JP2016172221A - 液滴吐出方法、プログラムおよび膜付きデバイスの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液滴吐出装置が備えるヘッドユニットの１度の走査で、基板が備える異なる被吐出領域が備える機能領域にそれぞれ吐出重量が異なる液滴を供給することができる液滴吐出方法、かかる液滴吐出方法を実施するためのプログラム、および、かかる液滴吐出方法を用いた膜付きデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】液滴吐出方法は、液滴吐出ヘッドＮＨ毎に、液滴吐出ヘッドＮＨが備える吐出ノズルから吐出する液滴の吐出重量を設定する工程と、ヘッドユニット１８を、基板に対して主走査方向に相対的に移動させる際に、複数の液滴吐出ヘッドＮＨのうち、第１被吐出領域上を通過する液滴吐出ヘッドＮＨは、吐出ノズルから第１吐出重量の液滴を、第１機能領域に供給する。また、第２被吐出領域上を通過する液滴吐出ヘッドＮＨは、吐出ノズルから第２吐出重量の液滴を、第２機能領域に供給する工程とを有する。
【選択図】図２

Description

本発明は、液滴吐出方法、プログラムおよび膜付きデバイスの製造方法に関する。

成膜材料を溶媒に溶解してなる成膜性インクを液滴吐出装置を用いて基板上に供給（塗
布）し、その基板上の成膜性インクから溶媒を除去（乾燥）することにより成膜を行う成
膜方法が実用に供されている（例えば、特許文献１参照）。

この成膜方法を用いて、例えば、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子の有
機層（例えば、発光層および正孔輸送層等）、カラーフィルターの着色層および配線基板
の導体パターン等の膜付きデバイスが備える各種膜を形成することが提案されている。

このような有機層や、導体パターン等の膜のパターニング（成膜方法）は、形成すべき
膜の形状に対応した開口部を備える隔壁（バンク）を基板（成膜用基板）上に形成して成
膜領域を確保した後、その開口部内に、成膜用インクを液滴として供給し、その後、加熱
して溶媒を除去することにより行われる。

さらに、有機ＥＬ素子等の膜付きデバイスは、その生産性を向上させるという観点から
は、１つの基板からサイズの異なる膜付きデバイスを複数個取り（共取り）することが行
われることがある。そのため、膜付きデバイスを製造するために基板上に形成される隔壁
は、異なるサイズの膜付きデバイス毎に、膜の平面視の大きさや厚さが異なってくる。

ここで、このような成膜方法に用いられる液滴吐出装置が備えるヘッドユニットは、複
数の液滴吐出ヘッドを備えている。そして、これら液滴吐出ヘッドは、一般に、吐出ノズ
ルを複数備えており、個々の吐出ノズルから成膜性インクを液滴として吐出し、この吐出
された液滴が、隔壁が備える開口部に供給される。また、このような液滴吐出ヘッドは、
複数の吐出ノズルを備えるが、１度のヘッドユニットの走査では、これら吐出ノズル同士
は、予め設定された同一の吐出重量の液滴を吐出するように設計されている。

そのため、１度のヘッドユニットの走査の際に、異なるサイズの膜付きデバイスを形成
するための隔壁（被吐出領域）のうちの双方の上側を通過する場合には、双方の隔壁が備
える開口部（機能領域）に供給すべき吐出重量を有する液滴を供給することは困難であっ
た。

なお、特許文献２では、液滴吐出ヘッドが備える複数の吐出ノズルから吐出される液滴
の吐出重量を測定し、測定された吐出重量でグループ化した後に各吐出ノズルグループに
駆動波形を割り当てることにより、吐出ノズル間での吐出重量にばらつきが生じるのを補
正する方法が提案されている。しかしながら、この方法は、あくまでも、液滴吐出ヘッド
における、複数の吐出ノズル間での吐出重量にばらつきが生じるのを防止する方法であり
、このような方法を用いても、異なる隔壁が備える開口部に、異なる吐出重量を有する液
滴を、１度のヘッドユニットの走査で、供給することはできなかった。

特開平１１−５４２７０号公報 特開２００８−２７６０８８号公報

本発明の目的は、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットの１度の走査で、基板が備える
異なる被吐出領域が備える機能領域にそれぞれ吐出重量が異なる液滴を供給することがで
きる液滴吐出方法、かかる液滴吐出方法を実施するためのプログラム、および、かかる液
滴吐出方法を用いた膜付きデバイスの製造方法を提供することにある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］
本発明の液滴吐出方法は、第１機能領域を備える第１被吐出領域と、第２機能領域を備
える第２被吐出領域とを有する基体の前記第１機能領域と前記第２機能領域とに液滴を供
給するための液滴吐出方法であって、
前記液滴を供給するために液滴吐出装置が用いられ、前記液滴吐出装置は、前記液滴を
吐出する液滴吐出ヘッドを複数備えるヘッドユニットを有し、複数の前記液滴吐出ヘッド
は、前記液滴を吐出する際に、前記ヘッドユニットを前記基体に対して走査する第１の方
向と交差する第２の方向において異なる位置に配設され、それぞれ、前記液滴を吐出する
吐出ノズルを有し、
複数の液滴吐出ヘッド毎に、前記液滴吐出ヘッドが備える前記吐出ノズルから吐出する
前記液滴の吐出重量を設定する第１工程と、
前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第１の方向に相対的に移動させる際に、
複数の前記液滴吐出ヘッドのうち、前記第１被吐出領域或いは前記第２被吐出領域の、ど
ちらか一方に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドが、前記吐出ノズルか
ら前記基体に前記液滴を供給する第２工程と、を有し、
前記第２工程において、
前記第１被吐出領域に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドは、前記吐
出ノズルから第１吐出重量の前記液滴を、前記第１機能領域に供給し、
前記第２被吐出領域に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドは、前記吐
出ノズルから第２吐出重量の前記液滴を、前記第２機能領域に供給することを特徴とする
。

かかる構成の液滴吐出方法とすることで、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットの１度
の走査で、基板が備える異なる被吐出領域が備える機能領域にそれぞれ吐出重量が異なる
液滴を供給することができる。

［適用例２］
本発明の液滴吐出方法では、前記第１被吐出領域と前記第２被吐出領域とは、前記第２
の方向において異なる位置に配設されていることが好ましい。

かかる構成の基板に対して、本発明の液滴吐出方法を適用することで、液滴吐出装置が
備えるヘッドユニットの１度の走査で、基板が備える異なる被吐出領域が備える機能領域
にそれぞれ吐出重量が異なる液滴を供給することができる。

［適用例３］
本発明の液滴吐出方法では、複数の前記液滴吐出ヘッドは、それぞれ、複数の前記吐出
ノズルが前記第１の方向と交差する第３の方向に配設されてなるノズル列を有することが
好ましい。

［適用例４］
本発明の液滴吐出方法では、複数の前記液滴吐出ヘッドは、それぞれ、前記ノズル列の
前記第２の方向に対する幅であるノズル列幅が同一であり、
前記第１被吐出領域と前記第２被吐出領域とは、前記ノズル列幅以上の離間距離で離間
して前記基体上に形成されていることが好ましい。

かかる構成の基板に対して、本発明の液滴吐出方法を適用することで、液滴吐出装置が
備えるヘッドユニットの１度の走査で、基板が備える異なる被吐出領域が備える機能領域
にそれぞれ吐出重量が異なる液滴を供給することができる。

［適用例５］
本発明の液滴吐出方法では、複数の前記液滴吐出ヘッドは、各々が備えるノズル列の前
記第２の方向に対する幅であるノズル列幅が同一であり、
前記第１被吐出領域と前記第２被吐出領域とは、前記ノズル列の前記第３の方向におけ
る長さであるノズル列長未満の離間距離で離間して前記基体上に形成されていることが好
ましい。

かかる構成の基板に対して、本発明の液滴吐出方法を適用することで、基板が備える異
なる被吐出領域が備える機能領域にそれぞれ吐出重量が異なる液滴を供給することができ
る。

［適用例６］
本発明の液滴吐出方法では、少なくとも２回の前記第１工程と前記第２工程とを少なく
とも２回繰り返し、
１回目の前記第２工程において、前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第１の
方向に相対的に移動させる際に、複数の前記液滴吐出ヘッドのうち、前記第１被吐出領域
および前記第２被吐出領域の双方に相対する前記ノズル列を有する前記液滴吐出ヘッドは
、前記吐出ノズルから前記第１吐出重量の前記液滴を、前記第１機能領域に供給し、
２回目の前記第２工程において、前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記主方向
に相対的に移動させる際に、複数の前記液滴吐出ヘッドのうち、前記第１被吐出領域およ
び前記第２被吐出領域の双方に相対する前記ノズル列を有する前記液滴吐出ヘッドは、前
記吐出ノズルから前記第２吐出重量の前記液滴を、前記第２機能領域に供給することが好
ましい。

これにより、基板が備える異なる被吐出領域が備える機能領域にそれぞれ吐出重量が異
なる液滴を供給することができる。

［適用例７］
本発明の液滴吐出方法では、前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第１の方向
に相対的に移動させる際に、複数の前記液滴吐出ヘッドのうち、前記第１被吐出領域およ
び前記第２被吐出領域の双方に相対する前記ノズル列を有する前記液滴吐出ヘッドは、前
記ノズル列のいずれの前記吐出ノズルも、前記液滴を吐出しないことが好ましい。
これにより、前記第１被吐出領域および前記第２被吐出領域の何れか一方に吐出重量が
適切でない液滴が供給されるのを防止することができる。

［適用例８］
本発明の液滴吐出方法では、前記第１工程において、前記第２工程の前記主査方向の前
記移動で複数の前記液滴吐出ヘッドが通過する位置情報に基づいて、
前記第１被吐出領域に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドには、前記
吐出ノズルから前記第１吐出重量の前記液滴を吐出するよう予め設定し、
前記第２被吐出領域に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドには、前記
吐出ノズルから前記第２吐出重量の前記液滴を吐出するよう予め設定することが好ましい
。

これにより、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットの１度の走査で、基板が備える異な
る被吐出領域が備える機能領域にそれぞれ吐出重量が異なる液滴を供給することができる
。

［適用例９］
本発明の液滴吐出方法では、前記第２工程の後に、前記ヘッドユニットを、前記基体に
対して前記第２の方向に相対的に移動させる第３工程を有することが好ましい。

［適用例１０］
本発明の液滴吐出方法では、前記第３工程の後に、さらに、前記第１工程および前記第
２工程を行うことが好ましい。

これにより、主走査方向に沿った開口部に対する液滴の供給を連続的に行うことができ
る。

［適用例１１］
本発明のプログラムは、第１機能領域を備える第１被吐出領域と、第２機能領域を備え
る第２被吐出領域とを有する基体の前記第１機能領域と前記第２機能領域とに液滴を供給
するための液滴吐出方法に用いられる液滴吐出装置の駆動を制御するためのプログラムで
あって、
前記液滴吐出装置は、前記液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを複数備えるヘッドユニット
を有し、複数の前記液滴吐出ヘッドは、前記液滴を吐出する際に、前記ヘッドユニットを
前記基体に対して走査する第１の方向と交差する第３の方向に沿って配設され、それぞれ
、前記液滴を吐出する吐出ノズルを有し、
複数の液滴吐出ヘッド毎に、前記液滴吐出ヘッドが備える前記吐出ノズルから吐出する
前記液滴の吐出重量を設定する第１ステップと、
前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第１の方向に相対的に移動させる際に、
複数の前記液滴吐出ヘッドのうち、前記第１被吐出領域或いは前記第２被吐出領域の、ど
ちらか一方に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドが、前記吐出ノズルか
ら前記基体に前記液滴を供給する第２ステップと、を有し、
前記第２ステップにおいて、
前記第１被吐出領域に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドは、前記吐
出ノズルから第１吐出重量の前記液滴を、前記第１機能領域に供給し、
前記第２被吐出領域に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドは、前記吐
出ノズルから第２吐出重量の前記液滴を、前記第２機能領域に供給するよう構成されるこ
とを特徴とする。

かかる構成のプログラムによって実施される液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法により
、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットの１度の走査で、基板が備える異なる被吐出領域
が備える機能領域にそれぞれ吐出重量が異なる液滴を供給することができる。

［適用例１２］
本発明の膜付きデバイスの製造方法は、本発明の液滴吐出方法を用いて、前記液滴を前
記第１機能領域および前記第２機能領域に供給して、前記第１機能領域および前記第２機
能領域内で、それぞれ、露出する前記基体上に、液状被膜を形成する供給工程と、
前記液状被膜を乾燥させることで、前記第１機能領域および前記第２機能領域内で、そ
れぞれ、露出する前記基体上に膜を成膜する成膜工程と、
前記第１被吐出領域および前記第２被吐出領域毎に前記基体を厚さ方向に切断すること
でサイズの異なる複数の膜付きデバイスを得る切断工程とを有することを特徴とする。

