JP6390114B2 - 成膜用インク、吐出検査方法、吐出検査装置および発光素子の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、成膜用インク、吐出検査方法、吐出検査装置および発光素子の製造方法に関する。

成膜材料を溶媒に溶解してなる成膜用インクを液滴吐出法を用いて基材上に供給（塗布）し、その基材上の成膜用インクから溶媒を除去（乾燥）することにより成膜を行う方法が実用に供されている。
このような方法に用いる液滴吐出ヘッドは、一般に、ノズル開口を複数備えており、個々のノズル開口から成膜用インクを液滴として吐出する。このため、成膜用インクはノズル開口で大気に晒されており、メニスカス（ノズル開口で露出している液体の自由表面）を通じて成膜用インクの溶媒成分が蒸発する。この溶媒成分の蒸発は、成膜用インクの他の成分の濃度上昇を招き、液滴の飛行曲がり等を引き起こしたり、ノズル開口の目詰まりを生じさせたりする。また、ノズル開口が目詰まり状態になってしまうと、そのノズル開口からは液滴が吐出されないので、成膜に際し、所望の特性が得られないおそれがある。
そこで、所望の性能を得るためにドット抜けの有無を検出することが行われている。例えば、特許文献１に開示されているように、受容層を備える透明な基板の受容層側に液滴を塗布し、基板に対して一方の面側から光を照射し、他方の面側から光分光を測定することにより塗布領域を観察することが行われている。

しかし、正孔輸送層または正孔注入層を液相プロセスで形成する際に用いる成膜用インクは、一般に、成膜材料の濃度が極めて薄く、しかも、ほとんど着色されていない。そのため、塗布された成膜用インクを上記方法により単に観察しても、その塗布状態（特に塗布領域と非塗布領域との境界部）を測定（認識）することが難しい。その上、近年、ディスプレイの高精細化が進むにつれ、かかる液相プロセスに用いる液滴吐出ヘッドのノズルも高精細化されるため、１回で吐出される液滴の吐出量が極めて少なく、塗布状態を測定することがますます難しくなる。

特開２０１２−１８７４９７号公報

本発明の目的は、成膜用インクが高濃度に着色されていなかったり吐出対象物に対する濡れ拡がり性が高かったりしても、液滴吐出ヘッドの検査（吐出検査）を高精度に行うことができる成膜用インク、吐出検査方法および吐出検査装置を提供すること、また、かかる成膜用インクを用いた発光素子の製造方法を提供することにある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の成膜用インクは、有機エレクトロルミネッセンス素子に含まれる正孔輸送層または正孔注入層を構成する材料またはその前駆体である成膜材料と、
前記成膜材料を分散または溶解させる液性媒体と、
励起光が照射されることにより発光する指標材料と、を含み、
前記正孔輸送層または前記正孔注入層を形成したときに、前記指標材料の前記発光の機能が消失または低減することを特徴とする。
このような成膜用インクによれば、励起光が照射されることにより指標材料が発光するため、その発光状態を測定し、その測定結果に基づいて、塗布状態を高精度に認識することができる。したがって、成膜用インクが高濃度に着色されていなくても、液滴吐出ヘッドの検査（吐出検査）を高精度に行うことができる。

ここで、一般に、正孔輸送層または正孔注入層を液相プロセスで形成する際に用いる成膜用インクは、成膜材料の濃度が極めて薄く、しかも、ほとんど着色されていない。そのため、塗布された成膜用インクを単に観察しても、その塗布状態（特に塗布領域と非塗布領域との境界部）を測定（認識）することが難しい。その上、近年、ディスプレイの高精細化が進むにつれ、かかる液相プロセスに用いる液滴吐出ヘッドのノズルも高精細化されるため、１回で吐出される液滴の吐出量が極めて少なく、塗布状態を測定することがますます難しくなる。したがって、このような成膜用インクに本発明を適用することで、その効果が顕著となる。

本発明の成膜用インクでは、前記正孔輸送層または前記正孔注入層を形成したときに、前記指標材料の前記発光の機能が消失または低減することにより、成膜用インクを用いて形成した正孔輸送層または正孔注入層を用いて発光素子を製造したとき、その発光素子の特性に指標材料が悪影響を与えるのを防止することができる。

［適用例２］
本発明の成膜用インクは、有機エレクトロルミネッセンス素子に含まれる正孔輸送層または正孔注入層を構成する材料またはその前駆体である成膜材料と、
前記成膜材料を分散または溶解させる液性媒体と、
励起光が照射されることにより発光する指標材料と、を含み、
加熱されることにより前記指標材料の前記発光の機能が消失または低減することを特徴とする。
このような成膜用インクによれば、励起光が照射されることにより指標材料が発光するため、その発光状態を測定し、その測定結果に基づいて、塗布状態を高精度に認識することができる。したがって、成膜用インクが高濃度に着色されていなくても、液滴吐出ヘッドの検査（吐出検査）を高精度に行うことができる。
正孔輸送層または正孔注入層を液相プロセスで形成する際、一般に、塗布された成膜用インクに対して加熱処理（焼成）を行う。したがって、この加熱処理の熱を利用して、指標材料の発光機能を消失または低減させることができる。

［適用例３］
本発明の成膜用インクでは、前記励起光は、紫外光であることが好ましい。
これにより、指標材料を効率的に励起することができる。
［適用例４］
本発明の成膜用インクでは、前記指標材料の前記発光は、可視光または赤外光であることが好ましい。
これにより、指標材料の発光状態を効率的に測定することができる。

［適用例５］
本発明の吐出検査方法は、本発明の成膜用インクを液滴吐出ヘッドを用いて液滴として吐出して記録媒体上に塗布する工程と、
前記記録媒体上の前記成膜用インクに前記励起光を照射し、前記指標材料の発光状態を測定する工程と、を有し、
前記測定の結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの検査を行うことを特徴とする。

このような吐出検査方法によれば、励起光が照射されることにより指標材料が発光するため、その発光状態を測定し、その測定結果に基づいて、成膜用インクの塗布状態を高精度に認識することができる。したがって、成膜用インクが高濃度に着色されていなかったり記録媒体に対する濡れ拡がり性が高かったり（滲みやすかったり）しても、液滴吐出ヘッドの検査（吐出検査）を高精度に行うことができる。

［適用例６］
本発明の吐出検査方法は、励起光により励起されることにより発光する指標材料を含む成膜用インクを液滴吐出ヘッドを用いて液滴として吐出して記録媒体上に塗布する工程と、
前記記録媒体上の前記成膜用インクに前記励起光を照射し、前記指標材料の発光状態を測定する工程と、を有し、
前記測定の結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの検査を行うことを特徴とする。
このような吐出検査方法によれば、励起光が照射されることにより指標材料が発光するため、その発光状態を測定し、その測定結果に基づいて、成膜用インクの塗布状態を高精度に認識することができる。したがって、成膜用インクが高濃度に着色されていなくても、液滴吐出ヘッドの検査（吐出検査）を高精度に行うことができる。

［適用例７］
本発明の吐出検査方法では、前記記録媒体は、前記励起光に対する透過性を有することが好ましい。
これにより、記録媒体を介して励起光を記録媒体上の成膜用インクに照射することができる。
［適用例８］
本発明の吐出検査方法では、前記記録媒体は、前記励起光により発光しないか、または、前記励起光により前記指標材料とは異なる波長で発光することが好ましい。
これにより、指標材料の発光状態を効率的に測定することができる。

［適用例９］
本発明の吐出検査装置は、本発明の成膜用インクを記録媒体上に液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの検査を行う吐出検査装置であって、
前記記録媒体に照射される前記励起光を出射する光出射部と、
前記記録媒体上における前記励起光による前記指標材料の発光状態を測定する測定部と、を有し、
前記測定部の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの検査を行うことを特徴とする。
このような吐出検査装置によれば、励起光が照射されることにより指標材料が発光するため、その発光状態を測定し、その測定結果に基づいて、成膜用インクの塗布状態を高精度に認識することができる。したがって、成膜用インクが高濃度に着色されていなくても、液滴吐出ヘッドの検査（吐出検査）を高精度に行うことができる。

［適用例１０］
本発明の吐出検査装置は、励起光により励起されることにより発光する指標材料を含む成膜用インクを記録媒体上に液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの検査を行う吐出検査装置であって、
前記記録媒体に照射される前記励起光を出射する光出射部と、
前記記録媒体上における前記励起光による前記指標材料の発光状態を測定する測定部と、を有し、
前記測定部の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの検査を行うことを特徴とする。
このような吐出検査装置によれば、励起光が照射されることにより指標材料が発光するため、その発光状態を測定し、その測定結果に基づいて、成膜用インクの塗布状態を高精度に認識することができる。したがって、成膜用インクが高濃度に着色されていなくても、液滴吐出ヘッドの検査（吐出検査）を高精度に行うことができる。

［適用例１１］
本発明の発光素子の製造方法は、本発明の成膜用インクを基材上に塗布する工程と、
前記成膜用インクを硬化または固化することにより正孔輸送層または正孔注入層を形成する工程と、を有することを特徴とする。
このような発光素子の製造方法によれば、正孔輸送層または正孔注入層を形成するための成膜用インクの塗布に用いる液滴吐出ヘッドの検査を高精度に行うことができる。そのため、正孔輸送層または正孔注入層を高精度に形成することができ、その結果、得られる発光素子の特性を優れたものとすることができる。

［適用例１２］
本発明の発光素子の製造方法では、前記正孔輸送層または前記正孔注入層を形成する工程において、前記指標材料の前記発光の機能を消失または低減させることが好ましい。
これにより、得られる発光素子の特性に指標材料が悪影響を与えるのを防止することができる。それどころか、発光機能を消失または低減した指標材料が正孔輸送性または正孔注入性を発揮し、発光素子の特性を向上させることもできる。

［適用例１３］
本発明の発光素子は、本発明の発光素子の製造方法を用いて形成された正孔輸送層または正孔注入層を備えることを特徴とする。
これにより、優れた特性を有する発光素子を提供することができる。
［適用例１４］
本発明の発光装置は、本発明の発光素子を備えることを特徴とする。
これにより、優れた特性を有する発光装置を提供することができる。
［適用例１５］
本発明の電子機器は、本発明の発光素子を備えることを特徴とする。
これにより、優れた特性を有する発光素子を備える電子機器を提供することができる。

（ａ）は、本発明の実施形態に係る吐出検査装置を備える液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの要部の概略構成を示す断面図である。 図１に示す液滴吐出装置が備える吐出検査装置の概略構成を模式的に示す図である。 図１に示す液滴吐出装置が備える吐出検査装置の変形例の概略構成を模式的に示す図である。 図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。 図２に示す吐出検査装置を用いた吐出検査方法（本発明の吐出検査方法の一例）を説明する図である。 図５に示す吐出検査方法におけるテストパターンの一例を示す平面図である。 図１に示す液滴吐出装置を用いた成膜方法を説明する図である。 本発明の実施形態に係る発光装置（表示装置）を示す断面図である。 図８に示す発光装置が備える発光素子の断面図である。 本発明の電子機器の一例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。 本発明の電子機器の一例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。 本発明の電子機器の一例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。 本発明の実施例に係る発光素子（指標材料として緑色発光材料を用いた場合）の各種特性を示すグラフである。 本発明の実施例に係る発光素子（指標材料として赤色発光材料を用いた場合）の各種特性を示すグラフである。

以下、本発明の成膜用インク、吐出検査方法、吐出検査装置、発光素子の製造方法、発光素子、発光装置および電子機器について、図面に示す好適な実施形態に基づいて説明する。なお、各図では、説明の便宜上、各部の縮尺が適宜変更されており、図示の構成は実際の縮尺と必ずしも一致するわけではない。

（成膜用インク）
まず、本発明の成膜用インクについて簡単に説明する。
本発明の成膜用インクは、有機エレクトロルミネッセンス素子に含まれる正孔輸送層または正孔注入層を液相プロセスにより形成するためインクである。
本発明の成膜用インクは、正孔輸送層または正孔注入層を構成する材料またはその前駆体である成膜材料と、成膜材料を分散または溶解させる液性媒体と、を含んでおり、成膜材料には、励起光が照射されることにより発光する指標材料が添加されている。これにより、励起光が照射されることにより指標材料が発光するため、その発光状態を測定し、その測定結果に基づいて、成膜用インクの塗布状態を高精度に認識することができる。したがって、成膜用インクが高濃度に着色されていなくても、液滴吐出ヘッドの検査（吐出検査）を高精度に行うことができる。

ここで、一般に、正孔輸送層または正孔注入層を液相プロセスで形成する際に用いる成膜用インクは、成膜材料の濃度が極めて薄く、しかも、ほとんど着色されていない。そのため、塗布された成膜用インクを単に観察しても、その塗布状態（特に塗布領域と非塗布領域との境界部）を測定（認識）することが難しい。また、高機能なインクは基板（吐出対象物）への高い濡れ拡がり性を有しており、その為に境界（輪郭）がぼやけてしまい、やはり測定（認識）することが難しい。その上、近年、ディスプレイの高精細化が進むにつれ、かかる液相プロセスに用いる液滴吐出ヘッドのノズルも高精細化されるため、１回で吐出される液滴の吐出量が極めて少なく、塗布状態を測定することがますます難しくなる。したがって、このような成膜用インクに本発明を適用することで、その効果が顕著となる。

以下、本発明の成膜用インクの各成分を詳細に説明する。
（成膜材料）
本発明の成膜用インクに含まれる成膜材料は、成膜の目的とする膜の構成材料またはその前駆体、すなわち、正孔輸送層または正孔注入層を構成する材料またはその前駆体である。なお、かかる材料については、後に詳述する。また、本発明の成膜用インクの形成に用いる「正孔輸送層」または「正孔注入層」とは、一般に正孔輸送層または正孔注入層と呼ばれているもののみならず、陽極と発光層との間に配置され、かつ、液相プロセスにより形成可能な各種有機層（例えば中間層等）を含む。
また、成膜材料としては、例えば、２種以上の成分を組み合わせて用いてもよい。

成膜材料が有機材料を主材料とするものである場合、液性媒体を適宜選択することにより、液性媒体に成膜材料を溶解させることができる。一方、成膜材料が無機材料を含むものである場合や、成膜材料が有機材料であっても液性媒体に不溶である場合には、成膜材料を液性媒体に分散させればよい。
成膜用インク中における成膜材料の含有率は、特に限定されないが、例えば、０．０１〜１０ｗｔ％であるのが好ましく、０．０５〜５ｗｔ％であるのがより好ましく、０．１〜３ｗｔ％であるのがさらに好ましい。これにより、成膜用の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）からの吐出性（吐出安定性）を特に優れたものとすることができる。また、塗布対象物に対する成膜用インクの濡れ性を優れたものとし、その結果、成膜用インクの成膜性を優れたものとすることができる。

（指標材料）
前述した成膜材料に添加されている指標材料は、励起光が照射されることにより発光するものである。
この指標材料としては、後述する発光素子の発光層に含まれる発光材料と同様のもの、すなわち、蛍光材料、燐光材料を用いることができる。

具体的には、指標材料として用いる燐光材料としては、例えば、Ｉｒ（ｐｐｙ）_３（Fac-tris(2-phenypyridine)iridium）、Ｐｐｙ_２Ｉｒ（ａｃａｃ）（Bis(2-phenyl-pyridinato-N,C2)iridium(acetylacetone）、Ｂｔ_２Ｉｒ（ａｃａｃ）（Bis(2-phenylbenxothiozolato-N,C2’)iridium(III)(acetylacetonate)）、Ｂｔｐ_２Ｉｒ（ａｃａｃ）（Bis(2-2'-benzothienyl)-pyridinato-N,C3）Iridium(acetylacetonate）、ＦＩｒｐｉｃ（Iridium-bis(4,6difluorophenyl-pyridinato-N,C.2.)-picolinate）、Ｉｒ（ｐｍｂ）_３（Iridium-tris(1-phenyl-3-methylbenzimidazolin-2-ylidene-C,C(2)'）、ＦＩｒＮ_４（（(Iridium (III)bis(4,6-difluorophenylpyridinato)(5-(pyridin-2-yl)-tetrazolate）、Ｆｉｒｔａｚ（（Iridium(III)bis(4,6-difluorophenylpyridinato)(5-(pyridine-2-yl)-1,2,4-triazo-late）、ＰｔＯＥＰ（2,3,7,8,12,13,17,18-Octaethyl-21H,23H-porphine,platinum(II）)等が挙げられる。

また、指標材料として用いる蛍光材料としては、Ａｌｑ_３(8-ヒドロキシキノリナート)アルミニウム、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等が挙げられる。
上記以外にも、後述する発光素子の発光層に含まれる発光材料（燐光材料、蛍光材料）を指標材料として用いることができる。また、指標材料は、１種の燐光材料または蛍光材料で構成されていてもよいし、２種以上の燐光材料または蛍光材料を組み合わせて構成されていてもよい。

また、指標材料は、成膜用インクを用いて正孔輸送層または正孔注入層を形成したときに、その成膜過程において、発光機能が消失または低減するものであることが好ましい。これにより、成膜用インクを用いて形成した正孔輸送層または正孔注入層を用いて発光素子を製造したとき、その発光素子の特性に指標材料が悪影響を与えるのを防止することができる。

例えば、指標材料は、加熱されることにより発光機能が消失または低減するものであることが好ましい。正孔輸送層または正孔注入層を液相プロセスで形成する際、一般に、塗布された成膜用インクに対して加熱処理（焼成）を行う。したがって、この加熱処理の熱を利用して、指標材料の発光機能を消失または低減させることができる。
このような観点から、上記加熱処理の温度は、指標材料が発光機能を消失または低減する温度以上であることが好ましい。言い換えると、上記加熱処理は、正孔輸送層または正孔注入層の機能、すなわち正孔輸送性または正孔注入性を必要程度保ちながら、指標材料の発光機能を消失または低減し得ることが好ましい。

また、発光機能を消失または低減させる場合、発光機能の材料等によっては、高温で処理時間を短くする、または低温で処理時間を長くするなど、処理温度と処理時間の条件を適宜選択してもよい。
また、指標材料を励起する励起光は、紫外光であることが好ましい。これにより、指標材料を効率的に励起することができる。

また、指標材料の発光は、可視光または赤外光であることが好ましい。これにより、指標材料の発光状態を効率的に測定することができる。特に、励起光が紫外光である場合、指標材料の発光波長と励起光の波長と異なることとなるため、指標材料の発光状態を効率的に測定することができる。
また、指標材料としては、燐光材料を用いることが好ましい。これにより、励起光の照射を停止しても、指標材料の発光状態を測定することができる。そのため、吐出検査装置の構成を簡単化しつつ、指標材料の発光状態を高精度に測定することができる。
このような指標材料の成膜材料に対する添加量は、特に限定されないが、例えば、０．０１〜１０ｗｔ％であるのが好ましく、０．１〜５ｗｔ％であるのがより好ましい。これにより、得られる正孔輸送層または正孔注入層に対して指標材料が悪影響を与えるのを防止しつつ、吐出検査において指標材料の発光を優れたものとすることができる。

（液性媒体）
本発明の成膜用インクに含まれる液性媒体は、前述した成膜材料を溶解または分散させるもの、すなわち、溶媒または分散媒である。この液性媒体は、後述する成膜過程において、その大部分が除去されるものである。なお、液性媒体中に成膜材料が溶解または分散している状態において、前述した指標材料は、液性媒体中に単独で分散していてもよいし、液性媒体中に成膜材料とともに溶解または分散していてもよい。

このような液性媒体としては、成膜材料の種類等に応じて最適なものを選択して用いられ、特に限定されないが、例えば、1-propyl-4-phenyl benzene（沸点２８０℃）、N-Methyldiphenylamine（沸点２９６〜２９７℃）、Dibenzyl Ether（沸点２９５℃）、4,4'-Difluorodiphenylmethane（沸点２５８℃）、α,α-Dichlorodiphenylmethane（沸点３０５℃）、2-Phenoxytoluene（沸点２６５℃）、Dimethyl benzyl ether（沸点２７０℃）、2-phenoxy 1,4-dimethyl benzene（沸点２８０℃）、2,3,5-tri-methy diphenyl ether（沸点２９５℃）、2,2,5-tri-methy diphenyl ether（沸点２９０℃）、3-Phenoxytoluene（沸点２７１〜２７３℃）、2-phenoxytetrahydropuran（沸点２７４．７℃）、4-(3-phenylpropyl)pyridine（沸点３２２℃）、2-Phenylpyridine（沸点２６８℃）、3-phenylpyridine（沸点２７２℃）、Benzyl Benzoate（沸点３２４℃）、2-Phenylanisole（沸点２７４℃）、Ethyl 2-Naphthyl Ether（沸点２８２℃）、1,1-Bis(3,4-Dimethylphenyl)ethane（沸点３３３℃）、4-Methoxybenzaldehyde Dimethyl Acetal（沸点２５３℃）、1,3-Dipropoxybenzene（沸点２５１℃）、1,2-Dimethoxy-4-(1-propenyl)benzene（沸点２６４℃）、Diphenyl ether（沸点２５９℃）、Diphenyl methane（沸点２６５℃）、4-Isopropylbiphenyl（沸点２９８℃）、Diethyleneglycol butylmethyl ether（沸点２１２℃）、Triethyleneglycol butylmethyl ether（沸点２６１℃）、Diethyleneglycol dibutyl ether（沸点２５６℃）、Triethyleneglycol dimethyl ether（沸点２１６℃）、Diethyleneglycol monobutyl ether（沸点２３０℃）、Tripropyleneglycol dimethyl ether（沸点２１５℃）、Tetraethyleneglycol dimethyl ether（沸点２７５℃）等が挙げられ、これらのうち少なくとも１種を単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。

また、液性媒体は、成膜用インクに含まれる成膜材料やその他の成分に対する攻撃性ができるだけ少ないものを用いるのが好ましい。
また、液性媒体は、成膜後に膜中に残留する可能性がある場合には、その膜の用途に応じた特性をできるだけ阻害しないものを用いるのが好ましい。例えば、電気的特性をも考慮して液性媒体の各成分を選定するのが好ましい。
以上説明したような成膜用インクは、液滴吐出装置を用いた液相プロセスによる成膜に用いられる。

（液滴吐出装置）
次に、本発明の吐出検査装置を備える液滴吐出装置の全体構成を簡単に説明する。
図１（ａ）は、本発明の実施形態に係る吐出検査装置を備える液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図、図１（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図、図１（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの要部の概略構成を示す断面図である。なお、図１には、説明の便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が図示されている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、図１では、Ｚ軸が鉛直方向に沿っており、＋Ｚ軸方向側（ｚ軸を示す矢印の先端側）を「上」、−Ｚ軸方向側（Ｚ軸を示す矢印の基端側）を「下」という。

図１に示す液滴吐出装置６は、インクジェット装置である。この液滴吐出装置６は、基台７と、１対の案内レール８と、ステージ９と、主走査位置検出装置１０と、支持台１２と、案内部材１３と、収納タンク１４と、案内レール１５と、キャリッジ１６と、副走査位置検出装置１７と、ヘッドユニット１８と、吐出検査装置１９と、を備えている。
基台７は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に沿った上面７ａを有する直方体形状をなしている。そして、基台７の上面７ａには、Ｙ軸方向に沿って延びている１対の案内レール８が設置されている。

この１対の案内レール８には、図示しない直動機構を介して、ステージ９が取り付けられている。これにより、ステージ９を１対の案内レール８に沿って移動させることで、後述する液滴吐出ヘッド２２をステージ９に対して主走査方向（本実施形態ではＹ軸方向）に相対的に移動させることができる。本実施形態では、かかる直動機構として、例えば、リニアモーターが用いられており、ステージ９がＹ軸方向に沿って所定の速度で往動と復動とを繰り返すようになっている。なお、かかる直動機構は、リニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であってもよい。

また、基台７の上面７ａには、主走査位置検出装置１０が設けられている。この主走査位置検出装置１０により、基台７に対するステージ９のＹ軸方向での位置（すなわち主走査方向での位置）が検出される。
ステージ９の上面には、記録媒体２が載置される載置面１１が形成されている。この載置面１１には、図示しない吸引式のチャック機構が設けられている。このチャック機構により、載置面１１上の記録媒体２が載置面１１に対して吸着・固定される。
また、Ｘ軸方向における基台７の両端部には、上側に延びている１対の支持台１２が設けられている。この１対の支持台１２には、Ｘ軸方向に沿って延びている案内部材１３が架設されている。この案内部材１３の上側には、成膜用インク２６が収納されている収納タンク１４が設置されている。

一方、案内部材１３の下側には、Ｘ軸方向に沿って延びている案内レール１５が設置されている。この案内レール１５には、図示しない直動機構を介して、キャリッジ１６が取り付けられている。これにより、キャリッジ１６を案内レール１５に沿って移動させることで、後述する液滴吐出ヘッド２２をステージ９に対して副走査方向（本実施形態ではＸ軸方向）に相対的に移動させることができる。本実施形態では、かかる直動機構として、例えば、リニアモーターが用いられており、任意のタイミング（例えば、前述した主走査の往動と復動との切り換え時）にキャリッジ１６がＸ軸方向に沿って移動するようになっている。なお、かかる直動機構は、リニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であってもよい。

また、案内部材１３のキャリッジ１６側には、副走査位置検出装置１７が設けられている。この副走査位置検出装置１７により、案内部材１３に対するキャリッジ１６のＸ軸方向での位置（すなわち副走査方向での位置）が検出される。
キャリッジ１６には、ヘッドユニット１８が設置されている。ヘッドユニット１８は、図１（ｂ）に示すように、複数（本実施形態では６つ）の液滴吐出ヘッド２２が設けられている。各液滴吐出ヘッド２２は、ノズルプレート２３を備え、このノズルプレート２３には、複数の吐出ノズル２４が形成されている。なお、液滴吐出ヘッド２２および吐出ノズル２４の数および配置等は、図示のものに限定されない。
より具体的に説明すると、各液滴吐出ヘッド２２は、ノズルプレート２３と、キャビティ２５と、振動板２７と、圧電素子２８と、を有している。

ノズルプレート２３には、Ｘ軸方向に並んでいる複数の吐出ノズル２４が形成されている。このノズルプレート２３に対して上側には、各吐出ノズル２４に対応して、吐出ノズル２４に連通しているキャビティ２５（圧力室）が設けられている。このキャビティ２５は、図示しない流路を介して、前述した収納タンク１４に連通されており、収納タンク１４からの成膜用インク２６が供給される。

また、キャビティ２５の上側には、振動板２７が配置されている。この振動板２７は、キャビティ２５の内壁面の一部を構成している。この振動板２７のキャビティ２５とは反対側の面には、圧電素子２８が配置されている。この圧電素子２８は、素子駆動信号を受けると、上下方向（Ｚ軸方向）に伸張または収縮して振動板２７を上下方向（Ｚ軸方向）に振動させる。これにより、キャビティ２５内の容積の縮小を伴ってキャビティ２５内が加圧される。その結果、そのキャビティ２５内の容積の縮小分に対応した量の成膜用インク２６が吐出ノズル２４から液滴２９として吐出される。吐出された液滴２９は、記録媒体２上に着弾する。
吐出検査装置１９は、記録媒体２上の液滴２９の着弾位置や着弾面積等の着弾情報を測定し、その測定結果に基づいて、液滴吐出ヘッド２２の検査を行う。

［吐出検査装置］
以下、吐出検査装置１９の構成について説明する。
図２は、図１に示す液滴吐出装置が備える吐出検査装置の概略構成を模式的に示す図である。
図２に示す吐出検査装置１９は、成膜用インクを記録媒体２上に液滴２９として吐出する液滴吐出ヘッド２２の検査を行う。図２に示すように、この吐出検査装置１９は、記録媒体２に照射される光を出射する光出射部１９１（光源）と、記録媒体２からの光を測定する測定部１９２、１９３（撮像部）と、光出射部１９１および測定部１９２と記録媒体２との間に配置された光学系１９５と、を有している。

本実施形態では、光出射部１９１および測定部１９２は、前述したキャリッジ１６に取り付けられ、一方、測定部１９３は、前述したステージ９に埋設されている（図１（ａ）参照）。また、図示しないが、光学系１９５もキャリッジ１６に取り付けられている。なお、光出射部１９１、測定部１９２、１９３および光学系１９５は、液滴吐出装置６に組み込まれていなくてもよく、例えば、光出射部１９１、測定部１９２、１９３および光学系１９５を液滴吐出装置６とは別体としてユニット化してもよい。

光出射部１９１は、記録媒体２上の成膜用インクに含まれる指標材料を励起する励起光を含む光を出射する。光出射部１９１から出射される光は、単一波長であってもよいし、所定の波長域で幅を有していてもよいが、指標材料の発光波長、すなわち測定部１９２、１９３で測定される光の波長と異なることが好ましい。これにより、比較的簡単な構成で、光出射部１９１からの光が測定部１９２、１９３で測定されるのを防止または低減し、測定部１９２または１９３で指標材料の発光を効率的に測定することができる。なお、光出射部１９１から出射される光が指標材料の発光波長を含んでいてもよく、この場合、必要に応じて、光学フィルターを適宜設置すればよい。
また、光出射部１９１としては、特に限定されないが、例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）光源、レーザー光源、ハロゲン光源等を用いることができる。

本実施形態では、光出射部１９１は、リング型をなしている。そして、光学系１９５は、光出射部１９１からの光を記録媒体２の所定領域（後述するテストパターンが形成される領域）に集光する機能を有する集光レンズである。また、光学系１９５は、記録媒体２からの光を透過する機能を有する。なお、光出射部１９１の形状は、これに限定されず、任意であり、また、光学系１９５は、光出射部１９１や測定部１９２の構成等に応じて適宜設計されるものであり、光出射部１９１および測定部１９２の構成等によっては、省略してもよいし、集光レンズ以外の各種光学素子、例えば、光学フィルターを有していてもよい。

測定部１９２、１９３は、記録媒体２からの光、より具体的には、記録媒体２上の成膜用インクに含まれる指標材料の発光を測定する。ここで、測定部１９２は、記録媒体２に対して光出射部１９１と同じ側に配置されている。また、測定部１９２は、光出射部１９１に対して記録媒体２とは反対側に配置されている。そして、測定部１９２は、リング状の光出射部１９１の内側を通じて指標材料の発光を測定する。一方、測定部１９３は、記録媒体２に対して光出射部１９１とは反対側に配置されている。そして、測定部１９３は、記録媒体２を介して指標材料の発光を測定する。

また、測定部１９２、１９３としては、それぞれ、指標材料の発光を測定することができれば、特に限定されないが、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等の撮像素子を用いることができる。このような撮像素子を測定部１９２、１９３として用いることにより、記録媒体２上で指標材料の発光が起きている領域とそうでない領域とを認識し、その結果、記録媒体２上の成膜用インクの塗布領域を認識することができる。

記録媒体２上の指標材料の発光を測定する際には、測定部１９２、１９３のうちの少なくとも一方を用いればよいが、指標材料や記録媒体２の種類等に応じて、測定部１９２、１９３のうちのいずれか一方を適宜選択して測定を行うことができる。例えば、記録媒体２が指標材料の発光波長に対して透過性を有する場合、測定部１９２、１９３のいずれを測定に用いてもよいが、励起光に対する記録媒体２の反射性が高い場合には、測定部１９３を用いて測定を行う。また、記録媒体２が指標材料の発光波長に対して透過性を有しない場合、測定部１９２を用いて測定を行う。なお、本実施形態では、吐出検査装置１９が２つの測定部１９２、１９３を備える場合を例に説明したが、指標材料や記録媒体２の種類等によっては、測定部１９２、１９３のうちのいずれか一方を省略してもよい。

以上説明したような吐出検査装置１９によれば、励起光が照射されることにより記録媒体２上の指標材料が発光するため、その発光状態を測定し、その測定結果に基づいて、成膜用インクの塗布状態を高精度に認識することができる。したがって、成膜用インクが高濃度に着色されていなくても、液滴吐出ヘッド２２の検査（吐出検査）を高精度に行うことができる。

ここで、吐出検査装置１９では、光出射部１９１からの光が記録媒体２で反射して測定部１９２に入射したり、光出射部１９１からの光が記録媒体２を透過して測定部１９３に入射したりして、測定部１９２、１９３における測定精度を低下させるおそれがある。したがって、測定精度を高めるには、指標材料の発光波長以外の波長域における測定部１９２、１９３の測定感度を低くしたり、測定部１９２、１９３と記録媒体２との間に光学フィルターを設けたりすることが好ましい。また、以下の変形例のように、光出射部１９１からの光が測定部１９２、１９３に入射しないように、光出射部１９１を配置してもよい。

図３は、図１に示す液滴吐出装置が備える吐出検査装置の変形例の概略構成を模式的に示す図である。
図３（ａ）に示す変形例に係る吐出検査装置１９Ａは、前述した吐出検査装置１９において、光学系１９５を省略するとともに、光出射部１９１に代えて光出射部１９１Ａを備えており、それ以外は、吐出検査装置１９と同様である。

光出射部１９１Ａは、記録媒体２に対して傾斜した方向から光を出射・照射するように配置されている。これにより、光学フィルター等を用いなくても、光出射部１９１Ａからの光が測定部１９２、１９３に入射するのを防止または抑制することができる。また、光出射部１９１Ａは、記録媒体２に対して上側に配置されている。これにより、記録媒体２が励起光に対して透過性を有しない場合であっても、記録媒体２上の成膜用インクに対して励起光を照射することができる。
図３（ｂ）に示す変形例に係る吐出検査装置１９Ｂは、前述した吐出検査装置１９において、光学系１９５を省略するとともに、光出射部１９１に代えて光出射部１９１Ｂを備えており、それ以外は、吐出検査装置１９と同様である。

光出射部１９１Ｂは、記録媒体２に対して傾斜した方向から光を出射・照射するように配置されている。これにより、光学フィルター等を用いなくても、光出射部１９１Ｂからの光が測定部１９２、１９３に入射するのを防止または抑制することができる。また、光出射部１９１Ｂは、記録媒体２に対して下側に配置されている。これにより、記録媒体２が励起光に対して透過性を有する場合に、下側から記録媒体２を介して記録媒体２上の成膜用インクに対して励起光を照射することができる。
以上、吐出検査装置１９の構成を説明したが、吐出検査装置１９を用いた吐出検査方法については、後に詳述する。

［液滴吐出装置の制御系］
次に、吐出検査装置１９を含む液滴吐出装置６の制御系について説明する。
図４は、図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。
図４に示すように、液滴吐出装置６は、液滴吐出装置６の各部の動作を制御する制御装置４１（制御部）を備えている。この制御装置４１は、各種の演算処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）４２と、各種情報を記憶するメモリー４３（記憶部）と、を備えている。

ここで、ＣＰＵ４２には、入出力インターフェイス４６およびデータバス４７を介して、前述した主走査位置検出装置１０、副走査位置検出装置１７および吐出検査装置１９がそれぞれ接続されている。また、上記以外にも、ＣＰＵ４２には、入出力インターフェイス４６およびデータバス４７を介して、主走査駆動装置４４、副走査駆動装置４５、ヘッド駆動回路４８、入力装置４９および表示装置５０がそれぞれ接続されている。
主走査駆動装置４４は、前述したステージ９の主走査方向での移動を行うための駆動源であり、副走査駆動装置４５は、前述したキャリッジ１６の副走査方向での移動を行うための駆動源である。また、ヘッド駆動回路４８は、前述した液滴吐出ヘッド２２を駆動するものである。

入力装置４９は、液滴吐出装置６の各種動作条件が入力される装置であり、例えば、図示しない外部装置から、記録媒体２に液滴２９を吐出する座標情報が入力される。また、表示装置５０は、液滴吐出装置６の加工条件や作業状況等の各種情報を表示する装置である。操作者は、表示装置５０に表示される情報に基づいて、入力装置４９を用いて操作を行うことができる。

メモリー４３は、例えば、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリー、または、ハードディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置等を有して構成されている。このメモリー４３には、ＣＰＵ４２の動作に必要な各種情報が記憶されている。
具体的に説明すると、メモリー４３には、液滴吐出装置６における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５１を記憶する記憶領域が設定される。また、メモリー４３には、記録媒体２上に吐出する吐出位置の座標データである吐出位置データ５２を記憶するための記憶領域も設定される。

他にも、メモリー４３には、液滴吐出ヘッド２２を駆動するときの駆動波形と吐出量の関係を示すデータである駆動電圧データ５３や、液滴吐出ヘッド２２を駆動する駆動波形データ５４等の吐出条件を複数記憶するための記憶領域が設定される。また、メモリー４３には、吐出する各場所における駆動電圧のデータである吐出計画データ５５を記憶するための記憶領域が設定される。さらに、メモリー４３には、ＣＰＵ４２のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種類の記憶領域が設定される。
ＣＰＵ４２は、メモリー４３に記憶されたプログラムソフト５１に従って、液滴吐出装置６の各部の制御を行う。このＣＰＵ４２は、描画制御部５６と、吐出検査制御部１９０と、着弾特性補正制御部６０と、吐出条件設定部６１と、吐出計画設定部６２と、を有している。

描画制御部５６は、液滴吐出ヘッド２２から液滴２９を吐出して描画するための制御を行う。この描画制御部５６は、主走査駆動装置４４を駆動制御する主走査制御部５７と、副走査駆動装置４５を駆動制御する副走査制御部５８と、ヘッド駆動回路４８を駆動制御する吐出制御部５９と、を有している。主走査制御部５７は、ステージ９を主走査方向へ所定の速度で移動させるための制御を行う。副走査制御部５８は、液滴吐出ヘッド２２を副走査方向へ所定の副走査量で移動させるための制御を行う。吐出制御部５９は、液滴吐出ヘッド２２が有する複数のノズルのそれぞれの吐出量や吐出の有無の制御を行う。
吐出検査制御部１９０は、吐出検査装置１９による液滴吐出ヘッド２２の吐出検査を実行するための制御を行う。この吐出検査制御部１９０は、光出射部１９１の制御を行う光源制御部１９６と、測定部１９２、１９３の制御を行う受光制御部１９７と、を有している。

着弾特性補正制御部６０は、吐出検査装置１９の検査結果（テストパターンの着弾位置や着弾面積等の着弾情報）と、予め設定された適正な着弾情報とずれ量に基づいて、補正値を取得し、描画制御部５６にフィードバックして、液滴吐出ヘッド２２が吐出する液滴２９の記録媒体２への着弾位置を補正する。吐出条件設定部６１は、塗布領域に吐出する成膜用インク２６の量と吐出特性とに基づいて、吐出ノズル２４から吐出する液滴２９の吐出量と吐出回数を設定する。吐出計画設定部６２は、液滴２９を吐出する各場所における圧電素子２８の駆動波形を設定する。

［吐出検査方法］
次に、本発明の吐出検査方法の一例として、前述した吐出検査装置１９を用いた吐出検査方法について説明する。
図５は、図２に示す吐出検査装置を用いた吐出検査方法（本発明の吐出検査方法の一例）を説明する図である。また、図６は、図５に示す吐出検査方法におけるテストパターンの一例を示す平面図である。

吐出検査装置１９を用いた吐出検査方法は、［Ａ］前述した成膜用インクを液滴吐出ヘッド２２を用いて液滴２９として吐出して記録媒体２上に塗布する工程と、［Ｂ］記録媒体２上の成膜用インク（ドット２９Ａ）に励起光を照射し、指標材料の発光状態を測定する工程と、を有し、工程［Ｂ］における測定の結果に基づいて、液滴吐出ヘッド２２の検査を行う。

以下、吐出検査方法の各工程を順次詳細に説明する。
［Ａ］
−Ａ１−
まず、図５（ａ）に示すように、記録媒体２を用意する。
記録媒体２は、吐出検査用の記録媒体である。この記録媒体２は、基材３２と、基材３２上に積層されたインク吸収層３３と、を有している。

基材３２（支持層）は、シート状をなしている、この基材３２の構成材料は、工程［Ｂ］の測定において、測定部１９２を用いるか、または、測定部１９３を用いるかによって、適宜選択することができる。なお、基材３２の構成材料に応じて、工程［Ｂ］において、測定部１９２を用いるか、または、測定部１９３を用いるかを選択して決定してもよい。

基材３２の具体的な構成材料としては、特に限定されないが、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂等の樹脂材料を用いることができる。
また、基材３２の厚さは、特に限定されないが、例えば、数μｍ〜数ｍｍ程度とされる。
インク吸収層３３（受容層）は、例えば、シリカ、アルミナ等の無機微粒子と、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）等の樹脂材料からなるバインダーとを含んで構成されている。このインク吸収層３３の厚さは、特に限定されないが、数μｍ〜数百μｍ程度とされる。
このようなインク吸収層３３が設けられていることにより、記録媒体２上に塗布された成膜用インクの濡れ拡がりの安定化を図ることができる。

このような記録媒体２は、図２に示す構成の吐出検査装置１９を用いる場合（図３（ａ）に示す構成の吐出検査装置１９Ａを用いる場合も同様）、光出射部１９１からの励起光に対して透過性を有していてもよいし、光出射部１９１からの励起光に対して透過性を有していなくてもよい。記録媒体２（特に基材３２）が光出射部１９１からの励起光に対する透過性を有する場合、例えば、図３（ｂ）に示す構成の吐出検査装置１９Ｂを用いて、記録媒体２を介して励起光を記録媒体２上の成膜用インクに照射することができる。

また、記録媒体２は、励起光に対する反射防止性を有すること、例えば、インク吸収層３３が反射防止層を構成することが好ましい。これにより、工程［Ｂ］において、測定部１９２を用いて測定を行う場合、測定部１９２に励起光が入射するのを防止または低減することができる。
また、記録媒体２は、励起光により発光しないか、または、励起光により指標材料とは異なる波長で発光することが好ましい。より具体的には、記録媒体２は、指標材料のような発光材料（蛍光材料や燐光材料）を含有しないか、または、含有していたとしても、その発光波長が指標材料と異なることが好ましい。これにより、工程［Ｂ］において、指標材料の発光状態を効率的に測定することができる。なお、記録媒体２が発光する場合、例えば、その光が測定部１９２、１９３に入射しないように、光学フィルターを適宜設けてもよい。

また、同様の観点から、記録媒体２の基材３２およびインク吸収層３３のうちの少なくとも一方は、黒色に着色されていることが好ましい。これによっても、記録媒体２からの発光を抑制することができる。
また、記録媒体２は、指標材料の発光波長に対して透過性を有していてもよいし、指標材料の発光波長に対して透過性を有していなくてもよいが、指標材料の発光波長に対して透過性を有する場合、工程［Ｂ］において、測定部１９３を用いて測定を効率的に行うことができる。

−Ａ２−
次に、図５（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２から成膜用インクの液滴２９を吐出し、記録媒体２のインク吸収層３３上に着弾させる。これにより、インク吸収層３３に、成膜用インクからなるドット２９Ａが形成される。ここで、液滴２９は、液滴吐出ヘッド２２の各ノズルから吐出され、記録媒体２上には、行列状に配置された複数のドット２９Ａからなるテストパターンが形成される（図６参照）。

［Ｂ］
次に、図５（ｃ）に示すように、記録媒体２上の成膜用インクからなるドット２９Ａに対して光出射部１９１からの励起光を照射する。これにより、ドット２９Ａ中の指標材料が励起光により発光する。そして、その発光状態を測定する。なお、図５（ｃ）では、説明の便宜上、測定部１９３を用いて測定する場合を例に図示しているが、測定部１９２を用いて測定することもできる。

このような測定の結果に基づいて、液滴吐出ヘッド２２の検査（吐出検査）を行う。詳述すると、測定部１９２、１９３で測定された発光状態に関する情報（テストパターンの撮像データ）は、図示しない画像処理装置に送られる。この画像処理装置では、測定された発光状態に関する情報に基づいて、画像処理計算を行なうことにより、記録媒体２上の各ドット２９Ａの径（着弾径）や位置（着弾位置）が算出される。このとき、発光強度が所定の閾値以上であるか否かによって、ドット２９Ａの外周縁（図６に示す成膜用インクが塗布された領域３３ａとそうでない領域３３ｂとの境界）が決定される。すなわち、発光強度が所定の閾値以上である領域を成膜用インクが塗布された領域３３ａ（すなわちドット２９Ａ）、一方、発光強度が閾値未満である領域を成膜用インクが塗布されていない領域３３ｂと判断する。

なお、本実施形態では、撮像素子のような測定部１９２、１９３を用いて測定を行ったが、ドット２９Ａの径やドット２９Ａ同士の間隔が比較的大きい場合には、肉眼によってドット２９Ａの発光状態を認識することができ、これによっても、液滴吐出ヘッド２２のノズル目詰まり等によるドット抜けの有無の判定等の吐出検査を行うことができる。
また、吐出検査において、記録媒体２に着弾した成膜用インク（ドット２９Ａ）の着弾径（吐出量）や着弾位置等の着弾情報の算出値と、予め設定された所望の各適正値との比較を行い、これらの値の差（ずれ量）が許容範囲を超えた場合には、着弾特性補正制御部６０により、ずれ量に応じた補正値を取得し、その補正値を描画制御部５６にフィードバックして、液滴吐出ヘッド２２の吐出量や吐出位置等の吐出特性を補正することもできる。

以上説明したような吐出検査方法によれば、励起光が照射されることにより指標材料が発光するため、その発光状態を測定し、その測定結果に基づいて、成膜用インクの塗布状態を高精度に認識することができる。しかも、ドット２９Ａの有無の検出（ノズル抜けの有無）にとどまらず、ドット２９Ａの位置や面積（着弾位置や着弾面積）等の吐出情報を検出することができる。そのため、成膜用インクが高濃度に着色されていなくても、液滴吐出ヘッド２２の検査（吐出検査）を高精度に行うことができる。

（成膜方法（発光素子の製造方法））
次に、前述した成膜用インクを用いた成膜方法、すなわち、正孔輸送層または正孔注入層の製造方法について説明する。
図７は、図１に示す液滴吐出装置を用いた成膜方法を説明する図である。
本発明の成膜用インクを用いた成膜方法、すなわち本発明の発光素子の製造方法は、［１］前述した成膜用インクを基材上に塗布する工程（インク付与工程）と、［２］成膜用インクを硬化または固化することにより正孔輸送層または正孔注入層を形成する工程と、を有する。

このような発光素子の製造方法によれば、前述したように、正孔輸送層または正孔注入層を形成するための成膜用インクが指標材料を含むため、その塗布に用いる液滴吐出ヘッドの検査を高精度に行うことができる。そのため、正孔輸送層または正孔注入層を高精度に形成することができ、その結果、得られる発光素子の特性を優れたものとすることができる。

以下、各工程を順次詳細に説明する。
［１］
１−１
まず、図７（ａ）に示すように、基材２０を用意する。
この基材２０は、成膜の目的とする膜が形成される対象物である。図７では、説明の便宜上、簡易的に図示しているが、より具体的には、例えば、正孔注入層を形成する場合、基材２０は、基板の一方の面側に陽極を形成したものであり、正孔輸送層を形成する場合、基材２０は、基板の一方の面側に陽極を形成したもの、または、基板の一方の面側に陽極および正孔注入層をこの順で積層したものである。

１−２
次いで、図７（ｂ）に示すように、基材２０上に、前述した成膜用インクを液滴吐出ヘッド２２から液滴２９として吐出・供給する。これにより、基材２０上に成膜用インクからなる膜２９Ｂが形成される。図７では、説明の便宜上、簡易的に図示しているが、より具体的には、例えば、正孔注入層を形成する場合、膜２９Ｂは、基材２０の一方の面側に形成された陽極上に形成され、正孔輸送層を形成する場合、膜２９Ｂは、基材２０の一方の面側に形成された陽極上または正孔注入層上に形成される。

また、本工程［１］における雰囲気の温度および圧力は、それぞれ、成膜用インクの組成や液性媒体の沸点および融点に応じて決められるものであり、基材２０上に成膜用インクを付与することができれば、特に限定されないが、常温常圧であるのが好ましい。したがって、常温常圧下において、基材２０上に付与可能な成膜用インクを用いるのが好ましい。これにより、工程［１］を簡単に行える。

［２］
２−１
次に、基材２０上に形成された膜２９Ｂ（成膜用インク）から液性媒体を除去することにより、図７（ｃ）に示すように、中間体膜として膜（第１膜）２９Ｃを形成する。
本工程［２］における雰囲気の温度および圧力は、それぞれ、成膜用インクの組成や液性媒体の沸点および融点に応じて決められるものであり、特に限定されず、大気圧下でも減圧下でもよく、また、加熱してもよいし常温であってもよい。
なお、本工程において、膜２９Ｃ中の液性媒体をすべて完全に除去する必要はなく、膜２９Ｃ中に一部の液性媒体が残存していてもよい。また、膜２９Ｃ中に残存した液性媒体を、後の工程［３］における加熱処理により除去することもできる。

２−２
次に、膜２９Ｃを加熱処理（焼成）することにより、図７（ｄ）に示すように、目的とする膜２９Ｄ（すなわち正孔輸送層または正孔注入層）を得る。
この加熱処理により、膜２９Ｄ中の指標材料の発光機能を消失または低減させる。このように、正孔輸送層または正孔注入層を形成する際に、指標材料の発光の機能を消失または低減させることにより、得られる発光素子の特性に指標材料が悪影響を与えるのを防止することができる。それどころか、発光機能を消失または低減した指標材料が正孔輸送性または正孔注入性を発揮し、発光素子の特性を向上させることもできる。

この加熱処理は、特に限定されないが、ホットプレートや赤外線などで行うことができる。
この加熱処理の温度および時間は、成膜材料や指標材料の種類等によって決められるものであり、特に限定されないが、得られる膜２９Ｄに必要な特性、すなわち正孔輸送性または正孔注入性を確保しつつ、指標材料の発光機能を消失または低減可能な温度で行う。
このようにして得られた膜２９Ｄは、成膜の目的とする膜、すなわち正孔輸送層または正孔注入層の構成材料またはその前駆体で構成されたものとなる。

（表示装置）
次に、本発明の発光装置の一例である表示装置について説明する。
図８は、本発明の実施形態に係る発光装置（表示装置）を示す断面図である。なお、以下では、説明の都合上、図８中の上側を「上」、下側を「下」として説明を行う。
図８に示す表示装置３００は、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂがサブ画素３００Ｒ、３００Ｇ、３００Ｂに対応して設けられ、トップエミッション構造のディスプレイパネルを構成している。

なお、本実施形態では表示装置の駆動方式としてアクティブマトリックス方式を採用した例に説明するが、パッシブマトリックス方式を採用したものであってもよい。
表示装置３００は、基板３０１と、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂと、複数のスイッチング素子３０２とを有している。
基板３０１は、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂおよび複数のスイッチング素子３０２を支持するものである。本実施形態の各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂは、基板３０１とは反対側から光を取り出す構成（トップエミッション型）である。したがって、基板３０１には、透明基板および不透明基板のいずれも用いることができる。なお、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂが基板３０１側から光を取り出す構成（ボトムエミッション型）である場合には、基板３０１は、実質的に透明（無色透明、着色透明または半透明）とされる。

基板３０１の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレートのような樹脂材料や、石英ガラス、ソーダガラスのようなガラス材料等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。

不透明基板としては、例えば、アルミナのようなセラミックス材料で構成された基板、ステンレス鋼のような金属基板の表面に酸化膜（絶縁膜）を形成したもの、樹脂材料で構成された基板等が挙げられる。
このような基板３０１上には、複数のスイッチング素子３０２がマトリクス状に配列されている。

各スイッチング素子３０２は、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂに対応して設けられ、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを駆動するための駆動用トランジスタである。
このような各スイッチング素子３０２は、シリコンからなる半導体層３０２ａと、半導体層３０２ａ上に形成されたゲート絶縁層３０２ｂと、ゲート絶縁層３０２ｂ上に形成されたゲート電極３０２ｃと、ソース電極３０２ｄと、ドレイン電極３０２ｅとを有している。
このような複数のスイッチング素子３０２を覆うように、絶縁材料で構成された平坦化層３０３が形成されている。
平坦化層３０３上には、各スイッチング素子３０２に対応して発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂが設けられている。

発光素子２００Ｒは、平坦化層３０３上に、反射膜３０４、腐食防止膜３０５、陽極２０１、積層体（有機ＥＬ発光部）２０８（２０８Ｒ）、陰極２０７、陰極カバー３０６がこの順に積層されている。本実施形態では、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの陽極２０１は、画素電極を構成し、各スイッチング素子３０２のドレイン電極３０２ｅに導電部（配線）３０７により電気的に接続されている。また、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの陰極２０７は、共通電極とされている。

また、発光素子２００Ｇ、２００Ｂの構成は、それぞれ、発光素子２００Ｒと同様に構成することができる。ここで、発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの積層体２０８Ｒ、２０８Ｇ、２０８Ｂ（特に発光層）を互いに異ならせることにより、異なる色を発光させることができる。例えば、発光素子２００Ｒは、赤色発光し、発光素子２００Ｇは、緑色発光し、発光素子２００Ｂは、青色発光する。

隣接する発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂ同士の間には、隔壁３０８が設けられている。また、陰極カバー３０６には、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で構成された樹脂層３０９を介して、基板３１０が接合されている。
前述したように本実施形態の各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂはトップエミッション型であるため、基板３１０には、透明基板が用いられる。
このような基板３１０の構成材料としては、基板３１０が光透過性を有するものであれば、特に限定されず、前述した基板３０１の構成材料と同様のものを用いることができる。

（発光素子）
ここで、図９に基づき、発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを詳細に説明する。
図９は、図８に示す発光装置が備える発光素子の断面図である。
図９に示す発光素子（エレクトロルミネッセンス素子）２００は、前述した発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを構成するものであり、前述したように２つの電極間（陽極２０１と陰極２０７との間）に積層体２０８が介挿されている。この積層体２０８は、図９に示すように、陽極２０１側から陰極２０７側へ、正孔注入層２０２と正孔輸送層２０３と発光層２０４と電子輸送層２０５と電子注入層２０６とがこの順に積層されている。

このような発光素子２００にあっては、発光層２０４に対し、陰極２０７側から電子が供給（注入）されるとともに、陽極２０１側から正孔が供給（注入）される。そして、各発光層２０４では、正孔と電子とが再結合し、この再結合に際して放出されたエネルギーによりエキシトン（励起子）が生成し、エキシトンが基底状態に戻る際にエネルギー（蛍光やりん光）を放出（発光）する。

この発光素子２００は、前述した成膜方法（本発明の発光素子の製造方法）を用いて正孔輸送層２０３または正孔注入層２０２が形成されている。これにより、優れた特性を有する発光素子２００および表示装置３００を提供することができる。なお、発光素子２００は、正孔注入層２０２および正孔輸送層２０３のうちのいずれか一方を省略してもよい。

以下、発光素子２００を構成する各部を順次説明する。
（陽極）
陽極２０１は、後述する正孔注入層２０２を介して正孔輸送層２０３に正孔を注入する電極である。この陽極２０１の構成材料としては、仕事関数が大きく、導電性に優れる材料を用いるのが好ましい。
陽極２０１の構成材料としては、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）、Ｉｎ_３Ｏ_３、ＳｎＯ_２、Ｓｂ含有ＳｎＯ_２、Ａｌ含有ＺｎＯ等の酸化物、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。

（陰極）
一方、陰極２０７は、後述する電子注入層２０６を介して電子輸送層２０５に電子を注入する電極である。この陰極２０７の構成材料としては、仕事関数の小さい材料を用いるのが好ましい。
陰極２０７の構成材料としては、例えば、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｓｃ、Ｙ、Ｙｂ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｃｓ、Ｒｂまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（例えば、複数層の積層体等）用いることができる。

特に、陰極２０７の構成材料として合金を用いる場合には、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ等の安定な金属元素を含む合金、具体的には、ＭｇＡｇ、ＡｌＬｉ、ＣｕＬｉ等の合金を用いるのが好ましい。かかる合金を陰極２０７の構成材料として用いることにより、陰極２０７の電子注入効率および安定性の向上を図ることができる。
また、本実施形態の発光素子２００は、トップエミッション型であるため、陰極２０７は、光透過性を有する。

（正孔注入層）
正孔注入層２０２は、陽極２０１からの正孔注入効率を向上させる機能を有するものである。
この正孔注入層２０２の構成材料（正孔注入材料）としては、特に限定されないが、例えば、ＴＡＰＣ（(1,1-ビス[4-(ジ-p-トリル)アミ.ノフェニル]シクロヘキサン)) ：4,4'-Cyclohexylidenebis[N,N-bis(4-methylphenyl)aniline]）、ＴＰＤ（N,N’-ジフェニル-N,N’-ビス-(3-メチルフェニル)-１,１’ビフェニル-4,4’-ジアミン）、α−ＮＰＤ（N,N’-ジフェニル-N,N’-ビス-(1-ナフチル)-１,１’ビフェニル-4,4’-ジアミン）、ｍ−ＭＴＤＡＴＡ（4，4’，4”−トリス（Ｎ−３−メチルフェニルアミノ）−トリフェニルアミン：4,4’,4”-Tris(N-3-methylphenyl-N-phenylamino)-triphenylamine）、２−ＴＮＡＴＡ（４，４’，４”−トリス（Ｎ, Ｎ−（２−ナフチル）フェニルアミノ）トリフェニルアミン）、ＴＣＴＡ（4，4’，4”−トリ（Ｎ−カルバゾル基）トリフェニルアミン：Tris-(4-carbazoyl-9-yl-phenyl)-amine）、ＴＤＡＰＢ（１，３，５−トリス−（Ｎ，Ｎ−ビス−（４−メトキシ−フェニル）−アミノフェニル）−ベンゼン：1,3,5-tris[4-(diphenylamino)phenyl]benzene）、スピローＴＡＤ、ＨＴＭ１（Tri-p-tolylamineHTM2,1,1-bis[(di-4-tolylamino) phenyl]cyclohexane）、ＨＴＭ２（1,1-bis[(di-4-tolylamino) phenyl]cyclohexane）、ＴＰＴ１（1,3,5-tris(4-pyridyl)-2,4,6-triazin）、ＴＰＴＥ（Triphenylamine-tetramer）等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
このような正孔注入層２０２の平均厚さは、特に限定されないが、５〜１５０ｎｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましい。

（正孔輸送層）
正孔輸送層２０３は、陽極２０１から正孔注入層２０２を介して注入された正孔を発光層２０４まで輸送する機能を有するものである。
この正孔輸送層２０３の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、ＴＦＢ（poly(9,9-dioctyl-fluorene-co-N-(4- butylphenyl)-diphenylamine)）等のトリフェニルアミン系ポリマー等のアミン系化合物、ポリフルオレン誘導体（ＰＦ）やポリパラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）を含むポリシラン系などの高分子有機材料が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。また、前述した正孔注入層２０２の構成材料を正孔輸送層２０３の構成材料として用いることもできる。
このような正孔輸送層２０３の平均厚さは、特に限定されないが、１０〜１５０ｎｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましい。

（発光層）
この発光層２０４は、発光材料を含んで構成されている。
発光材料としては、特に限定されず、各種蛍光材料、燐光材料を１種または２種以上組み合わせて用いることができる。発光素子２００を前述した発光素子２００Ｒに用いる場合には、発光材料として赤色蛍光材料または赤色燐光材料が用いられ、発光素子２００を前述した発光素子２００Ｇに用いる場合には、発光材料として緑色蛍光材料または緑色燐光材料が用いられ、発光素子２００を発光素子２００Ｂとして用いる場合には、発光材料として青色蛍光材料または青色燐光材料が用いられる。

赤色蛍光材料としては、赤色の蛍光を発するものであれば特に限定されず、例えば、ジインデノペリレン誘導体等のペリレン誘導体、ユーロピウム錯体、ベンゾピラン誘導体、ローダミン誘導体、ベンゾチオキサンテン誘導体、ポルフィリン誘導体、ナイルレッド、２−（１，１−ジメチルエチル）−６−（２−（２，３，６，７−テトラヒドロ−１，１，７，７−テトラメチル−１Ｈ，５Ｈ−ベンゾ（ｉｊ）キノリジン−９−イル）エテニル）−４Ｈ−ピラン−４Ｈ−イリデン）プロパンジニトリル（ＤＣＪＴＢ）、４−（ジシアノメチレン）−２−メチル−６−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピラン（ＤＣＭ）等を挙げられる。

赤色燐光材料としては、赤色の燐光を発するものであれば特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、これら金属錯体の配位子の内の少なくとも１つがフェニルピリジン骨格、ビピリジル骨格、ポルフィリン骨格等を持つものも挙げられる。より具体的には、トリス（１−フェニルイソキノリン）イリジウム、ビス［２−（２’−ベンゾ［４，５−α］チエニル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ^３’］イリジウム（アセチルアセトネート）（ｂｔｐ２Ｉｒ（ａｃａｃ））、２，３，７，８，１２，１３，１７，１８−オクタエチル−１２Ｈ，２３Ｈ−ポルフィリン−白金（ＩＩ）、ビス［２−（２’−ベンゾ［４，５−α］チエニル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ^３’］イリジウム、ビス（２−フェニルピリジン）イリジウム（アセチルアセトネート）が挙げられる。

緑色蛍光材料としては、緑色の蛍光を発するものであれば特に限定されず、例えば、クマリン誘導体、キナクリドン誘導体等のキナクリドンおよびその誘導体、９，１０−ビス［（９−エチル−３−カルバゾール）−ビニレニル］−アントラセン、ポリ（９，９−ジヘキシル−２，７−ビニレンフルオレニレン）、ポリ［（９，９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）−コ−（１，４−ジフェニレン−ビニレン−２−メトキシ−５−｛２−エチルヘキシルオキシ｝ベンゼン）］、ポリ［（９，９−ジオクチル−２，７−ジビニレンフルオレニレン）−オルト−コ−（２−メトキシ−５−（２−エトキシルヘキシルオキシ）−１，４−フェニレン）］等が挙げられる。

緑色燐光材料としては、緑色の燐光を発するものであれば特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、具体的には、ファク−トリス（２−フェニルピリジン）イリジウム（Ｉｒ（ｐｐｙ）３）、ビス（２−フェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ^２’）イリジウム（アセチルアセトネート）、ファク−トリス［５−フルオロ−２−（５−トリフルオロメチル−２−ピリジン）フェニル−Ｃ，Ｎ］イリジウム等が挙げられる。

青色蛍光材料としては、青色の蛍光を発するものであれば、特に限定されず、例えば、ジスチリルジアミン系化合物等のジスチリルアミン誘導体、フルオランテン誘導体、ピレン誘導体、ペリレンおよびペリレン誘導体、アントラセン誘導体、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、クリセン誘導体、フェナントレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、テトラフェニルブタジエン、４，４’−ビス（９−エチル−３−カルバゾビニレン）−１，１’−ビフェニル（ＢＣｚＶＢｉ）、ポリ［（９．９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）−コ−（２，５−ジメトキシベンゼン−１，４−ジイル）］、ポリ［（９，９−ジヘキシルオキシフルオレン−２，７−ジイル）−オルト−コ−（２−メトキシ−５−｛２−エトキシヘキシルオキシ｝フェニレン−１，４−ジイル）］、ポリ［（９，９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）−コ−（エチルニルベンゼン）］等が挙げられる。

青色燐光材料としては、青色の燐光を発するものであれば、特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、具体的には、ビス［４，６−ジフルオロフェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ^２’］−ピコリネート−イリジウム、トリス［２−（２，４−ジフルオロフェニル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ^２’］イリジウム、ビス［２−（３，５−トリフルオロメチル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ^２’］−ピコリネート−イリジウム、ビス（４，６−ジフルオロフェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ^２’）イリジウム（アセチルアセトネート）等が挙げられる。
以上のような発光材料は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。

また、発光層２０４中には、前述した発光材料の他に、発光材料がゲスト材料として添加されるホスト材料が含まれていてもよい。
ホスト材料は、正孔と電子とを再結合して励起子を生成するとともに、その励起子のエネルギーを発光材料に移動（フェルスター移動またはデクスター移動）させて、発光材料を励起する機能を有する。このようなホスト材料を用いる場合、例えば、ゲスト材料である発光材料をドーパントとしてホスト材料にドープして用いることができる。

このようなホスト材料としては、用いる発光材料に対して前述したような機能を発揮するものであれば、特に限定されないが、例えば、ナフタセン誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体のようなアセン誘導体（アセン系材料）、ジスチリルアリーレン誘導体、ペリレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアミン誘導体、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム錯体（Ａｌｑ_３）等のキノリノラト系金属錯体、トリフェニルアミンの４量体等のトリアリールアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、シロール誘導体、ジカルバゾール誘導体、オリゴチオフェン誘導体、ベンゾピラン誘導体、トリアゾール誘導体、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、キノリン誘導体、４，４’−ビス（２，２’−ジフェニルビニル）ビフェニル（ＤＰＶＢｉ）等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることもできる。

前述したような赤色発光材料（ゲスト材料）およびホスト材料を用いる場合、発光層２０４中における発光材料の含有量（ドープ量）は、０．０１〜１０ｗｔ％であるのが好ましく、０．１〜５ｗｔ％であるのがより好ましい。赤色発光材料の含有量をこのような範囲内とすることで、発光効率を最適化することができる。
このような発光層２０４の平均厚さは、特に限定されないが、１０〜１５０ｎｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましい。また、発光層２０４は、積層された複数の発光層で構成されていてもよく、その場合、任意の発光層間に発光しない中間層が介在していてもよい。

（電子輸送層）
電子輸送層２０５は、陰極２０７から電子注入層２０６を介して注入された電子を発光層２０４に輸送する機能を有するものである。
電子輸送層２０５の構成材料（電子輸送材料）としては、例えば、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（Ａｌｑ_３）等の８−キノリノールなしいその誘導体を配位子とする有機金属錯体などのキノリン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
電子輸送層２０５の平均厚さは、特に限定されないが、０．５〜１００ｎｍ程度であるのが好ましく、１〜５０ｎｍ程度であるのがより好ましい。
なお、この電子輸送層２０５は、省略することができる。

（電子注入層）
電子注入層２０６は、陰極２０７からの電子注入効率を向上させる機能を有するものである。
この電子注入層２０６の構成材料（電子注入材料）としては、例えば、各種の無機絶縁材料、各種の無機半導体材料が挙げられる。
このような無機絶縁材料としては、例えば、アルカリ金属カルコゲナイド（酸化物、硫化物、セレン化物、テルル化物）、アルカリ土類金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物およびアルカリ土類金属のハロゲン化物等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。これらを主材料として電子注入層を構成することにより、電子注入性をより向上させることができる。特にアルカリ金属化合物（アルカリ金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物等）は仕事関数が非常に小さく、これを用いて電子注入層２０６を構成することにより、発光素子２００は、高い輝度が得られるものとなる。

アルカリ金属カルコゲナイドとしては、例えば、Ｌｉ_２Ｏ、ＬｉＯ、Ｎａ_２Ｓ、Ｎａ_２Ｓｅ、ＮａＯ等が挙げられる。
アルカリ土類金属カルコゲナイドとしては、例えば、ＣａＯ、ＢａＯ、ＳｒＯ、ＢｅＯ、ＢａＳ、ＭｇＯ、ＣａＳｅ等が挙げられる。
アルカリ金属のハロゲン化物としては、例えば、ＣｓＦ、ＬｉＦ、ＮａＦ、ＫＦ、ＬｉＣｌ、ＫＣｌ、ＮａＣｌ等が挙げられる。
アルカリ土類金属のハロゲン化物としては、例えば、ＣａＦ_２、ＢａＦ_２、ＳｒＦ_２、ＭｇＦ_２、ＢｅＦ_２等が挙げられる。

また、無機半導体材料としては、例えば、Ｌｉ、Ｎａ、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｙｂ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｃｄ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｔａ、ＳｂおよびＺｎのうちの少なくとも１つの元素を含む酸化物、窒化物または酸化窒化物等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
電子注入層２０６の平均厚さは、特に限定されないが、０．１〜１０００ｎｍ程度であるのが好ましく、０．２〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましく、０．２〜５０ｎｍ程度であるのがさらに好ましい。
なお、この電子注入層２０６は、省略することができる。

（電子機器）
図１０は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部を備える表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピュータ１１００において、表示ユニット１１０６が備える表示部が前述の表示装置３００で構成されている。

図１１は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、表示部を備えている。
携帯電話機１２００において、この表示部が前述の表示装置３００で構成されている。

図１２は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。

ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
ディジタルスチルカメラ１３００において、この表示部が前述の表示装置３００で構成されている。

ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。

また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。
このような本発明の電子機器は、優れた信頼性を有する。

なお、本発明の電子機器は、図１０のパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、図１１の携帯電話機、図１２のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。

以上、本発明の成膜用インク、吐出検査方法、吐出検査装置、発光素子の製造方法、発光素子、発光装置および電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものでない。
例えば、前述した実施形態では、発光素子が１層の発光層を有するものについて説明したが、発光層が２層以上であってもよい。また、発光層の発光色としては、前述した実施形態のＲ、Ｇ、Ｂに限定されない。
また、前述した実施形態では、吐出検査方法および吐出検査装置に用いる成膜用インクが正孔輸送層または正孔注入層を形成するためのものである場合を例に説明したが、本発明の吐出検査方法および吐出検査装置は、正孔輸送層および正孔注入層以外の膜（例えば、発光層等）を形成するための成膜用インクにも適用可能である。

