JP2016176857A - リーク検査装置リーク検査方法 - Google Patents
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Description
前記第1空間は密閉状態に維持し、
検査対象の交換は、前記第2空間と前記第3空間をそれぞれ密閉し、前記検査対象を含む第4空間から切り離してから行い、
交換後の検査対象のリーク検査は、前記第4空間を前記目標の圧力に加圧してから前記第3空間に連通させ、さらに第3空間を前記第2空間に連通させて行う
ことを特徴とするリーク検査方法。
ことを特徴とする[1]に記載のリーク検査方法。
ことを特徴とする[1]または[2]に記載のリーク検査方法。
ことを特徴とする[1]乃至[3]のいずれか1つに記載のリーク検査方法。
前記第4空間から前記第3空間に通じる気体通路は上方から前記第3空間に向かうように配設される
ことを特徴とする[4]に記載のリーク検査方法。
ことを特徴とする[1]乃至[5]のいずれか1つに記載のリーク検査方法。
ことを特徴とする[1]乃至[6]のいずれか1つに記載のリーク検査方法。
前記第4空間を前記目標圧力に加圧するときに排気弁から気体を逃がしながら加圧する
ことを特徴とする[1]乃至[7]のいずれか1つに記載のリーク検査方法。
ことを特徴とする[8]に記載のリーク検査方法。
前記差圧センサの一方の接続口に接続された第1空間と、
前記第1空間を圧縮エア源に通じた状態と密閉状態とに切り替える第1開閉弁と、
前記差圧センサの他方の接続口に接続された第2空間と、
前記第3空間と、
前記第2空間を、前記第3空間に連通させるか密閉状態にするかを切り替える第2開閉弁と、
検査対象が着脱可能に接続された第4空間と、
前記第4空間を、前記第3空間に連通させるか否かを切り替える第3開閉弁と、
前記第4空間を圧縮エア源に連通させるか否かを切り替える加圧弁と、
を有する
ことを特徴とするリーク検査装置。
前記第1開閉弁を閉じて前記第1空間を密閉状態に維持し、
前記検査対象の交換は、前記第2開閉弁および前記第3開閉弁を閉じて前記第2空間および前記第3空間をそれぞれ密閉状態にしてから行い、
交換後の検査対象のリーク検査は、前記第4空間を前記目標の圧力に加圧してから前記加圧弁を閉じ、かつ、前記第3開閉弁を開き、さらに前記第2開閉弁を開いて、前記第4空間を前記第3空間を通じて前記第2空間に連通させて行う
ことを特徴とする[10]に記載のリーク検査装置。
ことを特徴とする[11]に記載のリーク検査装置。
ことを特徴とする[11]または[12]に記載のリーク検査装置。
ことを特徴とする[11]乃至「13」のいずれか1つに記載のリーク検査装置。
前記第4空間から前記第3空間に通じる気体通路は上方から前記第3空間に向かうように配設される
ことを特徴とする[14]に記載のリーク検査装置。
前記交換後の検査対象のリーク検査において前記第4空間を前記目標の圧力に加圧するとき、前記目標の圧力より高い圧力まで加圧した後、前記第4空間を、前記第3空間を通じて前記第2空間に連通させ、前記第4空間に設けた排気弁から少しずつ気体を逃がして、前記差圧センサの検出値に基づいて前記目標の圧力に調整する
ことを特徴とする[11]乃至[15]のいずれか1つに記載のリーク検査装置。
ことを特徴とする[10]乃至[16]のいずれか1つに記載のリーク検査装置。
前記第4空間を前記目標圧力に加圧するときに排気弁から気体を逃がしながら加圧する
ことを特徴とする[10]乃至[17]のいずれか1つに記載のリーク検査装置。
ことを特徴とする[18]に記載のリーク検査装置。
細孔から漏れる流量は粘性係数を用いて計算することができる。
ΔP(以下、水ΔPとする)=[細孔入口圧]−[細孔出口圧](Pa Abs)=300000(Pa Abs)
とすると、
[水の漏れ量]=π×[細孔の直径]4×[水ΔP]/(128×[水のμ]×[細孔の長さ])
=3.14×0.0001[m]4×(300000[Pa Abs])/(128×0.0010050[Pa・s]×0.001[m]
=0.00000073[m3/s]=0.73[ml/s]、となる。
=744225(Pa Abs)
[空気の漏れ量]=π×[細孔の直径]4×[空気ΔP]/(128×[空気のμ]×[細孔の長さ])
=3.14×0.0001[m]4×(744225[Pa Abs])/(128×0.0000181[Pa・s]×0.001[m]
=0.00010087[m3/s]=100.87[ml/s]、となる。
[空気の漏れ量]=[水の漏れ量]×[換算係数]
