JP2016111045A - 熱伝導シート - Google Patents
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Abstract
【課題】熱伝導性が高く耐熱性の優れた熱伝導シートを提供する。【解決手段】流動性を有するゴムに熱伝導フィラーを充填し、混練・成形してなる熱伝導シートにおいて、熱伝導フィラーは、平均粒径10μm以下の小粒子フィラーを含む。また、熱伝導シートは、熱伝導率が1W/m・K以上であるとともに、加熱後のアスカーC硬度が60以下である。【選択図】なし
Description
本発明は、熱伝導シートに関する。
電子機器や素子から発生する熱を放熱し冷却するために、従来から、シリコーンゴムや合成ゴムなどの母材に、熱伝導性の高い材料(例えばセラミックスや炭素繊維など)を充填してなる熱伝導シートが用いられている(例えば特許文献1を参照)。
熱伝導シートにおいては、熱伝導材料を高充填可能であるとともに、柔軟性が求められているため、比較的耐熱性の高いゲル状のシリコーン、アクリル、およびウレタンなどが母材として使用されている。しかしながら、従来のゲル状の材料を母材とした熱伝導シートを例えば200℃以上の高温下で用いると、硬度上昇や、質量減少を伴う脆化が生じ熱伝導シートの寿命や信頼性が著しく低下することがあった。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、熱伝導性が高く耐熱性の優れた熱伝導シートを提供することを目的とする。
上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、流動性を有するゴムに、平均粒径10μm以下の小粒子フィラーを含む熱伝導フィラーを充填した熱伝導シートにおいては、熱伝導率が高く、たとえば275℃で100時間用いても、硬度の上昇を抑えつつ脆化を防止することができるという知見を得た。本発明はかかる新規な知見に基づくものである。
すなわち、本発明は、流動性を有するゴムに熱伝導フィラーを充填し、混練・成形してなる熱伝導シートであって、前記熱伝導フィラーは、平均粒径10μm以下の小粒子フィラーを含み、かつ、熱伝導率が1W/m・K以上であるとともに、加熱後のアスカーC硬度が60以下である熱伝導シートである。
また、本発明は、流動性を有するゴムに熱伝導フィラーを充填し、混練・成形してなる熱伝導シートであって、前記熱伝導フィラーは、平均粒径10μm以下の小粒子フィラーと平均粒径50μm以上100μm以下の大粒子フィラーとを、前記小粒子フィラーと前記大粒子フィラーとの質量比1:0.5〜1:2の割合で混合してなり、かつ、熱伝導率が1W/m・K以上であるとともに、加熱後のアスカーC硬度が60以下である熱伝導シートである。
詳細は実施例において説明するが、本発明によれば、平均粒径10μm以下の小粒子フィラーを含む熱伝導フィラーを用いるので熱伝導性が高く耐熱性の優れた熱伝導シートを提供することができる。
本発明は以下の構成としてもよい。
前記ゴムがシリコーンゲルであり、かつ、前記熱伝導フィラーは、前記小粒子フィラーと平均粒径50μm以上100μm以下の大粒子フィラーとを、前記小粒子フィラーと前記大粒子フィラーとの質量比1:0.5〜1:1の割合で混合してなり、前記小粒子フィラーおよび前記大粒子フィラーは、それぞれ炭化ケイ素であってもよい。
このような構成とすると、高温下で使用した前後における熱伝導シートの硬度変化を小さくすることができる。
前記ゴムがシリコーンゲルであり、かつ、前記熱伝導フィラーは、前記小粒子フィラーと平均粒径50μm以上100μm以下の大粒子フィラーとを、前記小粒子フィラーと前記大粒子フィラーとの質量比1:0.5〜1:1の割合で混合してなり、前記小粒子フィラーおよび前記大粒子フィラーは、それぞれ炭化ケイ素であってもよい。
