JP2016175801A - 接合体、ハニカム構造体、接合体の製造方法及び被覆体 - Google Patents
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Abstract
Description
熱膨張係数が8ppm/K以下の第1部材と、
熱膨張係数が12ppm/K以上の第2部材と、
スピネル型フェライト相を50質量%以上含む導電性酸化物で構成され、前記第1部材と前記第2部材とを接合する接合部と、
を備えたものである。
熱膨張係数が8ppm/K以下の第1部材と熱膨張係数が12ppm/K以上の第2部材との間に導電性酸化物原料を配置した積層体を焼成して、スピネル型フェライト相を50質量%以上含む導電性酸化物で構成され、前記第1部材と前記第2部材とを接合する接合部を形成する工程、
を含むものである。
基材と、
スピネル型フェライト相を50質量%以上含む導電性酸化物で構成され、前記基材との熱膨張係数の差が8ppm/K以下であり、前記基材の表面の全部又は一部を覆うように形成された被覆部と、を備えたものである。
この工程では、基材を作製する。例えば、第1部材や第2部材が多孔質セラミックス又は緻密セラミックスであるときには、原料を混合し、所定の成形方法で成形し成形した成形体を焼成することにより基材を作製するものとしてもよい。この多孔質セラミックスは、例えば、炭化ケイ素、炭化チタン、炭化ホウ素などの炭化物、窒化珪素、窒化アルミニウムなどの窒化物、サイアロンなどの酸窒化物、リン酸ジルコニウムなどから選択される1以上の無機材料を含んで形成するものとしてもよい。また、多孔質セラミックスは、例えば、コージェライト、ムライト、ゼオライト、チタン酸アルミニウム、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ケイ素及び酸化マグネシウムなどから選択される1以上の無機材料を含んで形成するものとしてもよい。この工程では、例えば、骨材である無機材料と、造孔材と、分散媒と、を混合して坏土やスラリーを調整してもよい。このとき、多孔質セラミックスの気孔率や平均細孔径は、上述した範囲、例えば、気孔率は10体積%以上の範囲、平均細孔径は1μm以上300μm以下の範囲になるように原料配合を調製することが好ましい。また、この工程では、多孔質セラミックスの気孔に含浸材を含浸する処理を行い、第1部材や第2部材とするものとしてもよい。この含浸処理は、例えば、多孔質セラミックスの上に含浸基材を形成し、含浸基材が溶融する温度で加熱するものとしてもよい。多孔質セラミックスが、Si結合SiC焼結体であるときに、含浸材は金属Siとしてもよい。
この工程では、第1部材及び第2部材を接合部により接合する接合処理を行う。第1部材及び第2部材は、上述したいずれかの部材を用いるものとすればよい。この接合工程は、例えば、(B−1)第1部材と第2部材との間に、接合部の原料を配置して積層体を製造する積層体製造工程と、(B−2)積層体を焼成する焼成工程と、を含むものとしてもよい。なお、第1部材と第2部材との間に接合部の原料を配置した積層体を別途用意し、(B−1)積層体製造工程を省略するものとしてもよい。
この工程では、第1部材と第2部材との間に接合部の原料を配置して積層体を製造する。接合部の原料は、スピネル型フェライト相を含む導電性酸化物の原料(導電性酸化物原料)を含んでいる。導電性酸化物原料は、スピネル型フェライトそのものを含むものとしてもよいし、スピネル型フェライトを構成する金属元素を含む金属(単体でも合金でもよい)及びスピネル型フェライトを構成する金属元素を含む化合物のうちの1以上を含むものとしてもよいし、この両方としてもよい。このうち、金属粉末と化合物粉末とを含むことがより好ましい。後の焼成工程で、スピネル型フェライトの合成とスピネル型フェライト相を50質量%以上含む導電性酸化物による第1部材と第2部材との接合とを同時に行うことが可能であり、プロセスコストを低減できる。
この工程では、積層体を焼成する。この工程では、導電性酸化物原料がスピネル型フェライトを含む場合、スピネル型フェライトが焼結してスピネル型フェライト相となる。また、導電性酸化物原料がスピネル型フェライトを構成する金属元素を含む金属及びその化合物のうちの1以上を含む場合、これらが単独で又は複合的に酸化してスピネル型フェライト相となる。
[実験例1〜8]