次に、本発明の具体的実施例について説明する。
１．成膜用インクの作成
TFBトリフェニルアミン系ポリマー等のアミン系化合物であるＴＦＢ（poly(9,9-dioctyl-fluorene-co-N-(4- butylphenyl)-diphenylamine)）を０．４５ｇ、指標材料（赤色燐光材料）であるＰｔＯＥＰ（2,3,7,8,12,13,17,18-Octaethyl-21H,23H-porphine,platinum(II)）を０．０５ｇ秤量し、これらを、６５ｇの3-Phenoxytolueneと３５ｇのTriethyleneglycol dimethyl etherとの混合溶液に溶解して、正孔輸送層用の成膜用インクを作製した。

２．発光素子の製造
＜１＞ まず、平均厚さ０．５ｍｍの透明なガラス基板を用意した。次に、この基板上に、スパッタ法により、平均厚さ１００ｎｍのＩＴＯ電極（陽極）を形成した。
そして、基板をアセトン、２−プロパノールの順に浸漬し、超音波洗浄した後、酸素プラズマ処理およびアルゴンプラズマ処理を施した。これらのプラズマ処理は、それぞれ、基板を７０〜９０℃に加温した状態で、プラズマパワー１００Ｗ、ガス流量２０ｓｃｃｍ、処理時間５ｓｅｃで行った。

＜２＞ 次に、ＩＴＯ電極上に、ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳをインクジェット法により成膜した後に、これを乾燥、焼成することにより、平均厚さ３０ｎｍの正孔注入層を形成した。
＜３＞ 次に、正孔注入層上に、前述した成膜用インクをインクジェット法により成膜し、これを乾燥、焼成することにより、平均厚さ３０ｎｍの正孔輸送層を形成した。
ここで、焼成は、窒素で満たされたグローブボックス内で行い、焼成温度を１８０℃とし、焼成時間を３０分間とした。また、得られた焼成後の正孔輸送層に対して励起光（３６５ｎｍの紫外光）を照射したところ、指標材料の発光が観察されなかった。なお、焼成温度を１００℃、１２０℃、１５０℃とし、得られた焼成後の正孔輸送層に対して励起光（３６５ｎｍの紫外光）を照射したところ、いずれの焼成温度の場合も、指標材料の発光が観察された。

＜４＞ 次に、正孔輸送層上に、カルバゾール誘導体であるＣＢＰと、緑色発光材料であるＩｒ錯体とを共蒸着することにより、平均厚さ１０ｎｍの発光層を形成した。
ここで、発光層中の発光材料（ドーパント）の含有量（ドープ濃度）を４．０ｗｔ％とした。
＜５＞ 次に、発光層上に、Ａｌｑ_３を真空蒸着法により成膜し、平均厚さ８０ｎｍの電子輸送層を形成した。
＜６＞ 次に、電子輸送層上に、フッ化リチウム（ＬｉＦ）を真空蒸着法により成膜し、平均厚さ１ｎｍの電子注入層を形成した。
＜７＞ 次に、電子注入層上に、Ａｌを真空蒸着法により成膜した。これにより、Ａｌで構成される平均厚さ１００ｎｍの陰極を形成した。
以上の工程により、発光素子を製造した。

また、正孔輸送層に指標材料を添加しない以外は、上記と同様にして、比較例の発光素子を製造した。そして、これらの発光素子の各種特性を測定し比較したところ、図１３に示すように、本発明の発光素子は、指標材料からの赤色発光による混色がない、良好な緑色発光を生じる。また、正孔輸送層に指標材料が添加されていない発光素子（比較例の発光素子）とほぼ同じ特性を示すことがわかる。すなわち、本発明の発光素子は、正孔輸送層の形成時の焼成により指標材料の発光機能が消失しているものの、発光素子の特性低下を引き起こしていないことがわかる。
同様に、発光層の発光材料としてPt錯体（赤色発光材料）を用いた場合も、図１４に示すように、本発明の発光素子は、正孔輸送層に指標材料が添加されていない発光素子と同じ特性を示すことがわかる。

２‥‥記録媒体 ６‥‥液滴吐出装置 ７‥‥基台 ７ａ‥‥上面 ８‥‥案内レール ９‥‥ステージ １０‥‥主走査位置検出装置 １１‥‥載置面 １２‥‥支持台 １３‥‥案内部材 １４‥‥収納タンク １５‥‥案内レール １６‥‥キャリッジ １７‥‥副走査位置検出装置 １８‥‥ヘッドユニット １９‥‥吐出検査装置 １９Ａ‥‥吐出検査装置 １９Ｂ‥‥吐出検査装置 ２０‥‥基材 ２２‥‥液滴吐出ヘッド ２３‥‥ノズルプレート ２４‥‥吐出ノズル ２５‥‥キャビティ ２６‥‥成膜用インク ２７‥‥振動板 ２８‥‥圧電素子 ２９‥‥液滴 ２９Ａ‥‥ドット ２９Ｂ‥‥膜 ２９Ｃ‥‥膜 ２９Ｄ‥‥膜 ３２‥‥基材 ３３‥‥インク吸収層 ３３ａ、３３ｂ‥‥領域 ４１‥‥制御装置 ４２‥‥ＣＰＵ ４３‥‥メモリー ４４‥‥主走査駆動装置 ４５‥‥副走査駆動装置 ４６‥‥入出力インターフェイス ４７‥‥データバス ４８‥‥ヘッド駆動回路 ４９‥‥入力装置 ５０‥‥表示装置 ５１‥‥プログラムソフト ５２‥‥吐出位置データ ５３‥‥駆動電圧データ ５４‥‥駆動波形データ ５５‥‥吐出計画データ ５６‥‥描画制御部 ５７‥‥主走査制御部 ５８‥‥副走査制御部 ５９‥‥吐出制御部 ６０‥‥着弾特性補正制御部 ６１‥‥吐出条件設定部 ６２‥‥吐出計画設定部 １９０‥‥吐出検査制御部 １９１‥‥光出射部 １９１Ａ‥‥光出射部 １９１Ｂ‥‥光出射部 １９２‥‥測定部 １９３‥‥測定部 １９５‥‥光学系 １９６‥‥光源制御部 １９７‥‥受光制御部 ２００‥‥発光素子 ２００Ｒ‥‥発光素子 ２００Ｇ‥‥発光素子 ２００Ｂ‥‥発光素子 ２０１‥‥陽極 ２０２‥‥正孔注入層 ２０３‥‥正孔輸送層 ２０４‥‥発光層 ２０５‥‥電子輸送層 ２０６‥‥電子注入層 ２０７‥‥陰極 ２０８‥‥積層体 ２０８Ｒ‥‥積層体 ２０８Ｇ‥‥積層体 ２０８Ｂ‥‥積層体 ３００‥‥表示装置 ３００Ｒ‥‥サブ画素 ３００Ｇ‥‥サブ画素 ３００Ｂ‥‥サブ画素 ３０１‥‥基板 ３０２‥‥スイッチング素子 ３０２ａ‥‥半導体層 ３０２ｂ‥‥ゲート絶縁層 ３０２ｃ‥‥ゲート電極 ３０２ｄ‥‥ソース電極 ３０２ｅ‥‥ドレイン電極 ３０３‥‥平坦化層 ３０４‥‥反射膜 ３０５‥‥腐食防止膜 ３０６‥‥陰極カバー ３０７‥‥導電部 ３０８‥‥隔壁 ３０９‥‥樹脂層 ３１０‥‥基板 １１００‥‥パーソナルコンピュータ １１０２‥‥キーボード １１０４‥‥本体部 １１０６‥‥表示ユニット １２００‥‥携帯電話機 １２０２‥‥操作ボタン １２０４‥‥受話口 １２０６‥‥送話口 １３００‥‥ディジタルスチルカメラ １３０２‥‥ケース １３０４‥‥受光ユニット １３０６‥‥シャッタボタン １３０８‥‥回路基板 １３１２‥‥ビデオ信号出力端子 １３１４‥‥入出力端子 １４３０‥‥テレビモニタ １４４０‥‥パーソナルコンピュータ

Claims (10)

1. 有機エレクトロルミネッセンス素子に含まれる正孔輸送層または正孔注入層を構成する材料またはその前駆体である成膜材料と、
   前記成膜材料を分散または溶解させる液性媒体と、
   励起光が照射されることにより発光する指標材料と、を含み、
   前記正孔輸送層または前記正孔注入層を形成したときに、前記指標材料の前記発光の機能が消失または低減することを特徴とする成膜用インク。
2. 有機エレクトロルミネッセンス素子に含まれる正孔輸送層または正孔注入層を構成する材料またはその前駆体である成膜材料と、
   前記成膜材料を分散または溶解させる液性媒体と、
   励起光が照射されることにより発光する指標材料と、を含み、
   加熱されることにより前記指標材料の前記発光の機能が消失または低減することを特徴とする成膜用インク。
3. 前記励起光は、紫外光である請求項１または２に記載の成膜用インク。
4. 前記指標材料の前記発光は、可視光または赤外光である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の成膜用インク。
5. 請求項１ないし４のいずれか１項に記載の成膜用インクを液滴吐出ヘッドを用いて液滴として吐出して記録媒体上に塗布する工程と、
   前記記録媒体上の前記成膜用インクに前記励起光を照射し、前記指標材料の発光状態を測定する工程と、を有し、
   前記測定の結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの検査を行うことを特徴とする吐出検査方法。
6. 前記記録媒体は、前記励起光に対する透過性を有する請求項５に記載の吐出検査方法。
7. 前記記録媒体は、前記励起光により発光しないか、または、前記励起光により前記指標材料とは異なる波長で発光する請求項５または６に記載の吐出検査方法。
8. 請求項１ないし４のいずれか１項に記載の成膜用インクを記録媒体上に液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの検査を行う吐出検査装置であって、
   前記記録媒体に照射される前記励起光を出射する光出射部と、
   前記記録媒体上における前記励起光による前記指標材料の発光状態を測定する測定部と、を有し、
   前記測定部の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの検査を行うことを特徴とする吐出検査装置。
9. 請求項１ないし４のいずれか１項に記載の成膜用インクを基材上に塗布する工程と、
   前記成膜用インクを硬化または固化することにより正孔輸送層または正孔注入層を形成する工程と、を有することを特徴とする発光素子の製造方法。
10. 前記正孔輸送層または前記正孔注入層を形成する工程において、前記指標材料の前記発光の機能を消失または低減させる請求項９に記載の発光素子の製造方法。

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