JP2016131954A - 純水精製装置 - Google Patents
純水精製装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016131954A JP2016131954A JP2015009806A JP2015009806A JP2016131954A JP 2016131954 A JP2016131954 A JP 2016131954A JP 2015009806 A JP2015009806 A JP 2015009806A JP 2015009806 A JP2015009806 A JP 2015009806A JP 2016131954 A JP2016131954 A JP 2016131954A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion exchange
- pure water
- container
- exchange means
- fresh water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 124
- 238000000746 purification Methods 0.000 title abstract description 19
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 claims abstract description 87
- 239000013505 freshwater Substances 0.000 claims abstract description 63
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 claims abstract description 36
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 claims abstract description 36
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 34
- 239000008213 purified water Substances 0.000 claims 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 42
- 239000002699 waste material Substances 0.000 abstract description 37
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 34
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 11
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 13
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 13
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 7
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 239000003957 anion exchange resin Substances 0.000 description 3
- 239000003729 cation exchange resin Substances 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 2
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 2
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000010102 injection blow moulding Methods 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
- 239000003643 water by type Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】純水精製装置は加工装置としての切削装置からの廃液を純水に精製する。純水精製装置は、送水される清水を純水に精製するイオン交換手段53,54と、イオン交換手段53,54によって精製された純水をイオン交換手段53,54から送出する吸引ポンプと、を備える。イオン交換手段53,54は、イオン交換樹脂74と、流入口71を備える天井部73aと、流出口72を備える底部73bと、天井部73aと底部73bとを連結する側部73cとを有し、イオン交換樹脂74を収容する容器73と、から構成される。イオン交換手段53,54は、上方の流入口71から清水が容器73に供給される。
【選択図】図3
Description
本発明の実施形態に係る純水精製装置を図面に基いて説明する。図1は、実施形態に係る純水精製装置と隣接される加工装置としての切削装置の構成例を示す斜視図である。図2は、実施形態に係る純水精製装置の構成例を分解して示す分解斜視図である。図3は、実施形態に係る純水精製装置のイオン交換手段を示す側断面図である。図4(a)は、実施形態に係る純水精製装置のイオン交換手段の接続部材を示す側部図である。図4(b)は、実施形態に係る純水精製装置のイオン交換手段の接続部材を示す上面図である。
本発明の実施形態の変形例に係る純水精製装置を図面に基いて説明する。図5(a)は、実施形態の変形例に係る純水精製装置のイオン交換手段の接続部材を示す側部図である。図5(b)は、実施形態の変形例に係る純水精製装置のイオン交換手段の接続部材を示す上面図である。なお、図5において、実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
53 第1のイオン交換手段
54 第2のイオン交換手段
55 吸引ポンプ(送出手段)
58,60 配管
71 流入口
72 流出口
73 容器
73a 天井部
73b 底部
73c 側部
74 イオン交換樹脂
75 接続手段
77a 連結固定部
77b 導入管部
77c 底部
77d 側面
77e 噴出口
Claims (2)
- 送水される清水を純水に精製するイオン交換手段と、該イオン交換手段によって精製された純水を該イオン交換手段から送出する送出手段と、を備える純水精製装置であって、
該イオン交換手段は、
イオン交換樹脂と
流入口を備える天井部と、送出口を備える底部と、該天井部と該底部とを連結する側部とを有し、該イオン交換樹脂を収容する容器と、から構成され、
上方の流入口から該清水が該容器に供給されることを特徴とする純水精製装置。 - 該容器は、該清水を供給する配管を該流入口に接続する接続手段を備え、
該接続手段は、
該配管と連結し、該配管を該流入口に固定する連結固定部と、
該容器に挿入され、該清水を該容器に供給する導入管部を備え、
該導入管部は、
底部が広い円錐台形状で、傾斜した側部に噴出口が周方向沿って形成され、
該底部が邪魔板となり、該導入管部の該噴出口から供給される該清水は、該噴出口から放射状に噴出することを特徴とする請求項1記載の純水精製装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015009806A JP6410619B2 (ja) | 2015-01-21 | 2015-01-21 | 純水精製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015009806A JP6410619B2 (ja) | 2015-01-21 | 2015-01-21 | 純水精製装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016131954A true JP2016131954A (ja) | 2016-07-25 |
JP6410619B2 JP6410619B2 (ja) | 2018-10-24 |
Family
ID=56437190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015009806A Active JP6410619B2 (ja) | 2015-01-21 | 2015-01-21 | 純水精製装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6410619B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110071056A (zh) * | 2018-01-22 | 2019-07-30 | 株式会社迪思科 | 加工装置 |
