裂が生じ、封止膜の封止能力が低下する恐れがある。しかし、特許文献1に記載の技術では、この薄くなった部分に孔が形成されていないと、異常と判定できない。このため、出荷前に特許文献1に記載の検査を行っても、出荷後に封止能力が低下するリスクを減らすことは難しい。
本発明が解決しようとする課題としては、出荷後に封止能力が低下するリスクを減らすことが一例として挙げられる。
請求項1に記載の発明は、基材と、
前記基材に形成され、有機層を有する発光部と、
前記発光部を封止する封止膜と、
前記封止膜の上に形成され、水分及び酸素の少なくとも一方により劣化する被覆層と、
前記被覆層の上に形成され、水分の透過率が前記被覆層よりも低い材料によって形成された保護膜と、
を備える発光装置である。
前記基材に形成され、有機層を有する発光部と、
前記発光部を封止する封止膜と、
前記封止膜の上に形成され、水分及び酸素の少なくとも一方により劣化する被覆層と、
前記被覆層の上に形成され、水分の透過率が前記被覆層よりも低い材料によって形成された保護膜と、
を備える発光装置である。
請求項5に記載の発明は、基材と、
前記基材に形成され、有機層を有する発光部と、
前記発光部を封止する封止膜と、
前記封止膜の上に形成され、蛍光性を有していて有機材料からなる被覆層と、
前記被覆層の上に形成され、金属又は無機材料を用いて形成された保護膜と、
を備える発光装置である。
前記基材に形成され、有機層を有する発光部と、
前記発光部を封止する封止膜と、
前記封止膜の上に形成され、蛍光性を有していて有機材料からなる被覆層と、
前記被覆層の上に形成され、金属又は無機材料を用いて形成された保護膜と、
を備える発光装置である。
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る発光装置10の構成を示す平面図である。図2は、図1から被覆層210、保護膜220、封止膜200、及び第2電極130を取り除いた図である。図3は、図2から絶縁層150及び有機層120を取り除いた図である。図4は図1のA−A断面図である。なお、図1において、説明のため、封止膜200、被覆層210、及び保護膜220は点線で示されている。
図1は、第1の実施形態に係る発光装置10の構成を示す平面図である。図2は、図1から被覆層210、保護膜220、封止膜200、及び第2電極130を取り除いた図である。図3は、図2から絶縁層150及び有機層120を取り除いた図である。図4は図1のA−A断面図である。なお、図1において、説明のため、封止膜200、被覆層210、及び保護膜220は点線で示されている。
本実施形態に係る発光装置10は、基板100(基材)、発光部140、封止膜200、被覆層210、及び保護膜220を備えている。発光部140は基板100に形成されており、有機層120を有している。封止膜200は発光部140を封止している。被覆層210は封止膜200の上に形成され、水分及び酸素の少なくとも一方により劣化する。保護膜220は被覆層210の上に形成され、水分の透過率が被覆層210よりも低い材料によって形成されている。被覆層210は、例えば蛍光性を有する有機材料を用いて形成されており、保護膜220は、例えば金属又は無機材料を用いて形成されている。以下、発光装置10について詳細に説明する。
発光装置10が後述のボトムエミッション型である場合、基板100は、例えばガラスや透光性の樹脂などの透光性の材料で形成されている。ただし、発光装置10が後述のトップエミッション型である場合、基板100は透光性を有さない材料で形成されていてもよい。基板100は、例えば矩形などの多角形である。ここで、基板100は可撓性を有していてもよい。基板100が可撓性を有している場合、基板100の厚さは、例えば10μm以上1000μm以下である。特に基板100をガラス材料で可撓性を持たせる場合、基板100の厚さは、例えば200μm以下である。基板100を樹脂材料で可撓性を持たせる場合は、基板100の材料として、例えばPEN(ポリエチレンナフタレート)、PES(ポリエーテルサルホン)、PET(ポリエチレンテレフタラート)、又はポリイミドを含ませる。また、基板100が樹脂材料を含む場合、水分が基板100を透過することを抑制するために、基板100の少なくとも発光面(好ましくは両面)に、SiNxやSiONなどの無機バリア膜が形成されている。
基板100には発光部140が形成されている。発光部140は、発光を生じさせるための構造、例えば有機EL素子を有している。この有機EL素子は、第1電極110、有機層120、及び第2電極130をこの順に積層させた構成を有している。
第1電極110は、光透過性を有する透明電極である。透明電極を構成する透明導電材料は、金属を含む材料、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、IWZO(Indium Tungsten Zinc Oxide)、ZnO(Zinc Oxide)等の金属酸化物である。第1電極110の厚さは、例えば10nm以上500nm以下である。第1電極110は、例えばスパッタリング法又は蒸着法を用いて形成される。なお、第1電極110は、カーボンナノチューブ、又はPEDOT/PSSなどの導電性有機材料であってもよい。
第2電極130は、例えば、Al、Au、Ag、Pt、Mg、Sn、Zn、及びInからなる第1群の中から選択される金属又はこの第1群から選択される金属の合金からなる金属層を含んでいる。この場合、第2電極130は遮光性を有している。第2電極130の厚さは、例えば10nm以上500nm以下である。ただし、第2電極130は、第1電極110の材料として例示した材料を用いて形成されていてもよい。第2電極130は、例えばスパッタリング法又は蒸着法を用いて形成される。
なお、上記した第1電極110及び第2電極130の材料は、基板100を光が透過する場合、すなわち発光装置10からの発光が基板100を透過して行われる場合(すなわちトムエミッション型)の例である。他の場合として、基板100とは逆側を光が透過する場合がある。すなわち、発光装置10からの発光が基板100を透過しないで行われる場合(トップエミッション型)である。トップエミッション型では、逆積型と、順積型との2種類の積層構造を採用できる。逆積型では、第1電極110の材料と第2電極130の材料はボトムエミッション型と逆になる。すなわち第1電極110の材料には上記した第2電極130の材料が用いられ、第2電極130の材料には上記した第1電極110の材料が用いられる。他方の順積型では、上記した第2電極130の材料の上に第1電極110の材料を形成し、更にその上に有機層120、さらにその上に薄く成膜した第2電極130を形成することで、基板100とは逆側から光を取出す構造である。なお、薄く成膜する材料は、例えば第2電極130の材料として例示した材料やMgAg合金などである。本実施形態にかかる発光装置10は、ボトムエミッション型、及び上記した2種類のトップエミッション型のいずれの構造であってもよい。
有機層120は、例えば、正孔注入層、発光層、及び電子注入層をこの順に積層させた構成を有している。正孔注入層と発光層との間には正孔輸送層が形成されていてもよい。また、発光層と電子注入層との間には電子輸送層が形成されていてもよい。有機層120は蒸着法で形成されてもよい。また、有機層120のうち少なくとも一つの層、例えば第1電極と接触する層は、インクジェット法、印刷法、又はスプレー法などの塗布法によって形成されてもよい。なお、この場合、有機層120の残りの層は、蒸着法によって形成されている。また、有機層120のすべての層が、塗布法を用いて形成されていてもよい。
発光装置10は、第1端子112及び第2端子132を有している。第1端子112は第1電極110に接続しており、第2端子132は第2電極130に接続している。第1端子112及び第2端子132は、例えば、第1電極110と同一の材料で形成された層を有している。なお、第1端子112と第1電極110の間には引出配線が設けられていてもよい。また、第2端子132と第2電極130の間にも引出配線が設けられていてもよい。
発光部140は、封止膜200によって封止されている。封止膜200は、基板100のうち発光部140が形成されている面に形成されており、発光部140を覆っている。ただし、第1端子112及び第2端子132は封止膜200で覆われていない。封止膜200は、例えば絶縁材料、さらに具体的には酸化アルミニウムや酸化チタンなどの無機材料によって形成されている。また、封止膜200の厚さは、好ましくは300nm以下である。また封止膜200の厚さは、例えば50nm以上である。
封止膜200は、例えばALD(Atomic Layer Deposition)法を用いて形成されている。この場合、封止膜200の段差被覆性は高くなる。またこの場合、封止膜200は、複数の層を積層した多層構造を有していてもよい。この場合、第1の材料(例えば酸化アルミニウム)からなる第1封止層と、第2の材料(例えば酸化チタン)からなる第2封止層とを繰り返し積層した構造を有していてもよい。最下層は第1封止層及び第2封止層のいずれであってもよい。また、最上層も第1封止層及び第2封止層のいずれであってもよい。また、封止膜200は第1の材料と第2の材料の混在する単層であってもよい。
ただし、封止膜200は、他の成膜法、例えばCVD法やスパッタリング法を用いて形成されていてもよい。この場合、封止膜200は、SiO2又はSiNなど絶縁膜によって形成されており、その膜厚は、例えば10nm以上1000nm以下である。
そして、封止膜200のうち少なくとも発光部140と重なる領域には、被覆層210及び保護膜220が形成されている。図1及び図4に示す例において、封止膜200は、基板100のうち第1端子112と重なる領域及び第2端子132と重なる領域を除いたほぼ全域に形成されている。これに対して被覆層210及び保護膜220は、発光部140と重なる領域及びその周囲に設けられている。言い換えると、被覆層210及び保護膜220は、封止膜200の一部の領域を覆っていない。ただし、被覆層210及び保護膜220も、基板100のうち第1端子112と重なる領域及び第2端子132と重なる領域を除いたほぼ全域に形成されていてもよい。
被覆層210は、水分及び酸素の少なくとも一方により劣化する材料を用いて形成されている。この材料は、例えば蛍光性を有している有機材料、具体的には有機層120を構成するいずれかの層(例えば発光層)と同一の材料である。被覆層210の材料には、例えば、Alq3(tris(8-hydroxyquinolinato)aluminium)等を用いることができる。この場合、発光装置10の製造コストを低くすることができる。ただし、被覆層210は他の材料を用いて形成されていてもよい。被覆層210は例えば単層構造を有しており、その厚さは、例えば10μm以上100μm以下である。
保護膜220は、水分の透過率が前記被覆層よりも低い材料、例えば金属又は無機材料を用いて形成されている。この金属材料又は無機材料には、例えばAl、Ag、MgAg合金、Au、Cu、SiO2、SiN、又はSiONが用いられる。そして保護膜220は、例えばCVD法又は真空蒸着法を用いて形成されている。保護膜220は、例えば短層構造である。また、保護膜220の厚さは、例えば50μm以上300μm以下である。
次に、発光装置10の製造方法を説明する。まず、基板100上に第1電極110を形成する。この工程において、第1端子112及び第2端子132も形成される。次いで、絶縁層150、有機層120、及び第2電極130をこの順に形成する。
次いで、封止膜200を、例えば、CVD法、スパッタリング法、ALD法などの成膜法を用いて形成する。このとき、封止膜200は発光部140と重なる領域を含めて、基板100のほぼ全面に形成される。
次いで、封止膜200の上に被覆層210を形成する。被覆層210が有機層で形成される場合、被覆層210は、蒸着法又は塗布法を用いて形成される。次いで、被覆層210の上に保護膜220を、例えば真空蒸着法又はCVD法を用いて形成する。ここで、被覆層210及び保護膜220は、封止膜200と比較して段差被覆性が低い成膜方法を用いて形成される。
その後、封止膜200のうち、第1端子112及び第2端子132と重なる部分を除去する。なお、この除去工程は、封止膜200を形成した後、被覆層210を形成する前に行われてもよい。
図5は、図4の点線αで囲まれた領域を拡大した図である。上記したように、発光部140の上(具体的には第2電極130の上)には、封止膜200が形成されている。ここで、第2電極130の上に異物Mが位置していた場合、または第2電極130が形成される前に異物Mが形成されていた場合(異物Mのサイズは、一般的に、発光装置10の有機層120や第2電極130の膜厚のオーダーの数十〜数百倍となるため、異物Mの場所が第2電極130の上であるかの如何を問わない)、封止膜200は、異物Mを覆うように形成される。ここで、封止膜200は段差被覆性の高い方法で形成されているため、第2電極130の上に異物Mが位置していても、第2電極130及び異物Mを隙間なく覆うことができる場合がある。このような場合において、例えば発光装置10が工場から出荷された後に、異物Mが第2電極130の上から移動すると、封止膜200にピンホールが形成されてしまう。このような理由で形成されたピンホールは、工場における出荷前検査では検出できない。
これに対して本実施形態では、封止膜200の上には被覆層210及び保護膜220が形成されている。被覆層210及び保護膜220は、封止膜200よりも段差被覆性が低い方法を用いて形成されている。このため、異物Mが存在した場合、異物Mの周囲において被覆層210及び保護膜220には不連続な部分(隙間S)が形成される。
ここで、被覆層210は水分及び酸素の少なくとも一方により劣化する材料を用いて形成されている。このため、保護膜220に隙間Sが形成されていると、隙間Sから酸素又は水分が入り込み、図6に示すように、被覆層210のうち異物Mの周囲に位置する部分が劣化し、劣化部212となる。このため、劣化部212の有無を調べることにより、異物Mの有無を判断することができる。ここで被覆層210が蛍光性を有している場合、劣化部212は蛍光性を失う。このため、被覆層210に、被覆層210が蛍光を発するための波長の光を照射し、被覆層210のうち蛍光を発しない部分の有無を調べることにより、異物Mの有無を判断することができる。この検査は、例えば目視や画像検査により行われる。従って、劣化部212を有する発光装置10を不良品にすることにより、発光装置10が工場から出荷された後に被覆層210にピンホールが形成されることを抑制できる。
なお、被覆層210は段差被覆性が高い方法により形成されていてもよい。この場合においても、保護膜220に隙間Sが形成されていると、上記したメカニズムによって異物Mの有無を例えば目視で判定することができる。
(第2の実施形態)
図7は、第2の実施形態に係る発光装置10の平面図である。図8は、図7から隔壁170、第2電極130、有機層120、及び絶縁層150を取り除いた図である。図9は図7のB−B断面図であり、図10は図7のC−C断面図であり、図11は図7のD−D断面図である。なお、図9、図10、及び図11において、封止膜200、被覆層210、及び保護膜220は省略されている。
図7は、第2の実施形態に係る発光装置10の平面図である。図8は、図7から隔壁170、第2電極130、有機層120、及び絶縁層150を取り除いた図である。図9は図7のB−B断面図であり、図10は図7のC−C断面図であり、図11は図7のD−D断面図である。なお、図9、図10、及び図11において、封止膜200、被覆層210、及び保護膜220は省略されている。
本実施形態に係る発光装置10はディスプレイであり、基板100、第1電極110、発光部140、絶縁層150、複数の開口152、複数の開口154、複数の引出配線114、有機層120、第2電極130、複数の引出配線134、及び複数の隔壁170を有している。
第1電極110は、第1方向(図7におけるY方向)にライン状に延在している。そして第1電極110の端部は、引出配線114に接続している。
