JP2016126480A - タッチパネルセンサ - Google Patents

Abstract

【課題】高い分解能を有するタッチパネルセンサを提供する。
【解決手段】複数の第１電極は各々、第１方向に沿って延びるとともに第２方向に沿って並べられた少なくとも２つの第１サブ電極を有している。第１サブ電極は、複数の第１導線を、各第１導線の間に四角形状の開口部が形成されるよう網目状に配置することによって構成されている。複数の第１導線は、開口部の４つの内角のうち、第２方向において対向する一対の第２内角に対応する一対の交点が第２方向に沿って並ぶよう、配置されている。
【選択図】図６

Description

本発明は、外部導体の位置を検出するためのタッチパネルセンサに関する。

今日、入力手段として、タッチパネル装置が広く用いられている。タッチパネル装置は一般に、タッチパネルセンサ、保護カバー、タッチパネルセンサ上への接触位置を検出する制御回路、配線およびＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）などを含んでいる。タッチパネル装置は、多くの場合、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等の表示装置が組み込まれた種々の装置等（例えば、券売機、ＡＴＭ装置、携帯電話、ゲーム機）に対する入力手段として、表示装置とともに用いられている。このような装置においては、タッチパネルセンサが表示装置の表示面上に配置されており、これによって、表示装置に対する極めて直接的な入力が可能になっている。タッチパネルセンサのうち表示装置の表示領域に対面する領域は透明になっており、タッチパネルセンサのこの領域が、接触位置（接近位置）を検出し得るアクティブエリアを構成するようになる。

タッチパネルセンサとして、投影型容量結合方式のタッチパネルセンサが知られている。容量結合方式のタッチパネルセンサにおいては、位置を検知されるべき外部導体（典型的には、指）が誘電体を介してタッチパネルセンサに接触（接近）する際、新たに奇生容量が発生する。この奇生容量に起因する静電容量の変化に基づいて、タッチパネルセンサ上における外部導体の位置が検出される。このような投影型容量結合方式のタッチパネルセンサは例えば、タッチパネルセンサの一方の側に設けられ、第１方向に沿って延びるとともに第１方向に交差する第２方向に沿って所定の配列ピッチで並べられた複数の第１電極と、タッチパネルセンサの他方の側に設けられ、第２方向に沿って延びるとともに第１方向に沿って所定の配列ピッチで並べられた複数の第２電極と、を備えている。この場合、第２方向に沿って並べられた複数の第１電極のうちのどの第１電極に、外部導体に起因する静電容量の変化が生じるかに基づいて、第２方向における外部導体の位置が算出される。同様に、第１方向に沿って並べられた複数の第２電極のうちのどの第２電極に、外部導体に起因する静電容量の変化が生じるかに基づいて、第１方向における外部導体の位置が算出される。従って、各第１電極および各第２電極における静電容量の変化を測定することによって、外部導体の位置を特定することが可能である。

従来、第１電極および第２電極は、透光性および導電性を有する透明導電材料から構成されてきた。また近年は、第１電極および第２電極の電気抵抗値を低くするため、第１電極および第２電極を構成する材料として、透明導電材料よりも高い導電性を有する銀や銅などの金属材料が用いられることもある（例えば、特許文献１参照）。第１電極および第２電極が金属材料から構成される場合、第１電極および第２電極には、表示装置からの映像光を適切な比率で透過させるための開口部が形成されている。例えば第１電極および第２電極は、金属材料からなり、網目状に配置された導線によって構成されている。この場合、第１電極および第２電極には、網目状に配置された導線が互いに交わる複数の交点が存在している。第１電極および第２電極に伝達された電気信号は、導線の複数の交点を順に経由しながら、第１電極および第２電極において一方から他方へ伝えられる。

特開２０１２−７９２３８号公報

外部導体の寸法が、第２方向における複数の第１電極の配列ピッチよりも大きい場合、外部導体の接近や接触に起因する静電容量の変化が、複数の第１電極に現れることになる。一方、外部導体の寸法が、第２方向における複数の第１電極の配列ピッチよりも小さい場合、外部導体の接近や接触に起因する静電容量の変化が１つの第１電極にのみ現れる可能性がある。さらに、外部導体の寸法が第２方向における第１電極の幅よりも小さい場合、第１電極と重なる領域内で外部導体の位置が変化したとしても、第１電極の静電容量に変化が生じない、という事態が生じ得る。この場合、第１電極と重なる領域内で外部導体の位置を精密に特定することができず、従って、タッチパネルセンサによる位置検出の分解能が不十分になってしまう。このような課題を考慮すると、より小さい寸法の外部導体、例えばスタイラスペンなどが用いられる場合には、第２方向における第１電極の配列ピッチや、第２方向における第１電極の幅をより小さくし、これによって第２方向における位置検出の分解能を高めることが好ましい。第２電極についても同様に、第１方向における第２電極の配列ピッチや、第１方向における第２電極の幅をより小さくし、これによって第１方向における位置検出の分解能を高めることが好ましい。

一方、第１電極の配列ピッチを小さくして第１電極の本数を増やすことは、静電容量の変化を測定する対象が増加し、測定や測定データの処理に要する負荷が大きくなることを意味している。
また、第１電極が上述のように網目状に配置された導線から構成されている場合、第１電極の幅と電気抵抗との関係は線形関係ではない。なぜなら、上述のように電気信号は導線の複数の交点を順に経由しながら伝達されるので、幅の変化に起因する第１電極の電気抵抗の変化量は、幅自体の変化量よりも、幅の変化に起因する導線の交点の数の変化量に強く依存するからである。また第１電極において伝達される電気信号の経路の数は、導線の交点の数が多いほど多くなる。言い換えると、第１電極の幅を小さくし、これによって導線の交点の数が少なくなると、電気信号の経路の数が減少してしまい、第１電極の冗長性が低下してしまうことになる。
これらの点を考慮すると、第１電極が網目状に配置された導線から構成されている場合、第１電極の配列ピッチや幅を小さくすることには様々なトレードオフが存在すると言える。

本発明は、このような課題を効果的に解決し得るタッチパネルセンサを提供することを目的とする。

本発明は、タッチパネルセンサであって、前記タッチパネルセンサの一方の側に設けられ、第１方向に沿って延びるとともに前記第１方向に交差する第２方向に沿って並べられた複数の第１電極を備え、前記複数の第１電極は各々、前記第１方向に沿って延びるとともに前記第２方向に沿って並べられた少なくとも２つの第１サブ電極を有し、各第１電極において、前記少なくとも２つの第１サブ電極は互いに電気的に接続されており、前記第１サブ電極は、遮光性および導電性を有する複数の第１導線を、各第１導線の間に四角形状の開口部が形成されるよう網目状に配置することによって構成されており、前記四角形状の開口部は、前記第１導線が互いに交わる４つの交点と、４つの交点に対応してそれぞれ形成される４つの内角と、を含み、前記４つの内角は、前記第１方向において対向する一対の第１内角と、前記第２方向において対向する一対の第２内角と、からなり、前記複数の第１導線は、前記開口部の前記一対の第２内角に対応する一対の前記交点が前記第２方向に沿って並ぶよう配置されている、タッチパネルセンサである。

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記複数の第１導線は、前記開口部の前記一対の第２内角に対応する一対の前記交点の間の距離が、前記開口部の前記一対の第１内角に対応する一対の前記交点の間の距離よりも小さくなるよう配置されていてもよい。

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記タッチパネルセンサの他方の側に設けられ、前記第２方向に沿って延びる複数の第２電極をさらに備え、前記タッチパネルセンサの前記一方の側は、前記タッチパネルセンサによって検知される外部導体に対向する側であり、前記第２電極は、信号が印加される駆動電極として機能するものであり、前記第１電極は、前記第２電極からの前記信号を検出する検出電極として機能するものである。

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記タッチパネルセンサの前記一方の側において前記第１サブ電極の間に設けられた複数の第１ダミー部をさらに備え、前記第１ダミー部は、遮光性および導電性を有する複数の第１導線を、各第１導線の間に四角形状の開口部が形成されるよう網目状に配置することによって構成されており、前記第１ダミー部を構成する各第１導線は、前記第１サブ電極を構成する複数の前記第１導線のいずれかの延長線上に位置しており、前記開口部の前記一対の第２内角に対応する一対の前記交点の間の前記第２方向に沿った方向における距離を第１単位距離Ｄと称する場合、前記第２方向における前記第１電極の配列ピッチが、前記第１単位距離Ｄの整数倍になっていてもよい。

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記第１導線は、前記第２方向における前記第１サブ電極の寸法Ｗ１がＷ１＞Ｄ×（３／２）の関係を満たすよう配置されていてもよい。

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記複数の第１導線は、複数の第１導線が互いに交わることによって形成される複数の交点が不規則に並ぶよう配置されており、複数の第１導線が互いに交わることによって形成される複数の交点が規則的に並ぶよう前記第１導線を配置すると仮定した場合に得られるパターンを参照パターンと称する場合、不規則に並ぶよう配置された前記複数の交点の各々は、前記参照パターンの各交点から、所定の最大補正距離α０の範囲内でずれた位置に配置されており、前記第２方向における前記第１サブ電極の寸法Ｗ１と、前記が最大補正距離α０との間には、Ｗ１＞Ｄ×（３／２）＋２α０の関係が満たされていてもよい。

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、複数の第１電極は各々、第１方向に沿って延びるとともに第２方向に沿って並べられた少なくとも２つの第１サブ電極を有しており、各第１サブ電極は互いに電気的に接続されている。この場合、各第１サブ電極の配列ピッチおよび幅を小さくすることにより、外部導体の位置検出の分解能を高めることができる。また、各第１サブ電極を互いに電気的に接続することにより、測定や測定データの処理に要する負荷が大きくなることを抑制することができる。また本発明において、第１サブ電極は、遮光性および導電性を有する複数の第１導線を、各第１導線の間に四角形状の開口部が形成されるよう網目状に配置することによって構成されている。四角形状の開口部は、第１導線が互いに交わる４つの交点と、４つの交点に対応してそれぞれ形成される４つの内角と、を含んでおり、これら４つの内角は、第１方向において対向する一対の第１内角と、第２方向において対向する一対の第２内角と、からなっている。そして複数の第１導線は、開口部の一対の第２内角に対応する一対の交点が第２方向に沿って並ぶよう配置されている。このため、第２方向において少なくとも２つの交点を第１サブ電極の第１導線に確保することができ、これによって、第１サブ電極の冗長性を確保することができる。

図１は、本発明の実施の形態におけるタッチ位置検出機能付き表示装置を示す展開図。 図２は、図１のタッチ位置検出機能付き表示装置におけるタッチパネルセンサを示す平面図。 図３は、他方の側に設けられた第２電極をさらに備えたタッチパネルセンサを示す平面図。 図４（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本実施の形態によるタッチパネルセンサにおいて、外部導体の位置と、第１電極に現れる信号の波形との関係を示す図。 図５（ａ）（ｂ）（ｃ）は、比較の形態によるタッチパネルセンサにおいて、外部導体の位置と、第１電極に現れる信号の波形との関係を示す図。 図６は、図２において符号VIが付された一点鎖線で囲まれた部分における第１電極を拡大して示す平面図。 図７は、図６に示す第１電極の第１導線をさらに拡大して示す平面図。 図８（ａ）〜（ｅ）は、タッチパネルセンサの製造方法を説明するための図。 図９は、第１導線のパターンの一変形例を示す平面図。 図１０は、図９に示す第１導線のパターンを生成する方法を説明するための図。 図１１Ａは、タッチパネルセンサの層構成の一変形例を示す断面図。 図１１Ｂは、図１１Ａに示すタッチパネルセンサの貼り合わせの形態の一変形例を示す断面図。 図１１Ｃは、図１１Ａに示すタッチパネルセンサの貼り合わせの形態の一変形例を示す断面図。

タッチパネル装置およびタッチ位置検出機能付き表示装置
はじめに図１を参照して、タッチ位置検出機能付き表示装置１０について説明する。図１に示すように、タッチ位置検出機能付き表示装置１０は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの表示装置１５と、表示装置１５の観察者側に配置されたタッチパネルセンサ３０と、を組み合わせることによって構成されている。表示装置１５は、表示面１６ａを有する表示パネル１６と、表示パネル１６に接続された表示制御部（図示せず）と、を有している。表示パネル１６は、映像を表示することができる矩形状のアクティブエリアＡ１と、アクティブエリアＡ１を取り囲むようにしてアクティブエリアＡ１の外側に配置された非アクティブエリア（額縁領域とも呼ばれる）Ａ２と、を含んでいる。表示制御部は、表示されるべき映像に関する情報を処理し、映像情報に基づいて表示パネル１６を駆動する。表示パネル１６は、表示制御部の制御信号に基づいて、所定の映像を表示面１６ａに表示する。すなわち、表示装置１５は、文字や図等の情報を映像として出力する出力装置としての役割を担っている。

