JP2016125091A5 - - Google Patents
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Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014265981A JP6529257B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | 真空蒸着装置 |
| TW104131265A TWI673379B (zh) | 2014-12-26 | 2015-09-22 | 真空蒸鍍裝置 |
| CN201510857298.2A CN105734495B (zh) | 2014-12-26 | 2015-11-30 | 真空蒸镀装置 |
| KR1020150174861A KR101989653B1 (ko) | 2014-12-26 | 2015-12-09 | 진공 증착 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014265981A JP6529257B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | 真空蒸着装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016125091A JP2016125091A (ja) | 2016-07-11 |
| JP2016125091A5 true JP2016125091A5 (ko) | 2017-12-21 |
| JP6529257B2 JP6529257B2 (ja) | 2019-06-12 |
Family
ID=56295966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014265981A Active JP6529257B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | 真空蒸着装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6529257B2 (ko) |
| KR (1) | KR101989653B1 (ko) |
| CN (1) | CN105734495B (ko) |
| TW (1) | TWI673379B (ko) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018025637A1 (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 株式会社アルバック | 真空蒸着装置 |
| TWI580807B (zh) * | 2016-10-28 | 2017-05-01 | 財團法人工業技術研究院 | 蒸鍍設備與利用此設備之蒸鍍方法 |
| KR102716685B1 (ko) * | 2016-12-09 | 2024-10-14 | 주식회사 선익시스템 | 증발원용 도가니 |
| WO2019064426A1 (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-04 | シャープ株式会社 | 蒸着源および蒸着装置並びに蒸着膜製造方法 |
| CN111148860B (zh) * | 2017-09-28 | 2022-02-11 | 夏普株式会社 | 蒸镀粒子射出装置及蒸镀装置、以及蒸镀膜制造方法 |
| CN108570645B (zh) * | 2017-11-30 | 2023-09-29 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 真空蒸镀装置及其蒸发头、真空蒸镀方法 |
| JP6941547B2 (ja) * | 2017-12-06 | 2021-09-29 | 長州産業株式会社 | 蒸着装置、蒸着方法及び制御板 |
| JP6931599B2 (ja) | 2017-12-06 | 2021-09-08 | 長州産業株式会社 | 蒸着装置及び蒸着方法 |
| JP6983096B2 (ja) * | 2018-03-30 | 2021-12-17 | 株式会社アルバック | 真空蒸着装置用の蒸着源 |
| CN111206207A (zh) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法 |
| CN111206205A (zh) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法 |
| CN111206221A (zh) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 一种镀膜设备及镀膜方法 |
| CN111206224A (zh) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法 |
| CN111206203A (zh) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法 |
| CN111206220A (zh) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 一种镀膜设备及镀膜方法 |
| CN111206219A (zh) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法 |
| CN109666898A (zh) * | 2019-01-03 | 2019-04-23 | 福建华佳彩有限公司 | 一种用于点蒸发源的坩埚 |
| JP7217635B2 (ja) * | 2019-01-11 | 2023-02-03 | 株式会社アルバック | 蒸着源、成膜装置、及び蒸着方法 |
| CN113039306B (zh) * | 2019-04-19 | 2023-06-06 | 株式会社爱发科 | 蒸镀源以及蒸镀装置 |
| CN110791731B (zh) * | 2019-11-20 | 2022-05-06 | 信利(仁寿)高端显示科技有限公司 | 一种蒸发源组件 |
| CN114657504A (zh) * | 2020-12-24 | 2022-06-24 | 上海升翕光电科技有限公司 | 蒸发源 |
| CN114657505A (zh) * | 2020-12-24 | 2022-06-24 | 上海升翕光电科技有限公司 | 蒸发源 |
| CN114318237A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-04-12 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种蒸镀装置 |
| WO2024153969A1 (en) * | 2023-01-17 | 2024-07-25 | Applied Materials, Inc. | Material deposition assembly, vacuum deposition system and method of manufacturing a device |
| CN116180018A (zh) * | 2023-02-14 | 2023-05-30 | 上海升翕光电科技有限公司 | 一种共蒸方法及共蒸设备 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100623730B1 (ko) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | 삼성에스디아이 주식회사 | 증발원 어셈블리 및 이를 구비한 증착 장치 |
| JP4831841B2 (ja) * | 2009-07-10 | 2011-12-07 | 三菱重工業株式会社 | 真空蒸着装置及び方法 |
| KR20120061394A (ko) * | 2010-12-03 | 2012-06-13 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 증발원 및 유기물 증착 방법 |
| KR102046440B1 (ko) * | 2012-10-09 | 2019-11-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법 |
| CN104099570B (zh) * | 2013-04-01 | 2016-10-05 | 上海和辉光电有限公司 | 单点线性蒸发源系统 |
| CN104099571A (zh) * | 2013-04-01 | 2014-10-15 | 上海和辉光电有限公司 | 蒸发源组件和薄膜沉积装置和薄膜沉积方法 |
-
2014
- 2014-12-26 JP JP2014265981A patent/JP6529257B2/ja active Active
-
2015
- 2015-09-22 TW TW104131265A patent/TWI673379B/zh active
- 2015-11-30 CN CN201510857298.2A patent/CN105734495B/zh active Active
- 2015-12-09 KR KR1020150174861A patent/KR101989653B1/ko active IP Right Grant