JP2019136844A (ja) * | 2018-02-14 | 2019-08-22 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2021052089A (ja) * | 2019-09-25 | 2021-04-01 | 株式会社ディスコ | 加工廃液処理方法 |
JP7433702B2 (ja) | 2019-12-04 | 2024-02-20 | 株式会社ディスコ | 加工廃液処理装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5223849A (en) * | 1975-08-18 | 1977-02-23 | Kurita Water Ind Ltd | Water treatment apparatus |
JPS5620646U (ja) * | 1979-07-26 | 1981-02-24 | ||
JPH06315683A (ja) * | 1993-04-30 | 1994-11-15 | Seisui Kogyo Kk | 混床式イオン交換装置並びにこの混床式イオン交換装置を使用した純水及び超純水の製造方法 |
JP2001239262A (ja) * | 2000-03-02 | 2001-09-04 | Japan Organo Co Ltd | 復水脱塩装置の運転方法 |
JP2005230714A (ja) * | 2004-02-20 | 2005-09-02 | Ebara Corp | 圧力式液体処理塔 |
US20080087606A1 (en) * | 2006-10-13 | 2008-04-17 | Basin Water, Inc. | High efficiency ion exchange system for removing cations from water |
JP2009066525A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | イオン交換樹脂の充填方法及び復水脱塩装置 |
JP2012183482A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Miura Co Ltd | 水処理方法及び水処理システム |
-
2015
- 2015-01-21 JP JP2015009806A patent/JP6410619B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5223849A (en) * | 1975-08-18 | 1977-02-23 | Kurita Water Ind Ltd | Water treatment apparatus |
JPS5620646U (ja) * | 1979-07-26 | 1981-02-24 | ||
JPH06315683A (ja) * | 1993-04-30 | 1994-11-15 | Seisui Kogyo Kk | 混床式イオン交換装置並びにこの混床式イオン交換装置を使用した純水及び超純水の製造方法 |
JP2001239262A (ja) * | 2000-03-02 | 2001-09-04 | Japan Organo Co Ltd | 復水脱塩装置の運転方法 |
JP2005230714A (ja) * | 2004-02-20 | 2005-09-02 | Ebara Corp | 圧力式液体処理塔 |
US20080087606A1 (en) * | 2006-10-13 | 2008-04-17 | Basin Water, Inc. | High efficiency ion exchange system for removing cations from water |
JP2009066525A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | イオン交換樹脂の充填方法及び復水脱塩装置 |
JP2012183482A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Miura Co Ltd | 水処理方法及び水処理システム |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110071056A (zh) * | 2018-01-22 | 2019-07-30 | 株式会社迪思科 | 加工装置 |
JP2019126746A (ja) * | 2018-01-22 | 2019-08-01 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2019136844A (ja) * | 2018-02-14 | 2019-08-22 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP7150390B2 (ja) | 2018-02-14 | 2022-10-11 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2021052089A (ja) * | 2019-09-25 | 2021-04-01 | 株式会社ディスコ | 加工廃液処理方法 |
JP7280790B2 (ja) | 2019-09-25 | 2023-05-24 | 株式会社ディスコ | 加工廃液処理方法 |
JP7433702B2 (ja) | 2019-12-04 | 2024-02-20 | 株式会社ディスコ | 加工廃液処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6410619B2 (ja) | 2018-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6410619B2 (ja) | 純水精製装置 | |
TWI829849B (zh) | 廢液處理裝置 | |
TWI422457B (zh) | Processing waste liquid treatment device | |
JP2009190128A (ja) | 加工廃液処理装置 | |
JP2009214193A (ja) | 加工廃液処理装置 | |
US20170250069A1 (en) | Dust collecting apparatus, substrate processing system, and method of manufacturing semiconductor device | |
US20150251744A1 (en) | Method for Treating Ballast Water and Device for Treating Ballast Water | |
JP2014124753A (ja) | 加工廃液処理装置 | |
CN112299619A (zh) | 废液处理装置 | |
JP2016215124A (ja) | 純水精製装置 | |
JP2017217594A (ja) | イオン交換ユニット及びイオン交換樹脂の交換方法 | |
JP6328912B2 (ja) | 純水精製装置 | |
JP5681029B2 (ja) | 加工廃液処理装置 | |
JP5770004B2 (ja) | 加工廃液処理装置 | |
JP2010082791A (ja) | 加工廃液処理装置のフィルターユニット | |
JP2006262732A (ja) | 海苔混合液の異物分離装置における捨て海苔回収機構 | |
JP6246537B2 (ja) | サンプリング機構 | |
JP2022155227A (ja) | 基板処理システム | |
US11319214B2 (en) | Waste liquid treating apparatus | |
TW201134538A (en) | Coolant purification apparatus | |
KR20140065795A (ko) | 다중노즐을 갖는 자동역세장치의 효율형 bwms 필터링 시스템. | |
JP2022186379A (ja) | 洗浄装置 | |
KR102392387B1 (ko) | 자동 정화 물감 물통 | |
JP2012152854A (ja) | 加工廃液処理装置 | |
JP2022156547A (ja) | 純水生成装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171128 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180726 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180828 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180925 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6410619 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |