JP2016139124A - 感光性樹脂組成物、それから形成された光硬化パターン、及びそれを備えた画像表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、化学式1及び2で示される繰り返し単位を有する第1の樹脂、及び下記化学式3で示される繰り返し単位を有する第2の樹脂を含むアルカリ可溶性樹脂(A)と、重合性化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、溶媒(D)とを含むことで、感度及び現像性に優れ、機械的物性及び密着性に優れたパターンを形成することができる感光性樹脂組成物に関する。
【選択図】図1
Description
R9は、下記式(1)〜(8)からなる群から選択される単量体に由来する構造であり、
R11は、(メタ)アクリル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルスクシネート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタレート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルフタレート、及び2−(メタ)アクリロイルオキシエチルスクシネートからなる群から選択される単量体に由来する構造であり、
R12は、水素又は炭素数1〜6のアルキル基であり、
a=5〜30mol%、b=20〜60mol%、c=10〜50mol%、d=5〜30mol%である。〕
R15は、下記式(8)の単量体に由来する構造であり、
e=40〜95mol%、f=5〜60mol%である。〕
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂(A)と、重合性化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、溶媒(D)とを含む。
本発明に用いられるアルカリ可溶性樹脂(A)は、パターンを形成する際の現像処理工程で用いられるアルカリ現像液に対して可溶性を付与する成分であり、下記化学式1及び2で示される繰り返し単位を有する第1の樹脂と、下記化学式3で示される繰り返し単位を有する第2の樹脂とを含む。
R9は、下記式(1)〜(8)からなる群から選択される単量体に由来する構造であり、
R11は、(メタ)アクリル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルスクシネート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタレート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルフタレート、及び2−(メタ)アクリロイルオキシエチルスクシネートからなる群から選択される単量体に由来する構造であり、
R12は、水素又は炭素数1〜6のアルキル基であり、
a=5〜30mol%、b=20〜60mol%、c=10〜50mol%、d=5〜30mol%である。〕
R15は、下記式(9)の単量体に由来する構造であり、
e=40〜95mol%、f=5〜60mol%である。〕
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる重合性化合物(B)は、製造工程中の架橋密度を増加させ、光硬化パターンの機械的特性を強化し得る。
本発明による光重合開始剤(C)は、前記重合性化合物(B)を重合し得る成分であり、その種類を特に制限することなく用いることができ、例えば、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、トリアジン系化合物、ビイミダゾール系化合物、チオキサントン系化合物、オキシムエステル系化合物からなる群から選択された少なくとも1種の化合物を用いることができ、好ましくは、オキシムエステル系化合物を用いることが好ましい。
溶媒(D)は、当分野において通常用いられるものであれば、何れでも制限されることなく用いることができる。
本発明による感光性樹脂組成物は、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、硬化剤、レベリング剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、連鎖移動剤等の添加剤をさらに含んでもよい。
本発明は、前記感光性樹脂組成物で製造される光硬化パターン及び前記光硬化パターンを備えた画像表示装置を提供することを目的とする。
還流冷却器、滴下漏斗、及び撹拌機を備えた1Lのフラスコ内に、窒素を0.02L/分で流れるようにして窒素雰囲気下とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200g投入し、100℃に昇温した後、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカニルアクリレート20.6g(0.10モル)、テトラヒドロフルフリルアクリレート54.7g(0.35モル)、アクリル酸39.6g(0.55モル)、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150gを含む混合物に、アゾビスイソブチロニトリル3.6gを添加した溶液を滴下漏斗で2時間かけてフラスコに滴下して、100℃でさらに5時間撹拌を続けた。
トリシクロ[5.2.1.02,6]デカニルアクリレート20.6g(0.10モル)に代えてスチレン10.4g(0.10モル)を用いたこと以外は合成例1と同様の方法を用い、固形分酸価が101mgKOH/gの不飽和基含有樹脂A−2を得た。