実験例1〜8では、第1部材としてSi結合SiC、第2部材としてSUS430、接合部としてZnFe2O4を含む導電性酸化物、を備えた接合体を製造した。具体的には、Fe粉末(57.8質量%)とZnO粉末(42.2質量%)とを配合して導電性酸化物原料粉末を得た。さらに、溶媒としてのαテルピネオールとバインダーとしてのポリビニルブチラール(PVB)とを加えて乳鉢内で混合し、スラリーを作製した。作製したスラリーを、自転公転回転機で脱泡した後、SUS製部材(Cr−Fe系合金、SUS430)(金属部材)に印刷した。この上にSi結合SiC製部材(多孔質セラミックス)を載せ、積層体を作製した。Si結合SiC製部材の上からアルミナ板で抑え、大気中80℃で4時間乾燥させたあと、大気中800℃で1時間焼成し、実験例1の接合体を製造した。なお、この接合体は、図6に示すように、SUS製部材及びSi結合SiC製部材としてそれぞれφ2mmの孔を有するものを用い、孔が互い違いになるように(孔が重ならないように)接合し、接合部の一部が露出しているものとした。
実験例9では、第1部材としてSi含浸SiC、第2部材としてSUS304、接合部としてZnFe2O4を含む導電性酸化物、を備えた接合体を製造した。具体的には第1部材としてSi含浸SiCを用い、第2部材としてSUS304を用いた以外は、実験例3と同様に実験例9の接合体を製造した。
ZnFe2O4を含む導電性酸化物に代えて、Agロウを用いた以外は、実験例1と同様に実験例10の接合体を製造した。
上記作製した接合体を用い、接合部の結晶相を同定した。測定は、回転対陰極型X線回折装置(理学電機社製、RINT)を用い、上記作製した接合体から金属部材を取り除き、接合部を露出したものを測定試料とし、接合部表面のX線回折パターンを得た。X線回折測定の条件は、CuKα線源、50kV、300mA、2θ=20〜60°とした。また、得られたX線回折データを、MDI社製「X線データ解析ソフトJADE7」を用いて解析した。実験例1〜9の接合部は、スピネル型フェライト相を50質量%以上含むことが確認された。
上記作製した接合体を用い、結晶相の構成割合を分析した。測定には、回転対陰極型X線回折装置(理学電機社製、RINT)を用いた。接合部表面のX線回折パターンからRIR(Reference Intensity Ratio)法にて算出した。図7に、実験例1〜6のX線回折パターンを示す。図7では、Siの回折ピークが存在するが、これはピークシフト量を測定するために参照物質として添加したSiに起因するものである。ピークシフト量は、スピネル型酸化物ZnFe2O4のJCPDSカードNo.22−1012の(311)面の回折ピーク位置の2θの値と、測定データ中の(311)面の回折ピーク位置2θの値との差の値とした。算出方法は、まず測定試料や装置のセッティングによるピーク位置のずれを調整するため、SiのJCPDSカードNo.27−1402の(111)面の回折ピーク位置と測定データのSiの(111)面の回折ピークが一致するよう、測定データのピーク位置を調整した。その後、スピネル型酸化物ZnFe2O4のJCPDSカードNo.22−1012の(311)面の回折ピーク位置の2θの値と、測定データ中の(311)面の回折ピーク位置2θの値との差を算出した。
接合体の接合性は、接合体断面のSEM観察により評価した。上記作製した接合体を樹脂で包含し、ダイヤモンドスラリー等で鏡面程度まで研磨し観察試料を作製した。次に、SEMを用いて1500倍の倍率で観察して、多孔質セラミックス及び金属部材と接合部との剥離や、多孔質セラミックス、金属部材、接合部におけるクラックの発生を確認した。その後、以下の基準で評価した。上記剥離及び上記クラックの発生が認められなかった場合を「A(優良)」とした。大きな剥離又はクラックが認められた場合を、「F(不可)」とした。
耐熱試験は、以下のように行った。実験例1〜10の接合体を大気中で800℃まで加熱して24時間保持し熱処理をした。熱処理後、接合部の露出面の2箇所に、Agペースト(デュポン製4922N)をφ1.5mmの寸法で塗布及び乾燥し、電極端子を作製した。測定試料の電極端子に通電し、電気伝導率を測定し熱処理前後での電気伝導率の変化を評価した。
接合体の接合強度は、引張試験(JIS R 1606に準拠)により評価した。接合強度が5.0MPa以上の場合を「A(優良)」、接合強度が3.0MPa以上5.0MPa未満の場合を「B(良)」、接合強度が1.5MPa以上3.0MPa未満の場合を「C(可)」、接合強度が1.5MPa未満の場合を「F(不可)」とした。なお、この接合強度の評価は、上述した耐熱試験前後に行った。
接合部の電気伝導率の評価は、以下のように行った。実験例1〜10の接合体を用い、接合部の露出面の2箇所に、Agペースト(デュポン製4922N)をφ2mmの寸法で塗布及び乾燥し、電気伝導率測定用の電極を作製した。作製した測定用電極に端子を押しつけ、直流2端子法で電気抵抗を測定した。測定した電気抵抗R(Ω)、測定電極面積S(cm2)、電極間距離L(cm)から、体積抵抗率r(Ωcm)をr=R×S/Lの式により算出し、電極部の電気伝導率ρ(Scm-1)を、ρ=1/Rの式により算出した。なお、この電気伝導率の評価は、上述した耐熱試験前後に行った。