このような構成とすると、高温下で使用した前後における熱伝導シートの硬度変化を小さくすることができる。
前記小粒子フィラーは、平均粒径5.5μm以下の炭化ケイ素であり、かつ、前記熱伝導フィラーの充填量が40体積%以上であってもよい。
このような構成とすると、高温下で使用した前後における熱伝導シートの硬度変化を小さくすることができる。
このような構成とすると、高温下で使用した前後における熱伝導シートの硬度変化を小さくすることができる。
本発明によれば、熱伝導性が高く耐熱性の優れた熱伝導シートを提供することができる。
本発明の熱伝導シートは、流動性を有するゴムに熱伝導フィラーを充填し、混練・成形してなる。
流動性を有するゴムとしては、液状のシリコーンゴム、シリコーンゲル(ゲル状のシリコーンゴム)、エチレンプロピレンジエンゴム(EPDM)等があげられる。
熱伝導フィラーとしては、炭化ケイ素、アルミナ、シリカ、窒化ケイ素、窒化ホウ素等があげられる。これらのうち炭化ケイ素が好ましい。
熱伝導フィラーは、平均粒径10μm以下の小粒子フィラーを含む。小粒子フィラーとしては、例えば175℃〜250℃程度での使用前後における硬度変化を小さくすることができるという観点から、平均粒径5.5μm以下の粒子径のものが好ましい。
熱伝導フィラーは、小粒子フィラーのみから構成されていてもよいが、小粒子フィラーよりも粒径の大きい大粒子フィラーと、小粒子フィラーとを混合してなる混合物を用いると熱伝導性が向上するので好ましい。
大粒子フィラーとしては、平均粒径50μm以上100μm以下のものが好ましい。高温下で使用の前後における硬度変化を小さくする、すなわち高温下で使用した後であっても、硬度を小さいままにできるという観点から、小粒子フィラーと大粒子フィラーとを質量比(小粒子フィラー:大粒子フィラー)で、1:0.25〜1:2の割合で混合するのが好ましく、混合割合が1:0.5〜1:1であると特に好ましい。
熱伝導フィラーの充填量は熱伝導シートの体積に対し、35体積%であるのが好ましく、40体積%以上であるとさらに好ましく、40体積%以上60体積%以下であると特に好ましい。
本発明の熱伝導シートはたとえば以下の方法により作製することができる。流動性を有するゴムと、熱伝導フィラーとを混合することにより、シリコーンゴムに熱伝導フィラーを充填する。ゴムと熱伝導フィラーとの混合方法としては、真空脱泡ミキサー等の機械を用いて混練する方法、押し出し、2本ロール、ニーダ、およびバンバリーミキサー等を用いて混練する方法等が挙げられる。これらの方法のうち、作業性が向上するという点で、ミキサーを使用して混練する方法が好ましい。
流動性を有するゴムには、必要に応じ、硬化遅延剤、酸化防止剤、難燃剤、可塑剤、着色剤などを添加してもよい。
流動性を有するゴムには、必要に応じ、硬化遅延剤、酸化防止剤、難燃剤、可塑剤、着色剤などを添加してもよい。
次に、流動性を有するゴムと熱伝導フィラーとを混合したものを成形する。成形方法としては、コーター、カレンダロール、押し出し、プレス等の機械を用いて成形する方法等、種々の方法があげられる。これらの方法のうち、コーターを用いて成形する方法は、薄いシートの作製が容易である点、生産性がよいため大量生産に向いている点、シートの厚み精度が出し易い点で好ましい。
本発明の熱伝導シートは、熱伝導率が1W/m・K以上で、アスカーC硬度が60以下であるとともに、加熱後のアスカーC硬度が60以下である。詳細は実施例にて説明するが、本発明の熱伝導シートは175℃で10年間の耐熱性に相当する275℃で100時間加熱する耐熱試験を経た後のアスカーC硬度が60以下であり、熱伝導シートに要求される柔軟性を満たしている。ここで175℃という温度条件はジャンクション温度(半導体部品のチップ接合面の温度)であり、10年間という時間条件は一般的な産業機械の稼働期間を想定した耐久性の目安である。
したがって、本発明の熱伝導シートによれば、従来の熱伝導シートとしての使用のみならず、高温環境下での使用にも適しており、パワーデバイス半導体の素材がシリコンから耐熱温度の高い炭化ケイ素に移行しても十分に対応することが可能である。
したがって、本発明の熱伝導シートによれば、従来の熱伝導シートとしての使用のみならず、高温環境下での使用にも適しており、パワーデバイス半導体の素材がシリコンから耐熱温度の高い炭化ケイ素に移行しても十分に対応することが可能である。
<実施例>
実施例によりさらに本発明を説明する。
1.熱伝導フィラーの粒径の検討
(1)粒径の相違する熱伝導フィラーを用いたシートの作製
(シート1およびシート2の作製)
液状シリコーンゴム[CY52−276(商品名)、東レ・ダウコーニング(株)製]と、熱伝導フィラー[平均粒径5.5μmの炭化ケイ素、グリーンデンシック(登録商標)#2500、昭和電工(株)製]とを、真空脱泡ミキサーを用いて混練した後、コーターを用いて成形し、厚さ2mmのシートを作製した。
実施例によりさらに本発明を説明する。
1.熱伝導フィラーの粒径の検討
(1)粒径の相違する熱伝導フィラーを用いたシートの作製
(シート1およびシート2の作製)
液状シリコーンゴム[CY52−276(商品名)、東レ・ダウコーニング(株)製]と、熱伝導フィラー[平均粒径5.5μmの炭化ケイ素、グリーンデンシック(登録商標)#2500、昭和電工(株)製]とを、真空脱泡ミキサーを用いて混練した後、コーターを用いて成形し、厚さ2mmのシートを作製した。
熱伝導フィラーを、シート材料の全質量に対し72.3質量%配合し、シートの体積に対する熱伝導フィラーの充填量が45体積%のシート1を得た。
熱伝導フィラーの配合割合を68.1質量%としたこと以外はシート1と同様にして熱伝導フィラーの充填量が40体積%のシート2を得た。
(シート3および4の作製)
熱伝導フィラーとして、平均粒径4μmの炭化ケイ素[グリーンデンシック(登録商標)#3000、昭和電工(株)製]を72.3質量%用いたこと以外はシート1と同様にして熱伝導フィラーの充填量が45体積%のシート3を得た。
熱伝導フィラーの配合割合を68.1質量%としたこと以外はシート3と同様にして熱伝導フィラーの充填量が40体積%のシート4を得た。
熱伝導フィラーとして、平均粒径4μmの炭化ケイ素[グリーンデンシック(登録商標)#3000、昭和電工(株)製]を72.3質量%用いたこと以外はシート1と同様にして熱伝導フィラーの充填量が45体積%のシート3を得た。
熱伝導フィラーの配合割合を68.1質量%としたこと以外はシート3と同様にして熱伝導フィラーの充填量が40体積%のシート4を得た。
(シート5および6の作製)
熱伝導フィラーとして、平均粒径2μmの炭化ケイ素[グリーンデンシック(登録商標)#6000、昭和電工(株)製]を72.3質量%用いたこと以外はシート1と同様にして熱伝導フィラーの充填量が45体積%のシート5を得た。
熱伝導フィラーの配合割合を68.1質量%としたこと以外はシート5と同様にして熱伝導フィラーの充填量が40体積%のシート6を得た。
熱伝導フィラーとして、平均粒径2μmの炭化ケイ素[グリーンデンシック(登録商標)#6000、昭和電工(株)製]を72.3質量%用いたこと以外はシート1と同様にして熱伝導フィラーの充填量が45体積%のシート5を得た。
熱伝導フィラーの配合割合を68.1質量%としたこと以外はシート5と同様にして熱伝導フィラーの充填量が40体積%のシート6を得た。
(シートAの作製)
熱伝導フィラーを配合せず、液状シリコーンゴム[CY52−276(商品名)、東レ・ダウコーニング(株)製]のみを用いたこと以外はシート1と同様にして、シートAを作製した。
熱伝導フィラーを配合せず、液状シリコーンゴム[CY52−276(商品名)、東レ・ダウコーニング(株)製]のみを用いたこと以外はシート1と同様にして、シートAを作製した。
(シートBの作製)
熱伝導フィラーとして、平均粒径40μmの炭化ケイ素[グリーンデンシック(登録商標)#320、昭和電工(株)製]を68.1質量%用いたこと以外はシート2と同様にして熱伝導フィラーの充填量が40体積%のシートBを得た。
熱伝導フィラーとして、平均粒径40μmの炭化ケイ素[グリーンデンシック(登録商標)#320、昭和電工(株)製]を68.1質量%用いたこと以外はシート2と同様にして熱伝導フィラーの充填量が40体積%のシートBを得た。
(2)耐熱性評価試験
(シートの初期物性値の測定)
シート1〜6、シートAおよびシートBを用い、積層して100mm×100mm×10mmのサンプルを作製した。各サンプルの熱伝導率を、ISO 22007−2に準拠したホットディスク法により測定する機械[TPS−500、京都電子工業(株)製]を用いて測定し表1に示した。
(シートの初期物性値の測定)
シート1〜6、シートAおよびシートBを用い、積層して100mm×100mm×10mmのサンプルを作製した。各サンプルの熱伝導率を、ISO 22007−2に準拠したホットディスク法により測定する機械[TPS−500、京都電子工業(株)製]を用いて測定し表1に示した。
また各サンプルの初期硬度A1(アスカーC硬度:表中「ASKER C」)を、JIS K7312に準拠した方法により、デュロメーターASKERC型(高分子計器株式会社製)を用いて測定した測定値を表1に示すとともに、初期硬度A1を以下の評価基準により評価した結果も併せて表1に示した。
×:硬度A1が0
〇:硬度A1が40以上60以下
◎:硬度A1が1以上39以下
×:硬度A1が0
〇:硬度A1が40以上60以下
◎:硬度A1が1以上39以下
(耐熱試験)
各サンプルを加熱装置(ESPEC小型高温チャンバー STH120)を用いて275℃の温度条件下100時間加熱した。加熱後のサンプルの状態を肉眼で観察するとともに、重量減少率[100×(加熱前の質量−加熱後の質量)/加熱前の質量]を算出した。また、加熱後のサンプルの硬度A2(アスカーC硬度)を、初期硬度A1と同様の方法により測定した測定値を表1に示すとともに、硬度A2を以下の評価基準により評価した結果も併せて表1に示した。
×:硬度A2が61以上
〇:硬度A2が40以上60以下
◎:硬度A2が1以上39以下
各サンプルを加熱装置(ESPEC小型高温チャンバー STH120)を用いて275℃の温度条件下100時間加熱した。加熱後のサンプルの状態を肉眼で観察するとともに、重量減少率[100×(加熱前の質量−加熱後の質量)/加熱前の質量]を算出した。また、加熱後のサンプルの硬度A2(アスカーC硬度)を、初期硬度A1と同様の方法により測定した測定値を表1に示すとともに、硬度A2を以下の評価基準により評価した結果も併せて表1に示した。
×:硬度A2が61以上
〇:硬度A2が40以上60以下
◎:硬度A2が1以上39以下
さらに、各サンプルにつき加熱後の硬度A2と加熱前の硬度A1との差(変化量)を算出し、以下の評価基準により評価した結果を表1に示した。
×:変化量が16以上
△:変化量が10以上15以下
〇:変化量が5以上9以下
◎:変化量が5未満
表1中、総合判定の欄には、熱伝導率が1W/m・K以上でアスカーC硬度が60以下であるとともに、275℃で100時間加熱後のアスカーC硬度が60以下であるであるか否かの判定結果を示した。具体的には熱伝導率が1W/m・K以上で初期硬度A1および硬度A2が60以下なら〇とし、これらの条件を満たしていないシートは×とした。
×:変化量が16以上
△:変化量が10以上15以下
〇:変化量が5以上9以下
◎:変化量が5未満
表1中、総合判定の欄には、熱伝導率が1W/m・K以上でアスカーC硬度が60以下であるとともに、275℃で100時間加熱後のアスカーC硬度が60以下であるであるか否かの判定結果を示した。具体的には熱伝導率が1W/m・K以上で初期硬度A1および硬度A2が60以下なら〇とし、これらの条件を満たしていないシートは×とした。
(3)結果と考察
耐熱試験後のシート1〜6ではシート表面のガラス化(脆化)は認められず質量減少率は1.1%以下であったが、耐熱試験後のシートAおよびシートBではシート表面がガラス化し、質量減少率が2.7%以上と高かった。
耐熱試験後のシート1〜6ではシート表面のガラス化(脆化)は認められず質量減少率は1.1%以下であったが、耐熱試験後のシートAおよびシートBではシート表面がガラス化し、質量減少率が2.7%以上と高かった。
平均粒径2μm〜5.5μmの熱伝導フィラーを含むシート1〜6の熱伝導率は1.00W/m・K以上と高く、耐熱試験後のアスカーC硬度が29〜50で、かつ、硬度変化が7以下であるという良好な結果が得られた。
一方、平均粒径40μmの熱伝導フィラーを含むシートBでは熱伝導率は高いものの、耐熱試験後のアスカーC硬度が65で、かつ硬度変化が32であった。そして、熱伝導フィラーを含まないシートAでは、シート1〜6およびシートBと比べて熱伝導率および硬度が低く、耐熱試験後の硬度は測定できなかった。
これらの結果から、平均粒径2μm〜5.5μmの熱伝導フィラーを充填することで、熱伝導性が高く耐熱性の優れた熱伝導シートを提供することができるが、平均粒径が40μmの熱伝導フィラーのみを含むシートでは、耐熱性が不十分であり、熱伝導フィラーを含まないシートでは熱伝導性すら発揮できないということがわかった。
2.小粒子フィラーと大粒子フィラーの混合量の検討
(1)小粒子フィラーと大粒子フィラーを用いたシートの作製
(シート7〜30の作製)
液状シリコーンゴム[CY52−276(商品名)、東レ・ダウコーニング(株)製]、小粒子フィラー[平均粒径5.5μmの炭化ケイ素、グリーンデンシック(登録商標)#2500、昭和電工(株)製]、および大粒子フィラー[平均粒径63μmの炭化ケイ素、グリーンデンシック(登録商標)F 180、昭和電工(株)製]を、真空脱泡ミキサーを用いて混練した後、コーターを用いて成形し、厚さ2mmのシートを作製した。
(1)小粒子フィラーと大粒子フィラーを用いたシートの作製
(シート7〜30の作製)
液状シリコーンゴム[CY52−276(商品名)、東レ・ダウコーニング(株)製]、小粒子フィラー[平均粒径5.5μmの炭化ケイ素、グリーンデンシック(登録商標)#2500、昭和電工(株)製]、および大粒子フィラー[平均粒径63μmの炭化ケイ素、グリーンデンシック(登録商標)F 180、昭和電工(株)製]を、真空脱泡ミキサーを用いて混練した後、コーターを用いて成形し、厚さ2mmのシートを作製した。
シート7〜9においては、熱伝導フィラーとして小粒子フィラーと大粒子フィラーとを1:1/4(質量比)の割合で混合してなる混合物を、72.3質量%、68.1質量%、63.4質量%用い、それぞれの熱伝導フィラーの充填量が45体積%、40体積%、35体積%となるようにした。
シート10〜12においては、熱伝導フィラーとして小粒子フィラーと大粒子フィラーとを1:1/2(質量比)の割合で混合してなる混合物を、72.3質量%、68.1質量%、63.4質量%用い、それぞれの熱伝導フィラーの充填量が45体積%、40体積%、35体積%となるようにした。
シート13〜16においては、熱伝導フィラーとして小粒子フィラーと大粒子フィラーとを1:2/3(質量比)の割合で混合してなる混合物を、77.5質量%、76.1質量%、68.1質量%、63.4質量%用い、それぞれの熱伝導フィラーの充填量が52体積%、50体積%、40体積%、35体積%となるようにした。
シート17〜19においては、熱伝導フィラーとして小粒子フィラーと大粒子フィラーとを1:1(質量比)の割合で混合してなる混合物を、79.5質量%、68.1質量%、63.4質量%用い、それぞれの熱伝導フィラーの充填量が55体積%、40体積%、35体積%となるようにした。
