JP2016127161A - ダイシング用基体フイルム、ダイシングフイルム、及びダイシング用基体フイルムの製造方法 - Google Patents
ダイシング用基体フイルム、ダイシングフイルム、及びダイシング用基体フイルムの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016127161A JP2016127161A JP2015000182A JP2015000182A JP2016127161A JP 2016127161 A JP2016127161 A JP 2016127161A JP 2015000182 A JP2015000182 A JP 2015000182A JP 2015000182 A JP2015000182 A JP 2015000182A JP 2016127161 A JP2016127161 A JP 2016127161A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dicing
- film
- substrate film
- resin
- polypropylene
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 71
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 71
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 70
- -1 polypropylene Polymers 0.000 claims description 60
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 54
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 48
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 14
- 238000001460 carbon-13 nuclear magnetic resonance spectrum Methods 0.000 claims description 9
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 8
- 229920005673 polypropylene based resin Polymers 0.000 abstract description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000655 nuclear magnetic resonance spectrum Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 23
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 12
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 10
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 9
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 5
- 229920006146 polyetheresteramide block copolymer Polymers 0.000 description 5
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 5
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 5
- VEOIIOUWYNGYDA-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(6-aminopurin-9-yl)ethoxy]ethylphosphonic acid Chemical compound NC1=NC=NC2=C1N=CN2CCOCCP(O)(O)=O VEOIIOUWYNGYDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 4
- AFFLGGQVNFXPEV-UHFFFAOYSA-N 1-decene Chemical compound CCCCCCCCC=C AFFLGGQVNFXPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 239000002981 blocking agent Substances 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 description 3
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 3
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- VXNZUUAINFGPBY-UHFFFAOYSA-N 1-Butene Chemical compound CCC=C VXNZUUAINFGPBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZGEGCLOFRBLKSE-UHFFFAOYSA-N 1-Heptene Chemical compound CCCCCC=C ZGEGCLOFRBLKSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CRSBERNSMYQZNG-UHFFFAOYSA-N 1-dodecene Chemical compound CCCCCCCCCCC=C CRSBERNSMYQZNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N 1-hexene Chemical compound CCCCC=C LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 1-nonene Chemical compound CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWKAKUADMBZCLK-UHFFFAOYSA-N 1-octene Chemical compound CCCCCCC=C KWKAKUADMBZCLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001644 13C nuclear magnetic resonance spectroscopy Methods 0.000 description 2
- RYPKRALMXUUNKS-UHFFFAOYSA-N 2-Hexene Natural products CCCC=CC RYPKRALMXUUNKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WWUVJRULCWHUSA-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-pentene Chemical compound CCCC(C)=C WWUVJRULCWHUSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WSSSPWUEQFSQQG-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-1-pentene Chemical compound CC(C)CC=C WSSSPWUEQFSQQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical compound CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 description 2
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 2
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 2
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001384 propylene homopolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000004711 α-olefin Substances 0.000 description 2
- MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 1,2,6-trimethylphenanthrene Chemical compound CC1=CC=C2C3=CC(C)=CC=C3C=CC2=C1C MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZBSIABKXVPBFY-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)CO GZBSIABKXVPBFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWWIWYDDISJUMY-UHFFFAOYSA-N 2,3-dimethylbut-1-ene Chemical compound CC(C)C(C)=C OWWIWYDDISJUMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C(C)=C WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHNNAWXXUZQSNM-UHFFFAOYSA-N 2-methylbut-1-ene Chemical compound CCC(C)=C MHNNAWXXUZQSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BWEKDYGHDCHWEN-UHFFFAOYSA-N 2-methylhex-2-ene Chemical compound CCCC=C(C)C BWEKDYGHDCHWEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PKXHXOTZMFCXSH-UHFFFAOYSA-N 3,3-dimethylbut-1-ene Chemical compound CC(C)(C)C=C PKXHXOTZMFCXSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AUJLDZJNMXNESO-UHFFFAOYSA-N 3-ethylhex-3-ene Chemical compound CCC=C(CC)CC AUJLDZJNMXNESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YHQXBTXEYZIYOV-UHFFFAOYSA-N 3-methylbut-1-ene Chemical compound CC(C)C=C YHQXBTXEYZIYOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FHHSSXNRVNXTBG-UHFFFAOYSA-N 3-methylhex-3-ene Chemical compound CCC=C(C)CC FHHSSXNRVNXTBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYKZRKKEYSRDNF-UHFFFAOYSA-N 3-methylidenepentane Chemical compound CCC(=C)CC RYKZRKKEYSRDNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RGTDIFHVRPXHFT-UHFFFAOYSA-N 3-methylnon-3-ene Chemical compound CCCCCC=C(C)CC RGTDIFHVRPXHFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDTAOIUHUHHCMU-UHFFFAOYSA-N 3-methylpent-1-ene Chemical compound CCC(C)C=C LDTAOIUHUHHCMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCTDZYMMFQCTEO-UHFFFAOYSA-N 3-octene Chemical compound CCCCC=CCC YCTDZYMMFQCTEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KLCNJIQZXOQYTE-UHFFFAOYSA-N 4,4-dimethylpent-1-ene Chemical compound CC(C)(C)CC=C KLCNJIQZXOQYTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHWGFJBTMHEZME-UHFFFAOYSA-N 4-prop-2-enoyloxybutyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCOC(=O)C=C JHWGFJBTMHEZME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZJIOVQKSAOPOP-UHFFFAOYSA-N 5,5-dimethylhex-1-ene Chemical compound CC(C)(C)CCC=C KZJIOVQKSAOPOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 6-prop-2-enoyloxyhexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCCOC(=O)C=C FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQQPPHCNBWOJMH-UHFFFAOYSA-N C(CC)C=CCCCCC.CC(=CCCCC)C Chemical compound C(CC)C=CCCCCC.CC(=CCCCC)C PQQPPHCNBWOJMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N Carbamic acid Chemical compound NC(O)=O KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- INXWLSDYDXPENO-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(CO)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C INXWLSDYDXPENO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 229940069096 dodecene Drugs 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJLZSKYNYLYCNY-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;isocyanic acid Chemical group N=C=O.CCOC(N)=O RJLZSKYNYLYCNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- OTTZHAVKAVGASB-UHFFFAOYSA-N hept-2-ene Chemical compound CCCCC=CC OTTZHAVKAVGASB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZHKDGJSXCTSCK-UHFFFAOYSA-N hept-3-ene Chemical compound CCCC=CCC WZHKDGJSXCTSCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 150000003951 lactams Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N n-Octanol Natural products CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IRUCBBFNLDIMIK-UHFFFAOYSA-N oct-4-ene Chemical compound CCCC=CCCC IRUCBBFNLDIMIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002601 oligoester Polymers 0.000 description 1
- RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1CO1 RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001515 polyalkylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 238000007573 shrinkage measurement Methods 0.000 description 1
- 150000003384 small molecules Chemical class 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N urethane group Chemical group NC(=O)OCC JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
Description
1.ポリプロピレン系樹脂を含有するダイシング用基体フイルムであって、
前記ポリプロピレン系樹脂は、13C−NMRスペクトルにより測定されるメソペンタッド分率が60〜85%であり、
前記ダイシング用基体フイルムの引張弾性率が150MPa以上500MPa以下である、
ことを特徴とするダイシング用基体フイルム。
2.項1に記載のダイシング用基体フイルム上に、更に、粘着剤層及び離型フイルムを有するダイシングフイルム。
3.ダイシング用基体フイルムの製造方法であって、13C−NMRスペクトルにより測定されるメソペンタッド分率が60〜85%であるポリプロピレン系樹脂を含有する樹脂組成物を押出成形する工程を有し、前記ダイシング用基体フイルムの引張弾性率が150MPa以上500MPa以下である、ことを特徴とする製造方法。
本発明のダイシング用基体フイルムは、ポリプロピレン系樹脂を含有するダイシング用基体フイルムであって、上記ポリプロピレン系樹脂は、13C−NMRスペクトルにより測定されるメソペンタッド分率が60〜85%であり、上記ダイシング用基体フイルムの引張弾性率が150MPa以上500MPa以下である。
るポリプロピレン分子鎖中のペンタッド単位でのアイソタクチック連鎖の存在割合を示している。具体的には、プロピレン単位で5個連続してメソ結合した連鎖の中心にあるメチル基に由来する吸収強度(Pmmmm)のプロピレン単位の全メチル基に由来する吸収強度4(Pw)に対する比、すなわち〔(Pmmmm)/(Pw)〕として求められる値である。
したメルトフローレート(MFR)が0.5〜30g/10分、好ましくは0.5〜20g/10分、より好ましくは0.5〜10g/10分である。メルトフローレートが上記範囲のポリプロピレン系樹脂は、フイルムまたはシート用途として好適である。
)のペレスタットNC6321等が例示される。また、特開昭64−45429号公報、特開平6−287547号公報等にその製法が記載されており、これによれば、例えば、主鎖中にエーテル基を有するポリジオール成分にジカルボン酸成分を反応させて末端エステルに変え、これにアミノカルボン酸又はラクタムを反応させて製造できる。PEEA樹脂は、上記いずれの層の樹脂とも相溶性が良く、ブリードアウトするような現象は一切ない。
り、ダイシング用基体フイルムをロール状に巻き取った場合等のブロッキングが抑えられ好ましい。アンチブロッキング剤としては、無機系または有機系の微粒子を例示することができる。
(引張率1%)引っ張り、引張率0.05%の際の応力、及び引張率0.25%の際の応力を求め、2点の移動距離と応力から最小二乗法により傾きを算出して、下記式により求められた値である。
(引張弾性率)=(傾き)×[(標線間距離)/(サンプルの断面積)]
本発明のダイシング用基体フイルムは、13C−NMRスペクトルにより測定されるメソペンタッド分率が60〜85%であるポリプロピレン系樹脂を含有する樹脂組成物を押出成形する工程を有し、上記ダイシング用基体フイルムの引張弾性率が150MPa以上500MPa以下である製造方法により製造することができる。このような製造方法も、本発明の一つである。
上記により得られるダイシング用基体フイルムは、そのフイルム上に公知の粘着剤をコートして粘着剤層が形成され、さらに該粘着剤層上に離型フイルムが設けられて、ダイシングフイルムが製造される。
の混合物が用いられる。例えば、(メタ)アクリル酸エステルとしては、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸グリシジル、アクリル酸2−ヒドロキシエチルなどが好ましく使用できる。アクリル系重合体の分子量は、1.0×105〜10.0×105であり、好ましくは、4.0×105〜8.0×105である。
・E−2900:ポリプロピレン系樹脂(プライムポリマー社製 プライムTPO E−2900 メソペンタッド分率75%)
・E−2710:ポリプロピレン系樹脂(プライムポリマー社製 プライムTPO E−2710 メソペンタッド分率60%)
・PC412:ポリプロピレン系樹脂(サンアロマー社製 PC412 メソペンタッド分率95%)
F−3900をバレル温度180〜220℃の押出機に供給した。230℃のTダイスから押出し、設定温度50℃の引き取りロールにて冷却固化して、無延伸の状態で巻き取って、ダイシング用基体フイルムを調製した。
表1に記載の配合量にて実施例1と同様に処理してダイシング用基体フイルムを調製した。
用いるポリプロピレン系樹脂について、13C−NMRを使用して測定されるポリプロピレン分子鎖中のペンタッド単位でのアイソタクチック連鎖の存在割合を測定した。具体的には、プロピレン単位で5個連続してメソ結合した連鎖の中心にあるメチル基に由来する吸収強度(Pmmmm)を測定し、また、プロピレン単位の全メチル基に由来する吸収強度4(Pw)を測定し、〔(Pmmmm)/(Pw)〕を求めて、メソペンタッド分率とした。
幅25mm、長さ300mm、標準間距離250mmに加工したサンプルを調製し、株式会社島津製作所製 オートグラフAG−X500N型により、23±2℃、55±5%Rhの環境下で引張速度25mm/minの条件で25mm(引張率1%)引っ張り、引
張率0.05%の際の応力、及び引張率0.25%の際の応力を求め、2点の移動距離と応力から最小二乗法により傾きを算出して、下記式により求めた。
(引張弾性率)=(傾き)×[(標線間距離)/(サンプルの断面積)]
先ず内径200mmのリング状枠を準備し、実施例及び比較例のダイシング用基体フイルムの全面に10×10mmのマス目を入れたサンプルを該リング状枠に挟んで固定し、このリング状枠を水平に固定した。次いで、このリング状枠の下中央位置に、外径150mmの円板を配置した。この円板を200mm/分の速度で40mm押し上げ、該サンプルを拡張した。最後に、この押し上げた状態で中央に位置しているマス目の縦方向と横方向の長さを測定し、原サンプルに対する各々の伸度(%)を求め、その伸度の比を算出した。
上述の拡張性測定により拡張したサンプルを60℃の温水に10秒間浸漬した。常温に戻した後に各々のサンプル長さを測定し、拡張前後の長さから、下記式に従って計算し、収縮率を算出した。なお、収縮率が90%を超えれば、ラック収納・回収性が十分なレベルであると判断している。
(収縮率)={[(エキスパンド後の長さ)−(収縮後の長さ)]/[(エキスパンド後の長さ)−(エキスパンド前の長さ)]}×100
Claims (3)
- ポリプロピレン系樹脂を含有するダイシング用基体フイルムであって、
前記ポリプロピレン系樹脂は、13C−NMRスペクトルにより測定されるメソペンタッド分率が60〜85%であり、
前記ダイシング用基体フイルムの引張弾性率が150MPa以上500MPa以下である、