かかる膜付きデバイスの製造方法によれば、サイズの異なる膜付きデバイスを一括して
複数製造することができる。

本発明の液滴吐出方法に用いられる液滴吐出装置の一例の概略構成を示す斜視図である。 図１に示す液滴吐出装置が備えるヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図である。 図２に示すヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの要部の概略構成を示す断面図である。 図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。 図１に示す液滴吐出装置を用いた成膜方法を説明する図である。 図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法が適用される基板の構成を示す平面図である。 図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法）の第１実施形態を説明する平面図である。 図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法）の第１実施形態を説明するためのフローチャートである。 図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法）の第１実施形態の他の構成を説明する平面図である。 図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法）の第２実施形態を説明する平面図である。 図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法）の第２実施形態を説明するためのフローチャートである。 発光装置の一例である表示装置を示す断面図である。 図１２に示す表示装置が備える発光素子の断面図である。 電子機器の一例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。 電子機器の一例である携帯電話機（スマートフォン、ＰＨＳ等も含む）の構成を示す斜視図である。 電子機器の一例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。

以下、本発明の液滴吐出方法、プログラムおよび膜付きデバイスの製造方法について、
図面に示す好適な実施形態に基づいて説明する。なお、各図では、説明の便宜上、各部の
縮尺が適宜変更されており、図示の構成は実際の縮尺と必ずしも一致するわけではない。

まず、本発明の液滴吐出方法、プログラムおよび膜付きデバイスの製造方法に先立って
、本発明の液滴吐出方法に用いられる液滴吐出装置の一例の全体構成について説明する。

（液滴吐出装置）
図１は、本発明の液滴吐出方法に用いられる液滴吐出装置の一例の概略構成を示す斜視
図、図２は、図１に示す液滴吐出装置が備えるヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの
配置を示す模式的な平面図、図３は、図２に示すヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッド
の要部の概略構成を示す断面図である。なお、図１には、説明の便宜上、互いに直交する
Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸が図示されている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸
に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、図１では
、Ｚ軸が鉛直方向に沿っており、＋Ｚ軸方向側（Ｚ軸を示す矢印の先端側）を「上」、−
Ｚ軸方向側（Ｚ軸を示す矢印の基端側）を「下」という。また、図２では、ヘッドユニッ
トを上側から見たときの液滴吐出ヘッドの配置を模式的に示している。

図１に示す液滴吐出装置６は、インクジェット装置である。この液滴吐出装置６は、基
台７と、１対の案内レール８と、ステージ９と、主走査位置検出装置１０と、支持台１２
と、案内部材１３と、収納タンク１４と、案内レール１５と、キャリッジ１６と、副走査
位置検出装置１７と、ヘッドユニット１８と、を備えている。

基台７は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に沿った上面７ａを有する直方体形状をなしている
。そして、基台７の上面７ａには、Ｙ軸方向に沿って延びている１対の案内レール８が設
置されている。

この１対の案内レール８には、図示しない直動機構を介して、ステージ９が取り付けら
れている。これにより、ステージ９を１対の案内レール８に沿って移動させることで、ヘ
ッドユニット１８が備える液滴吐出ヘッド部５１０をステージ９に対して主走査方向（本
実施形態ではＹ軸方向）に相対的に移動させることができる。本実施形態では、かかる直
動機構として、例えば、リニアモーターが用いられており、ステージ９がＹ軸方向に沿っ
て所定の速度で往動と復動とを繰り返すようになっている。なお、かかる直動機構は、リ
ニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であってもよい。

また、基台７の上面７ａには、主走査位置検出装置１０が設けられている。この主走査
位置検出装置１０により、基台７に対するステージ９のＹ軸方向での位置（すなわち主走
査方向での位置）が検出される。

ステージ９の上面には、基板（基体）２が載置される載置面１１が形成されている。こ
の載置面１１には、図示しない吸引式のチャック機構が設けられている。このチャック機
構により、載置面１１上の基板２が載置面１１に対して吸着・固定される。

また、Ｘ軸方向における基台７の両端部には、上側に延びている１対の支持台１２が設
けられている。この１対の支持台１２には、Ｘ軸方向に沿って延びている案内部材１３が
架設されている。この案内部材１３の上側には、成膜性インク２６が収納されている収納
タンク１４が設置されている。

一方、案内部材１３の下側には、Ｘ軸方向に沿って延びている案内レール１５が設置さ
れている。この案内レール１５には、図示しない直動機構を介して、キャリッジ１６が取
り付けられている。これにより、キャリッジ１６を案内レール１５に沿って移動させるこ
とで、ヘッドユニット１８が備える液滴吐出ヘッド部５１０をステージ９に対して、主走
査方向（第１の方向）に直交（交差）する副走査方向（本実施形態ではＸ軸方向）に相対
的に移動させることができる。本実施形態では、かかる直動機構として、例えば、リニア
モーターが用いられており、任意のタイミング（例えば、前述した主走査の往動と復動と
の切り換え時）にキャリッジ１６がＸ軸方向に沿って移動するようになっている。なお、
かかる直動機構は、リニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であっても
よい。

また、案内部材１３のキャリッジ１６側には、副走査位置検出装置１７が設けられてい
る。この副走査位置検出装置１７により、案内部材１３に対するキャリッジ１６のＸ軸方
向での位置（すなわち副走査方向（第２の方向）での位置）が検出される。

キャリッジ１６には、ヘッドユニット１８が設置されている。
このヘッドユニット１８は、図２に示すように、同一の構成をなす３つの液滴吐出ヘッ
ド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃを有し、これら３つの液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５
１０Ｂ、５１０Ｃが、副走査方向（本実施形態ではＸ軸方向）に沿って配設されている。
そして、各液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃは、それぞれ、複数（本実施
形態では１２個）の液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２を有している。

各液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃにおいて、各液滴吐出ヘッドＮＨは
、６つの液滴吐出ヘッドＮＨからなる２つのサブグループ（ＮＨ０１〜ＮＨ０６と、ＮＨ
０７〜ＮＨ１２と）に分けられ、各サブグループにおいて、６つの液滴吐出ヘッドＮＨが
Ｙ軸方向に沿って、副走査方向（本実施形態ではＸ軸方向）に一定間隔ずらした状態で、
並んで配設されている。また、２つのサブグループは、Ｘ軸方向で離間して並んで配設さ
れている。

これら液滴吐出ヘッドＮＨは、それぞれ、同一の形状をなしており、Ｘ軸方向に対する
幅であるヘッド長がＢ１の大きさとなっている。

さらに、各液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃにおいて、Ｘ軸方向に対し
て各液滴吐出ヘッドＮＨは、ＮＨ０１〜ＮＨ０６のサブグループでは、液滴吐出ヘッドＮ
Ｈ（０１＋ｎ）の＋Ｘ軸方向側の端部と、液滴吐出ヘッドＮＨ（０４＋ｎ）の−Ｘ軸方向
側の端部とがＹ軸方向に沿って重なるようにずらして配置され、ＮＨ０７〜ＮＨ１２のサ
ブグループでは、液滴吐出ヘッドＮＨ（０７＋ｎ）の＋Ｘ軸方向側の端部と、液滴吐出ヘ
ッドＮＨ（１０＋ｎ）の−Ｘ軸方向側の端部とがＹ軸方向に沿って重なるようにずらして
配置されている（ｎは、１または２。）。

そして、ＮＨ０１〜ＮＨ０６のサブグループにおける液滴吐出ヘッドＮＨ（０４＋ｎ）
の＋Ｘ軸方向側の端部と、ＮＨ０７〜ＮＨ１２のサブグループにおける液滴吐出ヘッドＮ
Ｈ（０７＋ｎ）の−Ｘ軸方向側の端部とがＹ軸方向に沿って重なるようにずらして配置さ
れ、さらに、ＮＨ０７〜ＮＨ１２のサブグループにおける液滴吐出ヘッドＮＨ（１０＋ｎ
）の＋Ｘ軸方向側の端部と、隣接する液滴吐出ヘッド部５１０が有するＮＨ０１〜ＮＨ０
６のサブグループにおける液滴吐出ヘッドＮＨ（０１＋ｎ）の−Ｘ軸方向側の端部とがＹ
軸方向に沿って重なるようにずらして配置されている（ｎは、１または２。）。

かかる構成で、各液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃにおいて、Ｘ軸方向
（第２の方向）に対して各液滴吐出ヘッドＮＨをずらして配列することで、Ｘ軸方向で隣
接する液滴吐出ヘッドＮＨ（０１＋ｎ）と液滴吐出ヘッドＮＨ（０７＋ｎ）とのＸ軸方向
に対する離間距離を、それぞれ、液滴吐出ヘッドＮＨのＸ軸方向に対する幅であるヘッド
長Ｂ１に設定することができる（ｎは、１〜５の整数。）。

したがって、各液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃを、Ｘ軸方向に対して
ヘッド長Ｂ１の大きさで移動させる（副走査させる）ことで、ＮＨ０１〜ＮＨ０６のサブ
グループにおいて、液滴吐出ヘッドＮＨ（０４＋ｎ）を、液滴吐出ヘッドＮＨ（０１＋ｎ
）が位置した、Ｙ軸方向に沿った位置に配置させることができ、ＮＨ０７〜ＮＨ１２のサ
ブグループにおいて、液滴吐出ヘッドＮＨ（１０＋ｎ）を、液滴吐出ヘッドＮＨ（０７＋
ｎ）が位置した、Ｙ軸方向に沿った位置に配置させることができる（ｎは、１または２。
）。さらに、この状態から、Ｘ軸方向に対してヘッド長Ｂ１の大きさで移動させる（副走
査させる）こと、すなわち、合計２×Ｂ１の大きさで移動させることで、ＮＨ０７〜ＮＨ
１２のサブグループにおける液滴吐出ヘッドＮＨ（０７＋ｎ）を、ＮＨ０１〜ＮＨ０６の
サブグループにおける液滴吐出ヘッドＮＨ（０１＋ｎ）が位置した、Ｙ軸方向に沿った位
置に配置させることができる（ｎは、１〜５の整数。）。

さらに、各液滴吐出ヘッドＮＨは、複数（本実施形態では５個）の吐出ノズル５１１を
有しており、これらが、Ｘ軸方向に一定の離間距離（ノズルピッチ）を空けて並んで配設
されノズル列ＮＬを形成している。なお、本実施形態では、このノズル列ＮＬにおいて複
数の吐出ノズル５１１が並ぶ方向（第３の方向）がＸ軸方向（第２の方向）に一致して、
ノズル列のＮＬの第３の方向における長さであるノズル列長Ｂ２をノズル列幅、すなわち
吐出幅として形成されている。また、この第３の方向は、Ｘ軸方向に対して、一致してい
なくてもよい。さらに、各液滴吐出ヘッドＮＨにおいて、複数の吐出ノズル５１１からな
るノズル列ＮＬは、１列に限らず、２列以上であってもよい。

また、この液滴吐出装置６では、各吐出ノズル５１１から吐出される液滴２９の吐出重
量は、各吐出ノズル５１１の駆動波形を変更することで、変更し得るが、１つの液滴吐出
ヘッドＮＨが有する各吐出ノズル５１１同士間では、同一の吐出重量を有する液滴２９が
吐出するよう設定される。さらに、１つの液滴吐出ヘッドＮＨが有する各吐出ノズル５１
１は、それぞれ独立して、所望の位置のものを選択的に、液滴２９の吐出の有無を選択で
きるようになっている。

なお、本実施形態では、液滴吐出ヘッド部５１０を、３つ備えるものを例示したが、こ
れに限定されず、少なくとも１つ備えていればよく、また、各液滴吐出ヘッド部５１０に
おいて、液滴吐出ヘッドＮＨを１２個備えるものを例示したが、これに限定されず、少な
くとも１つ備えていればよく、さらに、各液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０
Ｃにおいて、Ｘ軸方向で隣接する液滴吐出ヘッドＮＨ（０１＋ｎ）と液滴吐出ヘッドＮＨ
（０７＋ｎ）とのＸ軸方向に対する離間距離を、それぞれ、ヘッド長Ｂ１に設定する必要
はなく、任意の離間距離に設定することもできる。

以上のよう液滴吐出ヘッド部５１０が備える液滴吐出ヘッドＮＨは、以下のような構成
をなすことにより、それらが備える吐出ノズル５１１から液滴２９が吐出される。

すなわち、各液滴吐出ヘッドＮＨは、図３に示すように、ノズルプレート２３を備え、
このノズルプレート２３には、複数の吐出ノズル５１１が形成されている。

より具体的に説明すると、各液滴吐出ヘッドＮＨは、ノズルプレート２３と、キャビテ
ィ２５と、振動板２７と、圧電素子２８と、を有している。

ノズルプレート２３には、複数の吐出ノズル５１１が形成されている。このノズルプレ
ート２３に対して上側には、各吐出ノズル５１１に対応して、吐出ノズル５１１に連通し
ているキャビティ２５（圧力室）が設けられている。このキャビティ２５は、図示しない
流路を介して、前述した収納タンク１４に連通されており、収納タンク１４からの成膜性
インク２６が供給される。

また、キャビティ２５の上側には、振動板２７が配置されている。この振動板２７は、
キャビティ２５の内壁面の一部を構成している。この振動板２７のキャビティ２５とは反
対側の面には、圧電素子２８が配置されている。この圧電素子２８は、素子駆動信号を受
けると、上下方向（Ｚ軸方向）に伸張または収縮して振動板２７を上下方向（Ｚ軸方向）
に振動させる。これにより、キャビティ２５内の容積の縮小を伴ってキャビティ２５内が
加圧される。その結果、そのキャビティ２５内の容積の縮小分に対応した量の成膜性イン
ク２６が吐出ノズル５１１から液滴２９として吐出される。吐出された液滴２９は、隔壁
２０が備える開口部２１で露出する基板２上に着弾する。

なお、各液滴吐出ヘッドＮＨが有する複数の吐出ノズル５１１が並ぶノズル列ＮＬの方
向（第３の方向）は、上述のように、Ｘ軸方向に対して、一致していてもよいし一致して
いなくてもよいが、これらの双方の位置を取り得るように、ヘッドユニット１８において
、各液滴吐出ヘッドＮＨは、ＸＹ平面で回動可能に設けられていてもよい。

以上、液滴吐出装置６の構成を説明したが、この液滴吐出装置６を用いた液滴吐出方法
については、後に詳述する。

［液滴吐出装置の制御系］
次に、液滴吐出装置６の制御系について説明する。

図４は、図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。
図４に示すように、液滴吐出装置６は、液滴吐出装置６の各部の動作を制御する制御装
置４１（制御部）を備えている。この制御装置４１は、各種の演算処理を行うＣＰＵ（中
央演算処理装置）４２と、各種情報を記憶するメモリー４３（記憶部）と、を備えている
。

ここで、ＣＰＵ４２には、入出力インターフェイス４６およびデータバス４７を介して
、前述した主走査位置検出装置１０および副走査位置検出装置１７がそれぞれ接続されて
いる。また、上記以外にも、ＣＰＵ４２には、入出力インターフェイス４６およびデータ
バス４７を介して、主走査駆動装置４４、副走査駆動装置４５、ヘッド駆動回路４８、入
力装置４９および表示装置５０がそれぞれ接続されている。

主走査駆動装置４４は、前述したステージ９の主走査方向での移動を行うための駆動源
であり、副走査駆動装置４５は、前述したキャリッジ１６の副走査方向での移動を行うた
めの駆動源である。また、ヘッド駆動回路４８は、前述した液滴吐出ヘッドＮＨを駆動す
るものである。

入力装置４９は、液滴吐出装置６の各種動作条件が入力される装置であり、例えば、図
示しない外部装置から、基板２に液滴２９を吐出する座標情報が入力される。

また、表示装置５０は、液滴吐出装置６の加工条件や作業状況等の各種情報を表示する
装置である。操作者は、表示装置５０に表示される情報に基づいて、入力装置４９を用い
て操作を行うことができる。

メモリー４３は、例えば、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリー、または、ハード
ディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置等を有して構成されている。このメモリ
ー４３には、ＣＰＵ４２の動作に必要な各種情報がプログラムとして記憶されている。

具体的に説明すると、メモリー４３には、液滴吐出装置６における動作の制御手順が記
述されたプログラムソフト（プログラム）５１を記憶する記憶領域が設定される。また、
メモリー４３には、基板２上に吐出する吐出位置の座標データである吐出位置データ５２
を記憶するための記憶領域も設定される。

他にも、メモリー４３には、液滴吐出ヘッドＮＨを駆動するときの駆動波形と吐出量（
吐出重量）の関係を示すデータである駆動電圧データ５３や、液滴吐出ヘッドＮＨを駆動
する駆動波形データ５４等の吐出条件を複数記憶するための記憶領域が設定される。また
、メモリー４３には、吐出する各場所における駆動電圧のデータである吐出計画データ５
５を記憶するための記憶領域が設定される。さらに、メモリー４３には、ＣＰＵ４２のた
めのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種類の記
憶領域が設定される。

ＣＰＵ４２は、メモリー４３に記憶されたプログラムソフト５１に従って、液滴吐出装
置６の各部の制御を行う。このＣＰＵ４２は、描画制御部５６と、吐出条件設定部６１と
、吐出計画設定部６２と、を有している。

描画制御部５６は、液滴吐出ヘッドＮＨから液滴２９を吐出して描画するための制御を
行う。この描画制御部５６は、主走査駆動装置４４を駆動制御する主走査制御部５７と、
副走査駆動装置４５を駆動制御する副走査制御部５８と、ヘッド駆動回路４８を駆動制御
する吐出制御部５９と、を有している。主走査制御部５７は、ステージ９を主走査方向へ
所定の速度で移動させるための制御を行う。副走査制御部５８は、液滴吐出ヘッドＮＨを
副走査方向へ所定の副走査量で移動させるための制御を行う。吐出制御部５９は、液滴吐
出ヘッドＮＨが有する複数のノズルのそれぞれの吐出量や吐出の有無の制御を行う。

吐出条件設定部６１は、塗布領域に吐出する成膜性インク２６の量と吐出特性とに基づ
いて、吐出ノズル５１１から吐出する液滴２９の吐出量と吐出回数を設定する。吐出計画
設定部６２は、液滴２９を吐出する各場所における圧電素子２８の駆動波形を設定する。

以上説明したような液滴吐出装置６を用いて、基板２が備える隔壁２０の開口部２１に
成膜性インクを液滴２９として供給することにより、開口部２１で露出する基板２上に膜
２９Ｄが形成されるが、以下、液滴吐出装置６を用いた液相プロセスによる成膜方法につ
いて説明する。

［成膜方法］
図５は、図１に示す液滴吐出装置を用いた成膜方法を説明する図である。

成膜性インクを用いた成膜方法は、［１］成膜性インクを開口部２１で露出する基板２
上に液滴２９として供給して、液状被膜２９Ｃを形成する工程（供給工程）と、［２］液
状被膜２９Ｃを加熱して、乾燥させることにより膜２９Ｄを形成する工程（成膜工程）と
、を有する。

以下、各工程を順次詳細に説明する。
［１］供給工程（インク付与工程）
まず、図５（ａ）に示すように、開口部２１が形成された隔壁２０を備える基板２を用
意し、次いで、図５（ｂ）に示すように、開口部２１内で露出する基板２上に、前述した
成膜性インクを液滴吐出ヘッドＮＨから液滴２９として吐出・供給する。これにより、開
口部２１内で露出する基板２上に成膜性インクからなる液状被膜２９Ｃが形成される。

なお、本工程［１］における雰囲気の温度および圧力は、それぞれ、成膜性インクの組
成や液性媒体の沸点および融点に応じて決められるものであり、基板２上に成膜性インク
を付与することができれば、特に限定されないが、常温常圧であるのが好ましい。したが
って、常温常圧下において、基板２上に付与可能な成膜性インクを用いるのが好ましい。
これにより、工程［１］を簡単に行える。

［２］成膜工程（乾燥工程）
次に、基板２上に形成された液状被膜２９Ｃ（成膜性インク）を加熱する。

これにより、液状被膜２９Ｃから液性媒体を除去して、液状被膜２９Ｃを乾燥させるこ
とで、図５（ｃ）に示すように、成膜用インクに含まれる成膜材料を主成分とする膜２９
Ｄが形成される。

乾燥工程［２］における雰囲気の温度および圧力は、それぞれ、成膜性インクの組成や
液性媒体の沸点および融点に応じて決められるものであり、基板２上の液状被膜２９Ｃか
ら液性媒体を除去することができれば、特に限定されるものではない。

また、液状被膜２９Ｃを加熱する方法は、特に限定されないが、ホットプレートや赤外
線などで行うことができ、さらに、前述した液滴吐出装置６のステージ９が備えるラバー
ヒータにより行ってもよい。

以上のような工程を有する成膜方法を用いることにより、隔壁２０が備える開口部２１
内で露出する基板２上に、均質で均一な膜厚を有する膜２９Ｄが優れた成膜精度で形成す
ることができるが、ここで、以上のような成膜方法により、開口部２１内で露出する基板
２上に均質で均一な膜厚を有する膜２９Ｄを成膜するには、液滴吐出装置６を用いて吐出
された液滴２９を、優れた精度で開口部２１内に供給する必要がある。

特に、基板２上に膜２９Ｄが形成された膜付きデバイスを、その生産性を向上させると
いう観点から、例えば、３２インチや４２インチのようにサイズの異なるものを１つの基
板２から、複数個取り（共取り）する場合では、膜付きデバイスを製造するために基板２
上に形成される隔壁２０は、膜付きデバイス毎に、その開口部２１のサイズや、向き、さ
らには形成する膜２９Ｄの膜厚等が異なってくる。そのため、液滴２９を開口部２１内に
供給する液滴２９の液滴数、さらには吐出重量を、各膜付きデバイスの開口部２１毎に設
定することが求められるが、液滴吐出装置６を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方
法）を用いることにより、その開口部２１への液滴２９の供給を実現することができる。
以下、液滴吐出装置６を用いた液滴吐出方法により、開口部２１内に液滴２９を供給する
方法について説明する。

［液滴吐出方法］
まず、液滴吐出装置６を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法）の第１実施形態
について説明する。

＜＜第１実施形態＞＞
図６は、図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法が適用
される基板の構成を示す平面図、図７は、図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装
置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法）の第１実施形態を説明する平面図、図
８は、図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の
液滴吐出方法）の第１実施形態を説明するためのフローチャート、図９は、図２に示すヘ
ッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法）の第
１実施形態の他の構成を説明する平面図である。

なお、以下では、図６（ａ）に示すような１つの基板２から、サイズが異なる膜付きデ
バイスとして、サイズが大きい１つの膜付きデバイス２ａと、サイズが小さい２つの膜付
きデバイス２ｂとを共取りする場合を一例に説明する。

以下、液滴吐出装置６を用いた液滴吐出方法の第１実施形態の各工程を順次詳細に説明
する。

＜１＞ まず、操作者は、サイズが大きい１つの膜付きデバイス２ａと、サイズが小さ
い２つの膜付きデバイス２ｂとを共取りするために、複数の開口部（第１開口部）２１ａ
を備える隔壁（第１隔壁）２０ａおよび複数の開口部（第２開口部）２１ｂを備える隔壁
（第２隔壁）２０ｂを、それぞれ、図６（ａ）に示すように、１つおよび２つ備える基板
２を用意し、この基板２を、液滴吐出装置６が備えるステージ９の載置面１１に吸着・固
定させる。

なお、本実施形態では、基板２において、２つの隔壁２０ｂは、Ｙ軸方向に沿って配設
され、１つの隔壁２０ａに対して、Ｘ軸方向に沿って、２つの隔壁２０ｂを＋Ｘ軸方向側
として配設されている。そして、隔壁２０ａにおいて、開口部２１ａは、５０個形成され
ており、それぞれ、Ｘ軸方向に長い長方形状をなしており、Ｘ軸方向に沿って５個、Ｙ軸
方向に沿って１０個ずつ配設されている。また、隔壁２０ｂにおいて、開口部２１ｂは、
５０個形成されており、それぞれ、Ｘ軸方向に長い長方形状をなしており、Ｘ軸方向に沿
って５個、Ｙ軸方向に沿って１０個ずつ配設されている。かかる構成の基板２において、
図６（ａ）に示すように、開口部２１ａは、その開口面積が開口部２１ｂの開口面積より
も大きくなっている。

また、図６（ａ）に示すように、隔壁２０ａと隔壁２０ｂとのＸ軸方向に対する離間距
離Ａ１は、隣接する液滴吐出ヘッドＮＨ同士のＸ軸方向に対する離間距離、すなわちヘッ
ド長Ｂ１以上の大きさとなっている。

また、操作者は、入力装置４９に、基板２の隔壁（第１被吐出領域）２０ａが有する開
口部（第１機能領域）２１ａの位置情報、および、隔壁（第２被吐出領域）２０ｂが有す
る開口部（第２機能領域）２１ｂの位置情報、すなわち、基板２に液滴２９を吐出すべき
座標情報を入力するとともに、開口部２１ａに供給すべき液滴２９の液滴数および吐出重
量、ならびに、開口部２１ｂに供給すべき液滴２９の液滴数および吐出重量を入力（設定
）する（第１工程）。

なお、開口部２１ａならびに開口部２１ｂに供給すべき液滴２９（成膜性インク２６）
の供給量（液滴数および吐出重量）は、開口部２１ａ、２１ｂの開口面積、形成すべき膜
２９Ｄの膜厚および構成材料等に応じて適宜設定される。また、例えば、膜付きデバイス
を、後述する有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子を備える表示装置に適用す
る場合には、開口部２１ａ、２１ｂの開口面積が比較的小さいため、主に液滴２９の吐出
重量を調整することで、開口部２１ａならびに開口部２１ｂに供給する液滴２９の供給量
が設定される。

以上のような開口部２１ａ、２１ｂの位置情報および液滴２９の供給量の入力により、
メモリー４３に記憶されたプログラムソフト５１および各種データ５２〜５５に基づいて
、後述する各工程において、ステージ９、キャリッジ１６および液滴吐出ヘッドＮＨの作
動を制御するＣＰＵ４２の時間的経過を追った動作が決定される。以下、そのステージ９
、キャリッジ１６および液滴吐出ヘッドＮＨの作動を、順次説明する。

なお、以下では、本発明の液滴吐出方法が適用される、主走査方向に対するステージ９
（基板２）のヘッドユニット１８に対する相対的な移動によるＮ回目の主走査の際に、液
滴吐出ヘッド部５１０Ｂが、隔壁２０ａと隔壁２０ｂとの間の空間領域を通過する場合、
さらに、隔壁２０ａの開口部２１ａには吐出重量１８ｎｇ（第１吐出重量）の液滴２９を
、隔壁２０ｂの開口部２１ｂには吐出重量の異なる液滴２９として吐出重量１６ｎｇ（第
２吐出重量）の液滴２９を、それぞれの上側を通過する液滴吐出ヘッドＮＨから供給する
場合について説明する。

＜２＞ まず、副走査制御部５８は、副走査駆動装置４５を駆動させることにより、キ
ャリッジ１６を案内レール１５に沿って移動させ、このキャリッジ１６に装着されたヘッ
ドユニット１８を、Ｎ回目の主走査の際での、副走査方向（Ｘ軸方向）における所定の位
置に移動させる。

＜３＞ 次に、主走査制御部５７は、主走査駆動装置４４を駆動させることにより、ス
テージ９を案内レール８に沿って移動させる（Ｎ回目の主走査）。これにより、ステージ
９上に固定された基板２が、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って移動することとなり、その
結果、ヘッドユニット１８が備える液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが基
板２に対して主走査方向（Ｙ軸方向）に相対的に移動する。

この液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃの基板２に対する主走査方向（Ｙ
軸方向）に対する相対的な移動の際に、本工程＜３＞では、Ｘ軸方向に配列された液滴吐
出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが備える液滴吐出ヘッドＮＨの下側を、同じく
Ｘ軸方向に配列された、液滴２９を供給すべき開口部２１ａを備える隔壁２０ａと開口部
２１ｂを備える隔壁２０ｂとが通過する。

この時、図８に示すように、液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが備える
液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２が、何れの隔壁２０ａ、２０ｂの上を通過するか、す
なわち、液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２が備える吐出ノズルが、何れの隔壁２０ａ、
２０ｂに相対するかに応じて（Ｓ１）、吐出条件設定部６１は、前記工程＜１＞において
、各液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２における吐出重量を設定している（Ｓ２ａ〜Ｓ２
ｃ）。

すなわち、液滴吐出ヘッドＮＨが、隔壁２０ａの上を通過する場合（Ｓ１ａ）、その液
滴吐出ヘッドＮＨから吐出される液滴２９の吐出重量が１８ｎｇ（第１吐出重量）に設定
され（Ｓ２ａ）、隔壁２０ｂの上を通過する場合（Ｓ１ｂ）、その液滴吐出ヘッドＮＨか
ら吐出される液滴２９の吐出重量が１６ｎｇ（第２吐出重量）に設定され（Ｓ２ｂ）、さ
らに、隔壁２０ａ、２０ｂの双方の上を通過しない場合（Ｓ１ｃ）、その液滴吐出ヘッド
ＮＨから吐出される液滴２９の吐出重量が０ｎｇに設定されている（Ｓ２ｃ）。

具体的には、前記工程＜２＞により、図７（ａ）に示すように、ヘッドユニット１８の
Ｘ軸方向における位置が基板２に対して配置された場合、液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５
１０Ｂ、５１０Ｃが備える液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２は、それぞれ、下記表１に
記載のような吐出重量に設定されている。特に、液滴吐出ヘッド部５１０Ｂが備える液滴
吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２のうち、液滴吐出ヘッドＮＨ０３〜ＮＨ０８が、離間距離
Ａ１で離間された隔壁２０ａと隔壁２０ｂとの間の空間領域に位置するが、液滴吐出ヘッ
ドＮＨ０３〜ＮＨ０５の一部が隔壁２０ａの上側を通過し、液滴吐出ヘッドＮＨ０６〜Ｎ
Ｈ０８の一部が隔壁２０ｂの上側を通過するため、液滴吐出ヘッドＮＨ０３〜ＮＨ０５か
ら吐出される液滴２９の吐出重量が１８ｎｇに設定され、液滴吐出ヘッドＮＨ０６〜ＮＨ
０８から吐出される液滴２９の吐出重量が１６ｎｇに設定されている。

そして、液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが備える液滴吐出ヘッドＮＨ
の下側を、開口部２１ａを備える隔壁２０ａと開口部２１ｂを備える隔壁２０ｂの開口部
２１ｂが通過した際に、吐出制御部５９は、ヘッド駆動回路４８の駆動を制御することに
より、予め設定された、吐出重量に基づいて、液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２から開
口部２１ａ、２１ｂに液滴２９を供給する。すなわち、液滴吐出ヘッドＮＨの下側を、開
口部２１ａを備える隔壁２０ａが通過した際には、吐出制御部５９は、液滴吐出ヘッドＮ
Ｈが備える吐出ノズル５１１から開口部２１ａに吐出重量１８ｎｇの液滴２９を供給する
。また、開口部２１ｂを備える隔壁２０ｂが通過した際には、吐出制御部５９は、液滴吐
出ヘッドＮＨが備える吐出ノズル５１１から開口部２１ｂに吐出重量１６ｎｇの液滴２９
を供給する。

なお、液滴吐出ヘッドＮＨの下側を隔壁２０が通過する際に、液滴吐出ヘッドＮＨが備
える吐出ノズル５１１から液滴２９を供給するが、この供給は、液滴吐出ヘッドＮＨが備
える複数の吐出ノズル５１１のうち、隔壁２０が備える開口部２１がその下側を通過する
ものから選択的に供給される。これにより、隔壁２０上に不本意に液滴２９が供給される
ことなく、液滴２９を開口部２１内で露出する基板２上に優れた精度で着弾させることが
できる。

＜４＞ 次に、副走査制御部５８は、副走査駆動装置４５を駆動させることにより、キ
ャリッジ１６を案内レール１５に沿って、ヘッド長Ｂ１の大きさ移動させ、このキャリッ
ジ１６に装着されたヘッドユニット１８を、（Ｎ＋１）回目の主走査の際での、副走査方
向（Ｘ軸方向）における所定の位置に移動させる（第３工程）。

＜５＞ 次に、主走査制御部５７は、主走査駆動装置４４を駆動させることにより、ス
テージ９を案内レール８に沿って移動させる（（Ｎ＋１）回目の主走査）。これにより、
ステージ９上に固定された基板２が、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って移動することとな
り、その結果、ヘッドユニット１８が備える液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１
０Ｃが基板２に対して主走査方向（Ｙ軸方向）に相対的に移動する。

この（Ｎ＋１）回目の主走査による、液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃ
の基板２に対する主走査方向（Ｙ軸方向）に対する相対的な移動の際にも、前記工程＜３
＞のＮ回目の主走査の際と同様に、液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが備
える液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２が、何れの隔壁２０ａ、２０ｂの上を通過するか
に応じて（Ｓ１）、吐出条件設定部６１は、前記工程＜１＞において、各液滴吐出ヘッド
ＮＨ０１〜ＮＨ１２における吐出重量を設定している（Ｓ２ａ〜Ｓ２ｃ）。

具体的には、前記工程＜４＞において、ヘッドユニット１８のＸ軸方向における位置が
基板２に対して、＋Ｘ軸方向にヘッド長Ｂ１の大きさで移動するため、図７（ｂ）に示す
ように、ヘッドユニット１８が配置されるが、この場合、液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５
１０Ｂ、５１０Ｃが備える液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２は、それぞれ、上記表１に
記載のような吐出重量に設定されている。

特に、液滴吐出ヘッド部５１０Ａが備える液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２のうち、
液滴吐出ヘッドＮＨ１２が、また、液滴吐出ヘッド部５１０Ｂが備える液滴吐出ヘッドＮ
Ｈ０１〜ＮＨ１２のうち、液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ０５が、離間距離Ａ１で離間さ
れた隔壁２０ａと隔壁２０ｂとの間の空間領域に位置し、液滴吐出ヘッド部５１０Ｃが備
える液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２のうち、液滴吐出ヘッドＮＨ０８〜ＮＨ１２が、
隔壁２０ｂの外側の空間領域に位置するが、液滴吐出ヘッド部５１０Ａが備える液滴吐出
ヘッドＮＨ１２の一部が、隔壁２０ａの上側を通過する。また、液滴吐出ヘッド部５１０
Ｂが備える液滴吐出ヘッドＮＨ０１、ＮＨ０２の一部が隔壁２０ａの上側を通過し、液滴
吐出ヘッド部５１０Ｂが備える液滴吐出ヘッドＮＨ０３〜ＮＨ０５の一部が隔壁２０ｂの
上側を通過する。さらに、液滴吐出ヘッド部５１０Ｃが備える液滴吐出ヘッドＮＨ０８〜
ＮＨ１０の一部が隔壁２０ｂの上側を通過し、液滴吐出ヘッド部５１０Ｃが備える液滴吐
出ヘッドＮＨ１１、ＮＨ１２が隔壁２０ａ、２０ｂの双方の上側を通過しない。そのため
、液滴吐出ヘッド部５１０Ａが備える液滴吐出ヘッドＮＨ１２、液滴吐出ヘッド部５１０
Ｂが備える液滴吐出ヘッドＮＨ０１、ＮＨ０２から吐出される液滴２９の吐出重量が１８
ｎｇに設定され、液滴吐出ヘッド部５１０Ｂが備える液滴吐出ヘッドＮＨ０３〜ＮＨ０５
、液滴吐出ヘッド部５１０Ｃが備える液滴吐出ヘッドＮＨ０８〜ＮＨ１０から吐出される
液滴２９の吐出重量が１６ｎｇに設定され、液滴吐出ヘッド部５１０Ｃが備える液滴吐出
ヘッドＮＨ１１、ＮＨ１２から吐出される液滴２９の吐出重量が０ｎｇ（第３吐出重量）
に設定されている。

そして、液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが備える液滴吐出ヘッドＮＨ
の下側を、開口部２１ａを備える隔壁２０ａと開口部２１ｂを備える隔壁２０ｂの開口部
２１ｂが通過した際に、吐出制御部５９は、ヘッド駆動回路４８の駆動を制御することに
より、予め設定された、吐出重量に基づいて、液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２から開
口部２１ａ、２１ｂに液滴２９を供給する。すなわち、液滴吐出ヘッドＮＨの下側を、開
口部２１ａを備える隔壁２０ａが通過した際には、吐出制御部５９は、液滴吐出ヘッドＮ
Ｈが備える吐出ノズル５１１から開口部２１ａに吐出重量１８ｎｇの液滴２９を供給する
。また、開口部２１ｂを備える隔壁２０ｂが通過した際には、吐出制御部５９は、液滴吐
出ヘッドＮＨが備える吐出ノズル５１１から開口部２１ｂに吐出重量１６ｎｇの液滴２９
を供給する。さらに、隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの双方が通過しない場合には、吐出制
御部５９は、液滴吐出ヘッドＮＨが備える吐出ノズル５１１から開口部２１への液滴２９
の供給を吐出重量０ｎｇとして停止する。

以上のような前記工程＜２＞〜前記工程＜５＞により、Ｎ回目および（Ｎ＋１）回目の
主走査のための副走査ならびにＮ回目および（Ｎ＋１）回目の主走査が行われ、必要に応
じて、これらの工程を繰り返して実施することで、Ｙ軸方向に沿った開口部２１に対する
液滴２９の供給が連続的に行われることとなる。

なお、上記では、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿ったＮ回目および（Ｎ＋１）回目の主走
査で、液滴吐出ヘッドＮＨが備える吐出ノズル５１１から、隔壁２０ａの開口部２１ａに
吐出重量１８ｎｇの液滴２９を供給し、隔壁２０ｂの開口部２１ｂに吐出重量１６ｎｇの
液滴２９を供給する場合について説明したが、かかる液滴吐出方法に限定されるものでは
ない。

例えば、図９に示すように、サイズの大きい隔壁２０ａの開口部２１ａには、Ｎ回目お
よび（Ｎ＋１）回目の主走査のうちの一方で、液滴吐出ヘッドＮＨが備える吐出ノズル５
１１から、吐出重量１８ｎｇの液滴２９ａを供給し、Ｎ回目および（Ｎ＋１）回目の主走
査のうちの他方で、液滴吐出ヘッドＮＨが備える吐出ノズル５１１から、吐出重量１８ｎ
ｇより重量が軽い例えば吐出重量９ｎｇの液滴２９ｂを供給するようにしてもよい。これ
により、液滴２９ｂを、隔壁２０ａに付着させることなく、開口部２１ａの縁部まで優れ
た精度で液滴２９ｂを供給することができる。そのため、液滴２９（２９ａ、２９ｂ）を
乾燥することで得られる膜２９Ｄにスジムラが生じるのを的確に抑制または防止すること
ができることから、膜２９Ｄの成膜精度の向上が図られる。

なお、このような吐出重量が異なる液滴２９ａおよび液滴２９ｂを開口部２１に供給す
る方法としては、上記のような方法に限定されるものではなく、例えば、Ｎ回目の主走査
における＋Ｙ軸方向に沿った往動および−Ｙ軸方向に沿った復動の双方で、液滴吐出ヘッ
ドＮＨが備える吐出ノズル５１１から、液滴２９を吐出するようにし、これら往動および
復動のうちの一方で、吐出ノズル５１１から吐出重量が重い液滴２９ａを供給し、他方で
、吐出ノズル５１１から、吐出重量が軽い液滴２９ｂを供給するようにしてもよい。

さらに、Ｎ回目および（Ｎ＋１）回目の主走査の後に、必須の工程として実施する、ヘ
ッドユニット１８を副走査方向（Ｘ軸方向）へ移動させる副走査を一部省略して、複数回
の主走査を繰り返した後に、副走査を行うようにしてもよい。この場合、主走査方向（Ｙ
軸方向）に沿ったヘッドユニット１８の往復運動うち、＋Ｙ軸方向に沿った往動および−
Ｙ軸方向に沿った復動の双方で、液滴吐出ヘッドＮＨの吐出ノズル５１１から、隔壁２０
ａおよび隔壁２０ｂの双方に液滴２９を供給するようにしてもよいし、＋Ｙ軸方向に沿っ
た往動で、液滴吐出ヘッドＮＨの吐出ノズル５１１から、隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの
うちの一方に液滴２９を供給し、−Ｙ軸方向に沿った復動で、液滴吐出ヘッドＮＨの吐出
ノズル５１１から、隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂのうちの他方に液滴２９を供給するよう
にしてもよい。

以上のような工程とすることで、ヘッドユニット１８の１度の主走査において、基板２
が備える異なる隔壁２０ａ、２０ｂがそれぞれ備える開口部２１ａ、２１ｂにそれぞれ吐
出重量が異なる液滴２９を供給することができる。

＜＜第２実施形態＞＞
次に、液滴吐出装置６を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法）の第２実施形態
について説明する。

図１０は、図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本
発明の液滴吐出方法）の第２実施形態を説明する平面図、図１１は、図２に示すヘッドユ
ニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法）の第２実施
形態を説明するためのフローチャートである。

以下、液滴吐出装置６を用いた液滴吐出方法の第２実施形態の各工程を順次、説明する
。なお、第２実施形態の液滴吐出方法において、第１実施形態の液滴吐出方法と、同様の
事項については、その説明を省略することもある。

＜１＞ まず、操作者は、前記第１実施形態と同様にして、基板２を用意し、この基板
２を、液滴吐出装置６が備えるステージ９の載置面１１に吸着・固定させる。

なお、図１０に示すように、本実施形態で用意する基板２では、隔壁２０ａと隔壁２０
ｂとのＸ軸方向に対する離間距離Ａ１は、隣接する液滴吐出ヘッドＮＨ同士のＸ軸方向に
対する離間距離、すなわちヘッド長Ｂ１未満の大きさとなっている。換言すれば、本実施
形態の液滴吐出方法は、このように離間距離Ａ１がヘッド長Ｂ１よりも小さくなっている
基板２に対する液滴吐出方法である。

また、操作者は、前記第１実施形態と同様に、入力装置４９に、基板２の隔壁（第１被
吐出領域）２０ａが有する開口部（第１機能領域）２１ａの位置情報、および、隔壁（第
２被吐出領域）２０ｂが有する開口部（第２機能領域）２１ｂの位置情報を入力するとと
もに、開口部２１ａに供給すべき液滴２９の液滴数および吐出重量、ならびに、開口部２
１ｂに供給すべき液滴２９の液滴数および吐出重量等を入力する。

以上のような開口部２１ａ、２１ｂの位置情報および液滴２９の供給量の入力により、
メモリー４３に記憶されたプログラムソフト５１および各種データ５２〜５５に基づいて
、後述する各工程において、ステージ９、キャリッジ１６および液滴吐出ヘッドＮＨの作
動を制御するＣＰＵ４２の時間的経過を追った動作が決定される。以下、そのステージ９
、キャリッジ１６および液滴吐出ヘッドＮＨの作動を、順次説明する。

なお、以下では、本発明の液滴吐出方法が適用される、主走査方向に対するステージ９
のヘッドユニット１８の相対的な移動によるＮ回目の主走査の際に、液滴吐出ヘッド部５
１０Ｂが、隔壁２０ａと隔壁２０ｂとの間を通過する場合、さらに、隔壁２０ａの開口部
２１ａには吐出重量１８ｎｇの液滴２９を、隔壁２０ｂの開口部２１ｂには吐出重量１６
ｎｇの液滴２９を、供給する場合について説明する。

＜２＞ まず、副走査制御部５８は、副走査駆動装置４５を駆動させることにより、キ
ャリッジ１６を案内レール１５に沿って移動させ、このキャリッジ１６に装着されたヘッ
ドユニット１８を、Ｎ回目の主走査の際での、副走査方向（Ｘ軸方向）における所定の位
置に移動させる。

＜３＞ 次に、主走査制御部５７は、主走査駆動装置４４を駆動させることにより、ス
テージ９を案内レール８に沿って移動させる（Ｎ回目の主走査）。これにより、ステージ
９上に固定された基板２が、主走査方向（＋Ｙ軸方向）に沿って移動することとなり、そ
の結果、ヘッドユニット１８が備える液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが
基板２に対して主走査方向（＋Ｙ軸方向）に相対的に移動（往動）する。

この液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃの基板２に対する主走査方向（Ｙ
軸方向）に対する相対的な移動の際に、本工程＜３＞では、Ｘ軸方向に配列された液滴吐
出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが備える液滴吐出ヘッドＮＨの下側を、同じく
Ｘ軸方向に配列された、液滴２９を供給すべき開口部２１ａを備える隔壁２０ａと開口部
２１ｂを備える隔壁２０ｂとが通過する。

この時、図１１に示すように、液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが備え
る液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２が、隔壁２０ａ、２０ｂの上をどのような状態で通
過するかに応じて（Ｓ１）、吐出条件設定部６１は、前記工程＜１＞において、各液滴吐
出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２における吐出重量を設定している（Ｓ２ａ〜Ｓ２ｄ）。

すなわち、液滴吐出ヘッドＮＨが、隔壁２０ａの上を通過する場合（Ｓ１ａ）、その液
滴吐出ヘッドＮＨから吐出される液滴２９の吐出重量が１８ｎｇに設定され（Ｓ２ａ）、
隔壁２０ｂの上を通過する場合（Ｓ１ｂ）、その液滴吐出ヘッドＮＨから吐出される液滴
２９の吐出重量が１６ｎｇに設定され（Ｓ２ｂ）、隔壁２０ａ、２０ｂの双方の上を通過
しない場合（Ｓ１ｃ）、その液滴吐出ヘッドＮＨから吐出される液滴２９の吐出重量が０
ｎｇに設定され（Ｓ２ｃ）、さらに、隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの双方上を通過する場
合（Ｓ１ｄ）、その液滴吐出ヘッドＮＨから吐出される液滴２９の吐出重量が１８ｎｇに
設定されている（Ｓ２ｄ）。

具体的には、前記工程＜２＞により、図１０に示すように、ヘッドユニット１８のＸ軸
方向における位置が基板２に対して配置された場合、液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０
Ｂ、５１０Ｃが備える液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２において、特に、液滴吐出ヘッ
ド部５１０Ｂが備える液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２のうち、液滴吐出ヘッドＮＨ０
３〜ＮＨ０７が、離間距離Ａ１で離間された隔壁２０ａと隔壁２０ｂとの間の空間領域に
位置するが、液滴吐出ヘッドＮＨ０３、ＮＨ０４の一部が隔壁２０ａの上側を通過するた
め、液滴吐出ヘッドＮＨ０３、ＮＨ０４から吐出される液滴２９の吐出重量が１８ｎｇに
設定され、また、液滴吐出ヘッドＮＨ０５の一部が隔壁２０ａ、隔壁２０ｂの双方の上側
を通過するため、液滴吐出ヘッドＮＨ０５から吐出される液滴２９の吐出重量が１８ｎｇ
に設定され、さらに、液滴吐出ヘッドＮＨ０６、ＮＨ０７の一部が隔壁２０ｂの上側を通
過するため、液滴吐出ヘッドＮＨ０６、ＮＨ０７から吐出される液滴２９の吐出重量が１
６ｎｇに設定されている。

そして、液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが備える液滴吐出ヘッドＮＨ
の下側を、開口部２１ａを備える隔壁２０ａと開口部２１ｂを備える隔壁２０ｂの開口部
２１ｂが通過した際に、吐出制御部５９は、ヘッド駆動回路４８の駆動を制御することに
より、予め設定された、吐出重量に基づいて、液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２から開
口部２１ａ、２１ｂに液滴２９を供給する。すなわち、液滴吐出ヘッドＮＨの下側を、隔
壁２０ａまたは隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの双方が通過した際には、吐出制御部５９は
、液滴吐出ヘッドＮＨが備える吐出ノズル５１１から開口部２１ａに吐出重量１８ｎｇの
液滴２９を供給する。また、開口部２１ｂを備える隔壁２０ｂが通過した際には、吐出制
御部５９は、液滴吐出ヘッドＮＨが備える吐出ノズル５１１から開口部２１ｂに吐出重量
１６ｎｇの液滴２９を供給する。

＜４＞ 次に、副走査駆動装置４５を駆動させることなく、キャリッジ１６の案内レー
ル１５に沿った移動を省略して（Ｓ３）、主走査制御部５７は、主走査駆動装置４４を駆
動させることにより、＋Ｙ軸方向に移動された後のステージ９を案内レール８に沿って−
Ｙ軸方向に移動させる。これにより、ステージ９上に固定された基板２が、主走査方向（
−Ｙ軸方向）に沿って移動することとなり、その結果、ヘッドユニット１８が備える液滴
吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが基板２に対して主走査方向（−Ｙ軸方向）
に相対的に移動（復動）する。

この液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃの基板２に対する主走査方向（−
Ｙ軸方向）に対する相対的な移動の際に、本工程＜４＞では、前記工程＜３＞と同様に、
Ｘ軸方向に配列された液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが備える液滴吐出
ヘッドＮＨの下側を、同じくＸ軸方向に配列された、液滴２９を供給すべき開口部２１ａ
を備える隔壁２０ａと開口部２１ｂを備える隔壁２０ｂとが通過する。この際、前記副走
査が省略されていることから、本工程＜４＞と前記工程＜３＞とでは、液滴吐出ヘッドＮ
Ｈの下側を通過する隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂとは、Ｘ軸方向に対する相対的な位置が
同一の位置で通過する。したがって、Ｘ軸方向に対する相対的な位置が同一の位置で、ヘ
ッドユニット１８が備える液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃを基板２に対
して主走査方向に相対的に移動させる主走査が２回行われることとなる。

この時、図１１に示すように、液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが備え
る液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２が、隔壁２０ａ、２０ｂの上をどのような状態で通
過するかに応じて（Ｓ４）、吐出条件設定部６１は、前記工程＜１＞において、各液滴吐
出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２における吐出重量を設定している（Ｓ５ａ〜Ｓ５ｄ）。

すなわち、液滴吐出ヘッドＮＨが、隔壁２０ａの上を通過する場合（Ｓ４ａ）、その液
滴吐出ヘッドＮＨから吐出される液滴２９の吐出重量が０ｎｇに設定され（Ｓ５ａ）、隔
壁２０ｂの上を通過する場合（Ｓ４ｂ）、その液滴吐出ヘッドＮＨから吐出される液滴２
９の吐出重量が０ｎｇに設定され（Ｓ５ｂ）、隔壁２０ａ、２０ｂの双方の上を通過しな
い場合（Ｓ４ｃ）、その液滴吐出ヘッドＮＨから吐出される液滴２９の吐出重量が０ｎｇ
に設定され（Ｓ５ｃ）、さらに、隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの双方上を通過する場合（
Ｓ４ｄ）、その液滴吐出ヘッドＮＨから吐出される液滴２９の吐出重量が１６ｎｇに設定
されている（Ｓ５ｄ）。