シート20〜24においては、熱伝導フィラーとして小粒子フィラーと大粒子フィラーとを1:3/2(質量比)の割合で混合してなる混合物を、79.5質量%、76.1質量%、68.1質量%、63.4質量%、58.0質量%用い、それぞれの熱伝導フィラーの充填量が55体積%、50体積%、40体積%、35体積%、30体積%となるようにした。
シート25〜27においては、熱伝導フィラーとして小粒子フィラーと大粒子フィラーとを1:2(質量比)の割合で混合してなる混合物を、79.5質量%、68.1質量%、63.4質量%用い、それぞれの熱伝導フィラーの充填量が55体積%、40体積%、35体積%となるようにした。
シート28〜30においては、熱伝導フィラーとして小粒子フィラーと大粒子フィラーとを1:3(質量比)の割合で混合してなる混合物を、82.6質量%、76.1質量%、74.7質量%用い、それぞれの熱伝導フィラーの充填量が60体積%、50体積%、48体積%となるようにした。
(2)耐熱性評価試験
(シートの初期物性値の測定)
シート7〜30を用い、積層して100mm×100mm×10mmのサンプルを作製した。各サンプルの熱伝導率を、ISO 22007−2に準拠したホットディスク法により測定する機械[TPS−500、京都電子工業(株)製]を用いて測定し表2に示した。
(シートの初期物性値の測定)
シート7〜30を用い、積層して100mm×100mm×10mmのサンプルを作製した。各サンプルの熱伝導率を、ISO 22007−2に準拠したホットディスク法により測定する機械[TPS−500、京都電子工業(株)製]を用いて測定し表2に示した。
また各サンプルの硬度A1(アスカーC硬度、初期硬度)を、JIS K7312に準拠した方法により、デュロメーターASKERC型(高分子計器株式会社製)を用いて測定し表2に示すとともに、初期硬度A1を以下の評価基準により評価した結果も併せて表1に示した。
〇:硬度A1が40以上60以下
◎:硬度A1が1以上39以下
〇:硬度A1が40以上60以下
◎:硬度A1が1以上39以下
(耐熱試験)
各サンプルを加熱装置(ESPEC小型高温チャンバー STH120)を用いて275℃の温度条件下100時間加熱した。加熱後のサンプルの状態を肉眼で観察するとともに、加熱後のサンプルの硬度A2(アスカーC硬度)を、初期硬度A1と同様の方法により測定し表2に示すとともに、硬度A2を以下の評価基準により評価した結果も併せて表1に示した。
×:硬度A2が61以上
〇:硬度A2が40以上60以下
◎:硬度A2が1以上39以下
各サンプルを加熱装置(ESPEC小型高温チャンバー STH120)を用いて275℃の温度条件下100時間加熱した。加熱後のサンプルの状態を肉眼で観察するとともに、加熱後のサンプルの硬度A2(アスカーC硬度)を、初期硬度A1と同様の方法により測定し表2に示すとともに、硬度A2を以下の評価基準により評価した結果も併せて表1に示した。
×:硬度A2が61以上
〇:硬度A2が40以上60以下
◎:硬度A2が1以上39以下
さらに、各サンプルにつき加熱後の硬度A2と加熱前の硬度A1との差(変化量)を算出し、以下の評価基準により評価した結果を表2に示した。表2には、1.で作製・検討したシート1〜2のデータについても併せて示した。
×:変化量が16以上
△:変化量が10以上15以下
〇:変化量が5以上9以下
◎:変化量が5未満
表2中、総合判定の欄には、熱伝導率が1W/m・K以上でアスカーC硬度が60以下であるとともに、275℃で100時間加熱後のアスカーC硬度が60以下であるであるか否かの判定結果を示した。具体的には熱伝導率が1W/m・K以上で初期硬度A1および硬度A2が60以下なら〇とした。
×:変化量が16以上
△:変化量が10以上15以下
〇:変化量が5以上9以下