[換算係数]=[空気の漏れ量]/[水の漏れ量]
=([細孔入口圧]2-[細孔出口圧]2)×[水のμ]/(2×[細孔入口圧]×[空気のμ]×([細孔入口圧]−[細孔出口圧]))
=137.7(=100.87/0.73) となる。
[換算係数]=[空気の漏れ量]/[水の漏れ量]は、
[空気の漏れ量]=π×[細孔の直径]4×[空気ΔP]/(128×[空気のμ]×[細孔の長さ])
[水の漏れ量]=π×[細孔の直径]4×[水ΔP]/(128×[水のμ]×[細孔の長さ]) なので、
[換算係数]=([空気ΔP]×[水のμ])/([空気のμ]×[水ΔP])
で表される。計算すると、
[換算係数]=29.28(=292.8/10) となり、
許容気体漏れ量([空気の漏れ量])=292.8[ml/h] として求められる。
A:高耐圧(片耐圧が例えば1000KPa以上)で、誤差250Pa、測定精度(誤差)0.025%/フルスケールの第2圧力センサ24を用いる場合
B:高耐圧(片耐圧が例えば1000KPa以上)で、わずかな差圧を判別できる(誤差2.5Pa、測定精度(誤差)0.00025%/フルスケール)差圧センサを用いる場合
を比較して説明する。
空気ΔP=([901550±250 Pa Abs]2-[101300 Pa Abs]2)/(2×[901300±250 Pa Abs])
[換算係数]=[空気ΔP]×[水のμ]/[空気のμ]×[水ΔP]で表される。計算すると、
[換算係数]=(([901550-250 Pa Abs]2-[101300 Pa Abs]2)/(2×[901300-250 Pa Abs])×[水のμ]/[空気のμ]×[水ΔP]、となる。
空気ΔP=([901550±2.5 Pa Abs]2-[101300 Pa Abs]2)/(2×[901300±2.5 Pa Abs])
[換算係数]=[空気ΔP]×[水のμ]/[空気のμ]×[水ΔP]で表され、計算すると、
[換算係数]=(([901550-2.5 Pa Abs]2-[101300 Pa Abs]2)/(2×[901300-2.5 Pa Abs])×[水のμ]/[空気のμ]×[水ΔP]、となる。
5…リーク検査装置
11…主管路
11a…接続口
12…排気管
12a…排気ポート
13…第1分岐管
14…第2分岐管
21…電空レギュレータ
22…第1圧力センサ
24…第2圧力センサ
26…差圧センサ
28…手動弁
31…第1開閉弁
32…第2開閉弁
33…第3開閉弁
34…第4開閉弁
35…加圧弁
36…排気弁
40…恒温槽
51…第1空間
52…第2空間
53…第3空間
54…第4空間
55…第5空間
M…マスタ
W…ワーク
Claims (19)
- 差圧センサの両側の第1空間と第2空間と該第2空間に連通した第3空間に同時に気体を加圧導入して前記第1空間と前記第2空間と前記第3空間を目標の圧力に加圧した後、
前記第1空間は密閉状態に維持し、
検査対象の交換は、前記第2空間と前記第3空間をそれぞれ密閉し、前記検査対象を含む第4空間から切り離してから行い、
交換後の検査対象のリーク検査は、前記第4空間を前記目標の圧力に加圧してから前記第3空間に連通させ、さらに第3空間を前記第2空間に連通させて行う
ことを特徴とするリーク検査方法。 - 前記検査対象の交換の際に前記第4空間を切り離した後であって前記リーク検査において前記第4空間を前記目標の圧力に加圧する前に、前記第4空間を掃気する
ことを特徴とする請求項1に記載のリーク検査方法。 - 前記第1空間と前記第2空間は、同一の放熱係数を有する
ことを特徴とする請求項1または2に記載のリーク検査方法。 - 前記差圧センサと前記第1空間と前記第2空間と前記第3空間を恒温槽に入れておく
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載のリーク検査方法。 - 前記恒温槽は気体を冷却し、
前記第4空間から前記第3空間に通じる気体通路は上方から前記第3空間に向かうように配設される
ことを特徴とする請求項4に記載のリーク検査方法。 - 前記交換後の検査対象のリーク検査において前記第4空間を前記目標の圧力に加圧するとき、前記目標の圧力より高い圧力まで加圧した後、前記第4空間を、前記第3空間を通じて前記第2空間に連通させ、前記第4空間に設けた排気弁から少しずつ気体を逃がして、前記差圧センサの検出値に基づいて前記目標の圧力に調整する
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1つに記載のリーク検査方法。 - 前記第1空間の容積は、前記検査対象の容積に比べて小さい