タッチパネルセンサ３０は、表示装置１５の表示面１６ａに、例えば接着層（図示せず）を介して接着されている。図１において、タッチパネルセンサ３０のうち観察者側に位置する面に符号３０ａが付され、表示装置１５側に位置する面に符号３０ｂが付されている。なお図示はしないが、タッチパネルセンサ３０の観察者側には、タッチパネルセンサ３０や表示装置１５を保護するための保護カバーが設けられていてもよい。

タッチパネルセンサ
次に図２を参照して、タッチパネルセンサ３０について説明する。図２は、表示装置１５側から見た場合のタッチパネルセンサ３０を示す平面図である。

ここでは、タッチパネルセンサ３０が、投影型の静電容量結合方式のタッチパネルセンサとして構成される例について説明する。なお、「容量結合」方式は、タッチパネルの技術分野において「静電容量」方式や「静電容量結合」方式等とも呼ばれており、本件では、これらの「静電容量」方式や「静電容量結合」方式等と同義の用語として取り扱う。典型的な静電容量結合方式のタッチパネルセンサは、透光性を有する導電性のパターンを有しており、外部の導体（典型的には人間の指）がタッチパネルセンサに接近することにより、外部の導体とタッチパネルセンサの導電性のパターンとの間でコンデンサ（静電容量）が形成される。そして、このコンデンサの形成に伴った電気的な状態の変化に基づき、タッチパネルセンサ上において外部導体が接近している位置の位置座標が特定される。なお本実施の形態によるタッチパネルセンサ３０において採用されている、後述する技術思想は、自己容量方式または相互容量方式のいずれにも対応可能である。

（第１電極）
図２に示すように、タッチパネルセンサ３０は、タッチパネルセンサ３０の一方の側（観察者側）に設けられ、第１方向Ｄ１に延びる複数の第１電極４０を備えている。複数の第１電極４０は、第１方向Ｄ１に交差（ここでは直交）する第２方向Ｄ２に沿って、一定の配列ピッチＰで並べられている。このため、複数の第１電極４０のうちどの第１電極４０に、タッチパネルセンサ３０への外部導体の接近や接触に起因する静電容量の変化が生じるかを検出することにより、第２方向Ｄ２における外部導体の位置を算出することができる。配列ピッチＰは、検出対象となる外部導体の寸法などに応じて適宜定められるが、例えば１〜２０ｍｍの範囲内になっている。

図２に示すように、複数の第１電極４０は各々、第１方向Ｄ１に沿って延びるとともに第２方向Ｄ２に沿って並べられた２つの第１サブ電極４１を有している。なお図示はしないが、第１電極４０は、第２方向Ｄ２に沿って並べられた、２つよりも多くの第１サブ電極４１を有していてもよい。１つの第１電極４０に含まれる複数の第１サブ電極４１は、接続部４１ａによって互いに電気的に接続されている。このため、１つの第１電極４０に含まれる複数の接続部４１ａにはそれぞれ同一の信号が印加されることになる。なお図２においては、接続部４１ａが非アクティブエリアＡａ２に配置される例が示されているが、これに限られることはなく、接続部４１ａがアクティブエリアＡａ１に配置されていてもよい。また、複数の接続部４１ａを互いに電気的に接続することができる限りにおいて、接続部４１ａの本数や形状が特に限られることもない。

なお図２においては図示を省略しているが、タッチパネルセンサ３０は、図３において点線で示すように、タッチパネルセンサ３０の他方の側（表示装置１５側）に設けられ、第２方向Ｄ２に延びる複数の第２電極４５をさらに備えていてもよい。複数の第２電極４５も、第１電極４０と同様に、第１方向Ｄ１に沿って一定の配列ピッチで並べられている。このため、複数の第２電極４５のうちどの第２電極４５に、タッチパネルセンサ３０への外部導体の接近や接触に起因する静電容量の変化が生じるかを検出することにより、第１方向Ｄ１における外部導体の位置を算出することができる。各第２電極４５は、第２方向Ｄ２に沿って延びる１本の電極であってもよく、若しくは第１電極４０と同様に、第２方向Ｄ２に沿って延びる複数の第２サブ電極を有していてもよい。

また図２においては図示を省略しているが、タッチパネルセンサ３０は、タッチパネルセンサ３０の一方の側において複数の第１サブ電極４１の間に設けられた複数の第１ダミー部４２をさらに備えている。本実施の形態において、第１サブ電極４１および第１ダミー部４２は、基材３２の第１面（観察者側の面）３２ａ上に設けられている。
同様に、タッチパネルセンサ３０は、タッチパネルセンサ３０の他方の側において複数の第２電極４５の間または複数の第２サブ電極の間に設けられた複数の第２ダミー部をさらに備えていてもよい。本実施の形態において、第２電極４５および必要に応じて設けられる第２サブ電極や第２ダミー部は、基材３２の第２面（表示装置１５側の面）３２ｂ上に設けられる。
後述するように、第１電極４０の第１サブ電極４１、第１ダミー部４２、第２電極４５や第２サブ電極および第２ダミー部はいずれも、金属材料を含む導線によって構成される。

相互容量方式が採用される場合、第１電極４０および第２電極４５の一方が駆動電極になり、他方が、駆動電極からの信号が印加される検出電極となる。例えば、表示装置１５側に位置する第２電極４５が、信号が印加される駆動電極として機能し、観察者側に位置する第１電極４０が、駆動電極からの信号を検出する検出電極として機能するよう、第１電極４０および第２電極４５が利用される。この場合、第１電極４０が複数の第１サブ電極４１を含むことにより、より高い分解能で外部導体の位置を検出することができる。

図２に示すように、タッチパネルセンサ３０は、タッチ位置を検出され得る領域に対応する矩形状のアクティブエリアＡａ１と、アクティブエリアＡａ１の周辺に位置する矩形枠状の非アクティブエリアＡａ２と、を含んでいる。アクティブエリアＡａ１および非アクティブエリアＡａ２はそれぞれ、表示パネル１６のアクティブエリアＡ１および非アクティブエリアＡ２に対応して区画されたものである。矩形状のアクティブエリアＡａ１の輪郭は、第１方向Ｄ１に延びる長辺と、第２方向Ｄ２に延びる短辺と、を含んでいる。

上述の第１電極４０の第１サブ電極４１、第１ダミー部４２、第２電極４５や第２サブ電極および第２ダミー部は、アクティブエリアＡａ１内に配置される。また非アクティブエリアＡａ２のうち基材３２の第１面３２ａ上には、図２および図３に示すように、各第１電極４０に電気的に接続された複数の第１額縁配線４４ａと、基材３２の外縁近傍に配置され、各第１額縁配線４４ａに電気的に接続された複数の第１端子部４４ｂと、が設けられている。さらに図３に示すように、非アクティブエリアＡａ２のうち基材３２の第２面３２ｂ上には、各第２電極４５に電気的に接続された複数の第２額縁配線４９ａと、基材３２の外縁近傍に配置され、各第２額縁配線４９ａに電気的に接続された複数の第２端子部４９ｂと、が設けられている。

信号を適切に伝達することができる限りにおいて、第１額縁配線４４ａおよび第１端子部４４ｂ並びに第２額縁配線４９ａおよび第２端子部４９ｂの具体的な構成が特に限られることはない。例えば第１額縁配線４４ａおよび第１端子部４４ｂは、第１電極４０の第１サブ電極４１や第１ダミー部４２を構成する後述する第１導線５１と同一の層構成で第１導線５１と同時に形成されるものであってもよい。同様に、第２額縁配線４９ａおよび第２端子部４９ｂは、第２電極４５、第２サブ電極や第２ダミー部を構成する後述する第２導線と同一の層構成で第２導線と同時に形成されるものであってもよい。

（基材）
基材３２を構成する材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）やガラスなど、十分な透光性を有する材料が用いられる。基材３２が例えばＰＥＴを含む場合、ＰＥＴの厚みは例えば１００〜２００μｍの範囲内になっている。なお電極４０，４５やダミー部４２，４７を適切に保持することができる限りにおいて、基材３２の具体的な構成が特に限られることはない。例えば、ＰＥＴ層などの表面に設けられたハードコート層がさらに基材３２に含まれていてもよい。すなわち本実施の形態において、基材３２とは、何らかの具体的な構造や材料を意味するものではなく、タッチパネルセンサ３０を構成する第１電極４０や第２電極４５などのパターンの下地となるものを意味するに過ぎない。

（第１サブ電極の利点）
次に図４（ａ）（ｂ）（ｃ）および図５（ａ）（ｂ）（ｃ）を参照して、第１電極４０が複数の第１サブ電極４１を含むことによって得られる利点について説明する。図４（ａ）は、外部導体５を第２方向Ｄ２に沿って移動させる様子を示す図であり、図４（ｂ）は、外部導体５を移動させた際に図４（ａ）において符号ｂが付された第１電極４０に現れる信号の波形の一例を示す図であり、図４（ｂ）は、外部導体５を移動させた際に図４（ａ）において符号ｃが付された第１電極４０に現れる信号の波形の一例を示す図である。一方、図５（ａ）は、第１電極４０が複数の第１サブ電極を有さない、すなわち第１電極４０が１本の電極として構成されている比較の形態において、外部導体５を第２方向Ｄ２に沿って移動させる様子を示す図である。また図５（ｂ）は、外部導体５を移動させた際に図５（ａ）において符号ｂが付された第１電極４０に現れる信号の波形の一例を示す図であり、図５（ｃ）は、外部導体５を移動させた際に図５（ａ）において符号ｃが付された第１電極４０に現れる信号の波形の一例を示す図である。

はじめに図５（ａ）に示す比較の形態のように、第１電極４０の幅に比べて外部導体５の寸法が十分に小さい場合について考える。この場合、第１電極４０と重なる領域内で外部導体５の位置が変化したとしても、図５（ｂ）および図５（ｃ）に示すように、第１電極４０の静電容量に変化が生じない。すなわち電圧波形に平坦部分Ｆが現れる。このため、第１電極４０と重なる領域内で外部導体５の位置を精密に特定することができず、従って、タッチパネルセンサによる位置検出の分解能が不十分になってしまう。

一方、本実施の形態によれば、第１電極４０は複数の第１サブ電極４１を含んでいる。従って図４（ｂ）および図４（ｃ）に示すように、第１電極４０と重なる領域内で外部導体５の位置が変化する場合にも、第１電極４０によって検出される信号の波形に変化が生じることになる。このため、外部導体５の位置検出の分解能を高めることができる。また、複数の第１サブ電極４１は各第１電極４０において互いに電気的に接続されているので、測定や測定データの処理に要する負荷が大きくなることを抑制することができる。すなわち本実施の形態によれば、図５（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す比較の形態の場合に比べて測定や測定データの処理に要する負荷を増加させることなく、外部導体５の位置検出の分解能を高めることができる。

ところで、後述するように第１電極４０の各第１サブ電極４１は、網目状に配置された導線から構成されている。このため、図５（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す比較の形態のような１本の第１電極４０を、本実施の形態のような複数の第１サブ電極４１に分割することは、１つの電極に含まれる導線の交点の数を少なくし、これによって電極の冗長性を低下させる、という結果を導き得る。このような課題を解決するため、本実施の形態においては、各第１サブ電極４１に含まれる交点の配置や数を考慮して第１導線５１を配置することを提案する。以下、第１サブ電極４１および第１ダミー部４２の構成の詳細について、図６および図７を参照して説明する。

（第１電極および第１ダミー部の詳細について）
図６は、図２において符号VIが付された一点鎖線で囲まれた部分における第１電極４０を拡大して示す平面図である。また図７は、図６に示す第１電極の第１導線をさらに拡大して示す平面図である。

第１電極４０の第１サブ電極４１および第１ダミー部４２は、遮光性および導電性を有する複数の第１導線５１を、各第１導線５１の間に四角形状の開口部５２が形成されるよう網目状に配置することによって構成されている。第１導線５１は、後述するように、金属材料からなる第１金属層６１を含んでいる。第１導線５１に含まれる金属材料としては、例えば、銀、銅、アルミニウムまたはこれらの合金等を挙げることができる。

図６に示すように、四角形状の開口部５２はそれぞれ、第１導線５１が互いに交わる４つの交点５１ａと、４つの交点５１ａに対応してそれぞれ形成される４つの内角と、を含んでいる。４つの内角は、図７に示すように、第１方向Ｄ１において対向する一対の第１内角α１と、第２方向Ｄ２において対向する一対の第２内角α２と、からなっている。なお「第１方向Ｄ１において対向する」とは、図７に示すように、一対の第１内角α１に対応する一対の交点を通る対角線Ｌ１１を描いた場合に、対角線Ｌ１１が第１方向Ｄ１と略平行であることを意味している。ここで「略平行」とは、対角線Ｌ１１と第１方向Ｄ１とがなす角が−２０〜＋２０度の範囲内であることを意味している。同様に、「第２方向Ｄ２において対向する」とは、図３Ｂに示すように、一対の第２内角α２に対応する一対の交点を通る対角線Ｌ１２を描いた場合に、対角線Ｌ１２が第２方向Ｄ２と略平行であることを意味している。ここで「略平行」とは、対角線Ｌ１２と第２方向Ｄ２とがなす角が−２０〜＋２０度の範囲内であることを意味している。なお図７においては、菱形の開口部５２が規則的に並ぶように複数の第１導線５１が配置されており、このため、一対の第１内角α１のうちの一方の第１内角α１と他方の第１内角α１とが互いに等しくなっている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、後述する図９において説明するように、一対の第１内角α１のうちの一方の第１内角α１と他方の第１内角α１とが互いに異なっていてもよい。一対の第２内角α２においても同様に、一方の第２内角α２と他方の第２内角α２とが互いに異なっていてもよい。

図６および図７においては、各第１導線５１の間に菱形状の開口部５２が形成されるよう第１導線５１が配置される例が示されているが、開口部５２の形状が特に限られることはない。例えば、平行四辺形や非平行四辺形などが開口部５２の形状として採用され得る。開口部５２の寸法は、第１電極４０や第１ダミー部４２が広がる領域の面積のうち開口部５２によって占められる面積の比率（以下、開口率と称する）が十分に高くなり、これによって、表示装置１５からの映像光が適切な透過率でタッチパネルセンサ３０のアクティブエリアＡａ１を透過することができるよう、設定されている。

第１導線５１の線幅は、求められる開口率などに応じて設定されるが、例えば第１導線５１の幅は１〜１０μｍの範囲内、より好ましくは２〜７μｍの範囲内に設定されている。これによって、観察者が視認する映像に対して第１導線５１が及ぼす影響を、無視可能な程度まで低くすることができる。第１導線５１の厚みは、第１電極４０に対して求められる電気抵抗値などに応じて適宜設定されるが、例えば０．１〜１０μｍの範囲内となっている。

図６および図７に示すように、第１電極４０の第１サブ電極４１を構成する第１導線５１と第１ダミー部４２を構成する第１導線５１との間には、複数の第１分断部５３が設けられている。このような第１分断部５３を設けることにより、第１電極４０と第１ダミー部４２との間を電気的に絶縁することができる。通常は、１つの第１分断部５３を挟んで隣接する２つの第１導線５１の一方を延長すると他方の第１導線５１に重なるよう、第１分断部５３および第１導線５１が構成されている。第１導線５１が延びる方向における第１分断部５３の寸法は、例えば１０〜５０μｍの範囲内に設定される。

第１電極４０の第１サブ電極４１と第１ダミー部４２との間の境界部の形状、すなわち第１サブ電極４１の輪郭は、第１サブ電極４１と第１ダミー部４２との間の第１分断部５３の配置によって画定される。図６および図７において、タッチパネルセンサ３０の一方の側からタッチパネルセンサ３０を見た場合における、すなわち平面視における第１サブ電極４１の輪郭が、一点鎖線によって示されている。また、第２方向Ｄ２における第１サブ電極４１の寸法（以下、第１サブ電極４１の幅とも称する）が、符号Ｗ１で表されている。また、第１電極４０において隣接する２つの第１サブ電極４１の間の、第２方向Ｄ２における間隔が、符号Ｗ２で表されている。第１サブ電極４１の幅Ｗ１は、例えば０．１５〜５ｍｍの範囲内に設定される。また、隣接する２つの第１サブ電極４１の間の間隔Ｗ２は、例えば０．１〜５ｍｍの範囲内に設定される。

また図７に示すように、第１ダミー部４２を構成する第１導線５１同士の間にも、複数の第１分断部５３が設けられていてもよい。なお図６においては、第１ダミー部４２内の第１分断部５３が便宜上省略されている。

ところで上述のように、１本の第１電極４０を複数の第１サブ電極４１に分割することは、１つの第１サブ電極４１に含まれる第１導線５１の交点５１ａの数が少なくなり、この結果、第１サブ電極４１の冗長性が低下することを導き得る。例えば、第１サブ電極４１に含まれる第１導線５１の交点５１ａの数が、ある位置で第２方向Ｄ２に沿って第１サブ電極４１を見た場合に１個であるとする。この場合、第１方向Ｄ１に沿って第１サブ電極４１に流れる電流が、その１個の交点５１ａを必ず通ることになる。従って、その１個の交点５１ａが、例えばエッチング不良などによって除去されてしまうと、第１サブ電極４１において第１方向Ｄ１に沿って信号を伝達させることができなくなってしまう。

このようなリスクを考慮し、本実施の形態においては、開口部５２の一対の第２内角α２に対応する一対の交点５１ａが、第１方向Ｄ１の各位置において第２方向Ｄ２に沿って並ぶよう、複数の第１導線５１を配置することを提案する。すなわち、第１方向Ｄ１の各位置において、第２方向Ｄ２に沿って並ぶ第１導線５１の交点５１ａが第１サブ電極４１に少なくとも２個は存在するよう、複数の第１導線５１を配置することを提案する。これによって、仮に１個の交点５１ａがエッチング不良などによって除去されてしまった場合であっても、残っている少なくとも１個の交点５１ａを利用して第１方向Ｄ１に沿って第１サブ電極４１に電流を流すことができるようになる。このことにより、第１電極４０の各第１サブ電極４１の冗長性を確保することができる。

以下、第２方向Ｄ２に沿って並ぶ第１導線５１の交点５１ａが第１サブ電極４１に少なくとも２個は存在するように第１導線５１を配置するための具体的な方法の一例について、図６および図７を参照して説明する。ここでは、第１サブ電極４１および第１ダミー部４２を構成する複数の第１導線５１が規則的に配置されている場合について説明する。図７において、開口部５２の一対の第２内角α２に対応する一対の交点５１ａの間の、第２方向Ｄ２に沿った方向における距離が符号Ｄで表されている。以下の説明において、距離Ｄのことを第１単位距離Ｄとも称する。

本実施の形態において、第１導線５１は、第２方向Ｄ２における第１サブ電極４１の幅Ｗ１と上述の第１単位距離Ｄとが以下の関係を満たすよう配置されている。
Ｗ１＞Ｄ×（３／２）
これによって、第２方向Ｄ２に沿って並ぶ第１導線５１の交点５１ａを第１サブ電極４１に少なくとも２個は存在させることができる。

好ましくは、複数の第１導線５１は、一対の第１内角α１がいずれも鋭角になり、一対の第２内角α２がいずれも鈍角になるよう、配置されている。言い換えると、複数の第１導線５１は、開口部５２の一対の第２内角α２に対応する一対の交点５１ａの間の距離（対角線Ｌ１２の長さ）が、開口部５２の一対の第１内角α１に対応する一対の交点５１ａの間の距離（対角線Ｌ１１の長さ）よりも小さくなるよう配置されている。このため、内角の大きさがランダムに設定されている場合に比べて、第２方向Ｄ２に沿って第１サブ電極４１内に少なくとも２個の交点５１ａを確保しやすくなる。

また好ましくは、第１電極４０の配列ピッチＰは、上述の第１単位距離Ｄの整数倍になっている。例えば配列ピッチＰは、第１単位距離Ｄの８倍になっている。図６において、１つの配列ピッチＰに含まれる、第１単位距離Ｄの８倍の距離にわたって配置された複数の第１導線５１を含む区間（以下、第１ユニットとも称する）が符号４３で表されている。

配列ピッチＰが第１単位距離Ｄの整数倍であることは、１つの第１ユニット４３と、その他の同一の１つの第１ユニット４３とを滑らかに接続することができることを意味している。例えば本実施の形態のように、菱形の開口部５２が規則的に並ぶように複数の第１導線５１が配置される場合、各第１ユニット４３の境界において第１方向Ｄ１に沿って菱形の交点が並ぶように複数の第１導線５１を配置することが可能になる。このため、１つの第１ユニット４３に含まれる第１導線５１の各交点５１ａと、その他の同一の１つの第１ユニット４３に含まれる第１導線５１の各交点５１ａとが重なるように、２つの第１ユニット４３を配置することにより、２つの第１ユニット４３を容易に滑らかに接続することができる。このことは、１つの第１ユニット４３に対応する第１導線５１の配置を設計すれば、あとは複数の第１ユニット４３を並べることによって、タッチパネルセンサ３０の全域にわたる第１導線５１の配置の設計が完了することを意味している。すなわち、第１電極４０の配列ピッチＰを第１単位距離Ｄの整数倍にすることにより、第１導線５１の配置の設計に要する負荷を低減することができる。

（第２電極および第２ダミー部の詳細について）
図示はしないが、第２電極４５、第２サブ電極や第２ダミー部も、第１電極４０、第１サブ電極４１や第１ダミー部４２と同様に、遮光性および導電性を有する複数の第２導線を、各第２導線の間に四角形状の開口部が形成されるよう網目状に配置することによって構成されている。第２導線の構成は、第１導線の構成と同一であるため、詳細な説明は省略する。

タッチパネルセンサの製造方法
次に、以上のような構成からなるタッチパネルセンサ３０を製造する方法について、図８（ａ）〜（ｅ）を参照して説明する。

はじめに図８（ａ）に示すように、タッチパネルセンサ３０を作製するための元材としての積層体６０（ブランクとも呼ばれる）を準備する。積層体６０は、基材３２と、基材３２の第１面３２ａ上に設けられ、遮光性および導電性を有する第１金属層６１と、基材３２の第２面３２ｂ上に設けられ、遮光性および導電性を有する第２金属層６６と、を備えている。基材３２の各面３２ａ，３２ｂ上に金属層６１，６６を設ける方法が特に限られることはなく、蒸着法やスパッタリング法などの公知の方法が適宜用いられ得る。

次に図８（ｂ）に示すように、第１金属層６１上に第１感光層７１を設け、かつ、第２金属層６６上に第２感光層７６を設ける。第１感光層７１および第２感光層７６は、特定波長域の光、例えば紫外線に対する感光性を有している。感光層７１，７６のタイプが特に限られることはない。例えば光溶解型の感光層が用いられてもよく、若しくは光硬化型の感光層が用いられてもよい。ここでは、光硬化型の感光層が用いられる例について説明する。第１金属層６１上および第２金属層６６上に第１感光層７１および第２感光層７６を設ける方法としては、例えば、ドライフィルムレジストを第１金属層６１上および第２金属層６６上にそれぞれ貼付するという方法や、感光材を第１金属層６１上および第２金属層６６上にそれぞれ塗布するという方法を採用することができる

（露光工程）
その後、図８（ｂ）に示すように、所定のパターンで遮光部７２ａおよび開口部７２ｂが形成された第１露光マスク７２を第１感光層７１の近傍に設置し、かつ、所定のパターンで遮光部７７ａおよび開口部７７ｂが形成された第２露光マスク７７を第２感光層７６の近傍に設置する。第１露光マスク７２の遮光部７２ａのパターンは、開口部５２および第１分断部５３のパターンに対応しており、第１露光マスク７２の開口部７２ｂのパターンは、第１導線５１のパターンに対応している。また第２露光マスク７７の遮光部７７ａのパターンは、開口部５７および第２分断部５８のパターンに対応しており、第２露光マスク７７の開口部７７ｂのパターンは、第２導線５６のパターンに対応している。次に、第１露光マスク７２に対する第２露光マスク７７の相対位置を調整する。例えば、第１露光マスク７２または第２露光マスク７７のいずれか一方の露光マスクに形成されているアライメントマークを基準として、他方の露光マスクの位置を調整する。若しくは、基材３２などに設けられている同一のアライメントマークを共通に用いて、第１露光マスク７２および第２露光マスク７７の位置を調整する。これによって、第１露光マスク７２に対して高い位置精度で第２露光マスク７７を配置することができる。その後、第１露光マスク７２を介して第１感光層７１に所定のパターンで露光光を照射し、かつ、第２露光マスク７７を介して第２感光層７６に所定のパターンで露光光を照射する露光工程を実施する。なお、第１感光層７１に対する露光光の照射と、第２感光層７６に対する露光光の照射は、同時に実施されてもよく、異なるタイミングで実施されてもよい。

（現像工程）
次に、第１感光層７１および第２感光層７６を現像する。これによって、図８（ｃ）に示すように、パターニングされた第１感光層７１および第２感光層７６を得ることができる。

（エッチング工程）
その後、図８（ｄ）に示すように、第１感光層７１をレジストとして第１金属層６１をウェットエッチングする。これによって、第１電極４０の第１サブ電極４１および第１ダミー部４２の第１導線５１に対応するパターンで第１金属層６１をパターニングすることができる。また、第２感光層７６をレジストとして第２金属層６６をウェットエッチングする。これによって、第２電極４５の第２サブ電極および第２ダミー部の第２導線５６に対応するパターンで第２金属層６６をパターニングすることができる。次に、図８（ｅ）に示すように、感光層７１，７６を除去する。このようにして、上述のタッチパネルセンサ３０を得ることができる。

なお図示はしないが、第１導線５１および第２導線５６には、第１導線５１および第２導線５６による光の反射を抑制するための低反射処理が施されていてもよい。例えば第１導線５１の表面には、黒化処理が施されていてもよい。また、第２導線５６は、金属材料からなる層に加えて、金属材料からなる層と基材３２の第２面３２ｂとの間に設けられた低反射層をさらに含んでいてもよい。

本実施の形態によれば、複数の第１電極４０は各々、第１方向Ｄ１に沿って延びるとともに第２方向Ｄ２に沿って並べられた少なくとも２つの第１サブ電極４１を有しており、各第１サブ電極４１は互いに電気的に接続されている。この場合、各第１サブ電極４１の配列ピッチおよび幅を小さくすることにより、外部導体の位置検出の分解能を高めることができる。また、各第１サブ電極を互いに電気的に接続することにより、測定や測定データの処理に要する負荷が大きくなることを抑制することができる。

また本実施の形態において、第１サブ電極４１は、遮光性および導電性を有する複数の第１導線５１を、各第１導線５１の間に四角形状の開口部５２が形成されるよう網目状に配置することによって構成されている。四角形状の開口部５２は、第１導線５１が互いに交わる４つの交点５１ａと、４つの交点５１ａに対応してそれぞれ形成される４つの内角と、を含んでおり、これら４つの内角は、第１方向Ｄ１において対向する一対の第１内角α１と、第２方向において対向する一対の第２内角α２と、からなっている。そして複数の第１導線５１は、開口部５２の一対の第２内角α２に対応する一対の交点５１ａが第２方向Ｄ２に沿って並ぶよう配置されている。このため、第２方向Ｄ２において少なくとも２つの交点５１ａを第１サブ電極４１の第１導線５１に確保することができ、これによって、第１サブ電極４１の冗長性を確保することができる。

変形例
上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、図面を参照しながら、いくつかの変形例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の各実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。また、上述した実施の形態において得られる作用効果が変形例においても得られることが明らかである場合、その説明を省略することもある。

（導線の配置の変形例）
上述の実施の形態の形態においては、第１導線５１および第２導線５６がそれぞれ規則的に配置される例を示した。しかしながら、図９に示すように、第１導線５１は、複数の交点５１ａが不規則に並ぶように配置されていてもよい。これによって、モアレをより低減することができる。

図９に示すような第１導線５１のパターンを生成する方法の一例を説明する。例えば、はじめに、図６および図７に示すような、複数の第１導線５１が互いに交わることによって形成される複数の交点５１ａが規則的に並ぶよう第１導線５１を配置することによって得られるパターン（以下、参照パターンＲとも称する）を生成する（図１０参照）。次に、所定の最大補正距離α０よりも小さい距離αだけ様々な方向で各交点５１ａをランダムに変位させることにより、図９に示す、複数の交点５１ａが不規則に並ぶ第１導線５１のパターンを生成することができる。所定の最大補正距離α０は、例えば、参照パターンＲにおいて隣接する交点５１ａ間の距離に設定される。

本変形例において、第１導線５１は、第２方向Ｄ２における第１サブ電極４１の幅Ｗ１と第１単位距離Ｄとが以下の関係を満たすよう配置されている。
Ｗ１＞Ｄ×（３／２）＋２α０
これによって、本変形例においても、第２方向Ｄ２に沿って並ぶ第１導線５１の交点５１ａを第１サブ電極４１に少なくとも２個は存在させることができる。なお本変形例において、第１単位距離Ｄは、開口部５２の一対の第２内角α２に対応する一対の交点５１ａの間の、第２方向Ｄ２に沿った方向における距離の平均値として定義される。

好ましくは本変形例においても、上述の実施の形態の場合と同様に、第１電極４０の配列ピッチＰが、第１単位距離Ｄの整数倍になっている。これによって、第１導線５１の配置の設計に要する負荷を低減することができる。
本変形例においては、図１０から明らかなように、第１導線５１の交点５１ａの位置が１つずつずらされるので、第１導線５１の配置の設計の負荷が、上述の実施の形態の場合に比べて高い。ここで本変形例においても、第１電極４０の配列ピッチＰを、第１単位距離Ｄの整数倍とすることにより、１つの第１ユニット４３に対応する第１導線５１の配置を設計すれば、あとは複数の第１ユニット４３を並べることによって、タッチパネルセンサ３０の全域にわたる第１導線５１の配置の設計を完了させることができる。すなわち、１つの第１ユニット４３に関して第１導線５１の交点５１ａの位置を参照パターンＲに対してずらせば、タッチパネルセンサ３０の全域にわたる第１導線５１の配置の設計を完了させることができる。このように、第１電極４０の配列ピッチＰを第１単位距離Ｄの整数倍にすることの効果は、本変形例においてより顕著に現れる。

