JP2016106434A - 光電変換装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ている。その代表例としては、単結晶シリコンや多結晶シリコンなどの結晶性シリコン基
板を用いた太陽電池が知られている。
となる層を不純物の拡散で該結晶性シリコン基板の一方の面側に形成する、所謂ホモ接合
を有する構成が広く用いられている。
及び導電型の異なる非晶質シリコンを成膜し、ヘテロ接合を形成した構成も知られている
(特許文献1、2参照)。
られているため、該窓層において光吸収損失が発生する。
流として取り出せる光キャリアのほとんどはp−n接合より裏面電極側の結晶性シリコン
基板内で発生する。従って、窓層で吸収された光は実質的に利用されないため、窓層は結
晶性シリコンが光感度を有する波長範囲内において透光性を有する材料で形成することが
好ましい。
ることを目的とする。
表面のパッシベーション効果の高い窓層を有する光電変換装置に関する。
シリコン基板に接する透光性半導体層と、を有し、透光性半導体層は、有機化合物及び無
機化合物で形成されていることを特徴とする光電変換装置である。
れる。
晶性シリコン基板の一方の面に接する第1の非晶質シリコン層と、第1の非晶質シリコン
層に接する透光性半導体層と、結晶性シリコン基板の他方の面に接する第2の非晶質シリ
コン層と、第2の非晶質シリコン層に接するシリコン半導体層と、を有し、透光性半導体
層は、有機化合物及び無機化合物で形成されていることを特徴とする光電変換装置である
。
ために付すものであり、順序や数を限定するものではないことを付記する。
と、結晶性シリコン基板の一方の面に接する透光性半導体層と、結晶性シリコン基板の他
方の面に接する非晶質シリコン層と、非晶質シリコン層に接するシリコン半導体層と、を
有し、透光性半導体層は、有機化合物及び無機化合物で形成されていることを特徴とする
光電変換装置である。
導電型はp型であり、非晶質シリコン層はi型であることが好ましい。
第8族に属する金属の酸化物を用いることができる。具体的には酸化バナジウム、酸化ニ
オブ、酸化タンタル、酸化クロム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化マンガン、
または酸化レニウムなどがある。
分子化合物、ジベンゾフラン骨格もしくはジベンゾチオフェン骨格を含む複素環化合物の
いずれかを用いることができる。
変換効率の高い光電変換装置を提供することができる。
以下の説明に限定されず、その形態および詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれ
ば容易に理解される。また、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈さ
れるものではない。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一部分又は同様
な機能を有する部分には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略することがある。
本実施の形態では、本発明の一態様における光電変換装置、及びその作製方法について説
明する。
、結晶性シリコン基板100、該結晶性シリコン基板に接する透光性半導体層120及び
第1の電極140、並びに透光性半導体層120に接する第2の電極160を含んで構成
される。なお、第2の電極160はグリッド電極であり、第2の電極160が形成された
面側が受光面となる。
に凹凸加工を施した例を示している。凹凸加工された面では入射光が多重反射し、光電変
換領域内には光が斜めに進行することから光路長が増大する。また、裏面反射光が表面で
全反射する、所謂光閉じ込め効果を起こさせることもできる。また、受光面となる表面に
凸部または凹部の間隔が数十nm乃至数百nmとなるような凹凸加工を施すと、300n
m乃至1200nmの範囲の波長の光の反射率を5%以下に抑えることができ、高い反射
防止効果を付与することもできる。なお、図1(B)に例示した構成に限らず、表裏のど
ちらか一方のみに凹凸加工を施した構成であっても良い。また、表裏ともに同様の形状の
凹凸加工を施した構成であっても良い。
基板100の導電型とは逆の導電型を有する層である。従って、結晶性シリコン基板10
0と透光性半導体層120の界面にp−n接合が形成される。ここで、本発明の一態様に
おける透光性半導体層120はp型の導電型を有するため、結晶性シリコン基板100に
はn型の導電型を有する結晶性シリコン基板を用いる。
性シリコン基板100と同じ導電型を有し、かつキャリア密度が結晶性シリコン基板10
0よりも高い層をBSF(Back Surface Field)層として設けても良
い。本実施の形態では、BSF層としてn+層を設けることにより、n−n+接合が形成
され、その電界により少数キャリアがp−n接合側にはね返されることから、第1の電極
140近傍でのキャリアの再結合を防止することができる。
ある。該無機化合物としては、遷移金属酸化物を用いることができ、特に元素周期表にお
ける第4族乃至第8族に属する金属の酸化物であることが好ましい。具体的には酸化バナ
ジウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化クロム、酸化モリブデン、酸化タングステン、
酸化マンガン、酸化レニウムなどを用いることができる。中でも特に、酸化モリブデンは
大気中でも安定であり、吸湿性が低く、扱いやすいため好ましい。
水素、高分子化合物(オリゴマー、デンドリマー、ポリマー等)、ジベンゾフラン骨格も
しくはジベンゾチオフェン骨格を含む複素環化合物など、種々の化合物を用いることがで
きる。なお、複合材料に用いる有機化合物としては、正孔輸送性の高い有機化合物を用い
る。具体的には、10−6cm2/Vs以上の正孔移動度を有する物質であることが好ま
しい。但し、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いても
よい。
キャリア密度が高く、p型の半導体特性を示す。また、該複合材料は、可視光域から赤外
域の広い波長範囲に渡って透過率が高い特性を有している。
ないことから界面の欠陥を低減させることができ、キャリアのライフタイムを向上させる
ことができる。
のキャリアのライフタイムは、有機化合物に4−フェニル−4’−(9−フェニルフルオ
レン−9−イル)トリフェニルアミン(略称:BPAFLP)、無機化合物に酸化モリブ
デン(VI)を用いた場合で、700μsec以上、有機化合物に4,4’−ビス[N−
(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:NPB)、無機化合物に酸
化モリブデン(VI)を用いた場合で、400μsec以上であることが実験で確かめら
れている。なお、パッシベーション膜を形成しないn型の単結晶シリコン基板のライフタ
イムは、約40μsec、該単結晶シリコン基板の両面にスパッタ法でインジウム錫酸化
物(ITO)を成膜した場合のライフタイムは、約30μsecである。
たため、窓層は接合より裏面電極側の光吸収領域とほぼ同じ光吸収特性を有していた。こ
の窓層においても光キャリアは発生するが、少数キャリアの寿命が短く、電流として取り
出すことができないため、窓層における光吸収は大きな損失となっていた。
て該複合材料を用いることにより、窓層での光吸収が低減し、光吸収領域において効率良
く光電変換を行うことできるようになる。また、上述したように、該複合材料は、シリコ
ン表面のパッシベーション効果が非常に高い。従って、光電変換装置の変換効率を向上さ
せることができる。
合部以外に透光性の絶縁膜を設けても良い。該絶縁膜を設けることで、透光性半導体層1
20の表面欠陥を低減させることができる。透光性絶縁膜としては、プラズマCVD法や
スパッタ法で成膜される酸化珪素膜や窒化珪素膜を用いることができる。
の間に透光性導電膜180を設けた構成を例示したものである。このように、該透光性導
電膜を設けることで透光性半導体層120における抵抗損失を低減させることができる。
記した領域が、透光性半導体層とp型のシリコン半導体層の積層構造であっても良い。該
シリコン半導体層を設けることでp型領域(透光性半導体層とp型のシリコン半導体層の
積層部分)のキャリア密度を増加させることができる。その結果、内部電界を高めること
ができ、光電変換装置の電気特性を向上させることができる。なお、ここで用いるp型の
シリコン半導体層は、膜厚を極めて薄くすることができるため、その光吸収損失はほとん
ど無視することができる。
る。
する単結晶シリコン基板や多結晶シリコン基板を用いることができる。これらの結晶性シ
リコン基板の製造方法は、特に限定されない。本実施の形態においては、MCZ(Mag
netic Czochralski)法で製造された(100)面を表面に有する単結
晶シリコン基板を用いる(図7(A)参照)。
グ液(例えば、10%水酸化カリウム水溶液など)を使用して、結晶性シリコン基板10
0の表裏をエッチングする。本実施の形態では、(100)面を表面に有する単結晶シリ