具体的には、前記工程＜３＞と同様に、前記工程＜２＞により、図１０に示すように、
ヘッドユニット１８のＸ軸方向における位置が基板２に対して配置されており、液滴吐出
ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが備える液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２にお
いて、特に、液滴吐出ヘッド部５１０Ｂが備える液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２のう
ち、液滴吐出ヘッドＮＨ０３〜ＮＨ０７が、離間距離Ａ１で離間された隔壁２０ａと隔壁
２０ｂとの間の空間領域に位置する。そして、液滴吐出ヘッドＮＨ０３、ＮＨ０４の一部
が隔壁２０ａの上側を通過するため、液滴吐出ヘッドＮＨ０３、ＮＨ０４から吐出される
液滴２９の吐出重量が０ｎｇに設定され、また、液滴吐出ヘッドＮＨ０５の一部が隔壁２
０ａ、隔壁２０ｂの双方の上側を通過するため、液滴吐出ヘッドＮＨ０５から吐出される
液滴２９の吐出重量が１６ｎｇに設定され、さらに、液滴吐出ヘッドＮＨ０６、ＮＨ０７
の一部が隔壁２０ｂの上側を通過するため、液滴吐出ヘッドＮＨ０６、ＮＨ０７から吐出
される液滴２９の吐出重量が０ｎｇに設定されている。

そして、液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃが備える液滴吐出ヘッドＮＨ
の下側を、開口部２１ａを備える隔壁２０ａと開口部２１ｂを備える隔壁２０ｂの開口部
２１ｂが通過した際に、吐出制御部５９は、ヘッド駆動回路４８の駆動を制御することに
より、予め設定された、吐出重量に基づいて、液滴吐出ヘッドＮＨ０１〜ＮＨ１２から開
口部２１ａ、２１ｂに液滴２９を供給する。すなわち、液滴吐出ヘッドＮＨの下側を、隔
壁２０ａが通過した際には、吐出制御部５９は、液滴吐出ヘッドＮＨが備える吐出ノズル
５１１から開口部２１ａへの液滴２９の供給を吐出重量０ｎｇとして停止する。また、隔
壁２０ａおよび隔壁２０ｂの双方が通過した際には、吐出制御部５９は、液滴吐出ヘッド
ＮＨが備える吐出ノズル５１１から開口部２１ｂに吐出重量１６ｎｇの液滴２９を供給す
る。また、開口部２１ｂを備える隔壁２０ｂが通過した際には、吐出制御部５９は、液滴
吐出ヘッドＮＨが備える吐出ノズル５１１から開口部２１ｂへの液滴２９の供給を吐出重
量０ｎｇとして停止する。

以上のような前記工程＜２＞〜前記工程＜４＞により、Ｎ回目の主走査のための副走査
ならびにＮ回目の±Ｙ軸方向（往復運動）の主走査が行われ、必要に応じて、これらの工
程を繰り返して実施することで、Ｙ軸方向に沿った開口部２１に対する液滴２９の供給が
連続的に行われることとなる。

本実施形態のような液滴吐出方法によっても、前記第１実施形態と同様に、基板２が備
える異なる隔壁２０ａ、２０ｂがそれぞれ備える開口部２１ａ、２１ｂにそれぞれ吐出重
量が異なる液滴２９を供給することができる。

以上のような、液滴吐出装置６を用いた成膜方法および液滴吐出方法を用いて、開口部
２１ａ、２１ｂで露出する基板２に膜２９Ｄが成膜された隔壁２０ａ、２０ｂを備える基
板２を、隔壁２０ａ、２０ｂ毎にその厚さ方向に切断すること（切断工程）で、サイズの
異なる膜付きデバイスを一括して複数製造することができる。

なお、本実施形態では、各液滴吐出ヘッド部５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃにおいて、
Ｘ軸方向（第２の方向）に対して各液滴吐出ヘッドＮＨをずらす大きさ、すなわちＸ軸方
向で隣接する液滴吐出ヘッドＮＨ（０１＋ｎ）と液滴吐出ヘッドＮＨ（０７＋ｎ）とのＸ
軸方向に対する離間距離を、ヘッド長Ｂ１に設定する場合について説明したが、かかる構
成に限定されず、Ｘ軸方向で隣接する液滴吐出ヘッドＮＨ（０１＋ｎ）のノズル列ＮＬと
液滴吐出ヘッドＮＨ（０７＋ｎ）のノズル列ＮＬとのＸ軸方向に対する離間距離を、ノズ
ル列長Ｂ２に設定することもできる（ｎは、１〜５の整数。）。この場合、上述した各実
施形態において、副走査方向へのヘッドユニット１８の案内レール１５に沿った移動をノ
ズル列長Ｂ２とし、主走査方向へのヘッドユニット１８の基板２との相対する移動の際に
、開口部２１ａおよび開口部２１ｂに相対する吐出ノズル５１１を有する液滴吐出ヘッド
ＮＨからそれぞれ液滴を吐出するようにしても、上述した各実施形態と同一の効果を得る
ことができる。なお、ノズル列ＮＬが並ぶ方向（第３の方向）がＸ軸方向（第２の方向）
に一致しない場合には、Ｘ軸方向（第２の方向）に対して各液滴吐出ヘッドＮＨをずらす
大きさは、ノズル列のＸ軸方向に対する幅であるノズル列幅であり、ノズル列長Ｂ２より
小さく設定される。

さらに、本実施形態では、基板２において、隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂがそれぞれ備
える各開口部２１ａおよび各開口部２１ｂは、ともにＸ軸方向に長い長方形状をなし、か
かる構成をなす開口部２１ａ、２１ｂに液滴を供給する場合について説明したが、これに
限定されず、開口部２１ａ、２１ｂのうちの少なくとも一方は、Ｙ軸方向に長いものであ
ってもよく、さらには正方形形状をなすものであってもよく、具体的には、図６（ｂ）に
示すように、隔壁２０ｂが備える各開口部２１ｂは、Ｙ軸方向に長い長方形状をなしてい
てもよい。

また、この膜付きデバイスとしては、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子
を備える表示装置、カラーフィルターおよび配線基板等が挙げられるが、以下では、膜付
きデバイスの一例として、有機ＥＬ素子を備える表示装置に適用した場合について説明す
る。

なお、この場合、有機ＥＬ素子が備える有機層のうち、例えば、正孔注入層、正孔輸送
層および発光層のうちの少なくとも１層の形成に、上述した膜付きデバイスが備える膜を
形成するための液滴吐出装置を用いた成膜方法および液滴吐出方法を適用することができ
、正孔注入層、正孔輸送層および発光層を成膜するために用いる成膜用インクに含まれる
成膜材料としては、それぞれ、後述する、正孔注入性を有する高分子材料、正孔輸送性を
有する高分子材料、および、発光性を有する有機材料を用いることができる。

（表示装置）
図１２は、発光装置の一例である表示装置を示す断面図である。なお、以下では、説明
の都合上、図１２中の上側を「上」、下側を「下」として説明を行う。

図１２に示す表示装置３００は、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂがサブ
画素３００Ｒ、３００Ｇ、３００Ｂに対応して設けられ、トップエミッション構造のディ
スプレイパネルを構成している。

なお、本実施形態では表示装置の駆動方式としてアクティブマトリックス方式を採用し
た例に説明するが、パッシブマトリックス方式を採用したものであってもよい。

表示装置３００は、基板３０１と、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂと、
複数のスイッチング素子３０２とを有している。

基板３０１は、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂおよび複数のスイッチン
グ素子３０２を支持するものである。本実施形態の各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２０
０Ｂは、基板３０１とは反対側から光を取り出す構成（トップエミッション型）である。
したがって、基板３０１には、透明基板および不透明基板のいずれも用いることができる
。なお、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂが基板３０１側から光を取り出す構成
（ボトムエミッション型）とする場合には、基板３０１は、実質的に透明（無色透明、着
色透明または半透明）とされる。

基板３０１の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン
ナフタレート、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエーテル
サルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレートのような樹
脂材料や、石英ガラス、ソーダガラスのようなガラス材料等が挙げられ、これらのうちの
１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。

不透明基板としては、例えば、アルミナのようなセラミックス材料で構成された基板、
ステンレス鋼のような金属基板の表面に酸化膜（絶縁膜）を形成したもの、樹脂材料で構
成された基板等が挙げられる。

このような基板３０１上には、複数のスイッチング素子３０２がマトリクス状に配列さ
れている。

各スイッチング素子３０２は、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂに対応して設
けられ、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを駆動するための駆動用トランジスタ
である。

このような各スイッチング素子３０２は、シリコンからなる半導体層３０２ａと、半導
体層３０２ａ上に形成されたゲート絶縁層３０２ｂと、ゲート絶縁層３０２ｂ上に形成さ
れたゲート電極３０２ｃと、ソース電極３０２ｄと、ドレイン電極３０２ｅとを有してい
る。

このような複数のスイッチング素子３０２を覆うように、絶縁材料で構成された平坦化
層３０３が形成されている。

平坦化層３０３上には、各スイッチング素子３０２に対応して発光素子２００Ｒ、２０
０Ｇ、２００Ｂが設けられている。

発光素子２００Ｒは、平坦化層３０３上に、反射膜３０４、腐食防止膜３０５、陽極２
０１、積層体（有機ＥＬ発光部）２０８（２０８Ｒ）、陰極２０７、陰極カバー３０６が
この順に積層されている。本実施形態では、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの
陽極２０１は、画素電極を構成し、各スイッチング素子３０２のドレイン電極３０２ｅに
導電部（配線）３０７により電気的に接続されている。また、各発光素子２００Ｒ、２０
０Ｇ、２００Ｂの陰極２０７は、共通電極とされている。

また、発光素子２００Ｇ、２００Ｂの構成は、それぞれ、発光素子２００Ｒと同様に構
成することができる。ここで、発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの積層体２０８Ｒ
、２０８Ｇ、２０８Ｂ（特に発光層）を互いに異ならせることにより、異なる色を発光さ
せることができる。例えば、発光素子２００Ｒは、赤色発光し、発光素子２００Ｇは、緑
色発光し、発光素子２００Ｂは、青色発光する。

隣接する発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂ同士の間には、隔壁３０８が設けられ
ている。また、陰極カバー３０６には、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で構成された樹脂
層３０９を介して、基板３１０が接合されている。

前述したように本実施形態の各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂはトップエミッ
ション型であるため、基板３１０には、透明基板が用いられる。

このような基板３１０の構成材料としては、基板３１０が光透過性を有するものであれ
ば、特に限定されず、前述した基板３０１の構成材料と同様のものを用いることができる
。

（発光素子）
ここで、図１３に基づき、発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを詳細に説明する。

図１３は、図１２に示す表示装置が備える発光素子の断面図である。
図１３に示す発光素子（エレクトロルミネッセンス素子）２００は、前述した発光素子
２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを構成するものであり、前述したように２つの電極間（陽
極２０１と陰極２０７との間）に積層体２０８が介挿されている。この積層体２０８は、
図１３に示すように、陽極２０１側から陰極２０７側へ、正孔注入層２０２と正孔輸送層
２０３と発光層２０４と電子輸送層２０５と電子注入層２０６とがこの順に積層されてい
る。

このような発光素子２００にあっては、発光層２０４に対し、陰極２０７側から電子が
供給（注入）されるとともに、陽極２０１側から正孔が供給（注入）される。そして、各
発光層２０４では、正孔と電子とが再結合し、この再結合に際して放出されたエネルギー
によりエキシトン（励起子）が生成し、エキシトンが基底状態に戻る際にエネルギー（蛍
光やりん光）を放出（発光）する。

この発光素子２００は、前述した成膜方法を用いて正孔輸送層２０３または正孔注入層
２０２が形成されている。これにより、優れた特性を有する発光素子２００および表示装
置３００を提供することができる。なお、発光素子２００は、正孔注入層２０２および正
孔輸送層２０３のうちのいずれか一方を省略してもよい。

以下、発光素子２００を構成する各部を順次説明する。
（陽極）
陽極２０１は、後述する正孔注入層２０２を介して正孔輸送層２０３に正孔を注入する
電極である。この陽極２０１の構成材料としては、仕事関数が大きく、導電性に優れる材
料を用いるのが好ましい。

陽極２０１の構成材料としては、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ
）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）、Ｉｎ_３Ｏ_３、ＳｎＯ_２、Ｓｂ含有
ＳｎＯ_２、Ａｌ含有ＺｎＯ等の酸化物、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕまたはこれらを含む合金
等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。

（陰極）
一方、陰極２０７は、後述する電子注入層２０６を介して電子輸送層２０５に電子を注
入する電極である。この陰極２０７の構成材料としては、仕事関数の小さい材料を用いる
のが好ましい。

陰極２０７の構成材料としては、例えば、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｅｒ
、Ｅｕ、Ｓｃ、Ｙ、Ｙｂ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｃｓ、Ｒｂまたはこれらを含む合金等が挙
げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（例えば、複数層の積層体等
）用いることができる。

特に、陰極２０７の構成材料として合金を用いる場合には、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ等の安定
な金属元素を含む合金、具体的には、ＭｇＡｇ、ＡｌＬｉ、ＣｕＬｉ等の合金を用いるの
が好ましい。かかる合金を陰極２０７の構成材料として用いることにより、陰極２０７の
電子注入効率および安定性の向上を図ることができる。