（層構成の変形例）
また上述の実施の形態の形態においては、第１電極４０の第１サブ電極４１および第１ダミー部４２を構成する第１導線５１が、基材３２の第１面３２ａ上に設けられ、第２電極４５の第２サブ電極および第２ダミー部を構成する第２導線５６が、基材３２の第２面３２ｂ上に設けられる例を示した。しかしながら、タッチパネルセンサ３０の層構成が特に限られることはない。例えば図１１Ａに示すように、互いに対向する２つの基材３２Ａ，３２Ｂの対向面の一方（第１の基材３２Ａ）に第１導線５１を設け、他方（第２の基材３２Ｂ）に第２導線５６を設け、そして２つの基材３２Ａ，３２Ｂを貼り合わせてもよい。このように２つの基材３２を貼り合わせる場合であっても、第１導線５１によって、タッチパネルセンサ３０の一方の側に設けられる第１電極４０の第１サブ電極４１および第１ダミー部４２を構成することができ、また第２導線５６によって、タッチパネルセンサ３０の他方の側に設けられる第２電極４５の第２サブ電極および第２ダミー部を構成することができる。

なお図１１Ａにおいては、第１の基材３２Ａのうち第１導線５１が設けられている面と、第２の基材３２Ｂのうち第２導線５６が設けられている面とが向かい合うように２つの基材３２Ａ，３２Ｂを貼りあわせる例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図１１Ｂに示すように、第１の基材３２Ａのうち第１導線５１が設けられている面とは反対側の面と、第２の基材３２Ｂのうち第２導線５６が設けられている面とは反対側の面とが向かい合うように、２つの基材３２Ａ，３２Ｂを貼りあわせてもよい。その他にも、図１１Ｃに示すように、第１の基材３２Ａのうち第１導線５１が設けられている面とは反対側の面と、第２の基材３２Ｂのうち第２導線５６が設けられている面とが向かい合うように、２つの基材３２Ａ，３２Ｂを貼りあわせてもよい。

（その他の変形例）
また上述の実施の形態の形態においては、第１電極４０がタッチパネルセンサ３０の観察者側に設けられ、第２電極４５がタッチパネルセンサ３０の表示装置１５側に設けられる例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、第１電極４０がタッチパネルセンサ３０の表示装置１５側に設けられていてもよい。

また上述の本実施の形態において、第１電極４０が検出電極として機能し、第２電極４５が駆動電極として機能する例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、第１電極４０が駆動電極として機能し、第２電極４５が検出電極として機能してもよい。

なお、上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。

１０ タッチ位置検出機能付き表示装置
１５ 表示装置
３０ タッチパネルセンサ
３２ 基材
３５ 外部導体
４０ 第１電極
４１ 第１サブ電極
４１ａ 接続部
４２ 第１ダミー部
４３ 第１ユニット
４５ 第２電極
５１ 第１導線
５６ 第２導線
６０ 積層体
Ｄ 第１単位距離
Ｐ 配列ピッチ

Claims (5)

1. タッチパネルセンサであって、
   前記タッチパネルセンサの一方の側に設けられ、第１方向に沿って延びるとともに前記第１方向に交差する第２方向に沿って並べられた複数の第１電極を備え、
   前記複数の第１電極は各々、前記第１方向に沿って延びるとともに前記第２方向に沿って並べられた少なくとも２つの第１サブ電極を有し、
   各第１電極において、前記少なくとも２つの第１サブ電極は互いに電気的に接続されており、
   前記第１サブ電極は、遮光性および導電性を有する複数の第１導線を、各第１導線の間に四角形状の開口部が形成されるよう網目状に配置することによって構成されており、
   前記四角形状の開口部は、前記第１導線が互いに交わる４つの交点と、４つの交点に対応してそれぞれ形成される４つの内角と、を含み、
   前記４つの内角は、前記第１方向において対向する一対の第１内角と、前記第２方向において対向する一対の第２内角と、からなり、
   前記複数の第１導線は、前記開口部の前記一対の第２内角に対応する一対の前記交点が前記第２方向に沿って並ぶよう配置されている、タッチパネルセンサ。
2. 前記複数の第１導線は、前記開口部の前記一対の第２内角に対応する一対の前記交点の間の距離が、前記開口部の前記一対の第１内角に対応する一対の前記交点の間の距離よりも小さくなるよう配置されている、請求項１に記載のタッチパネルセンサ。
3. 前記タッチパネルセンサの前記一方の側において前記第１サブ電極の間に設けられた複数の第１ダミー部をさらに備え、
   前記第１ダミー部は、遮光性および導電性を有する複数の第１導線を、各第１導線の間に四角形状の開口部が形成されるよう網目状に配置することによって構成されており、
   前記第１ダミー部を構成する各第１導線は、前記第１サブ電極を構成する複数の前記第１導線のいずれかの延長線上に位置しており、
   前記開口部の前記一対の第２内角に対応する一対の前記交点の間の前記第２方向に沿った方向における距離を第１単位距離Ｄと称する場合、前記第２方向における前記第１電極の配列ピッチが、前記第１単位距離Ｄの整数倍になっている、請求項１または２に記載のタッチパネルセンサ。
4. 前記第１導線は、前記第２方向における前記第１サブ電極の寸法Ｗ１が
   Ｗ１＞Ｄ×（３／２）
   の関係を満たすよう配置されている、請求項３に記載のタッチパネルセンサ。
5. 前記複数の第１導線は、複数の第１導線が互いに交わることによって形成される複数の交点が不規則に並ぶよう配置されており、
   複数の第１導線が互いに交わることによって形成される複数の交点が規則的に並ぶよう前記第１導線を配置すると仮定した場合に得られるパターンを参照パターンと称する場合、不規則に並ぶよう配置された前記複数の交点の各々は、前記参照パターンの各交点から、所定の最大補正距離α０の範囲内でずれた位置に配置されており、
   前記第２方向における前記第１サブ電極の寸法Ｗ１と、前記が最大補正距離α０との間には、
   Ｗ１＞Ｄ×（３／２）＋２α０
   の関係が満たされている、請求項３に記載のタッチパネルセンサ。

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