JP2016110688A - 半導体装置及びその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
Description
半導体装置が有するメモリセル100を説明する。図1(A)に示すメモリセル100は、第1のトランジスタ101、第2のトランジスタ102、第1の容量素子103、第2の容量素子104及び第3のトランジスタ105を有する。例えば、半導体装置は記憶装置である。なお、半導体装置としては、主にメモリとして機能する記憶装置に限らず、その半導体装置に別の機能があってもよい。例えば、半導体装置は、メモリセル100を有する中央演算処理装置(CPU)である。例えば、半導体装置は、その中央演算処理装置を有するコンピュータ(パーソナルコンピュータ又はマイクロコンピュータなど)である。例えば、半導体装置は、そのコンピュータに加えて、物理的仕掛け、電磁的仕掛け、視覚的仕掛け、聴覚的仕掛けなどの仕掛けを備えた電子機器である。
図17を用いて、図7に示した半導体装置の作製工程の一例を説明する。詳細は特許文献1を参照することができる。
実施の形態1の半導体装置のより具体的な態様として、1kビットの記憶容量をもつ記憶装置の設計例について説明する。
酸化物半導体が用いられたトランジスタ(以下、”OSトランジスタ”と呼ぶ。)について説明する。
図26にOSトランジスタの構成の一例を示す。図26(A)はOSトランジスタの構成の一例を示す上面図である。図26(B)は、y1−y2線断面図であり、図26(C)はx1−x2線断面図であり、図26(D)はx3−x4線断面図である。ここでは、y1−y2線の方向をチャネル長方向と、x1−x2線方向をチャネル幅方向と呼称する場合がある。よって、図26(B)は、OSトランジスタのチャネル長方向の断面構造を示す図であり、図26(C)および図26(D)は、OSトランジスタのチャネル幅方向の断面構造を示す図である。なお、デバイス構造を明確にするため、図26(A)では、一部の構成要素が省略されている。
絶縁層511−516は、単層構造または積層構造の絶縁膜で形成される。絶縁膜を構成する材料には、例えば、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウム、酸化タンタルなどがある。
導電膜674は、銅(Cu)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、金(Au)、アルミニウム(Al)、マンガン(Mn)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、鉛(Pb)、錫(Sn)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ルテニウム(Ru)、白金(Pt)、イリジウム(Ir)、ストロンチウム(Sr)の低抵抗材料からなる単体、もしくは合金、またはこれらを主成分とする化合物を含む導電膜の単層または積層とすることが好ましい。特に、耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましい。また、アルミニウムや銅などの低抵抗導電性材料で形成することが好ましい。さらに、Cu−Mn合金を用いると、酸素を含む絶縁体との界面に酸化マンガンを形成し、酸化マンガンがCuの拡散を抑制する機能を持つので好ましい。
半導体層522は、例えば、インジウム(In)を含む酸化物半導体である。半導体層522は、例えば、インジウムを含むと、キャリア移動度(電子移動度)が高くなる。また、半導体層522は、元素Mを含むと好ましい。元素Mは、好ましくは、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、イットリウム(Y)またはスズ(Sn)などとする。そのほかの元素Mに適用可能な元素としては、ホウ素(B)、シリコン(Si)、チタン(Ti)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、ゲルマニウム(Ge)、ジルコニウム(Zr)、モリブデン(Mo)、ランタン(La)、セリウム(Ce)、ネオジム(Nd)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、タングステン(W)などがある。ただし、元素Mとして、前述の元素を複数組み合わせても構わない場合がある。元素Mは、例えば、酸素との結合エネルギーが高い元素である。例えば、酸素との結合エネルギーがインジウムよりも高い元素である。または、元素Mは、例えば、酸化物半導体のエネルギーギャップを大きくする機能を有する元素である。また、半導体層522は、亜鉛(Zn)を含むと好ましい。酸化物半導体は、亜鉛を含むと結晶化しやすくなる場合がある。
図27を参照して、半導体層521、半導体層522、および半導体層523の積層により構成される半導体領域520の機能およびその効果について、説明する。図27(A)は、図26(B)の部分拡大図であり、OSトランジスタ581の活性層(チャネル部分)を拡大した図である。図27(B)はOSトランジスタ581の活性層領域のエネルギーバンド構造であり、図27(A)の点線Z1−Z2で示す部位のエネルギーバンド構造を示している。
基板510としては、例えば、絶縁体基板、半導体基板または導電体基板を用いればよい。絶縁体基板は、例えば、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、安定化ジルコニア基板(イットリア安定化ジルコニア基板など)、樹脂基板などである。また、半導体基板は、例えば、シリコン、ゲルマニウムなどの単体半導体基板、または炭化シリコン、シリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、酸化亜鉛、酸化ガリウムからなる化合物半導体基板などである。半導体基板は、バルク型でよいし、半導体基板に絶縁領域を介して半導体層が設けられているSOI(Silicon On Insulator)型でもよい。導電体基板は、黒鉛基板、金属基板、合金基板、導電性樹脂基板などである。または、金属の窒化物を有する基板、金属の酸化物を有する基板などがある。さらには、絶縁体基板に導電体または半導体が設けられた基板、半導体基板に導電体または絶縁体が設けられた基板、導電体基板に半導体または絶縁体が設けられた基板などである。または、上掲された基板に素子が設けられたものを用いてもよい。基板に設けられる素子は、容量素子、抵抗素子、スイッチ素子、発光素子、記憶素子などである。
図26(A)に示すOSトランジスタ581は、導電層530をマスクにして、半導体層523及び絶縁層515をエッチングすることができる。そのような工程を経たOSトランジスタの構成例を図28(A)に示す。図28(A)に示すOSトランジスタ582では、半導体層523および絶縁層515の端部は導電層530の端部とほぼ一致することになる。導電層530の下部のみに半導体層523および絶縁層513が存在する。
図28(B)に示すOSトランジスタ583は、OSトランジスタ582に導電層535、導電層536を追加したデバイス構造を有する。OSトランジスタ583のソース電極およびドレイン電極として一対の電極は、導電層535と導電層531の積層、および導電層536と導電層532の積層で構成される。
図26に示すOSトランジスタ581は、導電層531及び導電層532が、半導体層521、522の側面と接していてもよい。そのような構成例を図28(C)に示す。図28(C)に示すOSトランジスタ584は、導電層531及び導電層532が半導体層521の側面及び半導体層522の側面と接している。
<酸化物半導体の構造>
以下では、酸化物半導体の構造について説明する。本明細書において、「平行」とは、二つの直線が−10°以上10°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、−5°以上5°以下の場合も含まれる。また、「略平行」とは、二つの直線が−30°以上30°以下の角度で配置されている状態をいう。また、「垂直」とは、二つの直線が80°以上100°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、85°以上95°以下の場合も含まれる。また、「略垂直」とは、二つの直線が60°以上120°以下の角度で配置されている状態をいう。また、本明細書において、結晶が三方晶または菱面体晶である場合、六方晶系として表す。
まずは、CAAC−OSについて説明する。CAAC−OSは、c軸配向した複数の結晶部(ペレットともいう。)を有する酸化物半導体の一つである。
nc−OSは、高分解能TEM像において、結晶部を確認することのできる領域と、明確な結晶部を確認することのできない領域と、を有する。nc−OSに含まれる結晶部は、1nm以上10nm以下、または1nm以上3nm以下の大きさであることが多い。なお、結晶部の大きさが10nmより大きく100nm以下である酸化物半導体を微結晶酸化物半導体と呼ぶことがある。nc−OSは、例えば、高分解能TEM像では、結晶粒界を明確に確認できない場合がある。なお、ナノ結晶は、CAAC−OSにおけるペレットと起源を同じくする可能性がある。そのため、以下ではnc−OSの結晶部をペレットと呼ぶ場合がある。
a−like OSは、nc−OSと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する酸化物半導体である。a−like OSは、高分解能TEM像において鬆が観察される場合がある。また、高分解能TEM像において、明確に結晶部を確認することのできる領域と、結晶部を確認することのできない領域と、を有する。鬆を有するため、a−like OSは、不安定な構造である。以下では、a−like OSが、CAAC−OSおよびnc−OSと比べて不安定な構造であることを示すため、電子照射による構造の変化を示す。
なお、第1の金属酸化物層および第3の金属酸化物層の厚さは、3nm以上100nm以下、好ましくは3nm以上50nm以下とする。また、第2の金属酸化物層の厚さは、3nm以上200nm以下、好ましくは3nm以上100nm以下であり、さらに好ましくは3nm以上50nm以下である。
20 記憶装置
100 メモリセル
101 第1のトランジスタ
102 第2のトランジスタ
103 第1の容量素子
104 第2の容量素子
105 第3のトランジスタ
106 第1の配線
106_1 第1の配線
106_2 第1の配線
107 第2の配線
107_1 第2の配線
107_2 第2の配線
108 第3の配線
108_1 第3の配線
108_2 第3の配線
109 第4の配線
109_1 第4の配線
109_2 第4の配線
110 第5の配線
110_1 第5の配線
110_2 第5の配線
111 第6の配線
111_1 第6の配線
111_2 第6の配線
112 ノード
200 メモリセル
201 第1のトランジスタ
202 第2のトランジスタ
203 第1の容量素子
204 第2の容量素子
205 第3のトランジスタ
212 ノード
300 メモリセル
301 第7の配線
301_1 第7の配線
301_2 第7の配線
400 メモリセル
500_1 メモリセル
500_2 メモリセル
500_3 メモリセル
501 行ドライバ
502 列ドライバ
503 メモリセルアレイ
510 基板
511 絶縁層
512 絶縁層
513 絶縁層
514 絶縁層
515 絶縁層
516 絶縁層
520 半導体領域
521 半導体層
522 半導体層
523 半導体層
530 導電層
531 導電層
532 導電層
533 導電層
535 導電層
536 導電層
561 素子層
565 導電層
581 OSトランジスタ
582 OSトランジスタ
583 OSトランジスタ
584 OSトランジスタ
600_1 メモリセル
600_2 メモリセル
600_3 メモリセル
601 行ドライバ
602 列ドライバ
603 メモリセルアレイ
701 半導体基板
702 N型ウェル
703 不純物領域
704 不純物領域
705 不純物領域
706 素子分離絶縁領域
707 絶縁層
708 絶縁層
709 導電層
710 半導体層
711 導電層
712 導電層
713 絶縁層
714 導電層
715 導電層
716 導電層
717 絶縁層
718 導電層
719 トランジスタ
720 トランジスタ
721 容量素子
722 容量素子
723 導電層
801 絶縁層
802 導電層
803 導電層
901 導電層
902 導電層
1000_1 メモリセル
1000_2 メモリセル
1000_3 メモリセル
1001 行ドライバ
1002 列ドライバ
1003 メモリセルアレイ
1004_1 導電層
1004_2 導電層
1005_1 導電層
1005_2 導電層
1006_1 導電層
1006_2 導電層
1007_1 導電層
1007_2 導電層
1008_1 導電層
1008_2 導電層
1009_1 コンタクトホール
1009_2 コンタクトホール
1009_3 コンタクトホール
1010_1 導電層
1010_2 導電層
1101 導電層
1401 導電層
1500 コンピュータ
1501 入力装置
1502 出力装置
1503 中央演算処理装置
1504 記憶装置
1505 制御回路
1506 演算回路
1601 筐体
1602 筐体
1603 表示部
1604 表示部
1605 マイクロフォン
1606 スピーカー
1607 操作キー
1608 スタイラス
1611 筐体
1612 筐体
1613 表示部
1614 表示部
1615 接続部
1616 操作キー
1621 筐体
1622 表示部
1623 キーボード
1624 ポインティングデバイス
1631 筐体
1632 冷蔵室用扉
1633 冷凍室用扉
1641 筐体
1642 筐体
1643 表示部
1644 操作キー
1645 レンズ
1646 接続部
1651 車体
1652 車輪
1653 ダッシュボード
1654 ライト
1701 コンタクトホール
1801 導電層
1802 絶縁層
1803 導電層
1804 導電層
1805 絶縁層
1806 導電層
1807 導電層
1808 絶縁層
1809 導電層
2001_1 導電層
2001_2 導電層
2001_3 導電層
2001_4 導電層
2002_1 導電層
2002_2 導電層
2002_3 導電層
2002_4 導電層
2003_1 導電層
2003_2 導電層
2003_3 導電層
2003_4 導電層
2004_1 導電層
2004_2 導電層
2005_1 導電層
2005_2 導電層
2006_1 コンタクトホール
2006_2 コンタクトホール
2006_3 コンタクトホール
2006_4 コンタクトホール
2007_1 コンタクトホール
2007_2 コンタクトホール
2007_3 コンタクトホール
2007_4 コンタクトホール
2008_1 容量素子
2008_2 容量素子
2008_3 容量素子
2008_4 容量素子
2009_1 容量素子
2009_2 容量素子
2009_3 容量素子
2009_4 容量素子
5100 ペレット
5120 基板
5161 領域
Claims (17)
- 第1のトランジスタと、
第2のトランジスタと、
第3のトランジスタと、
第1の容量素子と、
第2の容量素子と、を有し、
前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方は、第1の配線に電気的に接続され、
前記第1のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第2のトランジスタのゲートに電気的に接続され、
前記第1のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの前記他方は、前記第1の容量素子の第1の電極に電気的に接続され、
前記第1のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの前記他方は、前記第2の容量素子の第1の電極に電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのソース及びドレインの一方は、第2の配線に電気的に接続され、
前記第3のトランジスタと前記第2のトランジスタは直列に電気的に接続され、
前記第1の容量素子の第2の電極は、第3の配線に電気的に接続され、
前記第2の容量素子の第2の電極は、第4の配線に電気的に接続される半導体装置。 - 請求項1において、
前記第1のトランジスタのゲートは第5の配線に電気的に接続され、前記第3のトランジスタのゲートは第6の配線に電気的に接続される半導体装置。 - 請求項1又は2において、
前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第3のトランジスタのソース及びドレインの一方に電気的に接続され、
前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第1の配線に電気的に接続される半導体装置。 - 請求項1又は2において、
前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第3のトランジスタのソース及びドレインの一方に電気的に接続され、
前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、第7の配線に電気的に接続される半導体装置。 - 請求項1又は2において、
前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの前記一方は、前記第3のトランジスタのソース及びドレインの一方に電気的に接続され、
前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第1の配線に電気的に接続され、
前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第2の配線に電気的に接続される半導体装置。 - 請求項1又は2において、
前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの前記一方は、前記第3のトランジスタのソース及びドレインの一方に電気的に接続され、
前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、第7の配線に電気的に接続され、
前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第2の配線に電気的に接続される半導体装置。 - 請求項1乃至6のいずれか一項において、前記第1のトランジスタは、チャネル形成領域を含む酸化物半導体層を有する半導体装置。
- 第1のメモリセルと、
第2のメモリセルと、
第3のメモリセルと、を有し、
前記第1のメモリセル、前記第2のメモリセル及び前記第3のメモリセルは、それぞれ、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、第3のトランジスタと、第1の容量素子と、第2の容量素子と、を有し、
前記第1のメモリセルにおいて、前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方は、第1の配線に電気的に接続され、
前記第2のメモリセルにおいて、前記第1のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの一方は、第2の配線に電気的に接続され、
前記第3のメモリセルにおいて、前記第1のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの一方は、前記第1の配線に電気的に接続され、
前記第1のメモリセル、前記第2のメモリセル及び前記第3のメモリセルのそれぞれにおいて、前記第1のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第2のトランジスタのゲートに電気的に接続され、
前記第1のメモリセル、前記第2のメモリセル及び前記第3のメモリセルのそれぞれにおいて、前記第1のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの前記他方は、前記第1の容量素子の第1の電極に電気的に接続され、
前記第1のメモリセル、前記第2のメモリセル及び前記第3のメモリセルのそれぞれにおいて、前記第1のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの前記他方は、前記第2の容量素子の第1の電極に電気的に接続され、
前記第1のメモリセルにおいて、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの一方は、第3の配線に電気的に接続され、
前記第2のメモリセルにおいて、前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの一方は、第4の配線に電気的に接続され、
前記第3のメモリセルにおいて、前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの前記一方は、第3の配線に電気的に接続され、
前記第1のメモリセル、前記第2のメモリセル及び前記第3のメモリセルのそれぞれにおいて、前記第3のトランジスタと前記第2のトランジスタは直列に電気的に接続され、
前記第1のメモリセルにおいて、前記第1の容量素子の第2の電極は、第5の配線に電気的に接続され、
前記第2のメモリセルにおいて、前記第1の容量素子の第2の電極は、前記第5の配線に電気的に接続され、
前記第3のメモリセルにおいて、前記第1の容量素子の第2の電極は、前記第5の配線に電気的に接続され、
前記第1のメモリセルにおいて、前記第2の容量素子の第2の電極は、第6の配線に電気的に接続され、
前記第2のメモリセルにおいて、前記第2の容量素子の第2の電極は、前記第6の配線に電気的に接続され、
前記第3のメモリセルにおいて、前記第2の容量素子の第2の電極は、第7の配線に電気的に接続される半導体装置。 - 請求項8において、
前記第1のメモリセルにおいて、前記第1のトランジスタのゲートは第8の配線に電気的に接続され、
前記第2のメモリセルにおいて、前記第1のトランジスタのゲートは前記第8の配線に電気的に接続され、
前記第3のメモリセルにおいて、前記第1のトランジスタのゲートは第9の配線に電気的に接続され、
前記第1のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタのゲートは第10の配線に電気的に接続され、
前記第2のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタのゲートは前記第10の配線に電気的に接続され、
前記第3のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタのゲートは第11の配線に電気的に接続される半導体装置。 - 請求項8又は9において、
前記第1のメモリセル、前記第2のメモリセル及び前記第3のメモリセルのそれぞれにおいて、前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第3のトランジスタのソース及びドレインの一方に電気的に接続され、
前記第1のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第1の配線に電気的に接続され、
前記第2のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第2の配線に電気的に接続され、
