JP6775434B2 - リーク検査装置 リーク検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、検査対象の容器や管路の漏れを検査するリーク検査装置、リーク検査方法に関する。

容器の漏れを検査する場合、容器に空気等の気体を高圧に加圧導入した後、これを封止し、その後の圧力変化を観察する方法が一般的である。

しかし、観察される圧力変化には、漏れによる圧力変化のほかに、温度変動に起因する圧力変化分が含まれる。

そこで、漏洩検査で測定した圧力変化から、温度変動に起因する圧力変化の影響を除去する技術が各種提案されている。

たとえば、下記特許文献１には、検査対象の容器を大気開放してから封止した状態で放置したときの圧力変化を測定し、該測定結果から漏洩検査時に生じる温度変動（主として環境温度の変化）に起因する圧力変化を推定して、実際の漏洩検査の測定結果から温度変動の影響を除去する検査方法及び装置が開示されている。該検査方法では、温度変動の影響をより的確に除去するために、温度変動に起因する圧力変化の測定を、実際の漏洩検査の前後で行い、前後の測定で求めた圧力変化率の平均値に基づいて、漏洩検査時の温度変動の影響を除去する。

下記特許文献２には、検査対象の容器であるワークと、漏れの無い容器であるマスタとの差圧を測定することでワークの漏れの有無を検出する漏洩検査方法が開示されている。詳細には、ワークとマスタを同圧の高圧に加圧してから封止した状態で放置したときの差圧の変化を所定時間測定する漏洩検査を行う。この時、ワークとマスタのどちらか一方が環境温度等の温度変動の影響を強く受け、漏洩していないにもかかわらず差圧を生じる場合がある。そこで、この漏洩検査の前後に、ワークとマスタを大気開放してから封止した状態で放置したときの差圧の変化（影響の受け具合の程度）を所定時間測定する温度補償用測定工程を行う。そして、前後の温度補償用測定工程で求めた温度補償値（差圧の変化率）の平均値を用いて、漏洩検査時の温度変動に基づく差圧の変化分を推定して、漏洩検査の測定結果を温度補償する。

また、特許文献２では、漏洩検査前の温度補償用測定工程が行われてから漏洩検査が実施されるまでの第１時間と、漏洩検査後の温度補償用測定工程が実施されるまでの第２時間とに差が生じた場合を考慮して、漏洩検査前の温度補償用測定工程で得た温度補償値と漏洩検査後の温度補償用測定工程で得た温度補償値を、第１時間と第２時間の逆比で加重平均した値で、漏洩検査時の測定結果を温度補償することが開示される。

特許第３４８３２５３号 特許第４９９４４９４号

特許文献１、２はいずれも、基本的には（上記の第１時間と第２時間が同じ場合には）、漏洩検査の前後の測定で得た温度補償値（圧力や差圧の変化率）の平均値を用いて、漏洩検査中の温度変動に基づく温度補償値を推定して漏洩検査の測定結果を温度補償する。平均値を用いるのは、検査対象物（ワーク）が環境温度とほぼ同じ温度であり、測定中の温度変化は環境温度の変化に起因して穏やかに生じることを前提とするものである。すなわち、環境温度の変化は穏やかに生じるので、漏洩検査前の温度補償用測定工程で得た温度補償値と漏洩検査後の温度補償用測定工程で得た温度補償値の差が小さく、その間における温度補償値の変化がほぼ線形に生じると考えられることに基づく。

しかしながら、検査対象のワークが熱い場合（例えば環境温度に対して３〜５度高い場合でマスタが略環境温度の場合）には、当初は、ワークの温度と環境温度との温度差が大きいため、ワークの温度変化は激しく、その後はワークの温度と環境温度との温度差が小さくなるにつれて、ワークの温度変化は緩慢になる。当然、ワークとマスタ間の差圧も、当初は激しく変化し、次第に緩慢となる。その結果、漏洩検査前の温度補償用測定工程で得た温度補償値と漏洩検査後の温度補償用測定工程で得た温度補償値との差が大きく、その間における温度補償値の変化がほぼ線形に生じるという前提は成り立たなくなる。温度補償値の変化は、曲線形状の非線形に生じると考えられる。

たとえば、検査対象のワークが、ロー付け、溶接、鋳造工程等で製造される場合には、製造直後のワークの温度は非常に高いので、環境温度との差が大きく、上記線形とする前提は成り立たない。

さらに、漏洩検査時の検査圧力を５００ＫＰａ（G）等の高圧にすると、検査圧力に加圧するときの断熱圧縮による温度上昇や、減圧するときの断熱膨張による温度降下が大きく、減圧後のワークの温度は加圧前よりも低下してしまう。そのため、上記線形とする仮定はさらに不正確になる。

一方、上記のように製造された熱いワークを環境温度になるまで十分に冷やしてから漏洩検査を開始するには、次々と製造される多数のワークを、冷えるまで保管するための広い保管場所が必要になってしまう。

なお、ワークの熱容量や外部への熱伝達率の大小などもワークの温度変化に影響を与える。

本発明は、上記問題の解決を課題とするものであり、検査圧力が高い場合や環境温度との温度差が大きい状態で検査を行っても、測定結果に含まれる温度変動の影響を適切に温度補償することのできるリーク検査方法およびリーク検査装置を提供することを目的としている。

かかる目的を達成するための本発明の要旨とするところは、次の各項の発明に存する。

［１］検査対象容器の漏れの有無を検査するリーク検査方法であって、
大気開放してから封止した前記検査対象容器内の圧力変化を第１期間に測定する第１測定ステップと、
大気開放してから封止した前記検査対象容器内の圧力変化を前記第１期間より後の第２期間に測定する第２測定ステップと、
前記検査対象容器を所定の検査圧力に加圧した後に封止した前記検査対象容器内の圧力変化を前記第１期間と前記第２期間の間もしくは前記第２期間の後の第３期間に測定する第３測定ステップと、
前記第１測定ステップの測定結果に基づいて第１温度補償値を求める第１温度補償値算出ステップと、
前記第２測定ステップの測定結果に基づいて第２温度補償値を求める第２温度補償値算出ステップと、
前記第１温度補償値と前記第２温度補償値に基づいて、前記第３測定ステップの測定結果を温度補償するための第３温度補償値を算出する第３温度補償値算出ステップと、
前記第３測定ステップの測定結果を前記第３温度補償値で温度補償したデータに基づいて前記検査対象容器の漏れの有無を判定する判定ステップと、
を有し、
前記第３温度補償値算出ステップでは、前記検査圧力の大小、前記検査対象容器の熱容量の大小、外部への熱伝達率の大小、前記検査対象容器と環境との温度差の大小のうちの少なくとも１つに基づいて、前記第３温度補償値を算出する際の前記第１温度補償値と前記第２温度補償値の重み付けをする
ことを特徴とするリーク検査方法。

上記発明では、大気開放後に封止した検査対象容器内の圧力変化を第１期間および第２期間に測定し、検査圧力に加圧した後に封止した検査対象容器内の圧力変化を第１期間と第２期間の間もしくは第２期間の後の第３期間に測定し、第１期間の測定結果から第１温度補償値を求め、第２期間の測定結果から第２温度補償値を求め、第１温度補償値と第２温度補償値に基づいて第３期間の第３温度補償値を算出して第３期間の測定結果を温度補償して検査対象容器の漏れの有無を判定する。第３温度補償値の算出に際して第１温度補償値と第２温度補償値の重み付けを、検査圧力の大小、検査対象容器の熱容量の大小、外部への熱伝達率の大小、検査対象容器と環境との温度差の大小のうちの少なくとも１つに基づいて行う。第１温度補償値と第２温度補償値と第３温度補償値との関係は各種の要因で非線形となるので、その非線形性を重み係数の調整で近似して第３温度補償値を求める。