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1つに記載のリーク検査方法。 - 前記第4空間に設けられた排気弁に向かう気体通路の途中の分岐箇所であって分岐した分岐管が前記第4空間を前記目標圧力に加圧するときに行き止まりにされる分岐箇所に、上流から到来する気体が前記分岐管に流れ込み、前記分岐管内に滞留している気体を巻き込んで排気弁側の気体通路に出ていくような気体の流れを生成する滞留防止機構を設け、
前記第4空間を前記目標圧力に加圧するときに排気弁から気体を逃がしながら加圧する
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1つに記載のリーク検査方法。 - 前記分岐管は、前記第3空間との境界に設けられた開閉弁に至る管路、もしくは、前記検査対象に至る管路である
ことを特徴とする請求項8に記載のリーク検査方法。 - 差圧センサと、
前記差圧センサの一方の接続口に接続された第1空間と、
前記第1空間を圧縮エア源に通じた状態と密閉状態とに切り替える第1開閉弁と、
前記差圧センサの他方の接続口に接続された第2空間と、
第3空間と、
前記第2空間を、前記第3空間に連通させるか密閉状態にするかを切り替える第2開閉弁と、
検査対象が着脱可能に接続された第4空間と、
前記第4空間を、前記第3空間に連通させるか否かを切り替える第3開閉弁と、
前記第4空間を圧縮エア源に連通させるか否かを切り替える加圧弁と、
を有する
ことを特徴とするリーク検査装置。 - 前記第1開閉弁、前記第2開閉弁、前記第3開閉弁、前記加圧弁を開いた状態で圧縮エア源から前記第1空間と前記第2空間と前記第3空間と前記第4空間に同時に気体を加圧導入して前記第1空間と前記第2空間と前記第3空間と前記第4空間を目標の圧力に加圧した後、
前記第1開閉弁を閉じて前記第1空間を密閉状態に維持し、
前記検査対象の交換は、前記第2開閉弁および前記第3開閉弁を閉じて前記第2空間および前記第3空間をそれぞれ密閉状態にしてから行い、
交換後の検査対象のリーク検査は、前記第4空間を前記目標の圧力に加圧してから前記加圧弁を閉じ、かつ、前記第3開閉弁を開き、さらに前記第2開閉弁を開いて、前記第4空間を前記第3空間を通じて前記第2空間に連通させて行う
ことを特徴とする請求項10に記載のリーク検査装置。 - 前記検査対象の交換の際に前記第2開閉弁および前記第3開閉弁を閉じ後であって前記リーク検査において前記第4空間を前記目標の圧力に加圧する前に、前記第4空間を掃気する
ことを特徴とする請求項11に記載のリーク検査装置。 - 前記第1空間と前記第2空間は、同一の放熱係数を有する
ことを特徴とする請求項11または12に記載のリーク検査装置。 - 前記差圧センサと前記第1空間と前記第2空間と前記第3空間と前記第1開閉弁と前記第2開閉弁を収容する恒温槽をさらに有する
ことを特徴とする請求項11乃至13のいずれか1つに記載のリーク検査装置。 - 前記恒温槽は気体を冷却し、
前記第4空間から前記第3空間に通じる気体通路は上方から前記第3空間に向かうように配設される
ことを特徴とする請求項14に記載のリーク検査装置。 - 前記第4空間に排気弁を設け、
前記交換後の検査対象のリーク検査において前記第4空間を前記目標の圧力に加圧するとき、前記目標の圧力より高い圧力まで加圧した後、前記第4空間を、前記第3空間を通じて前記第2空間に連通させ、前記第4空間に設けた排気弁から少しずつ気体を逃がして、前記差圧センサの検出値に基づいて前記目標の圧力に調整する
ことを特徴とする請求項11乃至15のいずれか1つに記載のリーク検査装置。 - 前記第1空間の容積は、前記検査対象の容積に比べて小さい
ことを特徴とする請求項10乃至16のいずれか1つに記載のリーク検査装置。 - 前記第4空間に設けられた排気弁に向かう気体通路の途中の分岐箇所であって分岐した分岐管が前記第4空間を前記目標圧力に加圧するときに行き止まりにされる分岐箇所に、上流から到来する気体が前記分岐管に流れ込み、前記分岐管内に滞留している気体を巻き込んで排気弁側の気体通路に出ていくような気体の流れを生成する滞留防止機構を設け、
前記第4空間を前記目標圧力に加圧するときに排気弁から気体を逃がしながら加圧する
ことを特徴とする請求項10乃至17のいずれか1つに記載のリーク検査装置。 - 前記分岐管は、前記第3開閉弁に至る管路、もしくは、前記検査対象の接続箇所に至る管路である
ことを特徴とする請求項18に記載のリーク検査装置。
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