上記測定結果に応じて、各サンプルを総合評価した。この総合評価では、熱サイクル後の接合強度が「A」、且つ熱サイクル後の電気伝導率が1.0×10-3S/cm以上である場合、を「A(優良)」とした。熱サイクル後の接合強度が「A」、且つ熱サイクル後の電気伝導率が1.0×10-3S/cm未満の場合、及び、熱サイクル後の接合強度が「B」、熱サイクル後の電気伝導率が1.0×10-3S/cm以上である場合、を「B(良)」とした。熱サイクル後の接合強度が「B」、且つ熱サイクル後の電気伝導率が1.0×10-3S/cm未満の場合、を「C(可)」とした。熱サイクル後の接合強度が「F」である場合、を「F(不可)」とした。
実験例1〜10の各接合体について、原料の配合割合、Zn/Fe比、第1部材の材質及び熱膨張係数、第2部材の材質及び熱膨張係数、焼成雰囲気、焼成温度、を表1に示した。また、接合性、耐熱前後の接合強度、耐熱前後の接合部の電気伝導率、総合評価を、表2に示した。表1,2に示すように、スピネル型フェライト相を含む導電性酸化物で構成された接合部を備えた実験例1〜9では、総合評価がいずれも「A」〜「C」と良好であった。これに対して、Agロウ材を接合部に用いた実験例10では、耐熱サイクル性が低く、総合評価が「F」であった。
Claims (15)
- 熱膨張係数が8ppm/K以下の第1部材と、
熱膨張係数が12ppm/K以上の第2部材と、
スピネル型フェライト相を50質量%以上含む導電性酸化物で構成され、前記第1部材と前記第2部材とを接合する接合部と、
を備えた接合体。 - 前記導電性酸化物は、Feと元素A(但し元素Aは、Mg、Mn、Co、Ni、Cu、Znからなる群より選ばれる1以上)とを含む、請求項1に記載の接合体。
- 前記導電性酸化物は、Feに対する元素Aのモル比A/Feが0.5以下である、請求項1又は2に記載の接合体。
- 前記導電性酸化物は、Feに対する元素Aのモル比A/Feが0.25以上0.4以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の接合体。
- 前記導電性酸化物は、ZnFe2O4、CuFe2O4、MnFe2O4からなる群より選ばれる1以上のスピネル型フェライト相を含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の接合体。
- 前記接合部の熱膨張係数は、8ppm/K以上12ppm/K以下である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の接合体。
- 前記接合部の電気伝導率は、1.0×10-6S/cm以上である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の接合体。
- 前記第1部材はSiを含有するセラミックスであり、前記第2部材はFeを含有する合金である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の接合体。
- 接合強度が3.0MPa以上である、請求項1〜8のいずれか1項に記載の接合体。
- 前記接合部は、前記第1部材側の表面の一部及び前記第2部材側の表面の一部のうちの少なくとも一方が露出している、請求項1〜9のいずれか1項に記載の接合体。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載の接合体を備えたハニカム構造体。
- 熱膨張係数が8ppm/K以下の第1部材と熱膨張係数が12ppm/K以上の第2部材との間に導電性酸化物原料を配置した積層体を焼成して、スピネル型フェライト相を50質量%以上含む導電性酸化物で構成され、前記第1部材と前記第2部材とを接合する接合部を形成する工程、
を含む、接合体の製造方法。 - 前記導電性酸化物原料は、金属粉末と化合物粉末とを含む、請求項12に記載の接合体の製造方法。
- 前記化合物粉末は、酸化物粉末、炭酸塩粉末、水酸化物塩粉末、塩化物塩粉末からなる群より選ばれる1種以上である請求項13に記載の接合体の製造方法。
- 基材と、
スピネル型フェライト相を50質量%以上含む導電性酸化物で構成され、前記基材との熱膨張係数の差が8ppm/K以下であり、前記基材の表面の全部又は一部を覆うように形成された被覆部と、
を備えた被覆体。
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