［２］前記検査対象容器内の圧力変化として、
前記第１測定ステップおよび前記第２測定ステップでは、大気開放した基準容器もしくは大気開放してから封止した前記基準容器と、大気開放してから封止した前記検査対象容器との差圧を測定し、
前記第３測定ステップでは、前記検査圧力に加圧した後に封止した前記基準容器と、前記検査圧力に加圧した後に封止した前記検査対象容器との差圧を測定する
ことを特徴とする［１］に記載のリーク検査方法。

上記発明では、検査対象容器内の圧力と漏れのない基準容器内の圧力との差圧を測定する。

［３］前記第３温度補償値算出ステップでは、前記第３期間が前記第１期間と前記第２期間の間であって前記検査圧力が一定以上の場合は、前記検査対象容器の熱容量が小さいほど、もしくは、外部への熱伝達率が大きいほど、もしくは、前記検査対象容器と環境との温度差が大きいほど、前記第１温度補償値の重みを大きくする
ことを特徴とする［１］または［２］に記載のリーク検査方法。

［４］前記第３温度補償値算出ステップでは、前記第３期間が前記第１期間と前記第２期間の間の場合は、前記検査圧力が高いほど、前記第１温度補償値の重みを大きくする
ことを特徴とする［１］乃至［３］のいずれか１つに記載のリーク検査方法。

上記発明では、第３測定ステップでの加圧時の断熱圧縮によって温度上昇する分の影響、および減圧時の断熱膨張によって温度降下する分の影響を、第１温度補償値の重みを大きくして、第３温度補償値に反映する。

［５］前記第１温度補償値、前記第２温度補償値、前記第３温度補償値は、漏れがない場合の単位時間当たりの圧力変化量である
ことを特徴とする［１］乃至［４］のいずれか１つに記載のリーク検査方法。

上記発明では、たとえば、第１測定ステップで得た圧力変化量を第１期間の長さ（時間）で除した値を第１温度補償値とする。

［６］［１］乃至［５］のいずれか１つに記載のリーク検査方法を用いて検査対象容器の漏れの有無を検査するリーク検査装置。

本発明に係るリーク検査方法およびリーク検査装置によれば、検査圧力が高い場合や環境温度との温度差が大きい状態で検査を行っても、測定結果に含まれる温度変動の影響を適切に温度補償することができる。

本発明に係るリーク検査装置の概略構成と検査の流れを示す図である。 リーク検査装置が行う検査処理の流れを示す流れ図である。 前補正工程、漏洩検査工程、後補正工程における測定結果と温度補償値の一例を示す図である。 前補正工程、漏洩検査工程、後補正工程における圧力変化の概要を示す図である。 漏洩検査時の加圧、減圧によるワーク内部の温度変化を示す図である。 前補正工程の圧力変化率と後補正工程の圧力変化率とその平均と漏洩検査工程の測定期間における圧力変化率との関係を各種の検査圧力について示す図である。 重み係数の決定基準を示す図である。 本発明の温度補償値による補正の効果を確認するための実験結果を示す図である。

以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。

図１は、本発明に係るリーク検査装置１０の概略構成と検査の流れを示している。以下、圧力はすべてゲージ圧とする。リーク検査装置１０は、検査対象となる管路（例えば、熱交換器）や容器（例えば、貯湯タンク）の漏れを検査する装置である。検査対象の容器（または管路）をワークとする。またワークと同形状、同材料で構成された容器等であって漏れのないことが確認されているものをマスタとする。ワークとマスタは同じ力学的および熱力学的パラメータを持った異なる容器等である。なお、ワークとマスタを同じ力学的および熱力学的パラメータを持った異なる容器とすると、ワークが大きい場合にはマスタも大きくなり、結果、検査装置の所有場所として広い場所を要することとなるので、マスタを小型として、マスタをワークと同じ大型を用いる場合と小型を用いる場合の変換係数をもって対応する場合もあるが、このような場合の対応方法については、後述する。

リーク検査装置１０は、加圧源接続口１１と、ワーク接続口１２と、マスタ接続口１３を備えている、リーク検査装置１０は内部の管路として、加圧源接続口１１に一端が接続された第１配管２１を有し、該第１配管２１は途中で二手に分岐して第２配管２２と第３配管２３となり、第２配管２２の他端はワーク接続口１２に、第３配管２３の他端はマスタ接続口１３にそれぞれ接続されている。

第１配管２１には第１開閉弁３１が介挿されている。第２配管２２には、第１配管２１との分岐箇所からワーク接続口１２に向かう並び順で、第２開閉弁３２、第１圧力計４１、第３開閉弁３３が設けてある。また第３配管２３には、第１配管２１との分岐箇所からマスタ接続口１３に向かう並び順で、第４開閉弁３４、第２圧力計４２、第５開閉弁３５が設けてある。

第２開閉弁３２と第３開閉弁３３との間の第２配管２２と、第４開閉弁３４と第５開閉弁３５の間の第３配管２３との間には、差圧計４３が接続されている。また、第１開閉弁３１と第４開閉弁３４との間の所定箇所で第３配管２３から排気管２４が分岐しており、該排気管２４の途中に排気弁３８が設けてある。排気管２４の終端は排気ポートとなっており大気開放されている。

リーク検査装置１０は、検査の流れの制御、測定、および測定結果に基づく漏れ判定等を行う検査処理部１５を有する。検査処理部１５は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等を主要部とする回路であり、ＲＯＭに格納されたプログラムに従ってＣＰＵが処理を実行することで、リーク検査装置１０における検査動作の制御、測定および判定が行われる。

加圧源接続口１１には、電空レギュレータ２を介して加圧気体の供給源３が接続される。また、電空レギュレータ２と加圧源接続口１１との間の配管には圧力計５が接続される。電空レギュレータ２は、下流側が設定圧力を超えないようにする機能を果たす。供給源３は例えば屋外に設置され、供給源３から他の加圧気体を動力とする機械等（例えばエアーツール等）に加圧気体を供給（供給源３から電空レギュレータ２までの管路は複数に分岐）しながら加圧源接続口１１に至る。

ワーク接続口１２には、ワーク５１が接続される。この例では、ワーク５１は入口と出口を有する貫通型の容器等（たとえば、給湯器の熱交換器）である。ワーク５１の入口はワーク接続口１２に接続され、出口には第６開閉弁３６が接続されている。第６開閉弁３６を開くとワーク５１の出口は大気に通じて大気開放となる。

マスタ接続口１３には、マスタ５２が接続される。この例では、マスタ５２は、ワーク５１と同様に入口と出口を有する貫通型の容器等である。マスタ５２の入口はマスタ接続口１３に接続され、出口には第７開閉弁３７が接続されている。第７開閉弁３７を開くとマスタ５２の出口は大気に通じて大気開放となる。

ワーク５１は、製造から検査終了まで以下のような工程を経る。なお、マスタ５２は、マスタ接続口１３に接続された状態に維持される。リーク検査装置１０は、次々と新たなワーク５１を検査する。ワーク５１は、ロー付け工程を経て製造（Ｐ１）された後、籠台車上に集積されて１０分ほど放置され、環境温度＋１０℃程度に落ち着く（Ｐ２）。その後、大気を送風する等温化ファンユニット６に載せて数分間、大気を当てて冷却する（Ｐ３）。その後、リーク検査装置１０に取り付けられて検査が行われる（Ｐ４）。検査が終了するとリーク検査装置１０から取り外されて次工程に送られる（Ｐ５）。

図２は、リーク検査装置１０が行う検査処理の流れを示す流れ図である。ワーク５１およびマスタ５２を図１に示すようにリーク検査装置１０に接続した後、第１開閉弁３１を除くすべての開閉弁３２〜３８を開く。これによりワーク５１、マスタ５２は大気開放の状態になる（ステップＳ１０１）。その後、排気弁３８を閉じ、この状態で第１開閉弁３１を所定時間（２０〜３０秒）開いてから閉じることで、ワーク５１およびマスタ５２内を掃気（プレパージ）する（ステップＳ１０２）。掃気流量は、例えば大気圧換算で50〜100リットル位である。

その後、第６開閉弁３６、第７開閉弁３７を閉じ、さらに第２開閉弁３２、第４開閉弁３４を閉じて、ワーク５１とマスタ５２をそれぞれ、大気開放の状態から封止した独立の密閉空間にする（ステップＳ１０３）。

その後、所定時間にわたって放置しているときのワーク５１側の密閉空間とマスタ５２側の密閉空間との差圧を差圧計４３で測定する温度補償用測定工程（前補正工程とする）を実施する（ステップＳ１０４）。前補正工程で測定された差圧の変化量（前補正工程の測定開始時の差圧と前補正工程の測定終了時の差圧との差分）をΔＰt1とし、前補正工程での差圧の変化の測定時間をＴａとする。

次に、漏洩検査工程を行う。漏洩検査工程では、まず、加圧気体の供給源３からワーク５１とマスタ５２に気体を加圧導入して所定の検査圧力まで加圧する（ステップＳ１０５:加圧ステップ）。具体的には、第２開閉弁３２と第４開閉弁３４を開いてワーク５１とマスタ５２とを連通した後、第１開閉弁３１を開いて供給源３から気体をワーク５１とマスタ５２に加圧導入する。目標の検査圧力となったか否かは圧力計５で確認し、目標の検査圧力になったら第１開閉弁３１を閉じる。その後、第２開閉弁３２、第４開閉弁３４を閉じて、ワーク５１とマスタ５２をそれぞれ、検査圧力（Ｐｄ）に加圧された独立の密閉空間にする（ステップＳ１０５）。

この時の加圧導入量は、ワーク５１（マスタ５２）の内容量500cc とすると、例えば、20℃、500kPa(G) の空気の体積は[T2]=273.2+20 K [P2]=101.3+500 kPa(abs) [V2]=0.0005m³×2ヶなので、例えば、掃気流量に比して極めて小さい、大気圧換算で６リットル位である([T1]=273.2+0 K [P1]=101.3+0 kPa(abs) [V1]=0.0059m³)。

その後、温度変化（圧力変化）がある程度落ち着くまでの整定期間を待ってから、ワーク５１側の密閉空間とマスタ５２側の密閉空間との差圧の変化を差圧計４３で測定する（ステップＳ１０６:測定ステップ）。漏洩検査工程で測定された差圧の変化量（漏洩検査工程での測定開始時の差圧と漏洩検査工程の測定終了時の差圧との差分）をΔＰrとし、漏洩検査工程の測定ステップの測定時間をＴｒとする。

次に、ワーク５１と、マスタ５２を減圧して大気開放する（ステップＳ１０７:減圧ステップ）。詳細には、第２開閉弁３２と第４開閉弁３４を開いてワーク５１とマスタ５２を連通させてから排気弁３８を開いて減圧して大気開放する。このとき、第６開閉弁３６、第７開閉弁３７をさらに開放してもよい。

その後、排気弁３８を閉じ（大気開放時に第６開閉弁３６、第７開閉弁３７を開いた場合はこれらも閉じる）、さらに、第２開閉弁３２、第４開閉弁３４を閉じて、ワーク５１とマスタ５２をそれぞれ、大気開放の状態から封止した独立の密閉空間にする（ステップＳ１０８）。

その後、所定時間にわたって放置しているときのワーク５１側の密閉空間とマスタ５２側の密閉空間との差圧を差圧計４３で測定する温度補償用測定工程（後補正工程とする）を実施する（ステップＳ１０９）。後補正工程で測定された差圧の変化量（後補正工程の測定開始時の差圧と後補正工程の測定終了時の差圧との差分）をΔＰt2とし、後補正工程での差圧の変化の測定時間をＴｂとする。

次に、検査処理部１５は、前補正工程で得た差圧の変化量ΔＰt1と該変化量ΔＰt1を測定した計測期間の長さ（Ｔａ）とから、前補正工程における単位時間当たりの差圧の変化量（差圧変化率）を第１温度補償値Ｈ１として求める。Ｈ１＝ΔＰt1／Ｔａ

また、後補正工程で得た差圧の変化量ΔＰt2と該変化量ΔＰt2を測定した計測期間の長さ（時間Ｔｂ）とから、後補正工程における単位時間当たりの差圧の変化量（差圧変化率）を第２温度補償値Ｈ２として求める（ステップＳ１１０）。Ｈ２＝ΔＰt2／Ｔｂ

次に検査処理部１５は、第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数（比率）を、漏洩検査時の検査圧力の大小、前補正工程の測定を開始する時点でのワーク５１と環境温度との温度差の大小、ワーク５１の熱容量の大小、ワーク５１の熱伝達率の大小に基づいて決定する（ステップＳ１１１）。第１温度補償値Ｈ１に与える重み係数をα、第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数をβとする。重み係数の決定方法については後述する。

ステップＳ１１１で決定した重み係数α、βに従って第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２に重み付けをして、これらの加重平均を算出する。この算出結果を、漏洩検査工程の測定結果を温度補償するための温度補償値Ｈ３とする（ステップＳ１１２）。すなわち、Ｈ３＝（αＨ１＋βＨ２）／（α＋β） となる。

温度補償値Ｈ３は、漏洩検査工程の計測期間（Ｔｒ）中における温度変動に基づく単位時間当たりの差圧の変化量の推定値である。

次に、検査処理部１５は、漏洩検査の測定結果ΔＰｒを、温度補償値Ｈ３で補正して、ワーク５１の漏れに基づく差圧ΔＰｓを求める（ステップＳ１１３）。

具体的には、漏洩検査工程でΔＰｒを測定したときの計測期間の長さをＴｒ、大気開放時の圧力をＰａ、検査圧力をＰｄとすると、
漏洩検査の測定結果に含まれる、温度変動分の差圧ΔＰｆは、
ΔＰｆ＝Ｈ３×Ｔｒ×Ｐｄ／Ｐａ
として求まる。よって、漏れに基づく差圧ΔＰｓは、
ΔＰｓ＝ΔＰｒ−ΔＰｆ
として求まる。

漏れによる差圧ΔＰｓが予め定めた基準値より大きいか否かを判定し（ステップＳ１１４）、漏れによる差圧ΔＰｓが予め定めた基準値より大きい場合は（ステップＳ１１４;Ｙｅｓ）、漏れありと判定して本処理を終了する。漏れによる差圧ΔＰｓが予め定めた基準値以下ならば（ステップＳ１１４;Ｎｏ）、漏れなしと判定して本処理を終了する。

たとえば、容量９８０ｍｌの容器を、５００ＫＰａに加圧し、整定期間の経過を待った後、３０秒間放置したときの放置前後の差圧の変化量を温度補償した値が±３６Ｐａ以上の場合は、漏れありと判定する。

図３は、前補正工程で測定された差圧ΔＰt1に基づく第１温度補償値Ｈ１と、後補正工程で測定された差圧ΔＰt2に基づく第２温度補償値Ｈ２とから、漏洩検査時の温度補償値Ｈ３を推定し、漏洩検査で測定された差圧ΔＰｒから温度変動に基づく差圧の変化分ΔＰｆを除去して、漏れ（質量変化）による差圧の変化分ΔＰｓを導出する様子を示している。

次に、重み係数の決定方法について説明する。

図４は、ワーク５１とマスタ５２間の差圧（ワーク５１内の圧力−マスタ５２内の圧力＝マスタ５２を基準としたワーク５１内の圧力）の変化（以下圧力変化）の概要を示している。この図では、前補正工程、後補正工程での圧力変化は、第１温度補償値Ｈ１、第２温度補償値Ｈ２を傾きとする直線で示してある。漏洩検査工程では、検査圧力に加圧した後の整定期間中は急激な圧力変化となり、その後、次第に圧力変化が緩やかになると、圧力変化を測定する測定ステップが行われる（Ｔｒ）。

仮に、後補正工程前の整定期間（Ｔｓ２＝０）が無ければ、漏洩検査工程全体（整定期間Ｔｓ１＋測定ステップＴｒ）での温度の影響によるワーク５１とマスタ５２間の差圧の変化の程度（以下圧力変化率）は、第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２の平均値で表すことができる。しかし、漏洩検査工程における圧力変化は、漏洩検査工程のうちの整定期間（Ｔｓ１）に急激に生じ、漏洩検査工程のうちの測定ステップ（Ｔｒ）では緩やかなので、測定ステップ（Ｔｒ）における圧力変化率は第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２の平均値よりも小さくなる（要素１）。

この点を詳述すると、マスタは複数回の検査で略所定温度（例えば、周囲環境よりも温度が降下した略所定温度）となる（前記略所定温度が場合によっては常温のワーク５１との温度差問題となるために、複数のワーク５１をローテーションして上記温度差問題に対応する場合もあった。）。しかし本願のように検査対象のワーク５１がマスタ５２に比してより熱い場合（例えばアルゴン溶接後に風冷による冷却を行っても、まだ予熱を持っている場合）には、漏洩検査工程のうちの整定期間（Ｔｓ１）に、マスタ５２よりもワーク５１の方が大きく温度降下するので（両方とも大きく温度降下するのではなく、２者の温度降下率が大きく異なる状態で降下する為に）、２者の差圧の変化量は急激となる。

ワーク５１の方が大きく温度降下した後では、マスタ５２とワーク５１の温度差が近くなって温度降下するので（両方とも同じに温度降下するのではなく、２者の温度降下率が近い状態で降下する為に）、漏洩検査工程のうちの測定ステップ（Ｔｒ）では２者の差圧の変化量は緩やかとなる。このように、漏洩検査工程における２者の差圧の変化は、前半と後半で同一ではないので、圧力変化率を第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２の平均値で表せない。

ところでステップＳ１０２で、ワーク５１およびマスタ５２内を掃気（プレパージ）するが、検査対象のワーク５１がマスタ５２に比してより熱いので、ワーク５１内の気体は掃気中も膨張し（配管抵抗が増大し、ワーク５１とマスタ５２とに均等に流れず）、ステップＳ１０３で封止されたワーク５１とマスタ５２内の気体密度に差が生じる（ワーク５１内でも、第３開閉弁３３近傍と第６開閉弁３６近傍で気体密度に差が生じる）。ステップＳ１０５の加圧ステップでワーク５１とマスタ５２が同一圧力にまで加圧充填されるが、ワーク５１とマスタ５２が同一体積であっても、当初に封入されていた体積が異なる為に（同一体積だが密度が異なるために同じ温度に換算すると異なる体積である為に）、当然、所定時間後に差圧を生じ、もって、充填量も異なって来る。この結果、後述の断熱圧縮により、ワーク５１とマスタ５２の内部温度上昇の程度に差が生じる（ワーク５１の方が、充填量が多くなるので、マスタ５２に対して温度上昇量が多い＝マスタ５２に対してワーク５１内の気体は気体密度の低い気体で満たされた状態で検査圧力（Ｐｄ）に加圧された独立の密閉空間となる。このように、漏洩検査時に生じる温度変動（主として環境温度の変化）にプラスされる形で、ステップＳ１０３で封止されたワーク５１とマスタ５２内の気体密度に差がステップＳ１０６の測定ステップの漏れ検査段階にまで影響する）。

ステップＳ１０３で封止されたワーク５１内の気体温度（密度）は測定することが不可能なので、当然物体の温度が低下する際の特性推定（例えば、指数関数的減衰等、単なる温度低下特性を推定）する起点温度を特定することができず、もって、ステップＳ１０６の測定ステップの漏れ検査での２者の差圧の変化影響量も推定することができない。また掃気に用いられる空気の質（例えばアルゴン分圧、湿度等の比熱の影響等）でも影響を受ける。起点温度等の影響を受けた結果が測定ステップ（Ｔｒ）での２者の差圧の変化量として現れるが、例えばマスタ５２とワーク５１内の気体温度差が大きめ（ワーク５１内の気体温度が高め）で湿度が低い場合やアルゴン分圧が高い場合と、マスタ５２とワーク５１内の気体温度差が小さめだが湿度が高い場合やアルゴン分圧が低い場合では、第１温度補償値Ｈ１が同じ値となる場合があるので、第１温度補償値Ｈ１のみで温度補償することはできない。

なぜならば、例えば第１温度補償値Ｈ１がゼロでない限り、ステップＳ１０５でのワーク５１とマスタ５２の充填量が異なる（例えばワーク５１の方が、充填量が多くなり）、断熱圧縮でのワーク５１とマスタ５２の内部温度上昇の程度に差が生じる（測定ステップ（Ｔｒ）での２者の差圧の変化量に影響が出る）からである（換言すれば複数の未知数を含む場合には、複数の連立方程の組を与えないと未知数を求めることが出来ないが、本願では検査対象のワーク５１がマスタ５２に比してより熱い場合で温度補償するために、2つ以上の、例えば最低限、第１温度補償値Ｈ１、第２温度補償値Ｈ２と重み付けを用いている。）。なお、検査対象容器を所定の検査圧力に加圧した後に封止した前記検査対象容器内の圧力変化を前記第２期間の後の第３期間に測定する場合において、少なくとも第１温度補償値Ｈ１、第２温度補償値Ｈ２から、ステップＳ１０３で封止された、ワーク５１とマスタ５２内の、気体密度の差を演算で求めことが必要となる。

図５は、漏洩検査工程におけるワーク内部の温度変化を示している。検査圧力（この例では４２０ＫＰａ）に加圧する際の断熱圧縮によりワーク５１の内部温度は上昇し、その後、急激に低下した後、次第に緩慢に低下するように変化する。加圧後の内部温度がある程度落ち着くまでの期間は整定期間にされ、その後の所定期間に渡って圧力変化が測定される（測定ステップ）。測定終了後は、減圧されて大気開放にされる。この時の断熱膨張によりワーク５１の内部温度が急激に下降し、その後は環境温度に次第に近づくように変化する。したがって、検査圧力が高い場合には、図５の破線で示すように、ワーク５１の残熱が、減圧による吸熱で相殺される割合が大きくなるので、後補正工程で測定される差圧ΔＰt2に影響を及ぼす（要素２）。

この点を詳述すると、減圧による吸熱は、減圧速度（ワーク５１と排気弁３８の大気解放端の端部までの配管距離によって左右される減圧速度＝ワーク５１からの出側配管抵抗）によって大きく異なり、減圧速度が大きいほど（出側配管距離が短いほど）吸熱量が大きくなる（配管距離・配管抵抗も検査圧力の要因の１つ）。吸熱量が多いと、見掛け上整定時間TS2が長くなってワーク５１の内部温度の放熱量が多くなったのと類似の状況となる。