また、本実施形態の発光素子２００は、トップエミッション型であるため、陰極２０７
は、光透過性を有する。

（正孔注入層）
正孔注入層２０２は、陽極２０１からの正孔注入効率を向上させる機能を有するもので
ある。

この正孔注入層２０２の構成材料（正孔注入材料）としては、正孔注入性を有する高分
子材料が挙げられる。

また、この正孔注入性を有する高分子材料としては、特に限定されないが、例えば、ポ
リ（２，７−（９，９−ジ−ｎ−オクチルフルオレン）−（１，４−フェニレン−（（４
−sec−ブチルフェニル）イミノ）−１，４−フェニレン（ＴＦＢ）等のポリアリールア
ミンのようなアリールアミン骨格を有するもの、フルオレン−ビチオフェン共重合体のよ
うなフルオレン骨格を有するもの、フルオレン−アリールアミン共重合体のようなアリー
ルアミン骨格およびフルオレン骨格の双方を有するもの、ポリ（Ｎ−ビニルカルバゾール
）、ポリビニルピレン、ポリビニルアントラセン、ポリチオフェン、ポリアルキルチオフ
ェン、ポリヘキシルチオフェン、ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）、ポリチニレンビニレ
ン、ピレンホルムアルデヒド樹脂、エチルカルバゾールホルムアルデヒド樹脂またはその
誘導体等が挙げられる。

このような正孔注入層２０２の平均厚さは、特に限定されないが、５ｎｍ以上、１５０
ｎｍ以下程度であるのが好ましく、１０ｎｍ以上、１００ｎｍ以下程度であるのがより好
ましい。

（正孔輸送層）
正孔輸送層２０３は、陽極２０１から正孔注入層２０２を介して注入された正孔を発光
層２０４まで輸送する機能を有するものである。

この正孔輸送層２０３の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、ＴＦＢ（po
ly(9,9-dioctyl-fluorene-co-N-(4- butylphenyl)-diphenylamine)）等のトリフェニルア
ミン系ポリマー等のアミン系化合物、ポリフルオレン誘導体（ＰＦ）やポリパラフェニレ
ンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニカルバゾ
ール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）を含む
ポリシラン系などの正孔輸送性を有する高分子材料が挙げられ、これらのうちの１種また
は２種以上を組み合わせて用いることができる。また、前述した正孔注入層２０２の構成
材料を正孔輸送層２０３の構成材料として用いることもできる。

このような正孔輸送層２０３の平均厚さは、特に限定されないが、１０〜１５０ｎｍ程
度であるのが好ましく、１０〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましい。

（発光層）
この発光層２０４は、発光材料を含んで構成されている。

発光材料としては、特に限定されず、各種蛍光材料、燐光材料のような有機材料を１種
または２種以上組み合わせて用いることができる。発光素子２００を前述した発光素子２
００Ｒに用いる場合には、発光材料として赤色蛍光材料または赤色燐光材料が用いられ、
発光素子２００を前述した発光素子２００Ｇに用いる場合には、発光材料として緑色蛍光
材料または緑色燐光材料が用いられ、発光素子２００を発光素子２００Ｂとして用いる場
合には、発光材料として青色蛍光材料または青色燐光材料が用いられる。

赤色蛍光材料としては、赤色の蛍光を発するものであれば特に限定されず、例えば、ジ
インデノペリレン誘導体等のペリレン誘導体、ユーロピウム錯体、ベンゾピラン誘導体、
ローダミン誘導体、ベンゾチオキサンテン誘導体、ポルフィリン誘導体、ナイルレッド、
２−（１，１−ジメチルエチル）−６−（２−（２，３，６，７−テトラヒドロ−１，１
，７，７−テトラメチル−１Ｈ，５Ｈ−ベンゾ（ｉｊ）キノリジン−９−イル）エテニル
）−４Ｈ−ピラン−４Ｈ−イリデン）プロパンジニトリル（ＤＣＪＴＢ）、４−（ジシア
ノメチレン）−２−メチル−６−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピラン（ＤＣ
Ｍ）等の有機材料が挙げられる。

赤色燐光材料としては、赤色の燐光を発するものであれば特に限定されず、例えば、イ
リジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げら
れ、これら金属錯体の配位子の内の少なくとも１つがフェニルピリジン骨格、ビピリジル
骨格、ポルフィリン骨格等を持つ有機材料も挙げられる。より具体的には、トリス（１−
フェニルイソキノリン）イリジウム、ビス［２−（２’−ベンゾ［４，５−α］チエニル
）ピリジネート−Ｎ，Ｃ^３’］イリジウム（アセチルアセトネート）（ｂｔｐ２Ｉｒ（ａ
ｃａｃ））、２，３，７，８，１２，１３，１７，１８−オクタエチル−１２Ｈ，２３Ｈ
−ポルフィリン−白金（ＩＩ）、ビス［２−（２’−ベンゾ［４，５−α］チエニル）ピ
リジネート−Ｎ，Ｃ^３’］イリジウム、ビス（２−フェニルピリジン）イリジウム（アセ
チルアセトネート）が挙げられる。

緑色蛍光材料としては、緑色の蛍光を発する有機材料であれば特に限定されず、例えば
、クマリン誘導体、キナクリドン誘導体等のキナクリドンおよびその誘導体、９，１０−
ビス［（９−エチル−３−カルバゾール）−ビニレニル］−アントラセン、ポリ（９，９
−ジヘキシル−２，７−ビニレンフルオレニレン）、ポリ［（９，９−ジオクチルフルオ
レン−２，７−ジイル）−コ−（１，４−ジフェニレン−ビニレン−２−メトキシ−５−
｛２−エチルヘキシルオキシ｝ベンゼン）］、ポリ［（９，９−ジオクチル−２，７−ジ
ビニレンフルオレニレン）−オルト−コ−（２−メトキシ−５−（２−エトキシルヘキシ
ルオキシ）−１，４−フェニレン）］等が挙げられる。

緑色燐光材料としては、緑色の燐光を発する有機材料であれば特に限定されず、例えば
、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙
げられ、具体的には、ファク−トリス（２−フェニルピリジン）イリジウム（Ｉｒ（ｐｐ
ｙ）３）、ビス（２−フェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ^２’）イリジウム（アセチルアセト
ネート）、ファク−トリス［５−フルオロ−２−（５−トリフルオロメチル−２−ピリジ
ン）フェニル−Ｃ，Ｎ］イリジウム等が挙げられる。

青色蛍光材料としては、青色の蛍光を発する有機材料であれば、特に限定されず、例え
ば、ジスチリルジアミン系化合物等のジスチリルアミン誘導体、フルオランテン誘導体、
ピレン誘導体、ペリレンおよびペリレン誘導体、アントラセン誘導体、ベンゾオキサゾー
ル誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、クリセン誘導体、フェ
ナントレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、テトラフェニルブタジエン、４，４’−
ビス（９−エチル−３−カルバゾビニレン）−１，１’−ビフェニル（ＢＣｚＶＢｉ）、
ポリ［（９，９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）−コ−（２，５−ジメトキシ
ベンゼン−１，４−ジイル）］、ポリ［（９，９−ジヘキシルオキシフルオレン−２，７
−ジイル）−オルト−コ−（２−メトキシ−５−｛２−エトキシヘキシルオキシ｝フェニ
レン−１，４−ジイル）］、ポリ［（９，９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）
−コ−（エチルニルベンゼン）］等が挙げられる。

青色燐光材料としては、青色の燐光を発する有機材料であれば、特に限定されず、例え
ば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が
挙げられ、具体的には、ビス［４，６−ジフルオロフェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ^２’］
−ピコリネート−イリジウム、トリス［２−（２，４−ジフルオロフェニル）ピリジネー
ト−Ｎ，Ｃ^２’］イリジウム、ビス［２−（３，５−トリフルオロメチル）ピリジネート
−Ｎ，Ｃ^２’］−ピコリネート−イリジウム、ビス（４，６−ジフルオロフェニルピリジ
ネート−Ｎ，Ｃ^２’）イリジウム（アセチルアセトネート）等が挙げられる。

以上のような発光材料は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることがで
きる。

また、発光層２０４中には、前述した発光材料の他に、発光材料がゲスト材料として添
加されるホスト材料が含まれていてもよい。

ホスト材料は、正孔と電子とを再結合して励起子を生成するとともに、その励起子のエ
ネルギーを発光材料に移動（フェルスター移動またはデクスター移動）させて、発光材料
を励起する機能を有する。このようなホスト材料を用いる場合、例えば、ゲスト材料であ
る発光材料をドーパントとしてホスト材料にドープして用いることができる。

このようなホスト材料としては、用いる発光材料に対して前述したような機能を発揮す
るものであれば、特に限定されないが、例えば、ナフタセン誘導体、ナフタレン誘導体、
アントラセン誘導体のようなアセン誘導体（アセン系材料）、ジスチリルアリーレン誘導
体、ペリレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアミン誘導体、トリス（８
−キノリノラト）アルミニウム錯体（Ａｌｑ_３）等のキノリノラト系金属錯体、トリフェ
ニルアミンの４量体等のトリアリールアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、シロール
誘導体、ジカルバゾール誘導体、オリゴチオフェン誘導体、ベンゾピラン誘導体、トリア
ゾール誘導体、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、キノリン誘導体、
４，４’−ビス（２，２’−ジフェニルビニル）ビフェニル（ＤＰＶＢｉ）等が挙げられ
、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることもできる。

前述したような赤色発光材料（ゲスト材料）およびホスト材料を用いる場合、発光層２
０４中における発光材料の含有量（ドープ量）は、０．０１〜１０ｗｔ％であるのが好ま
しく、０．１〜５ｗｔ％であるのがより好ましい。赤色発光材料の含有量をこのような範
囲内とすることで、発光効率を最適化することができる。

このような発光層２０４の平均厚さは、特に限定されないが、１０〜１５０ｎｍ程度で
あるのが好ましく、１０〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましい。また、発光層２０４
は、積層された複数の発光層で構成されていてもよく、その場合、任意の発光層間に発光
しない中間層が介在していてもよい。

（電子輸送層）
電子輸送層２０５は、陰極２０７から電子注入層２０６を介して注入された電子を発光
層２０４に輸送する機能を有するものである。

電子輸送層２０５の構成材料（電子輸送材料）としては、例えば、トリス（８−キノリ
ノラト）アルミニウム（Ａｌｑ_３）等の８−キノリノールなしいその誘導体を配位子とす
る有機金属錯体などのキノリン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリ
ジン誘導体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、ニトロ
置換フルオレン誘導体等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて
用いることができる。

電子輸送層２０５の平均厚さは、特に限定されないが、０．５〜１００ｎｍ程度である
のが好ましく、１〜５０ｎｍ程度であるのがより好ましい。
なお、この電子輸送層２０５は、省略することができる。

（電子注入層）
電子注入層２０６は、陰極２０７からの電子注入効率を向上させる機能を有するもので
ある。

この電子注入層２０６の構成材料（電子注入材料）としては、例えば、各種の無機絶縁
材料、各種の無機半導体材料が挙げられる。

このような無機絶縁材料としては、例えば、アルカリ金属カルコゲナイド（酸化物、硫
化物、セレン化物、テルル化物）、アルカリ土類金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハ
ロゲン化物およびアルカリ土類金属のハロゲン化物等が挙げられ、これらのうちの１種ま
たは２種以上を組み合わせて用いることができる。これらを主材料として電子注入層を構
成することにより、電子注入性をより向上させることができる。特にアルカリ金属化合物
（アルカリ金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物等）は仕事関数が非常に小
さく、これを用いて電子注入層２０６を構成することにより、発光素子２００は、高い輝
度が得られるものとなる。

アルカリ金属カルコゲナイドとしては、例えば、Ｌｉ_２Ｏ、ＬｉＯ、Ｎａ_２Ｓ、Ｎａ_２
Ｓｅ、ＮａＯ等が挙げられる。

アルカリ土類金属カルコゲナイドとしては、例えば、ＣａＯ、ＢａＯ、ＳｒＯ、ＢｅＯ
、ＢａＳ、ＭｇＯ、ＣａＳｅ等が挙げられる。

アルカリ金属のハロゲン化物としては、例えば、ＣｓＦ、ＬｉＦ、ＮａＦ、ＫＦ、Ｌｉ
Ｃｌ、ＫＣｌ、ＮａＣｌ等が挙げられる。

アルカリ土類金属のハロゲン化物としては、例えば、ＣａＦ_２、ＢａＦ_２、ＳｒＦ_２、
ＭｇＦ_２、ＢｅＦ_２等が挙げられる。

また、無機半導体材料としては、例えば、Ｌｉ、Ｎａ、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｙｂ、Ａｌ
、Ｇａ、Ｉｎ、Ｃｄ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｔａ、ＳｂおよびＺｎのうちの少なくとも１つの元素
を含む酸化物、窒化物または酸化窒化物等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以
上を組み合わせて用いることができる。

電子注入層２０６の平均厚さは、特に限定されないが、０．１〜１０００ｎｍ程度であ
るのが好ましく、０．２〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましく、０．２〜５０ｎｍ程
度であるのがさらに好ましい。
なお、この電子注入層２０６は、省略することができる。

（電子機器）
図１４は、電子機器の一例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュ
ータの構成を示す斜視図である。

この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本
体部１１０４と、表示部を備える表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット
１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。

このパーソナルコンピュータ１１００において、表示ユニット１１０６が備える表示部
が前述の表示装置３００で構成されている。

図１５は、電子機器の一例である携帯電話機（スマートフォン、ＰＨＳ等も含む）の構
成を示す斜視図である。

この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４
および送話口１２０６とともに、表示部を備えている。
携帯電話機１２００において、この表示部が前述の表示装置３００で構成されている。

図１６は、電子機器の一例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。

ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、
ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）
などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。

ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表
示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体
を電子画像として表示するファインダとして機能する。

ディジタルスチルカメラ１３００において、この表示部が前述の表示装置３００で構成
されている。

ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮
像信号を格納（記憶）し得るメモリーが設置されている。

また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学
系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。

撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると
、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリーに転送・格納され
る。

また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビ
デオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。
そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デー
タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に
応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリーに格納され
た撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される
構成になっている。

なお、電子機器は、図１４のパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュ
ータ）、図１５の携帯電話機、図１６のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレ
ビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラッ
プトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通
信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステー
ション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備
えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例え
ば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、
魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライト
シュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用するこ
とができる。

以上、本発明の液滴吐出方法、プログラムおよび膜付きデバイスの製造方法を、図示の
実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものでない。

例えば、前記実施形態では、隔壁（被吐出領域）が有する開口部（機能領域）で露出す
る基板に膜を形成する場合について説明したが、これに限定されず、隔壁を備えない被吐
出領域が備える液滴を吐出（描画）すべき機能領域に液滴を供給して膜を形成するように
してもよい。

また、前述した実施形態では、本発明の膜付きデバイスの製造方法を、有機ＥＬ素子を
備える表示装置の製造に適用する場合について説明したが、本発明の膜付きデバイスの製
造方法は、回路基板が備える配線の成膜にも適用することができる。なお、この場合、配
線を形成するための成膜材料としては、ポリアセチレン、ポリ（p−フェニレンビニレン
）、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリ（p−フェニレンスルフィド）
のような導電性高分子材料を高分子材料として含有するものが挙げられる。

２‥‥基板
２ａ‥‥膜付きデバイス
２ｂ‥‥膜付きデバイス
６‥‥液滴吐出装置
７‥‥基台
７ａ‥‥上面
８‥‥案内レール
９‥‥ステージ
１０‥‥主走査位置検出装置
１１‥‥載置面
１２‥‥支持台
１３‥‥案内部材
１４‥‥収納タンク
１５‥‥案内レール
１６‥‥キャリッジ
１７‥‥副走査位置検出装置
１８‥‥ヘッドユニット
２０‥‥隔壁
２０ａ‥‥隔壁
２０ｂ‥‥隔壁
２１‥‥開口部
２１ａ‥‥開口部
２１ｂ‥‥開口部
２３‥‥ノズルプレート
２５‥‥キャビティ
２６‥‥成膜性インク
２７‥‥振動板
２８‥‥圧電素子
２９‥‥液滴
２９ａ‥‥液滴
２９ｂ‥‥液滴
２９Ｃ‥‥液状被膜
２９Ｄ‥‥膜
４１‥‥制御装置
４２‥‥ＣＰＵ
４３‥‥メモリー
４４‥‥主走査駆動装置
４５‥‥副走査駆動装置
４６‥‥入出力インターフェイス
４７‥‥データバス
４８‥‥ヘッド駆動回路
４９‥‥入力装置
５０‥‥表示装置
５１‥‥プログラムソフト
５２‥‥吐出位置データ
５３‥‥駆動電圧データ
５４‥‥駆動波形データ
５５‥‥吐出計画データ
５６‥‥描画制御部
５７‥‥主走査制御部
５８‥‥副走査制御部
５９‥‥吐出制御部
６１‥‥吐出条件設定部
６２‥‥吐出計画設定部
２００‥‥発光素子
２００Ｂ‥‥発光素子
２００Ｇ‥‥発光素子
２００Ｒ‥‥発光素子
２０１‥‥陽極
２０２‥‥正孔注入層
２０３‥‥正孔輸送層
２０４‥‥発光層
２０５‥‥電子輸送層
２０６‥‥電子注入層
２０７‥‥陰極
２０８‥‥積層体
２０８Ｂ‥‥積層体
２０８Ｇ‥‥積層体
２０８Ｒ‥‥積層体
３００‥‥表示装置
３００Ｂ‥‥サブ画素
３００Ｇ‥‥サブ画素
３００Ｒ‥‥サブ画素
３０１‥‥基板
３０２‥‥スイッチング素子
３０２ａ‥‥半導体層
３０２ｂ‥‥ゲート絶縁層
３０２ｃ‥‥ゲート電極
３０２ｄ‥‥ソース電極
３０２ｅ‥‥ドレイン電極
３０３‥‥平坦化層
３０４‥‥反射膜
３０５‥‥腐食防止膜
３０６‥‥陰極カバー
３０７‥‥導電部
３０８‥‥隔壁
３０９‥‥樹脂層
３１０‥‥基板
５１０‥‥液滴吐出ヘッド部
５１０Ａ‥‥液滴吐出ヘッド部
５１０Ｂ‥‥液滴吐出ヘッド部
５１０Ｃ‥‥液滴吐出ヘッド部
ＮＨ、ＮＨ０１〜１２‥‥液滴吐出ヘッド
５１１‥‥吐出ノズル
１１００‥‥パーソナルコンピュータ
１１０２‥‥キーボード
１１０４‥‥本体部
１１０６‥‥表示ユニット
１２００‥‥携帯電話機
１２０２‥‥操作ボタン
１２０４‥‥受話口
１２０６‥‥送話口
１３００‥‥ディジタルスチルカメラ
１３０２‥‥ケース
１３０４‥‥受光ユニット
１３０６‥‥シャッタボタン
１３０８‥‥回路基板
１３１２‥‥ビデオ信号出力端子
１３１４‥‥入出力端子
１４３０‥‥テレビモニタ
１４４０‥‥パーソナルコンピュータ
Ａ１‥‥離間距離
Ｂ１‥‥ヘッド長
Ｂ２‥‥ノズル列長
ＮＬ‥‥ノズル列

Claims (12)

1. 第１機能領域を備える第１被吐出領域と、第２機能領域を備える第２被吐出領域とを有
   する基体の前記第１機能領域と前記第２機能領域とに液滴を供給するための液滴吐出方法
   であって、
   前記液滴を供給するために液滴吐出装置が用いられ、前記液滴吐出装置は、前記液滴を
   吐出する液滴吐出ヘッドを複数備えるヘッドユニットを有し、複数の前記液滴吐出ヘッド
   は、前記液滴を吐出する際に、前記ヘッドユニットを前記基体に対して走査する第１の方
   向と交差する第２の方向において異なる位置に配設され、それぞれ、前記液滴を吐出する
   吐出ノズルを有し、
   複数の液滴吐出ヘッド毎に、前記液滴吐出ヘッドが備える前記吐出ノズルから吐出する
   前記液滴の吐出重量を設定する第１工程と、
   前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第１の方向に相対的に移動させる際に、
   複数の前記液滴吐出ヘッドのうち、前記第１被吐出領域或いは前記第２被吐出領域の、ど
   ちらか一方に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドが、前記吐出ノズルか
   ら前記基体に前記液滴を供給する第２工程と、を有し、
   前記第２工程において、
   前記第１被吐出領域に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドは、前記吐
   出ノズルから第１吐出重量の前記液滴を、前記第１機能領域に供給し、
   前記第２被吐出領域に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドは、前記吐
   出ノズルから第２吐出重量の前記液滴を、前記第２機能領域に供給することを特徴とする
   液滴吐出方法。
2. 前記第１被吐出領域と前記第２被吐出領域とは、前記第２の方向において異なる位置に
   配設されている請求項１に記載の液滴吐出方法。
3. 複数の前記液滴吐出ヘッドは、それぞれ、複数の前記吐出ノズルが前記第１の方向と交
   差する第３の方向に配設されてなるノズル列を有する請求項１または２に記載の液滴吐出
   方法。
4. 複数の前記液滴吐出ヘッドは、それぞれ、前記ノズル列の前記第２の方向に対する幅で
   あるノズル列幅が同一であり、
   前記第１被吐出領域と前記第２被吐出領域とは、前記ノズル列幅以上の離間距離で離間
   して前記基体上に形成されている請求項３に記載の液滴吐出方法。
5. 複数の前記液滴吐出ヘッドは、各々が備えるノズル列の前記第２の方向に対する幅であ
   るノズル列幅が同一であり、
   前記第１被吐出領域と前記第２被吐出領域とは、前記ノズル列の前記第３の方向におけ
   る長さであるノズル列長未満の離間距離で離間して前記基体上に形成されている請求項３
   に記載の液滴吐出方法。
6. 少なくとも２回の前記第１工程と前記第２工程とを少なくとも２回繰り返し、
   １回目の前記第２工程において、前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第１の
   方向に相対的に移動させる際に、複数の前記液滴吐出ヘッドのうち、前記第１被吐出領域
   および前記第２被吐出領域の双方に相対する前記ノズル列を有する前記液滴吐出ヘッドは
   、前記吐出ノズルから前記第１吐出重量の前記液滴を、前記第１機能領域に供給し、
   ２回目の前記第２工程において、前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記主方向
   に相対的に移動させる際に、複数の前記液滴吐出ヘッドのうち、前記第１被吐出領域およ
   び前記第２被吐出領域の双方に相対する前記ノズル列を有する前記液滴吐出ヘッドは、前
   記吐出ノズルから前記第２吐出重量の前記液滴を、前記第２機能領域に供給する請求項５
   に記載の液滴吐出方法。
7. 前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第１の方向に相対的に移動させる際に、
   複数の前記液滴吐出ヘッドのうち、前記第１被吐出領域および前記第２被吐出領域の双方
   に相対する前記ノズル列を有する前記液滴吐出ヘッドは、前記ノズル列のいずれの前記吐
   出ノズルも、前記液滴を吐出しない請求項５に記載の液滴吐出方法。
8. 前記第１工程において、前記第２工程の前記主査方向の前記移動で複数の前記液滴吐出
   ヘッドが通過する位置情報に基づいて、
   前記第１被吐出領域に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドには、前記
   吐出ノズルから前記第１吐出重量の前記液滴を吐出するよう予め設定し、
   前記第２被吐出領域に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドには、前記
   吐出ノズルから前記第２吐出重量の前記液滴を吐出するよう予め設定する請求項１ないし
   ７のいずれか１項に記載の液滴吐出方法。
9. 前記第２工程の後に、前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第２の方向に相対
   的に移動させる第３工程を有する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液滴吐出方法
   。
10. 前記第３工程の後に、さらに、前記第１工程および前記第２工程を行う請求項９に記載
    の液滴吐出方法。
11. 第１機能領域を備える第１被吐出領域と、第２機能領域を備える第２被吐出領域とを有
    する基体の前記第１機能領域と前記第２機能領域とに液滴を供給するための液滴吐出方法
    に用いられる液滴吐出装置の駆動を制御するためのプログラムであって、
    前記液滴吐出装置は、前記液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを複数備えるヘッドユニット
    を有し、複数の前記液滴吐出ヘッドは、前記液滴を吐出する際に、前記ヘッドユニットを
    前記基体に対して走査する第１の方向と交差する第３の方向に沿って配設され、それぞれ
    、前記液滴を吐出する吐出ノズルを有し、
    複数の液滴吐出ヘッド毎に、前記液滴吐出ヘッドが備える前記吐出ノズルから吐出する
    前記液滴の吐出重量を設定する第１ステップと、
    前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第１の方向に相対的に移動させる際に、
    複数の前記液滴吐出ヘッドのうち、前記第１被吐出領域或いは前記第２被吐出領域の、ど
    ちらか一方に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドが、前記吐出ノズルか
    ら前記基体に前記液滴を供給する第２ステップと、を有し、
    前記第２ステップにおいて、
    前記第１被吐出領域に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドは、前記吐
    出ノズルから第１吐出重量の前記液滴を、前記第１機能領域に供給し、
    前記第２被吐出領域に相対する前記吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドは、前記吐
    出ノズルから第２吐出重量の前記液滴を、前記第２機能領域に供給するよう構成されるこ
    とを特徴とするプログラム。
12. 請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の液滴吐出方法を用いて、前記液滴を前記第
    １機能領域および前記第２機能領域に供給して、前記第１機能領域および前記第２機能領
    域内で、それぞれ、露出する前記基体上に、液状被膜を形成する供給工程と、
    前記液状被膜を乾燥させることで、前記第１機能領域および前記第２機能領域内で、そ
    れぞれ、露出する前記基体上に膜を成膜する成膜工程と、
    前記第１被吐出領域および前記第２被吐出領域毎に前記基体を厚さ方向に切断すること
    でサイズの異なる複数の膜付きデバイスを得る切断工程とを有することを特徴とする膜付
    きデバイスの製造方法。

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