前記第3のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第1の配線に電気的に接続され、
る半導体装置。 - 請求項8又は9において、
前記第1のメモリセル、前記第2のメモリセル及び前記第3のメモリセルのそれぞれにおいて、前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第3のトランジスタのソース及びドレインの一方に電気的に接続され、
前記第1のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第3の配線に電気的に接続され、
前記第2のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第4の配線に電気的に接続され、
前記第3のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第3の配線に電気的に接続される半導体装置。 - 請求項8又は9において、
前記第1のメモリセル、前記第2のメモリセル及び前記第3のメモリセルのそれぞれにおいて、前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第3のトランジスタのソース及びドレインの一方に電気的に接続され、
前記第1のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、第12の配線に電気的に接続され、
前記第2のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、第13の配線に電気的に接続され、
前記第3のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第12の配線に電気的に接続される半導体装置。 - 請求項8又は9において、
前記第1のメモリセル、前記第2のメモリセル及び前記第3のメモリセルのそれぞれにおいて、前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの前記一方は、前記第3のトランジスタのソース及びドレインの一方に電気的に接続され、
前記第1のメモリセルにおいて、前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、第12の配線に電気的に接続され、
前記第2のメモリセルにおいて、前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、第13の配線に電気的に接続され、
前記第3のメモリセルにおいて、前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第12の配線に電気的に接続され、
前記第1のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第3の配線に電気的に接続され、
前記第2のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第4の配線に電気的に接続され、
前記第3のメモリセルにおいて、前記第3のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第3の配線に電気的に接続される半導体装置。 - 請求項8乃至13のいずれか一項において、前記第1のメモリセル、前記第2のメモリセル及び前記第3のメモリセルのそれぞれにおいて、前記第1のトランジスタは、チャネル形成領域を含む酸化物半導体層を有する半導体装置。
- メモリセルを有し、
前記メモリセルは、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、第3のトランジスタと、第1の容量素子と、第2の容量素子と、を有し、
前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方は、第1の配線に電気的に接続され、
前記第1のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第2のトランジスタのゲートに電気的に接続され、
前記第1のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの前記他方は、前記第1の容量素子の第1の電極に電気的に接続され、
前記第1のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの前記他方は、前記第2の容量素子の第1の電極に電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのソース及びドレインの一方は、第2の配線に電気的に接続され、
前記第2のトランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方は、前記第3のトランジスタのソース及びドレインの一方に電気的に接続され、
前記第3のトランジスタのソース及びドレインの他方は、前記第1の配線に電気的に接続される半導体装置の駆動方法であって、
前記メモリセルへデータを書き込むとき、前記第1の容量素子の第2の電極及び前記第2の容量素子の第2の電極に、第1の電位を供給し、
前記メモリセルからデータを読み出すとき、前記第1の容量素子の前記第2の電極に前記第1の電位を供給し、前記第2の容量素子の前記第2の電極に第2の電位を供給する半導体装置の駆動方法。 - 請求項15において、
前記第1のトランジスタはNチャネル型トランジスタであり、前記第2のトランジスタはPチャネル型トランジスタであり、前記第2の電位は前記第1の電位よりも高い半導体装置の駆動方法。 - 請求項15又は16において、
前記メモリセルからデータを読み出すとき、前記第2の配線には前記第2の電位が供給されている半導体装置の駆動方法。
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