JP2016103345A - 接続構造体およびそれを備えたヒータ - Google Patents
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Abstract
Description
3を囲む筒状部材4とを備えている。接続構造体10は、例えば、半導体のボンディング用のヒータ等に用いることができる。本実施形態においては、図3に示すように、接続構造体10をヒータ100に用いた場合を例に挙げて説明する。この場合には、絶縁基体1の内部にさらに発熱抵抗体(図示せず)が設けられている。
が炭化タングステンから成ることが好ましい。これにより、絶縁基体1の熱膨張率と発熱抵抗体の熱膨張率とを近づけることができる。さらに、炭化タングステンは、耐熱性に優れている。
R 1618に準ずる方法で、筒状部材4が金属材料から成る場合にはJIS Z 228
5に準ずる方法で確認することができる。筒状部材4の寸法は、例えば、内径が0.5〜1mmに、外径が1〜1.5mmに設定される。
11:凹部
2:導電層
3:リード線
4:筒状部材
5:接合材
10:接続構造体
100:ヒータ
Claims (7)
- 表面に凹部を有する絶縁基体と、前記凹部の底面に形成された導電層と、前記凹部に挿入されて前記導電層に接続されたリード線と、前記凹部の内部に設けられて前記リード線を囲む筒状部材とを備えており、該筒状部材の熱膨張率が前記リード線の熱膨張率よりも小さいことを特徴とする接続構造体。
- 前記筒状部材が、絶縁材料から成ることを特徴とする請求項1に記載の接続構造体。
- 前記絶縁基体と前記筒状部材とを構成する主成分が同じであることを特徴とする請求項2に記載の接続構造体。
- 前記絶縁基体の熱膨張率が前記筒状部材の熱膨張率よりも小さいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の接続構造体。
- 前記筒状部材の熱膨張率が前記絶縁基体の熱膨張率よりも小さいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の接続構造体。
- 前記リード線と前記筒状部材との間に接合材が設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の接続構造体。
- 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の接続構造体と、前記絶縁基体の内部に設けられて前記導電層に接続された発熱抵抗体とを備えたことを特徴とするヒータ。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2021132217A (ja) * | 2016-11-29 | 2021-09-09 | 住友電気工業株式会社 | ウエハ保持体 |
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-
2014
- 2014-11-27 JP JP2014240078A patent/JP2016103345A/ja active Pending
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