◎:変化量が5未満
表2中、総合判定の欄には、熱伝導率が1W/m・K以上でアスカーC硬度が60以下であるとともに、275℃で100時間加熱後のアスカーC硬度が60以下であるであるか否かの判定結果を示した。具体的には熱伝導率が1W/m・K以上で初期硬度A1および硬度A2が60以下なら〇とした。
(3)結果と考察
耐熱試験後のシート7〜30ではシート表面のガラス化(脆化)は認められなかった。また、シート7〜30の熱伝導率は1.00W/m・K以上と高く、耐熱試験後のアスカーC硬度が19〜54で、かつ、硬度変化が15以下であるという結果が得られた。この結果から、本発明によれば、熱伝導性が高く耐熱性の優れた熱伝導シートを提供することができるということがわかった。
耐熱試験後のシート7〜30ではシート表面のガラス化(脆化)は認められなかった。また、シート7〜30の熱伝導率は1.00W/m・K以上と高く、耐熱試験後のアスカーC硬度が19〜54で、かつ、硬度変化が15以下であるという結果が得られた。この結果から、本発明によれば、熱伝導性が高く耐熱性の優れた熱伝導シートを提供することができるということがわかった。
小粒子フィラーが平均粒径5.5μm以下の炭化ケイ素であり、かつ、熱伝導フィラーの充填量が40体積%以上であるシート1〜2、シート7〜8、シート10〜11、シート13〜15、シート17〜19、シート20〜22、シート25〜26、シート28〜30では、硬度変化が−3〜6であった。この結果から、前記構成によると硬度変化を小さくすることができるということがわかった。
また、小粒子フィラーと大粒子フィラーとの混合割合が1:1/2〜1のシート10〜19でも、硬度変化が小さく、−4〜4であった。この結果から、前記構成によると硬度変化を小さくすることができるということがわかった。
また、小粒子フィラーと大粒子フィラーとの混合割合が1:1/2〜1のシート10〜19でも、硬度変化が小さく、−4〜4であった。この結果から、前記構成によると硬度変化を小さくすることができるということがわかった。
Claims (5)
- 流動性を有するゴムに熱伝導フィラーを充填し、混練・成形してなる熱伝導シートであって、
前記熱伝導フィラーは、平均粒径10μm以下の小粒子フィラーを含み、かつ、
熱伝導率が1W/m・K以上であるとともに、加熱後のアスカーC硬度が60以下である熱伝導シート。 - 前記ゴムがシリコーンゲルであり、かつ、
前記熱伝導フィラーは、前記小粒子フィラーと平均粒径50μm以上100μm以下の大粒子フィラーとを、前記小粒子フィラーと前記大粒子フィラーとの質量比1:0.5〜1:1の割合で混合してなり、
前記小粒子フィラーおよび前記大粒子フィラーは、それぞれ炭化ケイ素である請求項1に記載の熱伝導シート。 - 流動性を有するゴムに熱伝導フィラーを充填し、混練・成形してなる熱伝導シートであって、
前記熱伝導フィラーは、平均粒径10μm以下の小粒子フィラーと平均粒径50μm以上100μm以下の大粒子フィラーとを、前記小粒子フィラーと前記大粒子フィラーとの質量比1:0.5〜1:2の割合で混合してなり、かつ、
熱伝導率が1W/m・K以上であるとともに、加熱後のアスカーC硬度が60以下である熱伝導シート。 - 前記ゴムがシリコーンゲルであり、かつ、前記小粒子フィラーおよび前記大粒子フィラーは、それぞれ炭化ケイ素であり、前記熱伝導フィラーは、前記小粒子フィラーと前記大粒子フィラーとを、前記小粒子フィラーと前記大粒子フィラーとの質量比1:0.5〜1:1の割合で混合してなる請求項3に記載の熱伝導シート。
- 前記小粒子フィラーは、平均粒径5.5μm以下の炭化ケイ素であり、かつ、前記熱伝導フィラーの充填量が40体積%以上である請求項1〜4のいずれか一項に記載の熱伝導シート。
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