ところでワーク５１が小さい場合には、リーク検査装置１０のすぐ横（例えば検査台の上）に置いて検査できるが、ワーク５１が例えば電気温水器等で使用される３７０リットルのような大型タンクの場合には、リーク検査装置１０のすぐ横に置くことができずに、近くの地面において検査することとなる。当然、検査対象毎（ワーク５１の大きさで）に出側配管抵抗が異なる場合が多い。ワーク５１とマスタ５２とが検査前に同じ温度（ステップＳ１０３で封止されたワーク５１とマスタ５２内の気体密度に差が生じない場合で、かつ、出側配管距離も同じ）ならば、差圧ΔＰt2に影響はないが、検査前に同じ温度でない場合には、減圧による吸熱により環境温度との温度差が大きく表れる側が逆転する場合もあり（温度差が大きく表れる側の方が、圧力変化率が大きくなるので）、後補正工程で測定される差圧ΔＰt2に影響を及ぼす。

なお、図５において加圧時の断熱圧縮による温度上昇と、減圧時の吸熱量による温度降下の程度（変化温度：Ｘ軸、変化の程度：面積）が大きく異なる。例えば屋外に置かれた供給源３から長い配管距離を経て（配管抵抗大）、時間をかけて加圧されるが、減圧時には短い配管距離で（配管抵抗小）、短時間に減圧されるからである（換言すれば、加圧時には電空レギュレータ２（配管抵抗に相当）を通し、減圧時には電空レギュレータ２を通さないからである）。

ステップＳ１０３で封止されたワーク５１とマスタ５２内の気体密度の差がステップＳ１０６の測定ステップの漏れ検査段階にまで影響することは先に述べたが、この影響には、電空レギュレータ２からワーク５１（又は電空レギュレータ２からマスタ５２）までの配管抵抗も関与する。電空レギュレータ２からワーク接続口１２まではリーク検査装置１０の製造メーカが関わり、ワーク接続口１２からワーク５１まではワーク５１を検査するリーク検査装置１０の使用メーカが関わるのであるから、リーク検査装置１０の使用メーカ側が、配管やその他の使用状態に応じて、重み付けを行えるようにリーク検査装置１０の製造メーカがすることが好ましい。

この点を詳述すると、ワーク５１が小さい場合には、リーク検査装置１０のすぐ横（例えば検査台の上）に置いて検査できるが、ワーク５１が例えば電気温水器等で使用される３７０リットルのような大型タンクの場合には、リーク検査装置１０のすぐ横に置くことができずに、近くの地面において検査することとなる。当然、ワーク接続口１２からワーク５１までの配管はリーク検査装置１０の使用メーカーが適宜設定するので、配管距離（以下入側配管抵抗）が異なる。ステップＳ１０３で封止されたワーク５１の方が、封入気体密度が低い場合において、ワーク５１とマスタ５２への入側配管が同じであっても、共に短ければ（入側配管抵抗小）長い場合に比して差圧ΔＰt2が大きくなるがごとく、強く影響を受ける。従って入側配管距離が短いほど（入側配管抵抗が小さいほど）断熱圧縮でのワーク５１とマスタ５２の内部温度上昇の程度に差が大きく生じるので、重み付けには入側配管距離も勘案しなければならない（リーク検査装置１０が設置される条件に応じて例えば重み付け表を変更したり、例えば標準（中心）の値を変える必要がある）。

さらに詳述すれば、検査圧力が低い場合には、図４での前補正工程での圧力変化率Ｈ１（ステップ１０４）よりも、漏洩検査工程での圧力変化率の方が緩やか（例えば圧力変化率が（Ｈ１＋Ｈ２）／２に近い状態）となり、測定ステップでの圧力変化率は、（Ｈ１＋Ｈ２）／２よりも小さく（後補正工程での圧力変化率Ｈ２を重視した勾配と）なりやすいのに対し、検査圧力が高い場合には、図４での圧力変化率Ｈ１（ステップ１０４）よりも、例えば漏洩検査工程での圧力変化率の方が急こう配となる場合があり、このような場合では、測定ステップでの圧力変化率は、（Ｈ１＋Ｈ２）／２よりも大きく（前補正工程での圧力変化率Ｈ２を重視した勾配と）なる場合がある（図４の灰色線参照）。

なお、ステップＳ１０５において加圧用気体の流速と流量の変化の状況、又はワーク接続口１２の供給圧力の変化の状況と入側配管抵抗、又はワーク５１とマスタ５２の受圧圧力の変化の状況（例えばワーク５１とマスタ５２はステップＳ１０５において内部圧力が上昇しそれにより流速が落ちて行くので単なる圧力を見るのではなく、変化の状況）等から断熱圧縮でのワーク５１とマスタ５２の内部温度上昇の程度の差を、（リーク検査装置１０の使用メーカ側が使用する、配管やその他の状態に応じて）演算で求めることが必要となる。

図６は、検査圧力の大小と、各工程における圧力変化率の関係を観念的に示している。検査圧力が小さい場合は、例えば前述の要素２の影響は少なく、要素１の影響が大きい。一方、検査圧力が高くなると、例えば要素１の影響は変わらないが、要素２の影響が大きくなる。

たとえば、図６では、検査圧力が小のとき、前補正工程における圧力変化率Ｈ１（−２）と後補正工程における圧力変化率Ｈ２（−１．４）との平均値は−１．７になるが、実際の漏洩検査工程の測定期間（測定ステップ）における圧力変化率Ｈ３は−１．６なので、後補正工程の圧力変化率Ｈ２の影響が大きい。従って、第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２の加重平均で漏洩検査工程の測定期間における温度補償値Ｈ３を求める際には、Ｈ２に与える重み係数βをＨ１に与える重み係数αより大きくする。この例では、α：βの比は、１：２となる。

検査圧力が中の場合は、検査圧力が小のときに比べて高いので、その分、要素２の影響が現れ、ワーク５１の残熱が減圧による吸熱で少し相殺される。そのため、後補正工程の開始時におけるワーク５１と環境温度との差が小さくなって温度変化が緩やかになり、後補正工程での圧力変化率は−１．２になっている。この場合、前補正工程の圧力変化率Ｈ１（−２）と後補正工程の圧力変化率Ｈ２（−１．２）との平均値は−１．６になり、実際の漏洩検査工程の測定期間における圧力変化率Ｈ３と一致する。したがって、第１温度補償値Ｈ１に与える重み係数αと第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数βは、１：１にすればよい。

検査圧力が大１の場合は、検査圧力がさらに高くなるので、その分、要素２の影響が強く現れ、ワーク５１の残熱が減圧による吸熱で相殺される割合が高くなる。そのため、後補正工程の圧力変化率が−１．０になっている。この場合、前補正工程の圧力変化率Ｈ１（−２）と後補正工程の圧力変化率Ｈ２（−１．０）との平均値は−１．５になり、実際の漏洩検査工程の測定期間における圧力変化率Ｈ３（−１．６）より小さくなっている。したがって、第１温度補償値Ｈ１に与える重み係数αを第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数βより大きくする。具体的には、この例ではα：βの比は、３：２となる。

検査圧力が最も高いケース（大２）では、要素２の影響がさらに強く現れるため、ワーク５１の残熱が減圧による吸熱で相殺される割合がさらに高くなる。そのため、後補正工程の圧力変化率が−０．４になっている。この場合、前補正工程の圧力変化率Ｈ１（−２）と後補正工程の圧力変化率Ｈ２（−０．４）との平均値は−１．２になり、実際の漏洩検査工程の測定期間における圧力変化率Ｈ３（−１．６）よりかなり小さくなる。したがって、第１温度補償値Ｈ１に与える重み係数αを第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数βに比べてかなり大きくすることになる。具体的には、この例ではα：βの比は、３：１となる。

このように、第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２との加重平均で漏洩検査の測定結果を温度補償するための温度補償値Ｈ３を求める際に第１温度補償値Ｈ１に与える重み係数αと第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数βの比を、前述の要素１と要素２の影響を考慮して設定することで、漏洩検査工程の測定結果を適正に温度補償することができる。

ここで、要素１の影響は、ワーク５１と環境温度の温度差が大きいほど、また、ワーク５１の熱容量が小さいほど、ワーク５１の熱伝達率が大きいほど、顕著に表れる。一方、要素２の影響もワーク５１と環境温度の温度差が大きいほど、また、ワーク５１の熱容量が小さいほど、ワーク５１の熱伝達率が大きいほど、顕著に表れる。そして、要素２の影響は検査圧力が高くなるほど大きくなる。

そのため、検査圧力が低い場合には、ワーク５１と環境温度の温度差が大きいほど、ワーク５１の熱容量が小さいほど、ワーク５１の熱伝達率が大きいほど、第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数βを第１温度補償値Ｈ１に与える重み係数αより大きくする。一方、検査圧力が高い場合には、ワーク５１と環境温度の温度差が大きいほど、ワーク５１の熱容量が小さいほど、ワーク５１の熱伝達率が大きいほど、第１温度補償値Ｈ１に与える重み係数αを第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数βより大きくする。

以上を踏まえて図７に示すような決定基準で重み係数を与えることになる。同図（ａ）は、検査圧力の大小と、ワーク５１の熱容量の大小と、第１温度補償値Ｈ１、第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数との関係を示している。検査圧力が低い場合には、ワーク５１の熱容量が大きいほど、第１温度補償値Ｈ１に与える重み係数αを大きくし、第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数βを小さくする。検査圧力が高い場合には、ワーク５１の熱容量が大きいほど、第１温度補償値Ｈ１に与える重み係数αを小さくし、第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数βを大きくする。また検査圧力が高いほど、熱容量が同じであっても重み係数αに対する重み係数βの比を大きくする。

同図（ｂ）は、検査圧力の大小と、前工程開始時点におけるワーク５１と環境温度との温度の大小と、第１温度補償値Ｈ１、第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数との関係を示している。検査圧力が低い場合には、温度差が大きいほど、第１温度補償値Ｈ１に与える重み係数αを小さくし、第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数βを大きくする。検査圧力が高い場合には、温度差が大きいほど、第１温度補償値Ｈ１に与える重み係数αを大きくし、第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数βを小さくする。また検査圧力が高いほど、温度差が同じであっても重み係数βに対する重み係数αの比を大きくする。

同図（ｃ）は、検査圧力の大小と、ワーク５１の熱伝達率の大小と、第１温度補償値Ｈ１、第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数との関係を示している。検査圧力が低い場合は、熱伝達率が大きいほど、第１温度補償値Ｈ１に与える重み係数αを小さくし、第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数βを大きくする。検査圧力が高い場合は、熱伝達率が大きいほど、第１温度補償値Ｈ１に与える重み係数αを大きくし、第２温度補償値Ｈ２に与える重み係数βを小さくする。また検査圧力が高いほど、熱伝達率が同じであっても重み係数βに対する重み係数αの比を大きくする。

検査圧力、熱容量、環境温度との温度差、熱伝達率のすべてを勘案して第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２の重み（比）を決定することが望ましいが、これらのうちの少なくとも１つに基づいて第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２の重みを決定してもよい。なお、検査圧力が常に高圧の場合は、それを前提にして、熱容量、環境温度との温度差、熱伝達率に応じた重み係数を用いればよい。

この点を詳述すると、例えば給湯器にはその能力に応じて１６号給湯器、２４号給湯器等がある。この給湯器内には２５degup１６リットル毎分の湯を気液熱交換する顕熱熱交換器（例えば交換効率８０％）や２５degup２４リットル毎分の湯を気液熱交換する顕熱熱交換器（例えば交換効率８０％）が内蔵されており、この２つは略同じ熱伝達率を持つ。この２つを混合しながら検査する場合、検査圧力、熱容量、環境温度との温度差、熱伝達率のうち、検査圧力、環境温度との温度差、熱伝達率が略同一であるので、熱容量差に応じた第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２の重み（比）を変更するのみで混合検査することが可能である。

図８は、温度補償値による補正の効果を確認するための実験結果を示すグラフである。この実験では、漏れのない９８０ｍｌの容器５４９個について漏洩検査を行った。グラフは、結果のばらつきを示す度数分布である。補正前のグラフは、温度補正しない状態での測定結果のばらつきを示し、補正後のグラフは、測定結果を温度補償値Ｈ３で補正した結果のばらつきを示す。

補正前は、３０秒間の測定時間で２００Ｐａ近傍までばらつくことがあり、３６Ｐａを漏れなしと判定する閾値とした場合、漏れのない容器５４９個のうちの３６％が漏れありと誤判定される。これに対して、漏洩検査の測定結果を温度補償値Ｈ３で温度補償した補正後は、９０Ｐａ程度までばらつきがでるものの、差圧０の近辺に出現度数は集中している。補正後は、３６Ｐａを漏れなしと判定する閾値とした場合に、漏れのない容器５４９個のうちの約３％のみが漏れありと誤判定され、判定精度が高まっていることがわかる。

この点を詳述すると、漏れのない容器漏洩検査の測定結果から、検査圧力、熱容量、環境温度との温度差、熱伝達率に応じた重み係数を演算で求め、これに基づいて判定精度が高くなる第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２の重み（比）を求めるよう（補正を行うよう）にしても良いし、検査圧力、熱容量、環境温度との温度差、熱伝達率を固定して、ダイレクトに判定精度が高くなる（最頻値が多くなる）第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２の重み（比）を例えば演算（例えば離散微分）で求め、これに基づいて、例えば熱容量差に応じた第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２の重み（比）を変更するよう（補正を行うよう）に演算（例えば回帰演算）しても良い。

ところで、前述の顕熱熱交換器は炉内で各パーツがろう付されて炉から取出される場合があるが、ロウ材の解ける温度は一定なので（炉内温度は一定なので）、炉内と周囲温度との温度差は夏場には小さく、冬場には大きくなる。他方、漏洩検査の測定を行う場所の温度（環境温度の要因の１つ）は事務所衛生基準規則等により検査員の負担とならないように検査室温が変更されるので、例えば検査室の室温変更に応じて第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２の重み（比）を変更するよう（補正を行うよう）にしても良い。これにより判定精度が高い状態を維持したまま、検査圧力、熱容量、環境温度との温度差、熱伝達率を変更することが出来る。

なお、漏洩検査工程では、ワーク５１とマスタ５２が所定の検査圧力まで加圧されるので、このときワーク５１とマスタ５２内の気体が断熱圧縮されて温度上昇する。すなわち、前補正工程の間に温度低下したワーク５１とマスタ５２の温度は、漏洩検査工程で差圧の測定を開始する前に、一度、上昇する。そのため、前補正工程の開始時から漏洩検査工程で加圧し始めるまでの間に低下したワーク５１とマスタ５２の温度が加圧によって再び上昇し、漏洩検査の測定ステップの開示時にはワーク５１とマスタ５２内の気体の温度が再び高い温度から低下することになる。

すなわち、漏洩検査工程の測定ステップの開始時におけるワーク５１と環境温度との温度差、マスタ５２と環境温度との温度差が共に、前補正工程の終了時より大きくなるが、その大きくなる程度に差が生じる（理由の詳細は[0059]〜[0071]参照）ので、ワーク５１とマスタ５２との差圧（差圧の変化量）に影響が出る。そこで、この断熱圧縮による温度上昇に基づくワーク５１とマスタ５２内温度と環境温度との温度差の増大差を考慮して、温度補償値Ｈ３を求める際の第１温度補償値Ｈ１の重みを大きくする。測定ステップ開始時の温度差は、整定時間が同じならば、検査圧力が高いほど大きくなるので、漏洩検査時の検査圧力が高いほど、第１温度補償値の重みを大きくする。これにより、断熱圧縮による温度上昇を考慮に入れて漏洩検査時の測定結果を適切に温度補償することができる。

また、漏洩検査工程の減圧ステップでは、測定ステップでは減圧による吸熱が起きる。この点を詳述すると、減圧による吸熱は、減圧速度（ワーク５１と排気弁３８の大気解放端の端部までの配管距離によって左右される減圧速度）によって大きく異なり、減圧速度が大きいほど（出側配管距離が短いほど）吸熱量が大きくなる。吸熱量が多いと、見掛け上整定時間TS2が長くなってワーク５１の内部温度の放熱量が多くなったのと類似の状況となる。ところでワーク５１が小さい場合には、リーク検査装置１０のすぐ横（例えば検査台の上）に置いて検査できるが、ワーク５１が例えば電気温水器等で使用される３７０リットルのような大型タンクの場合には、リーク検査装置１０のすぐ横に置くことができずに、近くの地面において検査することとなる。したがって減圧による吸熱の程度は、検査圧力（減圧時の大気圧との圧力差）以外にもワーク５１内の圧力を開放する解放端までの出側配管距離（配管抵抗）等によっても左右される。

＜変形例＞
前補正工程と後補正工程の間に漏洩検査工程を行ったが、第１温度補償値Ｈ１を求める補正工程（図４にグレー色の線で示すように、急激に差圧が変化する箇所を使用した工程）と、第２温度補償値Ｈ２を求める補正工程（図４にグレー色の線で示すように、第１温度補償値Ｈ１を求めるためにサンプリングした箇所よりは緩やかに差圧が変化する箇所を使用した工程）を行った後に、漏洩検査工程を実施して、温度補償値Ｈ３を求めるようにしてもよい。

前補正工程と後補正工程の間に漏洩検査工程を行う場合、第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２を所定の比率（重み付け）で内挿して温度補償値Ｈ３を求めていた。これに対して、上記のように第１温度補償値Ｈ１を求める補正工程と、第２温度補償値Ｈ２を求める補正工程を行った後に、漏洩検査工程を行う場合は、第１温度補償値Ｈ１と第２温度補償値Ｈ２を所定の比率（重み付け）で外挿して温度補償値Ｈ３を求めることになる。

たとえば、１回目の補正工程と２回目の補正工程との間の時間と、２回目の補正工程と漏洩検査工程の時間とが等しい場合（たとえば、ゼロ）、１回目の補正工程で求める第１温度補償値Ｈ１と２回目の補正工程で求める第２温度補償値と漏洩検査時の温度補償値Ｈ３との関係は、温度補償値の変化が線形であれば、Ｈ３＝−Ｈ１＋２×Ｈ２、となる。そこで、これに重み係数を与えて、Ｈ３＝−αＨ１＋２βＨ２、とし、非線形性に応じてαとβを定めればよい。この場合は、第２補正工程が漏洩検査工程の前に行われるので、前述した減圧時の断熱膨張による温度降下の影響を受けない。また、外挿する場合には、重みづけの大小関係は、内挿の場合と逆転する。そのため、ワーク５１の熱容量が小さいほど、温度差が大きいほど、熱伝達率が大きいほど、αを大きくし、βを小さくする。

ところで、加圧気体の供給源３からは環境温度よりも高めの気体が供給されることが多い。したがって、供給源３から例えば放熱しながらリーク検査装置１０に至る。また一方、図８で示した約３％の漏れありと判定されたものは、リトライ工程で再度検査するが、当然のことながら取り外し、取り付け工程が省略され、例えばＳ１１５に引き続きＳ１０１に至る。従って、供給源３から放熱しながらリーク検査装置１０に至る気体の放熱度が少ないまま再度検査が行われるので、再検査か否かによって重み付けを変更するようにしても良い。

さらに、例えば供給源３から他の加圧気体を動力とする機械等に加圧気体の供給が多い時に検査する場合と少ない時に検査する場合とでは供給源３から放熱しながらリーク検査装置１０に至る気体の放熱度が少ないまま検査が行われるので、他の加圧気体を動力とする機器の稼働状況に応じて重み付けを変更するようにしても良い。

さらに、検査対象のワーク５１が、温度が高いままで検査する場合について述べてきたが、例えばガスメーターのように略温度が環境温度に近いままで検査される場合にも本願は有効である。例えば供給源３から他の加圧気体を動力とする機械等に、加圧気体を供給する量が多い時に検査する場合と少ない時に検査する場合とで、重み付けを変更するようにしても良いし、例えば供給源３から供給される気体の質に応じ重み付けを変更するようにしても良い。

例えば検査室が、ワーク５１、マスタ５２、リーク検査装置１０等しか配置できないような狭小恒温室のような場合で、ワーク５１を手でリーク検査装置１０にセットして検査室の扉を閉めて検査を行う場合には、検査室の室温がワーク５１のセット時に、検査員の体温により変動し、その影響が ΔＰt1には強く表れるものの、ΔＰｒではほとんど影響がなくなり、ΔＰt2では全く影響がない等のような場合がある（影響度：ΔＰｒ＞・・・・・＞ΔＰｒ＞ΔＰt2）。このような場合でも、環境（検査員の検査室内作業による、体温による環境温度変動）との温度差により、重み付けを変更できれば、例えば、良品が１回目（影響度：ΔＰｒ＞・・・・・＞ΔＰｒ＞ΔＰt2）の検査で不良と誤判断さやすく、２回目（影響度：ΔＰｒ≒ΔＰｒ≒ΔＰt2）となる再検査で合格と判定される場合には、重み付けを変更して１回目検査で誤判定回数を減らすことで検査時間を短縮することができる。つまり、ワーク５１と環境との温度差の大小に基づいて重み付けを変更する場合は、熱いワーク５１を検査するがごとくワーク５１側に温度差の主な原因が有る場合と、上述のように環境側に温度差の主な原因が有る場合等があり、原因の所在を問う必要はなく、重み付けを変更できるようにすれば検査時間を短縮することができる。

またこの点について、ウォータージェット切断で作られた物や、液体窒素等を用いて勘合（例えばメタルシール）させた物が検査対象の場合については、ワーク５１が、温度が環境温度より低い状態で検査することになる。詳述すれば、ワーク５１がマスタ５２に比してより冷たい場合には、漏洩検査工程のうちの整定期間（Ｔｓ１）に、マスタ５２よりもワーク５１の方が大きく温度上昇するので、２者の差圧の変化量は急激となり、圧力変化を測定する測定ステップ（Ｔｒ）が行われる時には圧力変化が緩やかになる。従ってこのような場合であっても本願は有効である。

さらに、入口と出口が共通の、例えば壺状のタンク等がアルゴン溶接等で製造されるような物を検査する場合には、掃気時間を長くしても掃気が十分行われない場合があり、溶接時にタンク内に侵入したアルゴンが残ったまま検査されやすい。すなわち、ワーク５１とマスタ５２とでは、中の気体組成が異なる状態で検査が行われやすいので、この状況（例えばアルゴン溶接等で製造されているか否か、供給源３から供給される気体中にアルゴン溶接で用いたアルゴンが混入していないか、又は混入しているとすればどの程度混入してきているのか＝アルゴン分圧等の状況）を勘案して重み付けを変更するようにしても良い。

さらに、ワーク５１とマスタ５２を同じ力学的および熱力学的パラメータを持った異なる容器とすると、ワーク５１が大きい場合にはマスタ５２も大きくなり、結果、検査装置の所有場所として広い場所を要することとなるので、マスタ５２を小型として、マスタ５２をワーク５１と同じ大型を用いる場合と小型を用いる場合の変換係数をもって対応する場合もある。このような場合でも、ステップＳ１０３で封止された、熱いワーク５１内と常温の小型マスタ５２内とでは、気体密度の異なる気体が封止されることは同じであり、ステップＳ１０５において加圧した時に断熱圧縮でワーク５１とマスタ５２の内部温度上昇についても、気体密度の低い空気が封止されるワーク５１の方がマスタ５２より、より多く発熱する点も同じなので、重み付けで対応する点も同じである。しかし、さらに、入側配管抵抗に着目すると、例えば３７０リットルの貯湯タンク（ワーク５１）を検査する場合には、小型マスタ５２はリーク検査装置１０と同じ検査台に置ける（入側配管抵抗小＝配管距離は短い）のに対し、大型ワーク５１は小型マスタ５２に使用した短い配管を使用することが出来なくなるので（ワーク５１とマスタ５２を同じ大きさのものを使用すれば入側配管抵抗の同じ配管でワーク５１とマスタ５２をリーク検査装置１０に接続できるが、小型マスタ５２を使用する目的が検査場所の狭小化である場合が多いので入側配管抵抗の同じ配管を使用しない場合が多く）、このような入側配管抵抗（又は出側配管抵抗）もまた、重み付けで対応するようにしても良い。

さらに、重み付け（重み係数）は両方を正の値のみではなく、一方を負の値としても良いし、両方が負の値であっても良い。

さらに大気開放時測定の補正工程は２つ以上で行っても良く、補正工程数に応じた重み係数数を持つようにしても良い。さらに前補正工程、後補正工程での測定圧力は漏洩検査工程での圧力以外であれば良く、前補正工程や、後補正工程で微小加圧ステップをいれて、それぞれの圧力変化率を求めるようにしても良い。

ところで、例えばアルゴン溶接を行ったものを検査対象とする場合、検査用空気の導入口（コンプレッサーの給気口）が、アルゴン溶接を行っている場所の近くにある場合があり、風向きによって、検査用空気にアルゴンが混ざる場合がある。また、湿度の低い日であるにもかかわらず、検査用空気の導入口が北側のじめじめした場所にある場合には、無風時と風が吹いた時とでは、検査用空気の湿度が変わる場合がある。
したがって、このように、検査毎（ワーク毎）に、充填される空気の質が異なる場合がある。そこで本願では、充填される空気の質を略同じものとして（連続する前補正工程、漏洩検査工程、後補正工程で封入される空気の質が近似している点を利用して）、加圧条件の異なる複数の工程（例えば前補正工程、後補正工程）での圧力変化率を基に漏洩検査工程での圧力変化率（Ｈ１とＨ２の比）を決めている点に特色がある。

以上、本発明の実施の形態を図面によって説明してきたが、具体的な構成は実施の形態に示したものに限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。

実施の形態では、リーク検査装置１０としてワーク５１とマスタ５２の差圧を測定する例を示したが、ワーク５１の圧力を直接測定する構成でも構わない。

本発明は、リーク検査装置に限定されず、リーク検査方法も含まれる。

２…電空レギュレータ
３…加圧気体の供給源
５…圧力計
６…等温化ファンユニット
１０…リーク検査装置
１１…加圧源接続口
１２…ワーク接続口
１３…マスタ接続口
１５…検査処理部
２１…第１配管
２２…第２配管
２３…第３配管
２４…排気管
３１…第１開閉弁
３２…第２開閉弁
３３…第３開閉弁
３４…第４開閉弁
３５…第５開閉弁
３６…第６開閉弁
３７…第７開閉弁
３８…排気弁
４１…第１圧力計
４２…第２圧力計
４３…差圧計
５１…ワーク
５２…マスタ
Ｈ１…第１温度補償値
Ｈ２…第２温度補償値
Ｈ３…第３温度補償値
ΔＰt1…前補正工程で測定された差圧
ΔＰt2…後補正工程で測定された差圧
ΔＰｒ…漏洩検査工程の測定ステップで測定された差圧
ΔＰs…ΔＰrのうちの漏れによる差圧
ΔＰf…ΔＰrのうちの温度変動による差圧
Ｐｄ…検査圧力
Ｐａ…大気開放時の圧力
Ｔａ…前補正工程における差圧変化の測定時間
Ｔｂ…後補正工程における差圧変化の測定時間
Ｔｒ…漏洩検査工程における差圧変化の測定時間

Claims (6)

1. 検査対象容器の漏れの有無を検査するリーク検査方法であって、
   大気開放してから封止した前記検査対象容器内の圧力変化を第１期間に測定する第１測定ステップと、
   大気開放してから封止した前記検査対象容器内の圧力変化を前記第１期間より後の第２期間に測定する第２測定ステップと、
   前記検査対象容器を所定の検査圧力に加圧した後に封止した前記検査対象容器内の圧力変化を前記第１期間と前記第２期間の間もしくは前記第２期間の後の第３期間に測定する第３測定ステップと、
   前記第１測定ステップの測定結果に基づいて第１温度補償値を求める第１温度補償値算出ステップと、
   前記第２測定ステップの測定結果に基づいて第２温度補償値を求める第２温度補償値算出ステップと、
   前記第１温度補償値と前記第２温度補償値に基づいて、前記第３測定ステップの測定結果を温度補償するための第３温度補償値を算出する第３温度補償値算出ステップと、
   前記第３測定ステップの測定結果を前記第３温度補償値で温度補償したデータに基づいて前記検査対象容器の漏れの有無を判定する判定ステップと、
   を有し、
   前記第３温度補償値算出ステップでは、前記検査圧力の大小、前記検査対象容器の熱容量の大小、外部への熱伝達率の大小、前記検査対象容器と環境との温度差の大小のうちの少なくとも１つに基づいて、前記第３温度補償値を算出する際の前記第１温度補償値と前記第２温度補償値の重み付けをする
   ことを特徴とするリーク検査方法。
2. 前記検査対象容器内の圧力変化として、
   前記第１測定ステップおよび前記第２測定ステップでは、大気開放した基準容器もしくは大気開放してから封止した前記基準容器と、大気開放してから封止した前記検査対象容器との差圧を測定し、
   前記第３測定ステップでは、前記検査圧力に加圧した後に封止した前記基準容器と、前記検査圧力に加圧した後に封止した前記検査対象容器との差圧を測定する
   ことを特徴とする請求項１に記載のリーク検査方法。
3. 前記第３温度補償値算出ステップでは、前記第３期間が前記第１期間と前記第２期間の間であって前記検査圧力が一定以上の場合は、前記検査対象容器の熱容量が小さいほど、もしくは、外部への熱伝達率が大きいほど、もしくは、前記検査対象容器と環境との温度差が大きいほど、前記第１温度補償値の重みを大きくする
   ことを特徴とする請求項１または２に記載のリーク検査方法。
4. 前記第３温度補償値算出ステップでは、前記第３期間が前記第１期間と前記第２期間の間の場合は、前記検査圧力が高いほど、前記第１温度補償値の重みを大きくする
   ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
5. 前記第１温度補償値、前記第２温度補償値、前記第３温度補償値は、漏れがない場合の単位時間当たりの圧力変化量である
   ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
6. 請求項１乃至５のいずれか１つに記載のリーク検査方法を用いて検査対象容器の漏れの有無を検査するリーク検査装置。