ことを特徴とするダイシング用基体フイルム。 - 請求項1に記載のダイシング用基体フイルム上に、更に、粘着剤層及び離型フイルムを有するダイシングフイルム。
- ダイシング用基体フイルムの製造方法であって、13C−NMRスペクトルにより測定されるメソペンタッド分率が60〜85%であるポリプロピレン系樹脂を含有する樹脂組成物を押出成形する工程を有し、
前記ダイシング用基体フイルムの引張弾性率が150MPa以上500MPa以下である、
ことを特徴とする製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015000182A JP6242351B2 (ja) | 2015-01-05 | 2015-01-05 | ダイシング用基体フイルム、ダイシングフイルム、及びダイシング用基体フイルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015000182A JP6242351B2 (ja) | 2015-01-05 | 2015-01-05 | ダイシング用基体フイルム、ダイシングフイルム、及びダイシング用基体フイルムの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016127161A true JP2016127161A (ja) | 2016-07-11 |
JP6242351B2 JP6242351B2 (ja) | 2017-12-06 |
Family
ID=56359713
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015000182A Active JP6242351B2 (ja) | 2015-01-05 | 2015-01-05 | ダイシング用基体フイルム、ダイシングフイルム、及びダイシング用基体フイルムの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6242351B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220005444A (ko) | 2019-04-25 | 2022-01-13 | 리껭테크노스 가부시키가이샤 | 다이싱 필름용 기재 필름, 및 다이싱 필름, 그리고 제조 방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000025173A (ja) * | 1998-07-08 | 2000-01-25 | Toray Ind Inc | 積層ポリプロピレン系フイルム |
JP2002530465A (ja) * | 1998-11-12 | 2002-09-17 | ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー | 接着テープ用配向ポリプロピレンフィルム |
JP2008159701A (ja) * | 2006-12-21 | 2008-07-10 | Gunze Ltd | ダイシング用基体フイルム |
JP2009267389A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-11-12 | Mitsui Chemicals Inc | ダイシングフィルム |
JP2014049719A (ja) * | 2012-09-04 | 2014-03-17 | Lintec Corp | 半導体加工シート及び半導体装置の製造方法 |
-
2015
- 2015-01-05 JP JP2015000182A patent/JP6242351B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000025173A (ja) * | 1998-07-08 | 2000-01-25 | Toray Ind Inc | 積層ポリプロピレン系フイルム |
JP2002530465A (ja) * | 1998-11-12 | 2002-09-17 | ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー | 接着テープ用配向ポリプロピレンフィルム |
JP2008159701A (ja) * | 2006-12-21 | 2008-07-10 | Gunze Ltd | ダイシング用基体フイルム |
JP2009267389A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-11-12 | Mitsui Chemicals Inc | ダイシングフィルム |
JP2014049719A (ja) * | 2012-09-04 | 2014-03-17 | Lintec Corp | 半導体加工シート及び半導体装置の製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220005444A (ko) | 2019-04-25 | 2022-01-13 | 리껭테크노스 가부시키가이샤 | 다이싱 필름용 기재 필름, 및 다이싱 필름, 그리고 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6242351B2 (ja) | 2017-12-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6247733B2 (ja) | レーザーダイシング用フィルム基材、レーザーダイシング用フィルム、及び電子部品の製造方法 | |
JP5068070B2 (ja) | ダイシング用基体フイルム | |
JP5457703B2 (ja) | ダイシングフィルム | |
JP2008153586A (ja) | ダイシング用基体フイルム | |
JP2007130872A (ja) | 表面保護フィルム | |
JP5013842B2 (ja) | ダイシング用基体フイルム | |
CN102470652B (zh) | 表面保护膜 | |
TW202018033A (zh) | 切割膜基材用樹脂組成物、切割膜基材及切割膜 | |
JP6253327B2 (ja) | ダイシング用基体フィルム | |
KR20120112846A (ko) | 표면 보호 필름 | |
JP2013189486A (ja) | 粘着シート | |
JP4916290B2 (ja) | ダイシング用基体フイルム | |
TW201346001A (zh) | 切割用黏著片 | |
JP5013844B2 (ja) | ダイシング用基体フイルム | |
JP6242351B2 (ja) | ダイシング用基体フイルム、ダイシングフイルム、及びダイシング用基体フイルムの製造方法 | |
JP4351487B2 (ja) | ウエハバックグラインド用粘着テープ | |
JP2011023575A (ja) | ダイシング用基体フイルム及びダイシングフイルム | |
TW201439272A (zh) | 黏著片材 | |
JP5207660B2 (ja) | ダイシング用基体フイルム及びダイシングフイルム | |
JP5219554B2 (ja) | バックグラインド用基体フィルム及びその製造方法 | |
JP4581475B2 (ja) | 二軸延伸多層ポリプロピレンフィルムの製造方法 | |
JP2005086070A (ja) | ダイシングシート用基体フイルム | |
JP2004338289A (ja) | 粘着テープ用基材および粘着シート | |
JP6106526B2 (ja) | 半導体ウエハ加工用粘着シート | |
JP2011037039A (ja) | 表面保護フィルム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170207 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171013 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171017 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6242351 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |