JP2016103002A - 電気光学位相変調器及び変調方法 - Google Patents
電気光学位相変調器及び変調方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016103002A JP2016103002A JP2015202575A JP2015202575A JP2016103002A JP 2016103002 A JP2016103002 A JP 2016103002A JP 2015202575 A JP2015202575 A JP 2015202575A JP 2015202575 A JP2015202575 A JP 2015202575A JP 2016103002 A JP2016103002 A JP 2016103002A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- electro
- substrate
- modulation
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 123
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 85
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 62
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 31
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims abstract description 7
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 14
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 14
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 14
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 14
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 claims 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 15
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000005697 Pockels effect Effects 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 230000001010 compromised effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/0305—Constructional arrangements
- G02F1/0316—Electrodes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/035—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/035—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure
- G02F1/0353—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure involving an electro-optic TE-TM mode conversion
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/035—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure
- G02F1/0356—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure controlled by a high-frequency electromagnetic wave component in an electric waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure
Abstract
【課題】位相変調器の出口における残留振幅変調を低減すること。【解決手段】電気光学位相変調器100であって、光導波路120に一部が結合した入射光波を、導波路入射端と出射端との間の光導波路の光路に沿って伝搬する導波光波3として導波するようになっている光導波路120と、導波路と平行に配置された少なくとも2つの変調電極132であって、変調電圧(Vm(t))がこれら変調電極間に印加された場合に、変調電圧の関数である変調位相シフトを導波光波に導入する、少なくとも2つの変調電極132と、を含む電気光学位相変調器において、導波路の近傍117の光屈折率を低減することが可能な永続的電場を基板内に発生させるように構成された、基板の電気分極のための手段132をさらに含む。【選択図】図3
Description
本発明は、一般に、光信号を制御するための光変調器の分野に関する。
本発明は、より詳細には、変調器に入射した光波の光位相を変調することを意図した電気光学位相変調器に関する。
本発明はまた、かかる電気光学位相変調器のための変調方法に関する。
本発明は、より詳細には、変調器に入射した光波の光位相を変調することを意図した電気光学位相変調器に関する。
本発明はまた、かかる電気光学位相変調器のための変調方法に関する。
電気光学位相変調器は、変調器に入射してこれを通過する光波の光位相を、それに印加される電気信号の関数として制御することを可能にする光電子装置である。
電気光学位相変調器の特定の種類は、従来技術から公知であり、集積変調器又は導波路型光変調器(guided optics modulator)と呼ばれ、これは、
−入射面及び出射面を含む電気光学基板と、
−基板の入射面上に位置する導波路入射端から基板の出射面上に位置する導波路出射端まで連続的に直線状の光導波路であって、基板の光屈折率よりも高い光屈折率を有し、光導波路に一部が結合した入射光波を、導波路入射端と導波路出射端との間の光導波路の光路に沿って伝搬される導波光波として導波するようになっている光導波路と、
−導波路と平行に配置された少なくとも2つの変調電極であって、変調電圧が変調電極間に印加された場合に、変調電圧の関数である変調位相シフトを、光導波路内を伝搬する導波光波に導入する、少なくとも2つの変調電極と、
を含む。
−入射面及び出射面を含む電気光学基板と、
−基板の入射面上に位置する導波路入射端から基板の出射面上に位置する導波路出射端まで連続的に直線状の光導波路であって、基板の光屈折率よりも高い光屈折率を有し、光導波路に一部が結合した入射光波を、導波路入射端と導波路出射端との間の光導波路の光路に沿って伝搬される導波光波として導波するようになっている光導波路と、
−導波路と平行に配置された少なくとも2つの変調電極であって、変調電圧が変調電極間に印加された場合に、変調電圧の関数である変調位相シフトを、光導波路内を伝搬する導波光波に導入する、少なくとも2つの変調電極と、
を含む。
本出願において、電気光学基板は、モノブロックであること、すなわち単一部品から作られたものであることを意味する。換言すれば、電気光学基板は、例えばその電気光学基板と、1つ又はそれ以上の中間層と、その構造体の機械的強度のための支持部とを含む積層体のような、より複雑な光学構造体の別個の部分ではない。
同様に、連続的に直線状の光導波路は、導波路入射端と導波路出射端とを単一部品のみで接続する導波路の唯一の直線状セグメントによって形成されることを意味する。特に、光導波路は、その光路に沿っていかなる湾曲部分も含まず、また、部品を1つずつ組み合わせて連続的にしたものではなく、すなわち複数の直線状セグメントで形成されたものではない。
変調電圧による変調電極の分極は、基板内の電気光学効果により、導波光波が伝搬する導波路の光屈折率をこの変調電圧の関数として変化させることを可能にする。
そして、導波路の光屈折率のこの変動は、変調電圧の符号の関数として、位相進み又は遅れの変調位相シフトを、導波路を通過する導波光波の光位相に導入する。
これが、変調器出口において、入射光波の光位相の変調をもたらす。
これが、変調器出口において、入射光波の光位相の変調をもたらす。
理論上、このような電気光学位相変調器は、入射光波の光位相のみを変調する。そのため、光検出器をこの変調器の出口において射出光波(emerging light wave)の軌道上に配置すると、この光検出器によって計測される光パワー(ワット単位)は一定になり、変調電極により導波光波に導入された変調位相シフトに依存しないはずである。
しかしながら、実際には、計測される光パワーは一定にはならず、位相変調器の出口において光パワーの小さな変動が検出される。
この残留振幅変調(Residual Amplitude Modulation)すなわち「RAM」は、位相変調器の性能が損なわれることとなるので、場合によっては無視できないことが証明されている。
しかしながら、実際には、計測される光パワーは一定にはならず、位相変調器の出口において光パワーの小さな変動が検出される。
この残留振幅変調(Residual Amplitude Modulation)すなわち「RAM」は、位相変調器の性能が損なわれることとなるので、場合によっては無視できないことが証明されている。
前記の従来技術の欠点を解消するために、本発明は、変調器の出口における残留振幅変調を低減することを可能にする電気光学位相変調器を提案する。
この目的のために、本発明は、序文で定義した電気光学位相変調器に関し、本発明によれば、導波路の近傍において電気光学基板の光屈折率を低減することが可能な永続的電場を電気光学基板内に発生させるように構成された、電気光学基板の電気分極のための手段をさらに含む。
従って、本発明による装置は、光導波路内で導波される光波と、光学的に導波されずに電気光学基板内を伝搬する光波との間の結合を低減することを可能にする。
実際には、導波路入射端において、入射光波が光導波路に注入される際に、この入射光波の一部は導波路には結合せずに入射面で回折し、光波は、放射して、次に導波されずに導波路外で基板内を伝搬する。
この非導波光波は、導波路に垂直な平面内で横方向の空間的な拡がりを有し、これは、回折によって基板の出射面まで増大する。
換言すれば、非導波光波に関連する光線は、導波路外で基板内を光線が伝搬する間に増大する角度発散を有し、この回折光波の主伝搬方向は、導波路入射端を導波路出射端に接合する直線状セグメントによって定められる。
換言すれば、この回折光波は、直線状光導波路と平行に伝搬し、特に変調電極の下を移動する。
何の予防措置も講じなければ、非導波光波の一部は、導波路出射端において導波光波に結合し得るので、これら2つの光波が互いに干渉して上述の残留振幅変調が生じると考えられる。
それゆえ、電気分極手段によって電気光学基板内に永続的電場を発生させることにより、その付近に、基板の残りの部分の光屈折率よりも光屈折率が低い領域が形成される。
本明細書において、電気分極手段によって発生される電場は、電気分極手段が提供されなくなるとすぐに消失するという点で永続的であることが理解されるであろう。
導波路の近傍において電場の影響を受ける領域内では、光波はもはや伝搬することができないので、基板内の非導波光波は、偏向して導波路から離れることになる。
電気光学基板の光屈折率の低減は、基板と導波路に同時に影響を及ぼすので、導波路内での導波光波の導波は、電気分極手段によって発生する永続的電場によってそれほど大きく乱されない。
非導波光波の偏向により、非導波光波は、もはや導波路出射端で導波光波と重なることがなくなるので、変調器の出口における導波光波と非導波光波との間の干渉がかなり低減される。
このようにして、残留振幅変調がかなり低減される。
このようにして、残留振幅変調がかなり低減される。
好都合には、この電気分極手段は、少なくとも2つの変調電極を含み、これは、変調電圧に加えて付加的な分極電圧が変調電極間に印加された場合に永続的電場を発生させる役割を担う。
さらに、本発明の電気光学位相変調器の他の有利な非限定的特徴は、以下の通りである。
−電気分極手段は、導波路入射端又は導波路出射端と変調電極との間に導波路に平行に配置された、変調電極とは異なる少なくとも2つの付加的電極を含み、この少なくとも2つの付加的電極は、分極電圧によって分極され、永続的電場を発生させる役割を担う。
−少なくとも2つの付加的電極が導波路入射端と変調電極との間に配置され、電気分極手段は、導波路出射端と変調電極との間に導波路と平行に配置された、変調電極とは異なる少なくとも2つの他の付加的電極をさらに含み、少なくとも2つの他の付加的電極は、別の分極電圧によって分極されて、導波路の近傍において電気光学基板の光屈折率を低減するように構成された別の永続的電場を電気光学基板内に発生させる役割を担う。
−電気光学位相変調器は、入射光波を導波路入射端に結合するための手段及び/又は導波光波を導波路出射端に結合するための手段をさらに含み、結合手段は、好ましくは光ファイバのセクションを含む。
−電気光学基板は、2つの側面、下面及び上面を有する平面的な幾何学的形状のものであり、下面及び上面は、基板の入射面と出射面との間に延びており、光導波路は、上面に近接する、上面と平行な平面内に延びる。
−電気光学基板は、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、ポリマー材料、半導体材料、例えばシリコン(Si)、リン化インジウム(InP)、又はヒ化ガリウム(GaAs)で作られた基板である。
−導波路と電気光学基板との間の光屈折率の差(絶対値)は、10−2から10−3までの範囲内に含まれる。
−電気分極手段によって電気光学基板内に誘導される光屈折率の差(絶対値)は、10−5から10−6までの範囲内に含まれる。
−電気分極手段は、導波路入射端又は導波路出射端と変調電極との間に導波路に平行に配置された、変調電極とは異なる少なくとも2つの付加的電極を含み、この少なくとも2つの付加的電極は、分極電圧によって分極され、永続的電場を発生させる役割を担う。
−少なくとも2つの付加的電極が導波路入射端と変調電極との間に配置され、電気分極手段は、導波路出射端と変調電極との間に導波路と平行に配置された、変調電極とは異なる少なくとも2つの他の付加的電極をさらに含み、少なくとも2つの他の付加的電極は、別の分極電圧によって分極されて、導波路の近傍において電気光学基板の光屈折率を低減するように構成された別の永続的電場を電気光学基板内に発生させる役割を担う。
−電気光学位相変調器は、入射光波を導波路入射端に結合するための手段及び/又は導波光波を導波路出射端に結合するための手段をさらに含み、結合手段は、好ましくは光ファイバのセクションを含む。
−電気光学基板は、2つの側面、下面及び上面を有する平面的な幾何学的形状のものであり、下面及び上面は、基板の入射面と出射面との間に延びており、光導波路は、上面に近接する、上面と平行な平面内に延びる。
−電気光学基板は、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、ポリマー材料、半導体材料、例えばシリコン(Si)、リン化インジウム(InP)、又はヒ化ガリウム(GaAs)で作られた基板である。
−導波路と電気光学基板との間の光屈折率の差(絶対値)は、10−2から10−3までの範囲内に含まれる。
−電気分極手段によって電気光学基板内に誘導される光屈折率の差(絶対値)は、10−5から10−6までの範囲内に含まれる。
本発明はまた、本発明による電気光学位相変調器のための変調方法に関する。
本発明によれば、この変調方法は、導波路の近傍において電気光学基板の光屈折率を低減することが可能な永続的電場を発生させるように構成された電気分極手段を分極するステップを含む。
本発明によれば、この変調方法は、導波路の近傍において電気光学基板の光屈折率を低減することが可能な永続的電場を発生させるように構成された電気分極手段を分極するステップを含む。
非限定的な実施例として与えられる、添付の図面に関連した以下の説明は、本発明を構成するもの及び本発明をどのように実施することができるのかを理解することを可能にする。
図1から図8に、電気光学位相変調器100の異なる実施形態並びにその幾つかの変形例を示す。
一般に、この変調器100は、変調器100に入射した光波1(ここでは矢印で表す。例えば図1参照)の光位相を変調することを意図する。
このような変調器100は、光学系において、特に、データ通信のための光ファイバ遠隔通信、情報処理のための干渉センサ、又はレーザ空胴の動的制御において多くの用途がある。
変調器100は、まず、ポッケルス(Pockels)効果とも呼ばれる、静電場又は変動電場によって誘導される一次複屈折を示す、電気光学基板110を含む。
この電気光学基板110は、化学式LiNbO3のニオブ酸リチウム結晶から形成されることが好ましく、この材料は、強いポッケルス効果を有する。
基板110は、さらに、400ナノメートル(nm)と1600nmとの間に含まれる波長範囲で、2.13と2.25との間に含まれる光屈折率nsを有する。
変形例として、位相変調器の電気光学基板は、タンタル酸リチウム結晶(LiTaO3)とすることができる。
別の変形例として、この電気光学基板は、ポリマー材料又は半導体材料、例えばシリコン(Si)、リン化インジウム(InP)又はヒ化ガリウム(GaAs)で作ることができる。
基板110は、一方で入射面111、及び、他方で出射面112を含む。これは、本明細書では、2つの側面115、116と、下面114と、上面113とを備えた平面的な幾何学的形状を有する(例えば、図1及び図2参照)。
下面114及び上面113は、それゆえ、基板110の入射面111と出射面112との間に互いに平行に延びている。
同様に、図1及び図2に示すように、入射面111と出射面112は、ここでは互いに平行であり、側面115、116も全く同様である。
従って、基板110は、平行六面体の形状である。好ましくは、この平行六面体は、直方体ではなく、基板110は、入射面111と側面の一方(ここでは側面116、図1参照)とが、90°未満の、80°と89.9°との間に含まれる、例えば85°に等しい角度119を形成するようになっている。
位相変調器100の性能を改善するこのような角度119の利点は、以下の説明で理解されるであろう。
図2及び図3に示すように、基板110は、モノブロックであり、ニオブ酸リチウムの単結晶から形成される。
基板110は、厳密に20ミクロンを超える、下面114から上面113までの厚さを有することが好ましい。基板110の厚さは、30ミクロンから1ミリメートルまでの範囲にあることがさらに好ましい。
さらに、基板110は、10ミリメートルと100ミリメートルとの間に含まれる、入射面111から出射面112までの長さを有する。
基板110は、0.5ミリメートルと100ミリメートルとの間に含まれる、2つの側面115、116間で測定される幅を有することが好ましい。
変調器の基板110は、ここではニオブ酸リチウム結晶であり、これは複屈折(電場によって誘導される複屈折性ではなく固有の複屈折性)であり、この基板110の幾何学的形状及び配向は、この結晶の軸に対して正確に定めることが重要である。
図1から図3、図5及び図7、並びに図6及び図8にそれぞれ示す本発明の第1、第3及び第4の実施形態において、基板110は、それゆえLiNbO3結晶のX軸に沿って切断されているので、基板110の上面113は、結晶のX−Y面に平行になっている(図1参照)。さらにより正確に言えば、結晶のY軸は、ここでは電気光学基板110の側面115、116に平行に配向される。
従来通り、ニオブ酸リチウムの場合、Z軸は、結晶格子のC軸又はa3と平行である。Z軸は、結晶のX軸と垂直であり、X軸はそれ自体が格子のa1軸と平行である。Y軸は、Z軸とX軸の両方に対して垂直である。Y軸は、格子のa2軸に対して30°回転しており、a2軸は、a1軸に対して120°、a3軸に対して90°に配向している。結晶面の切断及び配向は、一般にX、Y及びZ軸を基準にする。
図4に示す本発明の第2の実施形態において、基板110は、LiNbO3結晶のZ軸に沿って切断されているので、基板110の上面113は、結晶のX−Y面に平行になっている。この場合でも、結晶のY軸は、電気光学基板110の側面115、116に平行に配向される。
全ての実施形態において、位相変調器100は、一体型であり、
−基板110の入射面111上に位置する導波路入射端121から、
−基板110の出射面112上に位置する導波路出射端へ
連続的な方式で直線状に延びる、唯一の光導波路120を含む(図1及び図3から図8参照)。
−基板110の入射面111上に位置する導波路入射端121から、
−基板110の出射面112上に位置する導波路出射端へ
連続的な方式で直線状に延びる、唯一の光導波路120を含む(図1及び図3から図8参照)。
説明した平面状構成において、導波路120は、基板110の上面113に近接した平行面内に延びる。
特に本明細書では、例えば図2及び図3で第1の実施形態について示すように、導波路120は、基板110の上面113と面一であり、半径3〜4マイクロメートルの半円形断面(図2参照)を有する。
光導波路120は、10ミリメートルと100ミリメートルとの間に含まれる長さを有することが好ましい。
この導波路120は、当業者に公知の、結晶内にチタンを拡散する熱プロセスにより、又は焼きなましプロトン交換(annealed proton−exchange)プロセスにより、ニオブ酸リチウム基板110内に作られる。
このようにして、光導波路120が得られ、これは基板の光屈折率nsより高い光屈折率ngを示す。光導波路の製造方法がチタンの拡散である場合、常光屈折率及び異常光屈折率の2つの屈折率がその値を高める。そして、チタンの拡散によって作製される導波路は、2つの分極状態をサポートする、すなわち導波する。光導波路の製造方法がプロトン交換である場合、異常光屈折率のみがその値を高め、他方、常光屈折率は、その値が低下する。従って、プロトン交換によって作製される導波路は、1つの分極状態のみをサポートすることができる。
光の導波を保証するために、導波路120のこの光屈折率ngは、基板110の光屈折率nsよりも高くなければならない。
一般に、導波路120と電気光学基板110との間の光屈折率の差ng−nsが大きいほど、光の閉じ込め効果が高くなる。
好都合には、本明細書において、導波路120と電気光学基板110との間の光屈折率の差ng−nsは、10−2から10−3までの範囲内に含まれる。
また、入射光1を変調するために、光位相変調器100は変調手段を含む。
図1から図3、図5及び図7、並びに図6及び図8にそれぞれ示す、基板110がX軸に沿って切断された本発明の第1、第3及び第4の実施形態において、これらの変調手段は、導波路120に平行に、本明細書ではその両側に配置された、2つの変調電極131、132を含む。
異なる実施形態において、これらの変調電極131、132は、より正確に、導波路120の直線状部分123の周りに配置される。
さらに、図1に示すように、2つの変調電極131、132は各々、導波路120へ向かう内縁131A、132Aを含む。従ってそれらは、互いの間に、第1の変調電極131の内縁131Aから第2の変調電極132の内縁132Aまで延びる電極間ギャップ118を定める。
2つの変調電極131、132は、基板110の上面113における導波路120の幅よりも大きい距離E(図2参照)で離間しており、変調電極131、132は導波路120に重ならないようになっている。変調電極131、132の2つの内縁131A、132Aによって境界を定められた電極間距離Eは、それゆえ電極間ギャップ118の横方向寸法、すなわち幅に対応する。
例えば、導波路120は、ここでは3ミクロンの幅を有し、電極間距離Eは10ミクロンに等しい。
図4に示す、基板110がZ軸に従って切断された本発明の第2の実施形態において、変調手段は、導波路120に平行に配置された3つの変調電極131、132、133を含む。
導波路120の幅よりも幅が広い第1の電極、すなわち中央電極133は、導波路120の上側に位置する。
第2及び第3の電極、すなわち側方対向電極131、132は、導波路120の両側に位置するそれらの部分に関して、各々が中央電極133に対して距離E’で離間し、この距離E’は、側方対向電極131、132の中心と中央電極133の中心との間で決定される。
例えば、導波路120はここでは3ミクロンの幅を有し、中央電極133と対向電極131、132との間の距離E’は10ミクロンに等しい。
従来通り、変調電極131、132、133は、同一平面上にあり、基板110の上面113上に既知のフォトリソグラフィ技術によって形成される。
変調電極131、132、133の寸法(幅、長さ、及び厚さ)は、変調器の位相変調条件、基板110の性質及び幾何学的形状(寸法及び配向)、導波路120の幅及び長さ、並びに達成すべき性能の関数として決定される。
変調電極131、132、133は、本明細書においてVm(t)で表される変調電圧によって分極されることが意図され、変調電圧は、時間tの関数として変化する電圧である。
換言すれば、この変調電圧Vm(t)は、変調電極131、132、133間に印加される。
その目的で、変調電極の1つ(第1、第3及び第4の実施形態の場合、電極132、例えば図1、図5及び図6参照;第2の実施形態の場合は電極133、図4参照)は、変調電圧Vm(t)に等しい電位にされ、他方、他の1つの変調電極(電極131)又は複数の電極(電極131、132)は接地される。
電気的制御手段(図示せず)が設けられ、これは、変調電極131、132、133に対して、変調電圧Vm(t)に関する所望の設定値(振幅、周波数...)を適用することを可能にする。
本発明の利点を理解するために、電気光学位相変調器100の動作を最初に簡単に説明する。
位相変調器100(図3参照)は、
−入口で入射光波1を受けて、これを導波光波3へ結合し、
−導波路120内を直線的に伝搬するこの導波光波3の光位相を変調し、
−導波光波3を、変調器100の出口において送出される射出光波2へ結合し、この射出光波2の光位相は、導波光波3の変調と同様の変調を有する、
ように設計されている。
位相変調器100(図3参照)は、
−入口で入射光波1を受けて、これを導波光波3へ結合し、
−導波路120内を直線的に伝搬するこの導波光波3の光位相を変調し、
−導波光波3を、変調器100の出口において送出される射出光波2へ結合し、この射出光波2の光位相は、導波光波3の変調と同様の変調を有する、
ように設計されている。
入口及び出口においてそれぞれ入射光波1及び射出光波2を結合するために、変調器100は、入射光波1を導波路入射端121に結合するための手段及び射出光波2を導波路出射端122に結合するための手段を含む。
これらの結合手段は、本明細書において、光ファイバ、例えばシリカ光ファイバのセクション10、20(図3参照)を含むことが好ましく、各々が円筒形のコア12、22を取り囲むクラッド11、21を含み、その中で入射光波1(コア12内)及び射出光波2(コア22内)をそれぞれ伝搬し、それゆえ各々が回転対称性を有する。
例示的に、光ファイバのセクション10のコア12内を伝搬する入射光波1の振幅1Aと、光ファイバのセクション20のコア22内を伝搬する射出光波2Aの振幅2Aとを図3に示す。これらの振幅1A、2Aは、円筒形の対称性を有する光ファイバのセクション10、20内の伝搬モードに対応する。
結合を行うために、光ファイバのセクション10、20は、それぞれ入射面111及び出射面112に近づけられ、光ファイバの各セクション10、20のコア12、22がそれぞれ導波路入射端121及び導波路出射端122に対向して位置合わせされるようになっている。
好都合には、一方で、光ファイバのセクション10、20を基板110に取り付けるために、他方で、ファイバ10、20のコア12、22と導波路120の入射端121及び出射端122との間の光学的及び機械的な位置合わせ状態を固定するために、光ファイバのセクション10、20と、基板110の入射面111及び出射面112との間で、屈折率が一致した接着剤を用いることができる。
入口において、光ファイバのセクション10のコア12に沿って基板110に向かって伝搬する入射光波1は、導波光波3(図3の矢印参照)として、導波路入射端121において導波路120内で一部が結合される。
この導波光波3は、次に光導波路120の連続的な直線状光路に沿って導波路入射端121から出射端122へ伝搬し、図3に模式的に示されているような振幅3Aを有する。
入射面111及び出射面112上での導波光波3の部分反射により、導波路120内で干渉が生じ得るので、導波光波3の振幅3Aは、比較的高い残留振幅変調を示し得る。
それにもかかわらず、基板110の角度119により、この干渉現象は大幅に低減されるので、これらのスプリアス反射による残留振幅変調は無視できるようになる。
電気的制御手段が変調電極131、132、133間に変調電圧Vm(t)を印加すると、この変調電圧Vm(t)に比例する外部電場が、変調電極131、132、133の近傍、より正確に言えば、変調電極131、132、133の下に位置する基板110及び導波路120の領域内に生じる。
ポッケルス効果により、導波路の光屈折率ngは、この外部電場によって変調される。公知のように、光屈折率の変調は外部電場の振幅に比例し、比例係数は、材料の性質及び変調電極131、132、133の幾何学的形状の両方に依存する。
さらに、基板110の光軸に対する外部電場の配向の関数として、変調電極131、132、133の近傍におけるこの変動は、基板110及び導波路120の光屈折率ns、ngの増大又は減少に伴い、それぞれ、正又は負となり得る。
導波路120内での導波光波3の伝搬中に、導波路120の光屈折率ngのこの変動は、光導波路120内を伝搬する導波光波3の光位相に、外部電場の振幅の関数である、従って時間tの関数として変化する変調電圧Vm(t)の振幅の関数である、変調位相シフトを導入する。
変調電圧Vm(t)の符号の関数として、従って基板110の光軸に対する外部電場の配向の関数として、この変調位相シフトは正又は負となり得、導波光波3の光位相遅れ又は進みにそれぞれ関連する。
このようにして、変調電極131、132、133により、導波光波3の光位相を変調することができる。
ここで光導波路120内の入射光波1の結合に話を戻す。
この結合中に、光ファイバのセクション10と基板110内の導波路120との間の屈折率の空間分布の差により、入射光波1の一部が導波路入射端121において回折し、その結果、導波路120内の非導波光波4(図3参照)が、導波路入射端121から基板110の出射面112に向かって基板110内を伝搬し、伝搬の主方向121Pは、基板110の上面113と直交して直線状導波路120の中央部のそばを通る平面と同一平面上にある。
この非導波光波4は、その振幅4Aが図3に示されており、導波路出射端122において、導波路120内で導波された光波3と干渉することがあり、それゆえ変調器100の出口において射出光波2内に残留振幅変調を発生させる。
これらの干渉を防止し、残留振幅変調を制限するために、本発明による変調器100は、電気光学基板110の電気分極のための手段を含み、導波路120の近傍で基板110の光屈折率nsを低減させる永続的電場を基板内に発生させる。
一般に、これらの電気分極手段は、電極と、これらの電極間に電圧を印加する電気的制御手段とを含む。
図1から図3に示す第1の実施形態並びに図4に示す変形例において、電気分極手段は、変調電極131、132、133と、関連の電気的制御手段(図示せず)とを含む。
変調電圧Vm(t)に加えてVsで示される付加的な分極電圧が変調電極131、132、133間に印加され、印加される全電圧がVm(t)+Vs(図1、図3及び図4参照)になった場合、変調電極131、132、133の付近及び下方の、導波路の近傍に位置する基板110の分極領域117(図3参照)内に永続的電場が発生する。
この分極領域117は、実際には、基板110及び導波路120の屈折率ns、ngが調整された、基板110及び導波路の区域に対応する。
好ましくは、この付加的な分極電圧Vsは経時的に一定であり、そのため分極領域117内で発生する永続的電場もまた一定である。
非導波光波4を導波路120から遠ざかる方向に偏向させるために、付加的な分極電圧Vsは、基板内の永続的電場がポッケルス効果により分極領域117において導波路120の近傍の電気光学基板110の光屈折率nsを低減させるように調節される。
このとき非導波光波4は、基板110の残りの部分よりも屈折率が低い分極領域117から偏向する軌道である、図3において点線で表される軌道121Pに従うことになる。
このように、非導波光波4は、もはや導波路出射端122において導波光波3と重ならず、その結果、それらはもはや互いに干渉せず、変調器100の出口における射出光波2に残留振幅変調をもたらすことはない。
実際には、10マイクロメートルで離間した40ミリメートル長の変調電極131、132を用いて、それらの間に5から10ボルトの分極電圧を印加すると、残留振幅変調の低減は10デシベルを超える。
好都合には、電気分極手段によって発生される永続的電場は、電気光学基板110内に誘導される光屈折率の差が10−5から10−6の範囲内に含まれるようなものである。
電気分極手段により、変調器100は、これらの電気分極手段の分極ステップを含む変調方法を実施することができる。
この分極ステップ中に、永続的電場が、本明細書においては付加的な分極電圧Vsの印加により発生し、導波路120の近傍で電気光学基板110の光屈折率nsを低減させるようになっている。
この分極ステップは、好都合には、変調電圧Vm(t)を変調電極131、132、133に印加することからなる変調ステップと同時に行うことができる。
実際には、導波路120内で導波される光波3を変調すること、及び、非導波光波4を基板110の下面114へ向かって偏向させることの両方が同時に行われるように、全電圧Vm(t)+Vsが変調電極131、132、133に印加される。
好ましくは、付加的な分極電圧Vsの振幅は、変調電極131、132に印加される全電圧Vm(t)+Vsの正又は負の符号が一定になるように調節される。
例えば、変調電圧Vm(t)が、交互に正と負の値、例えば+1Vと−1Vを取る、周期的な方形波変調である場合、付加的な分極電圧Vsは、印加される全電圧Vm(t)+Vsが常に負になるように、一定に、かつ−5Vに等しくなるように選択することができる。
付加的な分極電圧Vsは一定なので、これは導波路120内で導波される光波3の付加的な光位相進み又は遅れに関連し、それゆえ進み又は遅れは時間の関数として一定である。従って、この付加的な分極電圧Vsを変調電極131、132へ印加することで、導波光波3の光位相の変調を乱すことはない。
図5に示す電気光学位相変調器100の第2の実施形態において、電気光学位相変調器100の電気分極のための手段は、変調電極131、132、133とは異なるそれらから分離した2つの付加的電極141、142を含む。
これらの電極141、142は、ここでは導波路入射端121と変調電極131、132との間に、導波路120と平行に配置される。
2つの付加的電極141、142は、付加的な電気的制御手段によりこれらの間に印加される分極電圧Vsによって分極されることが意図され、導波路120の近傍の、ここではこれらの付加的な分極電極141、142の下に位置する基板の領域内の、基板110の光屈折率nsを低減する永続的電場を発生させる。
これらの付加的電極141、142を導波路入射端121の近くに配置することにより、非導波光波4が基板110内でのその伝搬の開始時から偏向されることが保証される。
試験は、互いに10マイクロメートルで離間し、5ボルトに等しい分極電圧Vsで分極された付加的電極141、142を用いると、残留振幅変調を少なくとも10dB低減できることを示した。
しかしながら、変形例として、付加的電極は、導波路出射端と変調電極との間に配置することもできる。
別の変形例として、電気分極手段は、図4の変調電極131、132、133と同様に配置された3つの付加的電極を含むことができ、これらの3つの付加的電極は、変調電極とは分離している。
付加的電極141、142に印加される分極電圧Vsを制限するために、図6に示すような本発明の第3の実施形態において、電気分極手段は、導波路出射端122と変調電極131、132との間に導波路120と平行に配置される、変調電極131、132とは異なる2つの他の付加的電極151、152をさらに含むことができる。
これらの2つの他の付加的電極151、152は、別の分極電圧Vs’によって分極されて、導波路120の近傍において基板101の光屈折率nsを低減する別の永続的電場を、電気光学基板110内に、ここでは2つの付加的電極151、152の下方に発生させる役割を担う。
このように、基板110内を伝搬する非導波光波4は、二重に偏向されて、導波路出射端122から遠ざかるので、残留振幅変調がさらに低減される。
2つの前述の付加的電極141、142と同一の2つの他の付加的電極151、152を用いて、各々2.5Vに等しい分極電圧Vs及びVs’を印加することにより、残留振幅変調はさらにもっと低減される。
図7及び図8にそれぞれ示される第2及び第3の実施形態の変形例において、導波路120は、1つの湾曲部分124及び2つの湾曲部分124、125をそれぞれ含む。
この場合、上面113に平行な平面内で、基板110の入射面111上に位置する導波路入射端121と基板110の出射面112上に位置する導波路出射端122との間に延びる導波路120は、非直線状である。
図7に示す電気光学位相変調器100の第2の実施形態の変形例において、導波路は、導波路入射端121と出射端122との間に第1の湾曲導波路部分124を有し、その結果、導波路120内で導波される光波3は、導波路入射端121と出射端122との間で、導波路120の光路に沿って導波路120内を導波される。
この場合には、変調器100の2つの付加的電極141、142は、第1の湾曲導波路部分124において導波路120と平行に配置されるように、同じく湾曲した形状を有する。
好都合には、第1の湾曲導波路部分124は、電極間ギャップ118を非導波光波4の伝搬方向に対して横方向にオフセットさせるように選択された形状及び寸法を有する。
より正確に言えば、第1の湾曲導波路部分124は、入射面111上での導波路120の接線方向121Tの延長部が電極間ギャップ118から偏位するようになっている。
換言すれば、非導波光波4が屈折率変調区域117内に捕捉されることを避けるために、導波路120の入口における入射光波1に関連する、特に接線方向121Tを含む屈折面が、電極間ギャップ118と交差しないようにすることが望ましい。
入射面121上での導波路120の接線方向121Tは、従来通り導波路120内での入射光波1の屈折の主方向に対応し、より正確に言えば、ここでは上面113又は下面114の一方に対するこの主方向の投影である。
換言すれば、この接線方向121Tは、導波路入射端121における導波路120内の導波光波3の主伝搬方向に対応する。それにもかかわらず、導波路120の中に入った後、導波光波3は、導波路120の光路に従い、導波路出射端122において出射面112に到達する。
同様に、非導波光波4は、屈折面内の接線方向121Tと同一平面にある主方向121P(図3参照)で、導波路入射端121から基板110の出射面112まで基板110内を自由に伝搬する。
従って、図7から、第1の湾曲導波路部分124により、非導波光波4は、電極間ギャップ118から基板110内に延びる屈折率変調区域117をもはや通過しなくなるので、非導波光波4は、基板110内で変調電極131、132の下に導かれることがなくなることが理解される。
従って、非導波光波4は、変調電極131、132間に変調電圧Vm(t)が印加されている間でさえも、図3に示す軌道に沿って基板110内を伝搬することになる。
非導波光波4は、基板110内でのその伝搬の間に発散して振幅4Aを示し、これは伝搬が進行するにつれて回折によって拡がるので、導波路出射端122において、非導波光波は導波光波3と一部しか重ならず、その結果、これらは互いにそれほど干渉することができず、変調器100の出口において射出光波2内に残留振幅変調をもたらすことができない。
次に、第1の湾曲導波路部分124は、非導波光波4と電極間ギャップ118との間にギャップを導入し、これは、特に電極間ギャップ118の入口において、非導波光波の空間的拡がり4Aよりも大きい。
第1の湾曲導波路部分124は、ここでは、その値が所定の最小値RC,minよりも大きい曲率半径RC(図5参照)を各々が有する2つの対向する湾曲部を備えたS字形(図5参照)を有し、この第1の湾曲導波路部分124によって誘導される光損失が0.5dB未満となるようになっている。
この曲率半径の最小値RC,minは、20mm以上であることが好ましい。
湾曲によって誘導される損失を制限するために、第3の実施形態の変形例(図8参照)において、導波路120は、少なくとも1つの第2の湾曲導波路部分125を導波路入射端121と導波路出射端122との間に、ここでは直線状導波路部分123の後に有することができる。
このように、非導波光波4と屈折率変調区域117との間の一定の値の空間的オフセットに関して、より低い曲率を有する、より少ない損失を変調器100に導入する湾曲導波路部分124、125を用いることが可能になる。
もちろん、電気分極手段が変調器の変調電極を含む場合(第1の実施形態の場合)、電気光学位相変調器内で1つ又は複数の湾曲導波路部分を用いることが可能である。このことは、導波路が湾曲部分を有さない場合よりも低い付加的分極電圧の使用を可能にするという利点を有する。
1:入射光波
2:射出光波
3:導波光波
10、20:結合手段
11、21:クラッド
12、22:コア
100:電気光学位相変調器
110:電気光学基板
111:入射面
112:出射面
113:上面
114:下面
115、116:側面
117:分極領域
118:電極間ギャップ
120:光導波路
121:導波路入射端
121P:非導波光波の伝搬の主方向
121T:入射面における導波路の接線方向
122:導波路出射端
131、132、133:変調電極(電気分極手段)
141、142、151、152:付加的電極(電気分極手段)
2:射出光波
3:導波光波
10、20:結合手段
11、21:クラッド
12、22:コア
100:電気光学位相変調器
110:電気光学基板
111:入射面
112:出射面
113:上面
114:下面
115、116:側面
117:分極領域
118:電極間ギャップ
120:光導波路
121:導波路入射端
121P:非導波光波の伝搬の主方向
121T:入射面における導波路の接線方向
122:導波路出射端
131、132、133:変調電極(電気分極手段)
141、142、151、152:付加的電極(電気分極手段)
Claims (9)
- 変調器(100)に入射した光波(1)の光位相を変調することを意図した電気光学位相変調器(100)であって、
入射面(111)及び出射面(112)を含む電気光学基板(110)と、
前記基板(110)の前記入射面(111)上に位置する導波路入射端(121)から前記基板(110)の前記出射面(112)上に位置する導波路出射端(122)まで連続的に直線状の光導波路(120)であって、前記光導波路(120)は、前記基板(110)の光屈折率(ns)よりも高い光屈折率(ng)を有し、前記光導波路(120)に一部が結合した前記入射光波(1)を、前記導波路入射端(121)と前記出射端(122)との間の前記光導波路(120)の光路に沿って伝搬する導波光波(3)として導波するようになっている導波路(120)と、
前記導波路(120)と平行に配置された少なくとも2つの変調電極(131、132)であって、変調電圧(Vm(t))が前記変調電極(131、132)間に印加された場合に、前記変調電圧(Vm(t))の関数である変調位相シフトを、前記光導波路(120)内を伝搬する前記導波光波(3)に導入する、少なくとも2つの変調電極(131、132)と、
を含み、
前記導波路(120)の近傍において前記電気光学基板(110)の前記光屈折率(ns)を低減することが可能な永続的電場を前記電気光学基板(110)内に発生させるように構成された、前記電気光学基板(110)の電気分極のための手段(131、132;141、142、151、152)を含む
ことを特徴とする、電気光学位相変調器(100) - 前記電気分極手段は、前記少なくとも2つの変調電極(131、132)を含み、これらは、前記変調電圧(Vm(t))に加えて付加的な分極電圧(Vs)が前記変調電極(131、132)間に印加された場合に、前記永続的電場を発生させる役割を担うことを特徴とする、請求項1に記載の電気光学位相変調器(100)。
- 前記電気分極手段は、前記導波路入射端(121)又は前記導波路出射端(122)と前記変調電極(131、132)との間に前記導波路(120)に平行に配置された、前記前記変調電極(131、132)とは異なる少なくとも2つの付加的電極(141、142)を含み、前記少なくとも2つの付加的電極(141、142)は、分極電圧(Vs)によって分極されて前記永続的電場を発生させる役割を担うことを特徴とする、請求項1に記載の電気光学位相変調器(100)。
- 前記少なくとも2つの付加的電極(141、142)が、前記導波路入射端(121)と前記変調電極(131、132)との間に配置され、前記電気分極手段は、前記導波路出射端(122)と前記変調電極(131、132)との間で前記導波路(120)と平行に配置された、前記変調電極(131、132)とは異なる少なくとも2つの他の付加的電極(151、152)をさらに含み、前記少なくとも2つの他の付加的電極(151、152)は、別の分極電圧(Vs’)によって分極されて、前記導波路(120)の近傍において前記電気光学基板(110)の前記光屈折率(ns)を低減するように構成された別の永続的電場を前記電気光学基板(110)内に発生させる役割を担うことを特徴とする、請求項3に記載の電気光学位相変調器(100)。
- 前記入射光波(1)を前記導波路入射端(121)に結合するための手段(10)及び/又は前記導波光波(3)を前記導波路出射端(122)に結合するための手段(20)をさらに含み、前記結合手段は、好ましくは光ファイバのセクションを含むことを特徴とする、請求項1〜請求項4のいずれかに記載の電気光学位相変調器(100)。
- 前記電気光学基板(110)は、2つの側面(115、116)、下面(114)及び上面(113)を有する平面的な幾何学的形状のものであり、前記下面(114)及び前記上面(113)は、前記基板(110)の前記入射面(111)と前記出射面(112)との間に延びており、前記光導波路(120)は、前記上面(113)に近接する、前記上面(113)と平行な平面内に延びることを特徴とする、請求項1〜請求項5のいずれかに記載の電気光学位相変調器(100)。
- 前記電気光学基板(110)が、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ポリマー材料、半導体材料、例えばシリコン、リン化インジウム、又はヒ化ガリウムで作られた基板であることを特徴とする、請求項1〜請求項6のいずれかに記載の電気光学位相変調器(100)。
- 前記導波路(120)と前記電気光学基板(110)との間の光屈折率の差が10−2から10−3までの範囲内に含まれ、
前記電気分極手段によって前記電気光学基板(110)内に誘導される光屈折率の差が10−5から10−6までの範囲内に含まれる
ことを特徴とする、請求項1〜請求項7のいずれかに記載の電気光学位相変調器(100)。 - 請求項1〜請求項8のいずれかに記載の電気光学位相変調器(100)のための変調方法であって、前記導波路(120)の近傍において前記電気光学基板(110)の前記光屈折率(ns)を低減することが可能な永続的電場を発生させるように構成された前記電気分極手段(131、132;141、142)を分極するステップを含むことを特徴とする、変調方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1459892A FR3027414B1 (fr) | 2014-10-15 | 2014-10-15 | Modulateur de phase electrooptique et procede de modulation |
FR1459892 | 2014-10-15 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016103002A true JP2016103002A (ja) | 2016-06-02 |
Family
ID=52824304
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015202575A Pending JP2016103002A (ja) | 2014-10-15 | 2015-10-14 | 電気光学位相変調器及び変調方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20160109734A1 (ja) |
EP (1) | EP3009879B1 (ja) |
JP (1) | JP2016103002A (ja) |
CN (1) | CN105527733A (ja) |
FR (1) | FR3027414B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020519893A (ja) * | 2017-05-12 | 2020-07-02 | テイラー・ホブソン・リミテッドTaylor Hobson Limited | 物体からの距離を判定する距離測定配置 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6075576B2 (ja) * | 2015-03-25 | 2017-02-08 | 住友大阪セメント株式会社 | 導波路型光素子 |
WO2017213101A1 (ja) | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学素子及び光学装置 |
WO2017213099A1 (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光変調器、光観察装置及び光照射装置 |
JP6849676B2 (ja) | 2016-06-06 | 2021-03-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | 反射型空間光変調器、光観察装置及び光照射装置 |
US9912413B1 (en) | 2016-08-26 | 2018-03-06 | International Business Machines Corporation | Electro-optic phase modulator with no residual amplitude modulation |
DE102016221388A1 (de) * | 2016-10-31 | 2018-05-03 | Robert Bosch Gmbh | Optischer Phasenschieber, optische phasengesteuerte Anordnung, Verfahren zur Einstellung einer Phase elektromagnetischer Strahlung, Verfahren zur Einstellung eines Strahlenverlaufs, LiDAR-System |
FR3076954B1 (fr) * | 2018-01-18 | 2020-02-14 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Dispositif optique |
US10678072B2 (en) * | 2018-01-22 | 2020-06-09 | Honeywell International Inc. | Apparatuses and methods for low energy data modulation |
US10663660B2 (en) | 2018-01-25 | 2020-05-26 | Poet Technologies, Inc. | Optical dielectric waveguide subassembly structures |
CN108459210B (zh) * | 2018-03-07 | 2021-01-05 | 西北核技术研究所 | 一种无电极结构的无源脉冲电场探测器 |
US10816727B1 (en) * | 2019-06-14 | 2020-10-27 | Globalfoundries Inc. | Multimode waveguide bends with features to reduce bending loss |
CN112649975B (zh) * | 2020-12-30 | 2022-03-18 | 山西大学 | 一种减小剩余振幅调制的共振型电光调制器 |
CN112910561B (zh) * | 2021-01-11 | 2022-04-19 | 浙江大学 | 基于光学相控阵的无线激光通信系统快速捕获方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4359261A (en) * | 1980-08-08 | 1982-11-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Fiber optic switching device |
JPS61210321A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-18 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光学素子 |
JPS63316022A (ja) * | 1987-04-27 | 1988-12-23 | ポラロイド コーポレーション | 電気光学的モード変換装置 |
JPH02101425A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-13 | Nec Corp | 光変調器 |
JPH0961771A (ja) * | 1995-08-24 | 1997-03-07 | Toshiba Corp | 偏波スクランブル装置 |
JP2007017683A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Anritsu Corp | 光変調器 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4145109A (en) * | 1977-05-12 | 1979-03-20 | Sperry Rand Corporation | Electro-optic multiplexing with high interchannel isolation |
JPH01134402A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路の製造方法 |
US4984861A (en) * | 1989-03-27 | 1991-01-15 | United Technologies Corporation | Low-loss proton exchanged waveguides for active integrated optic devices and method of making same |
JPH05173101A (ja) * | 1991-12-26 | 1993-07-13 | Sony Corp | 光制御装置 |
JP4164179B2 (ja) * | 1998-12-18 | 2008-10-08 | 富士通株式会社 | 光変調器及びそのバイアス制御回路並びに該光変調器を備えた光送信機 |
JP3827629B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2006-09-27 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
JP5983256B2 (ja) * | 2012-09-28 | 2016-08-31 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
-
2014
- 2014-10-15 FR FR1459892A patent/FR3027414B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-10-14 JP JP2015202575A patent/JP2016103002A/ja active Pending
- 2015-10-14 US US14/883,048 patent/US20160109734A1/en not_active Abandoned
- 2015-10-15 CN CN201510859491.XA patent/CN105527733A/zh active Pending
- 2015-10-15 EP EP15306643.6A patent/EP3009879B1/fr active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4359261A (en) * | 1980-08-08 | 1982-11-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Fiber optic switching device |
JPS61210321A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-18 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光学素子 |
JPS63316022A (ja) * | 1987-04-27 | 1988-12-23 | ポラロイド コーポレーション | 電気光学的モード変換装置 |
JPH02101425A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-13 | Nec Corp | 光変調器 |
JPH0961771A (ja) * | 1995-08-24 | 1997-03-07 | Toshiba Corp | 偏波スクランブル装置 |
JP2007017683A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Anritsu Corp | 光変調器 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
HUANG, T. C. ET AL.: "A Field Induced Guide-Antiguide Modulator on GaAs-AlGaAs", IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, vol. 3, no. 2, JPN6019026094, February 1991 (1991-02-01), pages 141 - 143, XP000203009, ISSN: 0004070753, DOI: 10.1109/68.76868 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020519893A (ja) * | 2017-05-12 | 2020-07-02 | テイラー・ホブソン・リミテッドTaylor Hobson Limited | 物体からの距離を判定する距離測定配置 |
JP6997807B2 (ja) | 2017-05-12 | 2022-01-18 | テイラー・ホブソン・リミテッド | 物体からの距離を判定する距離測定配置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160109734A1 (en) | 2016-04-21 |
FR3027414B1 (fr) | 2017-11-10 |
EP3009879A1 (fr) | 2016-04-20 |
CN105527733A (zh) | 2016-04-27 |
EP3009879B1 (fr) | 2020-03-11 |
FR3027414A1 (fr) | 2016-04-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2016103002A (ja) | 電気光学位相変調器及び変調方法 | |
JP2016103003A (ja) | 電気光学位相変調器 | |
JP4658658B2 (ja) | 光変調器 | |
JP4874685B2 (ja) | 光変調器 | |
US8923658B2 (en) | Optical waveguide device | |
JP5454547B2 (ja) | 光変調器 | |
US8570644B2 (en) | Optical modulator | |
US8909006B2 (en) | Optical waveguide device | |
US20040179764A1 (en) | Interferometric analog optical modulator for single mode fibers | |
US8953913B2 (en) | Integrated optical circuit with an off-center groove | |
US8620117B2 (en) | Optical device, optical deflection device, and optical modulation device | |
JP2009244812A (ja) | 光導波路素子 | |
US10598862B2 (en) | Optical modulator | |
WO1995002192A1 (fr) | Capteur de champs electriques | |
US9081136B2 (en) | Attenuated primary reflection integrated optical circuit | |
US11493788B2 (en) | Optical modulator | |
JP2006309199A (ja) | 光変調器 | |
US10416388B2 (en) | Optical waveguide device | |
JP6218335B2 (ja) | 横断する減衰域を含む光集積回路 | |
US20070081755A1 (en) | Optical modulator | |
WO2015147276A1 (ja) | 光導波路デバイス | |
JP5463832B2 (ja) | 光変調器 | |
JP3435583B2 (ja) | 電界センサ | |
JP4161897B2 (ja) | 光導波路素子の位相差調整方法 | |
JP2022133031A (ja) | ハイブリッドアレイ導波路型光偏向器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180921 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190619 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190709 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200331 |