コン基板を用いているため、(111)面とのエッチング速度の差によって、結晶性シリ
コン基板100の表裏に第1の凹凸210を形成することができる(図7(B)参照)。
このとき、受光面となる一方の面側をレジストマスクで覆い、他方の面側のみに第1の凹
凸210を形成しても良い。なお、アルカリ性のエッチング液を用いた方法では、アスペ
クト比0.5以上3以下の凸部を2μm以上10μm以下の周期で形成することができる
。
第2の凹凸220を形成する。例えば、フルオロカーボン系のガスと塩素系のガスを用い
てRIEモードで結晶性シリコンのエッチングを行えば良い。具体的には、アスペクト比
が3以上15以下の凸部を60nm以上500nm以下の周期で形成することができる。
なお、ドライエッチング法では、面方位に依存せずエッチングが均等に進行するため、結
晶性シリコン基板100に多結晶シリコン基板を用いる場合は、表裏ともにドライエッチ
ング法で凹凸を形成することが好ましい。なお、上記凹凸加工法は一例であり、限定され
るものではない。
形成する(図8(A)参照)。透光性半導体層120は、前述した無機化合物及び有機化
合物の共蒸着法により形成する。共蒸着法とは、一つの成膜室内で複数の蒸発源から同時
に蒸着を行う蒸着法である。成膜は高真空下で行われることが好ましい。高真空は、成膜
室内を真空排気手段により真空度が5×10−3Pa以下、好ましくは10−4Pa乃至
10−6Pa程度の範囲なるように真空排気することで得られる。
オレン−9−イル)トリフェニルアミン(略称:BPAFLP)及び酸化モリブデン(V
I)を共蒸着することにより形成する。その膜厚は、50nmとし、BPAFLPと酸化
モリブデンの比率は、重量比で2:1(=BPAFLP:酸化モリブデン)となるように
調節する。
を付与するドーパント(リン、ヒ素、アンチモンなど)を裏面側となる結晶性シリコン基
板100の他方の面に高濃度に拡散する工程を行えば良い。
る(図8(B)参照)。第1の電極140には、銀、銅などの低抵抗金属を用いることが
でき、スパッタ法や真空蒸着法などで形成することができる。または、スクリーン印刷法
を用いて、銀ペーストや、銅ペーストなどの導電性樹脂で形成しても良い。
の電極160はグリッド電極であり、銀ペースト、銅ペースト、ニッケルペースト、モリ
ブデンペーストなどの導電性樹脂を用いて、スクリーン印刷法で形成することが好ましい
。また、第2の電極160は、銀ペーストと銅ペーストを積層するなど、異なる材料の積
層であっても良い。
性半導体層120上に透光性導電膜180を形成すれば良い。透光性導電膜には、例えば
、インジウム錫酸化物、珪素を含むインジウム錫酸化物、亜鉛を含む酸化インジウム、酸
化亜鉛、ガリウムを含む酸化亜鉛、アルミニウムを含む酸化亜鉛、酸化錫、フッ素を含む
酸化錫、アンチモンを含む酸化錫、またはグラフェン等を用いることができる。また、透
光性導電膜は単層に限らず、異なる膜の積層でも良い。例えば、インジウム錫酸化物とア
ルミニウムを含む酸化亜鉛の積層や、インジウム錫酸化物とフッ素を含む酸化錫の積層な
どを用いることができる。膜厚は総厚で10nm以上1000nm以下とする。
ることができる。
本実施の形態では、実施の形態1で説明した光電変換装置とは異なる構成の光電変換装置
、及びその作製方法を説明する。
コン層311及び第2の非晶質シリコン層312、該非晶質シリコン層と接する透光性半
導体層320及びシリコン半導体層330、シリコン半導体層330と接する第1の電極
340、並びに透光性半導体層320と接する第2の電極360を含んで構成される。な
お、第2の電極360が形成された面側が受光面となる。
に凹凸加工を施した例を示している。凹凸加工の効果の詳細については、実施の形態1を
参照することができる。
ない高品質なi型半導体層であり、結晶性シリコン基板表面の欠陥を終端することができ
る。なお、本明細書において、i型の半導体とは、フェルミ準位がバンドギャップの中央
に位置する所謂真性半導体の他、半導体に含まれるp型若しくはn型を付与する不純物が
1×1020cm−3以下の濃度であり、暗伝導度に対して光伝導度が100倍以上であ
る半導体を指す。このi型のシリコン半導体には、周期表第13族または第15族の元素
が不純物として含まれるものであっても良い。
基板300の導電型とは逆の導電型を有する半導体層である。従って、結晶性シリコン基
板300と透光性半導体層320の界面では、第2の非晶質シリコン層312を介してp
−n接合が形成される。ここで、本発明の一態様における透光性半導体層320はp型の
