JP2016146411A - 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム、および情報記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板同士を接合する接合装置であって、一方の基板を保持する保持部と、前記保持部に保持された基板を撮像する撮像部と、前記撮像部の画像を画像処理する画像処理部とを備え、前記画像処理部は、前記撮像部によって前記基板の外周縁を部分的に撮像した画像を3枚以上用いて、前記基板の中心位置を算出し、前記中心位置の算出に用いられる3枚以上の前記画像のうちの、1枚はノッチ部が形成される部分を撮像したノッチ画像であり、2枚以上は他の部分を撮像したエッジ画像であり、前記画像処理部は、前記ノッチ画像における前記外周縁の両方の端点のうちの少なくとも一方の位置を基に、前記中心位置を算出する、接合装置。
【選択図】図11
Description
基板同士を接合する接合装置であって、
一方の基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された基板を撮像する撮像部と、
前記撮像部の画像を画像処理する画像処理部とを備え、
前記画像処理部は、前記撮像部によって前記基板の外周縁を部分的に撮像した画像を3枚以上用いて、前記基板の中心位置を算出し、
前記中心位置の算出に用いられる3枚以上の前記画像のうちの、1枚はノッチ部が形成される部分を撮像したノッチ画像であり、2枚以上は他の部分を撮像したエッジ画像であり、
前記画像処理部は、前記ノッチ画像における前記外周縁の両方の端点のうちの少なくとも一方の位置を基に、前記中心位置を算出する、接合装置が提供される。
(1A)ノッチ画像NPにおける基板外周縁S1の一方の端点S5、および2枚の各エッジ画像EPにおける基板外周縁S1の点(例えば図9に示す交点S4)の計3点を通る円C1の中心C1aを、第1仮想中心点とする。尚、エッジ画像EPの枚数は2枚以上であればよく、第1仮想中心点の算出に用いられる基板外周縁S1の点数は3点以上であればよい。その点数が4点以上の場合、各点に円の外周が略重なればよく、円は近似計算によって算出されてよい。
(2A)ノッチ画像NPにおける基板外周縁S1の他方の端点S6、および2枚の各エッジ画像EPにおける基板外周縁S1の点(例えば図9に示す交点S4)の計3点を通る円C2の中心C2aを、第2仮想中心点とする。尚、エッジ画像EPの枚数は2枚以上であればよく、第2仮想中心点の算出に用いられる基板外周縁S1の点数は3点以上であればよい。その点数が4点以上の場合、各点に円の外周が略重なればよく、円は近似計算によって算出されてよい。
(3A)第1仮想中心点と第2仮想中心点との中点の位置を、基板中心位置として算出する。
支持基板Sの中心位置の算出に、支持基板Sの半径を用いないので、その半径が規格から外れる場合に好適である。
(1B)ノッチ画像NPにおける基板外周縁S1の両方の端点S5、S6を通る所定半径の円C3の上において、両方の端点S5、S6から等距離の中点S7を算出する。ここで、円の半径は、例えば支持基板Sの規格の半径が用いられる。
(2B)ノッチ画像NPにおける中点S7、および2枚の各エッジ画像EPにおける基板外周縁S1の点(例えば図9に示す交点S4)の計3点を通る円の中心の位置を、基板中心位置として算出する。尚、エッジ画像EPの枚数は2枚以上であればよく、基板中心位置の算出に用いられる基板外周縁S1の点数は3点以上であればよい。その点数が4点以上の場合、各点に円の外周が略重なればよく、円は近似計算によって算出されてよい。
(1C)ノッチ画像NPにおける基板外周縁S1の両方の端点S5、S6のうちノッチ部S2の頂点S3から遠い方の端点S5を通る所定半径の円C4であって、円中心がノッチ画像NPの画像中心線NP2上に設定される円C4と、画像中心線NP2との交点S8を算出する。ここで、円の半径は、例えば支持基板Sの規格の半径が用いられる。
(2C)ノッチ画像NPにおける交点S8、および2枚の各エッジ画像EPにおける基板外周縁S1の点(例えば図9に示す交点S4)の計3点を通る円の中心の位置を、基板中心位置として算出する。尚、エッジ画像EPの枚数は2枚以上であればよく、基板中心位置の算出に用いられる基板外周縁S1の点数は3点以上であればよい。その点数が4点以上の場合、各点に円の外周が略重なればよく、円は近似計算によって算出されてよい。
支持基板Sの中心位置の算出に、両方の端点S5、S6のうちのノッチ部S2から離れた方の端点S5のみを用いるため、ノッチ部S2の形状が規格の形状から外れたことの影響を排除でき、支持基板Sの中心位置の算出精度を向上できる。
(1D)ノッチ画像NPにおける基板外周縁S1の両方の端点S5、S6のうちノッチ部S2の頂点S3から遠い方の端点S5、および2枚の各エッジ画像EPにおける基板外周縁S1の点(例えば図9に示す交点S4)の計3点を通る円C1の中心C1aの位置を、基板中心位置として算出する。尚、エッジ画像EPの枚数は2枚以上であればよく、基板中心位置の算出に用いられる基板外周縁S1の点数は3点以上であればよい。その点数が4点以上の場合、各点に円の外周が略重なればよく、円は近似計算によって算出されてよい。
支持基板Sの中心位置の算出に、支持基板Sの半径を用いないので、その半径が規格から外れる場合に好適である。また、支持基板Sの中心位置の算出に、両方の端点S5、S6のうちのノッチ部S2から離れた方の端点S5のみを用いるため、ノッチ部S2の形状が規格の形状から外れたことの影響を排除でき、支持基板Sの中心位置の算出精度を向上できる。
2 搬入出ステーション
3 処理ステーション
5 制御装置
30 塗布装置
50 熱処理装置
60 接合装置
80 プロセス搬送装置
161 下チャック
162 上チャック
191 下カメラ
192 上カメラ
Claims (13)
- 基板同士を接合する接合装置であって、
一方の基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された基板を撮像する撮像部と、
前記撮像部の画像を画像処理する画像処理部とを備え、
前記画像処理部は、前記撮像部によって前記基板の外周縁を部分的に撮像した画像を3枚以上用いて、前記基板の中心位置を算出し、
前記中心位置の算出に用いられる3枚以上の前記画像のうちの、1枚はノッチ部が形成される部分を撮像したノッチ画像であり、2枚以上は他の部分を撮像したエッジ画像であり、
前記画像処理部は、前記ノッチ画像における前記外周縁の両方の端点のうちの少なくとも一方の位置を基に、前記中心位置を算出する、接合装置。 - 前記画像処理部は、
前記ノッチ画像における前記外周縁の一方の端点、および2枚以上の各前記エッジ画像における前記外周縁の点の計3つ以上の点に外周が略重なる円の中心を、第1仮想中心点とし、
前記ノッチ画像における前記外周縁の他方の端点、および2枚以上の各前記エッジ画像における前記外周縁の点の計3つ以上の点に外周が略重なる円の中心を、第2仮想中心点とし、
前記第1仮想中心点と前記第2仮想中心点との中点の位置を、前記中心位置として算出する、請求項1に記載の接合装置。 - 前記画像処理部は、
前記ノッチ画像における前記外周縁の両方の端点を通る所定半径の円の上において、
前記両方の端点から等距離の中点を算出し、
前記ノッチ画像における前記中点、および2枚以上の各前記エッジ画像における前記外周縁の点の計3つ以上の点に外周が略重なる円の中心を、前記中心位置として算出する、請求項1に記載の接合装置。 - 前記画像処理部は、
前記ノッチ画像における前記外周縁の両方の端点のうち前記ノッチ部の頂点から遠い方の端点を通る所定半径の円であって、円中心が前記ノッチ画像の画像中心線の上に設定される円と、前記画像中心線との交点を算出し、
前記ノッチ画像における前記交点、および2枚以上の各前記エッジ画像における前記外周縁の点の計3つ以上の点に外周が略重なる円の中心を、前記中心位置として算出する、請求項1に記載の接合装置。 - 前記画像処理部は、
前記ノッチ画像における前記外周縁の両方の端点のうち前記ノッチ部の頂点から遠い方の端点、および2枚以上の各前記エッジ画像における前記外周縁の点の計3つ以上の点に外周が略重なる円の中心を、前記中心位置として算出する、請求項1に記載の接合装置。 - 基板に対し接合層の材料を塗布する塗布装置、前記接合層を介して基板同士を接合する接合装置、および基板を搬送する搬送装置を有する処理ステーションと、
前記処理ステーションに対し基板を搬入出する搬入出ステーションとを備え、
前記接合装置として、請求項1〜5のいずれか1項に記載の接合装置を有する、接合システム。 - 基板同士を接合する接合方法であって、
一方の基板を保持部に保持させる基板セット工程と、
前記保持部に保持された基板を撮像部に撮像させる基板撮像工程と、
前記撮像部の画像を画像処理する画像処理工程とを有し、
前記画像処理工程では、前記撮像部によって前記基板の外周縁を部分的に撮像した画像を3枚以上用いて、前記基板の中心位置を算出し、
前記中心位置の算出に用いられる3枚以上の前記画像のうちの、1枚はノッチ部が形成される部分を撮像したノッチ画像であり、2枚以上は他の部分を撮像したエッジ画像であり、
前記画像処理工程では、前記ノッチ画像における前記外周縁の両方の端点のうちの少なくとも一方の位置を基に、前記中心位置を算出する、接合方法。 - 前記画像処理工程では、
前記ノッチ画像における前記外周縁の一方の端点、および2枚以上の各前記エッジ画像における前記外周縁の点の計3つ以上の点に外周が略重なる円の中心を、第1仮想中心点とし、
前記ノッチ画像における前記外周縁の他方の端点、および2枚以上の各前記エッジ画像における前記外周縁の点の計3つ以上の点に外周が略重なる円の中心を、第2仮想中心点とし、
前記第1仮想中心点と前記第2仮想中心点との中点の位置を、前記中心位置として算出する、請求項7に記載の接合方法。 - 前記画像処理工程では、
前記ノッチ画像における前記外周縁の両方の端点を通る所定半径の円の上において、
前記両方の端点から等距離の中点を算出し、
前記ノッチ画像における前記中点、および2枚以上の各前記エッジ画像における前記外周縁の点の計3つ以上の点に外周が略重なる円の中心を、前記中心位置として算出する、請求項7に記載の接合方法。 - 前記画像処理工程では、
前記ノッチ画像における前記外周縁の両方の端点のうち前記ノッチ部の頂点から遠い方の端点を通る所定半径の円であって、円中心が前記ノッチ画像の画像中心線の上に設定される円と、前記画像中心線との交点を算出し、
前記ノッチ画像における前記交点、および2枚以上の各前記エッジ画像における前記外周縁の点の計3つ以上の点に外周が略重なる円の中心を、前記中心位置として算出する、請求項7に記載の接合方法。 - 前記画像処理工程では、
前記ノッチ画像における前記外周縁の両方の端点のうち前記ノッチ部の頂点から遠い方の端点、および2枚以上の各前記エッジ画像における前記外周縁の点の計3つ以上の点に外周が略重なる円の中心を、前記中心位置として算出する、請求項7に記載の接合方法。 - 請求項7〜11のいずれかに記載の接合方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項12に記載のプログラムを記憶した情報記憶媒体。
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