JP6373209B2 - リーク検査装置リーク検査方法 - Google Patents
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前記差圧センサの一方の接続口に接続された配管内部の第1空間と、
前記第1空間を圧縮エア源に通じた状態と密閉状態とに切り替える第1開閉弁と、
前記差圧センサの他方の接続口に接続された配管内部の第2空間と、
検査対象が着脱可能に接続される配管内部の空間と検査対象の内部空間を合わせた第3空間と、
前記第2空間を、前記第3空間に通じた状態と密閉状態とに切り替える第2開閉弁と、
前記第3空間を圧縮エア源に連通させるか否かを切り替える第3開閉弁と、
を有するリーク検査装置において、
前記第1空間と前記第2空間に同時に気体を加圧導入して前記第1空間と前記第2空間を目標の圧力に加圧した後、
前記第1空間は複数の検査対象の検査が完了するまで密閉状態に維持し、
検査対象の交換は、前記第2空間を密閉状態にすることで、前記第3空間を前記第2空間から切り離してから行い、
交換後の検査対象のリーク検査は、前記第3空間を前記目標の圧力に加圧してから前記第2空間に連通させて行う
ことを特徴とするリーク検査方法。
ことを特徴とする[1]に記載のリーク検査方法。
ことを特徴とする[1]または[2]に記載のリーク検査方法。
[4]前記目標の圧力より高い圧力まで加圧する際に、前記第3空間内の圧力を測定する圧力計の測定値が前記圧力計で生じる測定誤差分だけ前記目標の圧力より高い圧力値になるまで加圧する
ことを特徴とする[3]に記載のリーク検査方法。
ことを特徴とする[1]乃至[4]のいずれか1つに記載のリーク検査方法。
ことを特徴とする[1]乃至[5]のいずれか1つに記載のリーク検査方法。
前記差圧センサの一方の接続口に接続された配管内部の第1空間と、
前記第1空間を圧縮エア源に通じた状態と密閉状態とに切り替える第1開閉弁と、
前記差圧センサの他方の接続口に接続された配管内部の第2空間と、
検査対象が着脱可能に接続される配管内部の空間と検査対象の内部空間を合わせた第3空間と、
前記第2空間を、前記第3空間に通じた状態と密閉状態とに切り替える第2開閉弁と、
前記第3空間を圧縮エア源に連通させるか否かを切り替える第3開閉弁と、
を有し、
前記第1開閉弁、前記第2開閉弁、前記第3開閉弁を開いた状態で圧縮エア源から前記第1空間と前記第2空間と前記第3空間に同時に気体を加圧導入して前記第1空間と前記第2空間と前記第3空間を目標の圧力に加圧した後、
前記第1開閉弁を閉じて前記第1空間を複数の検査対象の検査が完了するまで密閉状態に維持し、
前記検査対象の交換は、前記第2開閉弁を閉じて前記第2空間を密閉状態にすることで、前記第3空間を前記第2空間から切り離してから行い、
交換後の検査対象のリーク検査は、前記第3空間を前記目標の圧力に加圧してから前記第3開閉弁を閉じ、かつ、前記第2開閉弁を開いて前記第3空間を前記第2空間に連通させて行う
ことを特徴とするリーク検査装置。
ことを特徴とする[7]に記載のリーク検査装置。
前記交換後の検査対象のリーク検査において前記第3空間を前記目標の圧力に加圧するとき、前記目標の圧力より高い圧力まで加圧した後、前記第2開閉弁を開き、前記排気弁から少しずつ気体を逃がして、前記差圧センサの検出値に基づいて前記目標の圧力に調整する
ことを特徴とする[7]または[8]に記載のリーク検査装置。
[10]前記目標の圧力より高い圧力まで加圧する際に、前記第3空間内の圧力を測定する圧力計の測定値が前記圧力計で生じる測定誤差分だけ前記目標の圧力より高い圧力値になるまで加圧する
ことを特徴とする[9]に記載のリーク検査装置。
ことを特徴とする[7]乃至[10]のいずれか1つに記載のリーク検査装置。
ことを特徴とする[7]乃至[11]のいずれか1つに記載のリーク検査装置。
図5は、本発明の実施の形態の変形例に係るリーク検査装置5Bの概略構成を示している。図1に示すリーク検査装置5と同一部分には同一の符号を付してあり、それらの説明は省略する。リーク検査装置5Bでは、差圧センサ26の両側はバイパス管15で接続されており、このバイパス管15の途中には該バイパス管15を封鎖状態と開通状態とに切り替えるノーマルオープン型エアオペレート式のバルブ(スプリングリターン単動作動形)を用いた第4開閉弁35が設けてある。
細孔から漏れる流量は粘性係数を用いて計算することができる。
ΔP(以下、水ΔPとする)=[細孔入口圧]−[細孔出口圧](Pa Abs)=300000(Pa Abs)
とすると、
[水の漏れ量]=π×[細孔の直径]4×[水ΔP]/(128×[水のμ]×[細孔の長さ])
=3.14×0.0001[m]4×(300000[Pa Abs])/(128×0.0010050[Pa・s]×0.001[m]
=0.00000073[m3/s]=0.73[ml/s]、となる。
=744225(Pa Abs)
[空気の漏れ量]=π×[細孔の直径]4×[空気ΔP]/(128×[空気のμ]×[細孔の長さ])
=3.14×0.0001[m]4×(744225[Pa Abs])/(128×0.0000181[Pa・s]×0.001[m]
=0.00010087[m3/s]=100.87[ml/s]、となる。
[空気の漏れ量]=[水の漏れ量]×[換算係数]
[換算係数]=[空気の漏れ量]/[水の漏れ量]
=([細孔入口圧]2-[細孔出口圧]2)×[水のμ]/(2×[細孔入口圧]×[空気のμ]×([細孔入口圧]−[細孔出口圧]))
=137.7(=100.87/0.73) となる。
[換算係数]=[空気の漏れ量]/[水の漏れ量]は、
[空気の漏れ量]=π×[細孔の直径]4×[空気ΔP]/(128×[空気のμ]×[細孔の長さ])
[水の漏れ量]=π×[細孔の直径]4×[水ΔP]/(128×[水のμ]×[細孔の長さ]) なので、
[換算係数]=([空気ΔP]×[水のμ])/([空気のμ]×[水ΔP])
で表される。計算すると、
[換算係数]=29.28(=292.8/10) となり、
許容気体漏れ量([空気の漏れ量])=292.8[ml/h] として求められる。
A:高耐圧(片耐圧が例えば1000KPa以上)で、誤差250Pa、測定精度(誤差)0.025%/フルスケールの第2圧力センサ24を用いる場合
B:高耐圧(片耐圧が例えば1000KPa以上)で、わずかな差圧を判別できる(誤差2.5Pa、測定精度(誤差)0.00025%/フルスケール)差圧センサを用いる場合
を比較して説明する。
空気ΔP=([901550±250 Pa Abs]2-[101300 Pa Abs]2)/(2×[901300±250 Pa Abs])
[換算係数]=[空気ΔP]×[水のμ]/[空気のμ]×[水ΔP]で表される。計算すると、
[換算係数]=(([901550-250 Pa Abs]2-[101300 Pa Abs]2)/(2×[901300-250 Pa Abs])×[水のμ]/[空気のμ]×[水ΔP]、となる。
空気ΔP=([901550±2.5 Pa Abs]2-[101300 Pa Abs]2)/(2×[901300±2.5 Pa Abs])
[換算係数]=[空気ΔP]×[水のμ]/[空気のμ]×[水ΔP]で表され、計算すると、
[換算係数]=(([901550-2.5 Pa Abs]2-[101300 Pa Abs]2)/(2×[901300-2.5 Pa Abs])×[水のμ]/[空気のμ]×[水ΔP]、となる。
4…圧縮エア源
5、5B…リーク検査装置
11…主管路
11a…接続口
12…排気管
12a…排気ポート
13…第1分岐管
14…第2分岐管
15…バイパス管
21…電空レギュレータ
22…第1圧力センサ
24…第2圧力センサ
26…差圧センサ
27…手動弁
28…第3圧力センサ
31…第1開閉弁
32…第2開閉弁
33…第3開閉弁
34…排気弁
35…第4開閉弁
40…恒温槽
50…圧力校正器
51…第1空間
52…第2空間
53…第3空間
M…マスタ
W…ワーク
Claims (12)
- 差圧センサと、
前記差圧センサの一方の接続口に接続された配管内部の第1空間と、
前記第1空間を圧縮エア源に通じた状態と密閉状態とに切り替える第1開閉弁と、
前記差圧センサの他方の接続口に接続された配管内部の第2空間と、
検査対象が着脱可能に接続される配管内部の空間と検査対象の内部空間を合わせた第3空間と、
前記第2空間を、前記第3空間に通じた状態と密閉状態とに切り替える第2開閉弁と、
前記第3空間を圧縮エア源に連通させるか否かを切り替える第3開閉弁と、
を有するリーク検査装置において、
前記第1空間と前記第2空間に同時に気体を加圧導入して前記第1空間と前記第2空間を目標の圧力に加圧した後、
前記第1空間は複数の検査対象の検査が完了するまで密閉状態に維持し、
検査対象の交換は、前記第2空間を密閉状態にすることで、前記第3空間を前記第2空間から切り離してから行い、
交換後の検査対象のリーク検査は、前記第3空間を前記目標の圧力に加圧してから前記第2空間に連通させて行う
ことを特徴とするリーク検査方法。 - 前記検査対象の交換の際に前記第3空間を切り離した後であって前記リーク検査において前記第3空間を前記目標の圧力に加圧する前に、前記第3空間における配管内部の空間を掃気する
ことを特徴とする請求項1に記載のリーク検査方法。 - 前記交換後の検査対象のリーク検査において前記第3空間を前記目標の圧力に加圧するとき、前記目標の圧力より高い圧力まで加圧した後、前記第3空間を前記第2空間に連通させ、前記第3空間に設けた排気弁から少しずつ気体を逃がして、前記差圧センサの検出値に基づいて前記第3空間を前記目標の圧力に調整する
ことを特徴とする請求項1または2に記載のリーク検査方法。 - 前記目標の圧力より高い圧力まで加圧する際に、前記第3空間内の圧力を測定する圧力計の測定値が前記圧力計で生じる測定誤差分だけ前記目標の圧力より高い圧力値になるまで加圧する
ことを特徴とする請求項3に記載のリーク検査方法。 - 前記第1空間を構成する配管と前記第1開閉弁と前記第1開閉弁から前記圧縮エア源に通じる配管のうちの前記第1開閉弁の直近の所定範囲を恒温槽に入れておく
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つに記載のリーク検査方法。 - 前記第1空間の容積は、前記検査対象の容積に比べて小さい
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1つに記載のリーク検査方法。 - 差圧センサと、
前記差圧センサの一方の接続口に接続された配管内部の第1空間と、
前記第1空間を圧縮エア源に通じた状態と密閉状態とに切り替える第1開閉弁と、
前記差圧センサの他方の接続口に接続された配管内部の第2空間と、
検査対象が着脱可能に接続される配管内部の空間と検査対象の内部空間を合わせた第3空間と、
前記第2空間を、前記第3空間に通じた状態と密閉状態とに切り替える第2開閉弁と、
前記第3空間を圧縮エア源に連通させるか否かを切り替える第3開閉弁と、
を有し、
前記第1開閉弁、前記第2開閉弁、前記第3開閉弁を開いた状態で圧縮エア源から前記第1空間と前記第2空間と前記第3空間に同時に気体を加圧導入して前記第1空間と前記第2空間と前記第3空間を目標の圧力に加圧した後、
前記第1開閉弁を閉じて前記第1空間を複数の検査対象の検査が完了するまで密閉状態に維持し、
前記検査対象の交換は、前記第2開閉弁を閉じて前記第2空間を密閉状態にすることで、前記第3空間を前記第2空間から切り離してから行い、
交換後の検査対象のリーク検査は、前記第3空間を前記目標の圧力に加圧してから前記第3開閉弁を閉じ、かつ、前記第2開閉弁を開いて前記第3空間を前記第2空間に連通させて行う
ことを特徴とするリーク検査装置。 - 前記検査対象の交換の際に前記第2開閉弁を閉じた後であって前記リーク検査において前記第3空間を前記目標の圧力に加圧する前に、前記第3空間における配管内部を掃気する
ことを特徴とする請求項7に記載のリーク検査装置。 - 前記第3空間に排気弁を設け、
前記交換後の検査対象のリーク検査において前記第3空間を前記目標の圧力に加圧するとき、前記目標の圧力より高い圧力まで加圧した後、前記第2開閉弁を開き、前記排気弁から少しずつ気体を逃がして、前記差圧センサの検出値に基づいて前記目標の圧力に調整する
ことを特徴とする請求項7または8に記載のリーク検査装置。 - 前記目標の圧力より高い圧力まで加圧する際に、前記第3空間内の圧力を測定する圧力計の測定値が前記圧力計で生じる測定誤差分だけ前記目標の圧力より高い圧力値になるまで加圧する
ことを特徴とする請求項9に記載のリーク検査装置。 - 前記第1空間を構成する配管と前記第1開閉弁と前記第1開閉弁から前記圧縮エア源に通じる配管のうちの前記第1開閉弁の直近の所定範囲を収容する恒温槽をさらに有する
ことを特徴とする請求項7乃至10のいずれか1つに記載のリーク検査装置。 - 前記第1空間の容積は、前記検査対象の容積に比べて小さい
ことを特徴とする請求項7乃至11のいずれか1つに記載のリーク検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015058447A JP6373209B2 (ja) | 2015-03-20 | 2015-03-20 | リーク検査装置リーク検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015058447A JP6373209B2 (ja) | 2015-03-20 | 2015-03-20 | リーク検査装置リーク検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016176859A JP2016176859A (ja) | 2016-10-06 |
JP6373209B2 true JP6373209B2 (ja) | 2018-08-15 |
Family
ID=57069082
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015058447A Active JP6373209B2 (ja) | 2015-03-20 | 2015-03-20 | リーク検査装置リーク検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6373209B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109275191B (zh) * | 2017-07-18 | 2021-03-30 | 华为技术有限公司 | 一种传输方法及其装置 |
CN117032333B (zh) * | 2023-10-08 | 2023-12-08 | 北京中航泰瑞电子技术有限公司 | 倒计时式两路气阀控制设备、方法、装置及存储介质 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54147279U (ja) * | 1978-04-03 | 1979-10-13 | ||
GB8707231D0 (en) * | 1987-03-26 | 1987-04-29 | Analytical Instr Ltd | Temperature compensation in pressure leak detection |
JPH01269028A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-26 | Fukuda:Kk | リークテスト方法 |
JPH06138951A (ja) * | 1992-10-26 | 1994-05-20 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | ガス質量流量制御器 |
US5367797A (en) * | 1993-10-25 | 1994-11-29 | Omega Environmental, Inc. | Process for testing a vessel |
JP4779807B2 (ja) * | 2006-05-29 | 2011-09-28 | 株式会社島津製作所 | Icp発光分光分析装置 |
JP4923957B2 (ja) * | 2006-10-30 | 2012-04-25 | アイシン精機株式会社 | リーク検査装置 |
-
2015
- 2015-03-20 JP JP2015058447A patent/JP6373209B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016176859A (ja) | 2016-10-06 |
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