導電型を有するため、結晶性シリコン基板300にはn型の導電型を有する結晶性シリコ
ン基板を用いる。
ン層311を介してn−n+接合が形成される。つまり、シリコン半導体層330はBS
F層として作用する。
該有機化合物については、実施の形態1を参照することができる。
て該複合材料を用いることにより、窓層での光吸収損失が低減し、光吸収層において効率
良く光電変換を行うことできるようになる。したがって、光電変換装置の変換効率を向上
させることができる。
極360との間に透光性導電膜380を設けた構成としても良い。透光性導電膜380を
設けることで透光性半導体層320における抵抗損失を低減させることができる。なお、
図4では結晶性シリコン基板300に凹凸を設けた構成を例示しているが、凹凸の無い構
成であっても良い。
結晶性シリコン基板300と透光性半導体層320が直接接し、p−n接合を形成する構
成としても良い。上述した透光性半導体層320に用いることのできる遷移金属酸化物と
有機化合物の複合材料は、パッシベーション効果が高いため、結晶性シリコン基板との接
合界面に生成される欠陥は極めて少なく、良好な界面を形成することができる。なお、図
5では結晶性シリコン基板300に凹凸を設けた構成を例示しているが、凹凸の無い構成
であっても良い。
380を設けた構成としても良い。透光性導電膜380を設けることで透光性半導体層3
20における抵抗損失を低減させることができる。なお、図6では結晶性シリコン基板3
00に凹凸を設けた構成を例示しているが、凹凸の無い構成であっても良い。
記した領域が、透光性半導体層とp型のシリコン半導体層の積層構造であっても良い。該
シリコン半導体層を設けることでp型領域(透光性半導体層とp型のシリコン半導体層の
積層部分)のキャリア密度を増加させることができる。その結果、内部電界を高めること
ができ、光電変換装置の電気特性を向上させることができる。なお、ここで用いるp型の
シリコン半導体層は、膜厚を極めて薄くすることができるため、その光吸収損失はほとん
ど無視することができる。
明する。
する単結晶シリコン基板や多結晶シリコン基板を用いることができる。これらの結晶性シ
リコン基板の製造方法は、特に限定されない。本実施の形態においては、MCZ(Mag
netic Czochralski)法で製造された(100)面を表面に有する単結
晶シリコン基板を用いる。
の工程の詳細は、実施の形態1の図7(B)、(C)の説明を参照することができる。な
お、図3(A)の構成の光電変換装置を作製する場合には、該凹凸加工の工程を省けばよ
い。
を用いて第1の非晶質シリコン層311を形成する(図9(B)参照)。第1の非晶質シ
リコン層311の厚さは、3nm以上50nm以下とすることが好ましい。本実施の形態
において、第1の非晶質シリコン層311はi型であり、膜厚は5nmとする。
0sccm以下のモノシランを導入し、反応室内の圧力を10Pa以上100Pa以下、
電極間隔を15mm以上40mm以下、電力密度を8mW/cm2以上50mW/cm2
以下とすればよい。
)参照)。シリコン半導体層330の厚さは3nm以上50nm以下とすることが好まし
い。本実施の形態において、シリコン半導体層330はn型の微結晶シリコンまたは非晶
質シリコンであり、膜厚は10nmとする。
m以下のモノシラン、流量100sccm以上5000sccm以下の水素、流量5sc
cm以上50sccm以下の水素ベースのホスフィン(0.5%)を導入し、反応室内の
圧力を450Pa以上100000Pa以下、好ましくは2000Pa以上50000P
a以下とし、電極間隔を8mm以上30mm以下とし、電力密度を200mW/cm2以
上1500mW/cm2以下とすればよい。
て第2の非晶質シリコン層312を形成する(図10(A)参照)。第2の非晶質シリコ
ン層312の厚さは、3nm以上50nm以下とすることが好ましく、本実施の形態にお
いて、第2の非晶質シリコン層312はi型であり、膜厚は5nmとする。なお、第2の
非晶質シリコン層312は、第1の非晶質シリコン層311と同様の成膜条件にて形成す
ることができる。
312及びシリコン半導体層330の成膜に用いる電源には周波数13.56MHzのR
F電源を用いるが、27.12MHz、60MHz、または100MHzのRF電源を用
いても良い。また、連続放電だけでなく、パルス放電にて成膜を行っても良い。パルス放
電を行うことで、膜質の向上や気相中で発生するパーティクルを低減することができる。
B)参照)。透光性半導体層320は、前述した無機化合物及び有機化合物の共蒸着法に
より形成することができる。共蒸着法とは、一つの成膜室内で複数の蒸発源から同時に蒸
着を行う蒸着法である。成膜は高真空下で行われることが好ましい。高真空は、成膜室内
を真空排気手段により真空度が5×10−3Pa以下、好ましくは10−4Pa乃至10
−6Pa程度の範囲なるように真空排気することで得られる。
オレン−9−イル)トリフェニルアミン(略称:BPAFLP)及び酸化モリブデン(V
I)を共蒸着することにより形成する。その膜厚は、50nmとし、BPAFLPと酸化
モリブデンの比率は、重量比で2:1(=BPAFLP:酸化モリブデン)となるように
調節する。
、銀、アルミニウム、銅などの低抵抗金属を用いることができ、スパッタ法や真空蒸着法
などで形成することができる。または、スクリーン印刷法を用いて、銀ペーストや、銅ペ
ーストなどの導電性樹脂で形成しても良い。
2の電極360はグリッド電極であり、銀ペースト、銅ペースト、ニッケルペースト、モ
リブデンペーストなどの導電性樹脂を用いて、スクリーン印刷法で形成することが好まし
い。また、第2の電極360は、銀ペーストと銅ペーストを積層するなど、異なる材料の
積層であっても良い。
図10(C)に示した構造が形成できればよい。例えば、第1の非晶質シリコン層311
を形成し、その次に第2の非晶質シリコン層312を形成しても良い。
性半導体層320上に透光性導電膜380を形成すれば良い。透光性導電膜380には、
例えば、インジウム錫酸化物、珪素を含むインジウム錫酸化物、亜鉛を含む酸化インジウ
ム、酸化亜鉛、ガリウムを含む酸化亜鉛、アルミニウムを含む酸化亜鉛、酸化錫、フッ素
を含む酸化錫、アンチモンを含む酸化錫、またはグラフェン等を用いることができる。ま
た、透光性導電膜380は単層に限らず、異なる膜の積層でも良い。例えば、インジウム
錫酸化物とアルミニウムを含む酸化亜鉛の積層や、インジウム錫酸化物とフッ素を含む酸
化錫の積層などを用いることができる。膜厚は総厚で10nm以上1000nm以下とす
る。
2の形成工程を省けばよい。また、透光性半導体層320上に透光性導電膜380を形成
すれば、図6の構成の光電変換装置を形成することができる。
ることができる。
本実施の形態では、実施の形態1及び実施の形態2で示した透光性半導体層について説明
する。
20には、遷移金属酸化物と有機化合物とを複合した材料を用いることができる。なお、
本明細書中において、複合とは、単に2つの材料を混合させるだけでなく、複数の材料を
混合することによって材料間での電荷の授受が行われ得る状態になることを言う。
。具体的には、遷移金属酸化物の中でも、元素周期表における第4族乃至第8族に属する
金属の酸化物であることが好ましい。特に、酸化バナジウム、酸化ニオブ、酸化タンタル
、酸化クロム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化マンガン、酸化レニウムは電子
受容性が高いため好ましい。中でも特に、酸化モリブデンは大気中でも安定であり、吸湿
性が低く、扱いやすいため好ましい。
水素、高分子化合物(オリゴマー、デンドリマー、ポリマー等)、ジベンゾフラン骨格も
しくはジベンゾチオフェン骨格を含む複素環化合物など、種々の化合物を用いることがで
きる。なお、複合材料に用いる有機化合物としては、正孔輸送性の高い有機化合物を用い
る。具体的には、10−6cm2/Vs以上の正孔移動度を有する物質であることが好ま
しい。但し、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いても
よい。
道準位(HOMO準位)にある電子が、遷移金属酸化物の伝導帯に移動することにより、
遷移金属酸化物と有機化合物との間に相互作用が生じる。この相互作用により、遷移金属
酸化物と有機化合物とを含む複合材料は、キャリア密度が高く、p型の半導体特性を示す
。
−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:NPB)、N
,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニル−[1,1’−ビフェニル
]−4,4’−ジアミン(略称:TPD)、4,4’,4’’−トリス(N,N−ジフェ
ニルアミノ)トリフェニルアミン(略称:TDATA)、4,4’,4’’−トリス[N
−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ]トリフェニルアミン(略称:MTDA
TA)、N,N’−ビス(スピロ−9,9’−ビフルオレン−2−イル)−N,N’−ジ
フェニルベンジジン(略称:BSPB)等を用いることができる。また、N,N’−ビス
(4−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニル−p−フェニレンジアミン(略称:DT
DPPA)、4,4’−ビス[N−(4−ジフェニルアミノフェニル)−N−フェニルア
ミノ]ビフェニル(略称:DPAB)、N,N’−ビス[4−[ビス(3−メチルフェニ
ル)アミノ]フェニル]−N,N’−ジフェニル−[1,1’−ビフェニル]−4,4’
−ジアミン(略称:DNTPD)、1,3,5−トリス[N−(4−ジフェニルアミノフ
ェニル)−N−フェニルアミノ]ベンゼン(略称:DPA3B)、4−フェニル−4’−
(9−フェニルフルオレン−9−イル)トリフェニルアミン(略称:BPAFLP)、4
,4’−ビス[N−(9,9−ジメチルフルオレン−2−イル)−N−フェニルアミノ]
ビフェニル(略称:DFLDPBi)等を挙げることができる。
9−フェニルカルバゾール−3−イル)−N−フェニルアミノ]−9−フェニルカルバゾ
ール(略称:PCzPCA1)、3,6−ビス[N−(9−フェニルカルバゾール−3−
イル)−N−フェニルアミノ]−9−フェニルカルバゾール(略称:PCzPCA2)、
3−[N−(1−ナフチル)−N−(9−フェニルカルバゾール−3−イル)アミノ]−
9−フェニルカルバゾール(略称:PCzPCN1)等を挙げることができる。
ゾリル)ビフェニル(略称:CBP)、1,3,5−トリス[4−(N−カルバゾリル)
フェニル]ベンゼン(略称:TCPB)、9−[4−(N−カルバゾリル)フェニル]−
10−フェニルアントラセン(略称:CzPA)、1,4−ビス[4−(N−カルバゾリ
ル)フェニル]−2,3,5,6−テトラフェニルベンゼン等を用いることができる。
−9,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン(略称:t−BuDNA)、2−tert
−ブチル−9,10−ジ(1−ナフチル)アントラセン、9,10−ビス(3,5−ジフ
ェニルフェニル)アントラセン(略称:DPPA)、2−tert−ブチル−9,10−
ビス(4−フェニルフェニル)アントラセン(略称:t−BuDBA)、9,10−ジ(
2−ナフチル)アントラセン(略称:DNA)、9,10−ジフェニルアントラセン(略
称:DPAnth)、2−tert−ブチルアントラセン(略称:t−BuAnth)、
9,10−ビス(4−メチル−1−ナフチル)アントラセン(略称:DMNA)、9,1
0−ビス[2−(1−ナフチル)フェニル]−2−tert−ブチルアントラセン、9,
10−ビス[2−(1−ナフチル)フェニル]アントラセン、2,3,6,7−テトラメ
チル−9,10−ジ(1−ナフチル)アントラセン、2,3,6,7−テトラメチル−9
,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン、9,9’−ビアントリル、10,10’−ジ
フェニル−9,9’−ビアントリル、10,10’−ビス(2−フェニルフェニル)−9
,9’−ビアントリル、10,10’−ビス[(2,3,4,5,6−ペンタフェニル)
フェニル]−9,9’−ビアントリル、アントラセン、テトラセン、ルブレン、ペリレン
、2,5,8,11−テトラ(tert−ブチル)ペリレン等が挙げられる。また、この
他、ペンタセン、コロネン等も用いることができる。このように、1×10−6cm2/
Vs以上の正孔移動度を有し、炭素数14〜42である芳香族炭化水素を用いることがよ
り好ましい。
ル基を有している芳香族炭化水素としては、例えば、4,4’−ビス(2,2−ジフェニ
ルビニル)ビフェニル(略称:DPVBi)、9,10−ビス[4−(2,2−ジフェニ
ルビニル)フェニル]アントラセン(略称:DPVPA)等が挙げられる。
ゾチオフェン骨格を含む複素環化合物であっても良い。
ば、ポリ(N−ビニルカルバゾール)(略称:PVK)、ポリ(4−ビニルトリフェニル
アミン)(略称:PVTPA)、ポリ[N−(4−{N’−[4−(4−ジフェニルアミ
ノ)フェニル]フェニル−N’−フェニルアミノ}フェニル)メタクリルアミド](略称
:PTPDMA)ポリ[N,N’−ビス(4−ブチルフェニル)−N,N’−ビス(フェ
ニル)ベンジジン](略称:Poly−TPD)などを用いても良い。
透光性に優れているため、シリコン半導体層を窓層に用いるよりも厚く形成することがで
き、抵抗損失を低減させることができる。
ミン(略称:BPAFLP)及び酸化モリブデン(VI)を共蒸着することにより得られ
る透光性半導体層(膜厚57nm)及び非晶質シリコン層(膜厚10nm)の分光透過率