トリシクロ[5.2.1.02,6]デカニルアクリレート20.6g(0.10モル)に代えてシクロヘキシルアクリレート15.4g(0.10モル)を用いたこと以外は合成例1と同様の方法を用い、固形分酸価が112mgKOH/gの不飽和基含有樹脂A−3を得た。
還流冷却器、滴下漏斗、及び撹拌機を備えた1Lのフラスコ内に、窒素を0.02L/分で流れるようにして窒素雰囲気下とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200g投入し、100℃に昇温した後、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカニルアクリレート20.6g(0.10モル)、テトラヒドロフルフリルアクリレート54.7g(0.35モル)、アクリル酸39.6g(0.55モル)、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150gを含む混合物に、アゾビスイソブチロニトリル3.6gを添加した溶液を滴下漏斗で2時間かけてフラスコに滴下した後、100℃でさらに7時間撹拌を続けた。
トリシクロ[5.2.1.02,6]デカニルアクリレート20.6g(0.10モル)に代えてスチレン10.4g(0.10モル)を用いたこと以外は合成例4と同様の方法を用い、固形分酸価が141mgKOH/gの樹脂A−5を得た。
トリシクロ[5.2.1.02,6]デカニルアクリレート20.6g(0.10モル)に代えてシクロヘキシルアクリレート15.4g(0.10モル)を用いたこと以外は合成例4と同様の方法を用い、固形分酸価が142mgKOH/gの樹脂A−6を得た。
還流冷却器、滴下漏斗、及び撹拌機を備えた1Lのフラスコ内に、窒素を0.02L/分で流れるようにして窒素雰囲気下とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200g投入し、100℃に昇温した後、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカニルアクリレート92.8g(0.45モル)、アクリル酸39.6g(0.55モル)、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150gを含む混合物に、アゾビスイソブチロニトリル3.6gを添加した溶液を滴下漏斗で2時間かけてフラスコに滴下して、100℃でさらに5時間撹拌を続けた。
トリシクロ[5.2.1.02,6]デカニルアクリレート92.8g(0.45モル)に代えてスチレン46.9g(0.45モル)を用いたこと以外は合成例7と同様の方法を用い、固形分酸価が118mgKOH/gの不飽和基含有樹脂A−8を得た。
トリシクロ[5.2.1.02,6]デカニルアクリレート92.8g(0.45モル)に代えてシクロヘキシルアクリレート69.4g(0.45モル)を用いたこと以外は合成例7と同様の方法を用い、固形分酸価が125mgKOH/gの不飽和基含有樹脂A−9を得た。
還流冷却器、滴下漏斗、及び撹拌機を備えた1Lのフラスコ内に、窒素を0.02L/分で流れるようにして窒素雰囲気下とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200g投入し、100℃に昇温した後、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカニルアクリレート20.6g(0.10モル)、ベンジルアクリレート56.8g(0.35モル)、アクリル酸39.6g(0.55モル)、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150gを含む混合物に、アゾビスイソブチロニトリル3.6gを添加した溶液を滴下漏斗で2時間かけてフラスコに滴下して、100℃でさらに5時間撹拌を続けた。
還流冷却器、滴下漏斗、及び撹拌機を備えた1Lのフラスコ内に、窒素を0.02L/分で流れるようにして窒素雰囲気下とし、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル150g投入し、撹拌しながら70℃まで加熱した。次いで、下記化学式4及び5の混合物(モル比は50:50)210.2g(0.95mol)及びメタクリル酸14.5g(0.17mol)をジエチレングリコールメチルエチルエーテル150gに溶解して溶液を調製した。
下記表1に記載された組成及び含有量(質量部)を有する感光性樹脂組成物を調製した。
2インチ角のガラス基板(イーグル2000、コーニング社製)を中性洗剤、水、及びアルコールで順次洗浄した後、乾燥させた。このガラス基板上に、前記実施例及び比較例で調製した感光性樹脂組成物をそれぞれスピンコーティングした後、ホットプレート(Hot plate)を利用して90℃で125秒間プリベークを行った。前記プリベークを行った基板を常温で冷却後、石英ガラス製フォトマスクとの間隔を150μmにして露光機(UX−1100SM;Ushio(株)製)を用いて60mJ/cm2の露光量(365nm基準)で光照射した。ここで、フォトマスクは、次のパターンが同一平面上に形成されたフォトマスクを用いた。
実施例及び比較例の樹脂組成物を基板に塗布してそれぞれスピンコーティングした後、ホットプレート(Hot plate)を利用して90℃で125秒間プリベークを行った。前記プリベークを行った基板を常温で冷却後、露光機(UX−1100SM;Ushio(株)製)を用いて60mJ/cm2の露光量(365nm基準)で塗膜の全面に光を照射した。
現像密着性は、25%の透過率を有するハーフトーンマスク(Half-tone Mask)を適用したマスクを利用して生成されたパターンの基板に密着される程度を把握するためのものであり、直径(size)5μmから20μmまで1μm間隔のDotパターンをそれぞれ1000個有するフォトマスクによって、膜厚さ3μmで形成されたパターンが欠落することなく100%残っている場合のパターンの実際サイズをSNU Precision社の三次元形状測定機SIS−2000を用いて線幅を測定した。パターン線幅の値は、パターンの底面から全体高さの5%地点をBottom CDの値として定義した。欠落することなく残っている最小パターンサイズが小さいほど、現像密着性に優れる。
前記で得られたDotパターンをダイナミック超微小硬度計(HM−2000;Helmut Fischer GmbH+Co.KG)を用いて、その総変位量(μm)及び弾性変位量(μm)を下記の測定条件によって測定し、測定された数値を用いて下記のように回復率(%)を算出した。
回復率(%)=[弾性変位量(μm)]/[総変位量(μm)]×100
試験モード:Load−Unload試験
試験力:50.0mN
負荷速度:4.41mN/sec
維持時間:5sec
圧子:四角錐台圧子(直径50μm)
調製されたレジスト溶液を基板に塗布してそれぞれスピンコーティングした後、ホットプレート(Hot plate)を利用して90℃で125秒間プリベークを行った。前記プリベークを行った基板を常温で冷却後、0.04%KOH系水溶液に浸漬してから60秒間塗膜の溶解過程を観察し、観察結果を通じて下記のような基準で評価して、溶解タイプを有する材料を最も好ましいものと判断する。
溶解タイプ:図1のように、塗膜が現像液に沈澱した瞬間から30秒内に溶解完了
剥離タイプ:図2のように、塗膜が全体的に剥離され、時間が経過すると共に漸次溶解されるまで60秒の時間を所要
未現像:図3のように、現像液に沈澱した状態で、60秒以上の時間が経過しても塗膜自らの剥離又は溶解が完了されていない
表面異常評価は、リソグラフィ工程によって製作されたパターンを走査電子顕微鏡で観察し、下記の基準で評価した。
○:図4及び図5のように、表面が平滑で異常がない場合
×:図6及び図7のように、表面に突起等の異常が観察された場合
現像残渣評価は、リソグラフィ工程によって製作されたパターンを光学顕微鏡で観察し、下記の基準で評価した。
○:図8のように、周辺又はパターン間に残渣がなくきれいな場合
△:図9のように、パターン周辺に残渣が残った場合
×:図10のように、パターンの間が現像段階において完全に水洗されておらず、全体的な残膜が残った場合
Claims (11)
- 下記化学式1及び2で示される繰り返し単位を有する第1の樹脂、及び下記化学式3で示される繰り返し単位を有する第2の樹脂を含むアルカリ可溶性樹脂(A)と、重合性化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、溶媒(D)とを含む、感光性樹脂組成物。
- 前記第1の樹脂及び前記第2の樹脂の混合重量比が20:80〜80:20である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記第1の樹脂の重量平均分子量が10,000〜40,000である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記第2の樹脂の重量平均分子量が2,000〜20,000である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記第1の樹脂が、化学式1−1で示される繰り返し単位を有する、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
R9は、下記式(1)〜(8)からなる群から選択される単量体に由来する構造であり、
R11は、(メタ)アクリル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルスクシネート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタレート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルフタレート、及び2−(メタ)アクリロイルオキシエチルスクシネートからなる群から選択される単量体に由来する構造であり、
R12は、水素又は炭素数1〜6のアルキル基であり、
a=5〜30mol%、b=20〜60mol%、c=10〜50mol%、d=5〜30mol%である。〕 - 前記第2の樹脂が、化学式3−1で示される繰り返し単位を有する、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
R15は、下記式(9)の単量体に由来する構造であり、
e=40〜95mol%、f=5〜60mol%である。〕 - 前記第1の樹脂が、化学式1−2で示される繰り返し単位を有する、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記第2の樹脂が、化学式3−2で示される繰り返し単位を有する、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物から形成される、光硬化パターン。
- 前記光硬化パターンが、アレイ平坦化膜パターン、保護膜パターン、絶縁膜パターン、フォトレジストパターン、ブラックマトリックスパターン、及びコラムスペーサパターンからなる群から選択される、請求項9に記載の光硬化パターン。
- 請求項9に記載の光硬化パターンを含む、画像表示装置。
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