引出配線114は、第1電極110を第1端子112に接続する配線である。本図に示す例では、引出配線114の一端側は第1電極110に接続しており、引出配線114の他端側は第1端子112となっている。本図に示す例において、第1電極110及び引出配線114は一体になっている。そして引出配線114の上には、導体層180が形成されている。導体層180は、第1電極110よりも抵抗の低い金属、例えばAl又はAgを用いて形成されている。導体層180は、複数の層を積層した構成(例えばMo合金層、Al合金層、及びMo合金層をこの順に積層した構成)を有していてもよい。なお、引出配線114の一部は絶縁層150によって覆われている。
絶縁層150は、図7、及び図9〜図11に示すように、複数の第1電極110上及びその間の領域に形成されている。絶縁層150には、複数の開口152及び複数の開口154が形成されている。複数の第2電極130は、第1電極110と交差する方向(例えば直交する方向:図7におけるX方向)に互いに平行に延在している。そして、複数の第2電極130の間には、詳細を後述する隔壁170が延在している。開口152は、平面視で第1電極110と第2電極130の交点に位置している。具体的には、複数の開口152は、第1電極110が延在する方向(図7におけるY方向)に並んでいる。また、複数の開口152は、第2電極130の延在方向(図7におけるX方向)にも並んでいる。このため、複数の開口152はマトリクスを構成するように配置されていることになる。
開口154は、平面視で複数の第2電極130のそれぞれの一端側と重なる領域に位置している。また開口154は、開口152が構成するマトリクスの一辺に沿って配置されている。そしてこの一辺に沿う方向(例えば図7におけるY方向、すなわち第1電極110に沿う方向)で見た場合、開口154は、所定の間隔で配置されている。開口154からは、引出配線134の一部分が露出している。そして、引出配線134は、開口154を介して第2電極130に接続している。
引出配線134は、第2電極130を第2端子132に接続する配線であり、第1電極110と同一の材料からなる層を有している。引出配線134の一端側は開口154の下に位置しており、引出配線134の他端側は、絶縁層150の外部に引き出されている。そして本図に示す例では、引出配線134の他端側が第2端子132となっている。そして引出配線134の上にも、導体層180が形成されている。なお、引出配線134の一部は絶縁層150によって覆われている。
開口152と重なる領域には、有機層120が形成されている。有機層120の正孔注入層は第1電極110に接しており、有機層120の電子注入層は第2電極130に接している。このため、発光部140は、開口152と重なる領域それぞれに位置していることになる。
なお、図9及び図10に示す例では、有機層120を構成する各層は、いずれも開口152の外側まではみ出している場合を示している。そして図7に示すように、有機層120は、隔壁170が延在する方向において、隣り合う開口152の間にも連続して形成されていてもよいし、連続して形成していなくてもよい。ただし、図11に示すように、有機層120は、開口154には形成されていない。
第2電極130は、図7、図9〜図11に示すように、第1方向と交わる第2方向(図7におけるX方向)に延在している。そして隣り合う第2電極130の間には、隔壁170が形成されている。隔壁170は、第2電極130と平行すなわち第2方向に延在している。隔壁170の下地は、例えば絶縁層150である。隔壁170は、例えばポリイミド系樹脂などの感光性の樹脂であり、露光及び現像されることによって、所望のパターンに形成されている。なお、隔壁170はポリイミド系樹脂以外の樹脂、例えばエポキシ系樹脂やアクリル系樹脂、二酸化珪素等の無機材料で構成されていても良い。
隔壁170は、断面が台形の上下を逆にした形状(逆台形)になっている。すなわち隔壁170の上面の幅は、隔壁170の下面の幅よりも大きい。このため、隔壁170を第2電極130より前に形成しておくと、蒸着法やスパッタリング法を用いて、第2電極130を基板100の一面側に形成することで、複数の第2電極130を一括で形成することができる。また、隔壁170は、有機層120を分断する機能も有している。
そして、発光装置10は封止膜200、被覆層210、及び保護膜220を有している。封止膜200、被覆層210、及び保護膜220の構成及びレイアウトは、第1の実施形態に示した通りである。ただし本実施形態では、第1端子112及び第2端子132は、基板100のうち同一の辺に沿って配置されている。そして、封止膜200のうち第1端子112と重なっている部分及び第2端子132と重なっている部分には、いずれも開口202が形成されている。開口202は、封止膜200のうち第1端子112と重なる部分(又は第2端子132と重なる部分)が除去されることにより、形成されている。
次に、本実施形態における発光装置10の製造方法を説明する。まず、基板100上に第1電極110、引出配線114,134を形成する。これらの形成方法は、第1の実施形態において第1電極110を形成する方法と同様である。
次いで、引出配線114上及び引出配線134上に、導体層180を形成する。次いで、絶縁層150を形成し、さらに隔壁170を形成する。次いで有機層120及び第2電極130を形成する。これらの形成方法は、第1の実施形態と同様である。
そして、封止膜200、被覆層210、及び保護膜220を形成する。次いで、被覆層210に劣化部212が形成されているか否かを検査する。この検査方法も、第1の実施形態と同様である。
本実施形態によれば、発光部140を用いたディスプレイにおいて、第1の実施形態と同様に、封止膜200の下に異物Mが位置しているか否かを調べることができる。このため、発光装置10が工場から出荷された後に被覆層210にピンホールが形成されることを抑制できる。
以上、図面を参照して実施形態及び実施例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
10 発光装置
100 基板
110 第1電極
120 有機層
130 第2電極
140 発光部
200 封止膜
210 被覆層
212 劣化部
220 保護膜
100 基板
110 第1電極
120 有機層
130 第2電極
140 発光部
200 封止膜
210 被覆層
212 劣化部
220 保護膜
Claims (9)
- 基材と、
前記基材に形成され、有機層を有する発光部と、
前記発光部を封止する封止膜と、
前記封止膜の上に形成され、水分及び酸素の少なくとも一方により劣化する被覆層と、
前記被覆層の上に形成され、水分の透過率が前記被覆層よりも低い材料によって形成された保護膜と、
を備える発光装置。 - 請求項1に記載の発光装置において、
前記被覆層は蛍光性を有している有機材料を用いて形成されている発光装置。 - 請求項2に記載の発光装置において、
前記有機材料は、前記有機層の少なくとも一部の層と同一の材料である発光装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の発光装置において、
前記封止膜は無機材料により形成されており、
前記保護膜は、金属又は無機材料を用いて形成されている発光装置。 - 基材と、
前記基材に形成され、有機層を有する発光部と、
前記発光部を封止する封止膜と、
前記封止膜の上に形成され、蛍光性を有していて有機材料からなる被覆層と、
前記被覆層の上に形成され、金属又は無機材料を用いて形成された保護膜と、
を備える発光装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の発光装置において、
前記封止膜は多層構造を有しており、
前記封止膜を構成する複数の層のそれぞれは、前記保護膜よりも薄い発光装置。 - 請求項6に記載の発光装置において、
前記保護膜は単層構造を有している発光装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の発光装置において、
前記封止膜はALD(Atomic Layer Deposition)法を用いて形成されており、
前記保護膜はCVD法又は真空蒸着法を用いて形成されている発光装置。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の発光装置において、
前記封止膜は前記発光部及び前記発光部の周囲に位置する領域に形成されており、
前記被覆層は、前記封止膜のうち前記発光部と重なる領域に形成されており、かつ前記封止膜の一部を覆っていない発光装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018181668A (ja) * | 2017-04-17 | 2018-11-15 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置、及び表示装置の製造方法 |
CN110048017A (zh) * | 2019-04-01 | 2019-07-23 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板和显示面板的封装方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004307857A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-11-04 | Rikogaku Shinkokai | 蛍光性ポリイミド |
JP2008243379A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-09 | Sharp Corp | 有機エレクトロルミネセンス装置及びその製造方法 |
US20110140164A1 (en) * | 2009-12-14 | 2011-06-16 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Organic light emitting apparatus and method of manufacturing organic light emitting apparatus |
US20140048780A1 (en) * | 2012-08-20 | 2014-02-20 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting diode display and manufacturing method thereof |
JP2014103111A (ja) * | 2012-11-19 | 2014-06-05 | Samsung Display Co Ltd | 有機発光表示装置、及び有機発光表示装置の製造方法 |
WO2014136969A1 (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-12 | コニカミノルタ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
WO2014196137A1 (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-11 | 株式会社アルバック | 素子構造体及びその製造方法 |
WO2015037463A1 (ja) * | 2013-09-12 | 2015-03-19 | コニカミノルタ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 |
-
2015
- 2015-03-24 JP JP2015060483A patent/JP2016181373A/ja active Pending
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004307857A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-11-04 | Rikogaku Shinkokai | 蛍光性ポリイミド |
JP2008243379A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-09 | Sharp Corp | 有機エレクトロルミネセンス装置及びその製造方法 |
US20110140164A1 (en) * | 2009-12-14 | 2011-06-16 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Organic light emitting apparatus and method of manufacturing organic light emitting apparatus |
JP2011124228A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Samsung Mobile Display Co Ltd | 有機発光装置の製造方法及び有機発光装置 |
US20140048780A1 (en) * | 2012-08-20 | 2014-02-20 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting diode display and manufacturing method thereof |
JP2014103111A (ja) * | 2012-11-19 | 2014-06-05 | Samsung Display Co Ltd | 有機発光表示装置、及び有機発光表示装置の製造方法 |
US8772824B2 (en) * | 2012-11-19 | 2014-07-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display system and method of manufacturing the same |
WO2014136969A1 (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-12 | コニカミノルタ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
US20160005997A1 (en) * | 2013-03-08 | 2016-01-07 | Konica Minolta, Inc. | Organic electroluminescent element and method of manufacturing organic electroluminescent element |
WO2014196137A1 (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-11 | 株式会社アルバック | 素子構造体及びその製造方法 |
US20160126495A1 (en) * | 2013-06-07 | 2016-05-05 | Ulvac, Inc. | Device structure and method of producing the same |
WO2015037463A1 (ja) * | 2013-09-12 | 2015-03-19 | コニカミノルタ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018181668A (ja) * | 2017-04-17 | 2018-11-15 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置、及び表示装置の製造方法 |
CN110048017A (zh) * | 2019-04-01 | 2019-07-23 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板和显示面板的封装方法 |
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