、並びに一般的な単結晶シリコン光電変換装置の分光感度特性を示したものである。図1
1に示すように、本実施の形態における透光性半導体層は広い波長範囲で高い透光性を有
しているのに対し、非晶質シリコン層は可視光より短波長側での吸収が大きいことがわか
る。例えば、非晶質シリコン膜を窓層に用いた従来の光電変換装置を想定すると、この可
視光より短波長側の吸収が損失となる。一方で、透光性半導体層を窓層に用いれば非晶質
シリコン膜の吸収がある波長範囲の光も有効に光電変換に用いることができる。
ることができる。乾式法としては、例えば、複数の蒸着源から複数の蒸着材料を気化させ
て成膜する共蒸着法などが挙げられる。また、湿式法としては、ゾル−ゲル法などを用い
て複合材料を含む組成物を調整し、インクジェット法またはスピンコート法などを用いて
成膜することができる。
が低減し、光電変換装置の電気特性を向上させることができる。
120 透光性半導体層
140 第1の電極
160 第2の電極
180 透光性導電膜
210 第1の凹凸
220 第2の凹凸
300 結晶性シリコン基板
311 第1の非晶質シリコン層
312 第2の非晶質シリコン層
320 透光性半導体層
330 シリコン半導体層
340 第1の電極
360 第2の電極
380 透光性導電膜
Claims (8)
- 一対の電極間に、結晶性シリコン基板と、前記結晶性シリコン基板と接する領域を有する透光性半導体層と、を有し、
前記透光性半導体層は、有機化合物及び無機化合物を有し、
前記一対の電極の一方は、グリッド電極であり、且つ前記透光性半導体層に接し、
前記透光性半導体層上には、透光性導電膜を有さないことを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1において、
前記結晶性シリコン基板の導電型はn型であり、
前記透光性半導体層の導電型はp型であることを特徴とする光電変換装置。 - 一対の電極間に、結晶性シリコン基板と、前記結晶性シリコン基板の一方の面と接する領域を有する第1の非晶質シリコン層と、前記第1の非晶質シリコン層と接する領域を有する透光性半導体層と、前記結晶性シリコン基板の他方の面と接する領域を有する第2の非晶質シリコン層と、前記第2の非晶質シリコン層と接する領域を有するシリコン半導体層と、を有し、
前記透光性半導体層は、有機化合物及び無機化合物を有し、
前記一対の電極の一方は、グリッド電極であり、且つ前記透光性半導体層に接し、
前記透光性半導体層上には、透光性導電膜を有さないことを特徴とする光電変換装置。 - 一対の電極間に、結晶性シリコン基板と、前記結晶性シリコン基板の一方の面と接する領域を有する透光性半導体層と、前記結晶性シリコン基板の他方の面と接する領域を有する非晶質シリコン層と、前記非晶質シリコン層と接する領域を有するシリコン半導体層と、を有し、
前記透光性半導体層は、有機化合物及び無機化合物を有し、
前記一対の電極の一方は、グリッド電極であり、且つ前記透光性半導体層に接し、
前記透光性半導体層上には、透光性導電膜を有さないことを特徴とする光電変換装置。 - 請求項3または4において、
前記結晶性シリコン基板及び前記シリコン半導体層の導電型はn型であり、
前記透光性半導体層の導電型はp型であり、
前記非晶質シリコン層はi型であることを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1乃至5のいずれか一項において、
前記無機化合物は、元素周期表の第4族乃至第8族に属する金属の酸化物であることを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1乃至5のいずれか一項において、
前記無機化合物は、酸化バナジウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化クロム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化マンガン、酸化レニウムのいずれかを有することを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1乃至7のいずれか一項において、
前記有機化合物は、芳香族アミン化合物、カルバゾール誘導体、芳香族炭化水素、高分子化合物、ジベンゾフラン骨格もしくはジベンゾチオフェン骨格を含む複素環化合物のいずれかを有することを特徴とする光電変換装置。
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