JP2016098018A5

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Publication number: JP2016098018A5
Application number: JP2014236896A
Authority: JP
Filing date: 2014-11-21
Publication date: 2017-08-17
Anticipated expiration: 2034-11-21

Description

一般に、半導体製造装置に用いられる薬品や一般化学薬品等の液体は、生産工場にて貯蔵容器に充填され、この貯蔵容器に形成された開口部に蓋を取り付けた状態で出荷される。このような貯蔵容器に貯蔵された液体を取り出すため、配管が固定された特殊キャップを開口部に取り付けることが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特許文献１によれば、配管を介して貯蔵容器に貯蔵された液体を吸い上げ、あるいは貯蔵容器内に圧送用のガスを供給することで貯蔵容器に貯蔵された液体を取り出すことができる。

本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明の一態様に係るバルブ一体型容器は、軸線方向に延びる筒状に形成されるとともに拡径部と縮径部と前記拡径部および前記縮径部を連結する連結部とを有する容器本体と、該容器本体の前記縮径部に取り付けられるとともに該縮径部の下端に設けられた第１開口部から前記容器本体に収容された液体を流出させるか否かを切り替えるバルブ機構とを備え、前記バルブ機構は、前記軸線方向に沿って配置されるスプリングと、前記スプリングの一端部を支持するスプリング支持部と、前記スプリング支持部と前記第１開口部との間に配置されるとともに前記スプリングの他端部から前記第１開口部に接触する方向の付勢力が与えられる弁体とを有し、前記スプリング支持部は、前記軸線方向に延びる筒状に形成された液体流路を有し、下端部が前記縮径部の内周面に取り付けられており、上端部が前記拡径部へ向けて突出しており、前記連結部に収容された液体を前記軸線方向の下方へ案内する第１案内溝が外周面に形成されており、前記弁体は、前記第１案内溝によって案内された液体を前記軸線方向の下方へ案内して前記第１開口部へ導く第２案内溝が外周面に形成されている。

本発明の一態様に係るバルブ一体型容器の製造方法は、軸線方向に延びる筒状に形成されるとともに第１拡径部と縮径部と前記第１拡径部および前記縮径部を連結する連結部とを有する下端側容器を形成する工程と、上端側に第２開口部が設けられて下端側に底面を有する容器から該底面部分を切断して下方に第２拡径部を有する上端側容器を形成する工程と、前記下端側容器の前記第１拡径部の上端と前記上端側容器の前記第２拡径部の下端とを熱溶着により接合する工程と、前記縮径部の下端に設けられた第１開口部から液体を流出させるか否かを切り替えるバルブ機構を前記第２開口部から挿入して前記下端側容器の前記縮径部に取り付ける工程と、前記第２開口部の外周面に設けられた雄ねじに内周面に雌ねじが形成されたキャップを締結する工程とを備える。

第１ベース部材２１０および第３ベース部材２３０は、それぞれ軸線Ｘの上方からみた外形が正方形状の部材である。第１ベース部材２１０は、平面視した４隅に内周面に雌ねじが形成された締結穴を有する。第３ベース部材２３０は、平面視した４隅であって第１ベース部材２１０の締結穴と対応する位置に貫通穴が設けられている。図１に示すように、第１ベース部材２１０とおよび第３ベース部材２３０は、第２ベース部材２２０の下方から外周面に雄ねじが形成された締結ボルト２９０を挿入し、第１ベース部材２１０の締結穴に締結することにより、互いに結合した状態となっている。

第２ベース部材２２０は、軸線Ｘ方向に延びる略円筒状の部材であり、第１ベース部材２１０と第３ベース部材２３０との間に挟まれた状態で固定されている。第２ベース部材２２０の下端側の外周面には雄ねじが形成されており、第３ベース部材２３０の軸線Ｘ回りの内周面に形成された雌ねじと締結している。

図１に示すように、第２ベース部材２２０の軸線Ｘに沿った中心位置には、上側から順に弁押し部材２４０と取出部材２５０と配管保持部材２６０と取出配管２７０とが配置されている。
配管保持部材２６０は軸線Ｘ方向に延びる略円筒状の部材であり、外周面に雄ねじが形成されている。配管保持部材２６０は、その外周面に形成された雄ねじを第２ベース部材２２０の軸線Ｘ回りの内周面に形成された雌ねじに締結させることにより第３ベース部材２３０に固定される。

操作者がロック解除ボタン２８１を押している場合、ロック部材２８３は押し部材２８２を図９，１０における右方へ押し付け、図１０に示す状態とする。図１０に示す状態では、ロック部材２８３が凹所２０１へ突出しない状態となる。この場合、ロック部材２８３が縮径部１２の外周面に形成されたロック溝１２ｃ（図２参照）に係合しない。ロック部材２８３がロック溝１２ｃに係合していないため、縮径部１２を凹所２０１から取り外し可能な解除状態となる。

本実施形態のバルブ一体型容器１００の製造方法では、まず始めに上端側容器と下端側容器とをそれぞれ形成する。図１１に示すように、上端側容器は、下端側に底面を有する容器から底面部分１０ａを切断することにより形成される。図１１に示すように、底面部分１０ａが切断された容器本体１０は、第２拡径部１１ｂと開口部１４とを有する。
また、本実施形態のバルブ一体型容器１００の製造方法では、第１拡径部１１ａと縮径部１２と連結部１３とを有する下端側容器を、例えば樹脂材を射出成形することにより形成する。

本実施形態の液体取出装置３００によれば、サーバ装置２００の凹所２０１にバルブ一体型容器１００が挿入されたことに応じて容器本体１０の縮径部１２が凹所２０１に固定した状態にロックされる。また、サーバ装置２００の突起部２４０ａにバルブ一体型容器１００の弁体２３の先端部２３ｂが接触して開口部１２ａから離間し、バルブ一体型容器１００の内部に収容された液体が開口部１２ａから取り出される。
このようにすることで、残液を残さずに内部の液体の取り出しを容易かつ安全に行うことが可能であり、かつ小型化されたバルブ一体型容器１００を備える液体取出装置３００を提供することができる。

図１４に示すように、本実施形態の容器本体１０’は、拡径部１１’と、縮径部１２と、連結部１３と、縮径部１２’と連結部１３’を有し、内部に液体を収容する部材である。容器本体１０’は、軸線Ｘ方向に延びる円筒状に形成されている。縮径部１２’は拡径部１１’の上方に設けられるとともに連結部１３’によって拡径部１１’と連結されている。

Claims

軸線方向に延びる筒状に形成されるとともに拡径部と縮径部と前記拡径部および前記縮径部を連結する連結部とを有する容器本体と、
該容器本体の前記縮径部に取り付けられるとともに該縮径部の下端に設けられた第１開口部から前記容器本体に収容された液体を流出させるか否かを切り替えるバルブ機構とを備え、
前記バルブ機構は、
前記軸線方向に沿って配置されるスプリングと、
前記スプリングの一端部を支持するスプリング支持部と、
前記スプリング支持部と前記第１開口部との間に配置されるとともに前記スプリングの他端部から前記第１開口部に接触する方向の付勢力が与えられる弁体とを有し、
前記スプリング支持部は、
前記軸線方向に延びる筒状に形成された液体流路を有し、
下端部が前記縮径部の内周面に取り付けられており、
上端部が前記拡径部へ向けて突出しており、
前記連結部に収容された液体を前記軸線方向の下方へ案内する第１案内溝が外周面に形成されており、
前記弁体は、前記第１案内溝によって案内された液体を前記軸線方向の下方へ案内して前記第１開口部へ導く第２案内溝が外周面に形成されているバルブ一体型容器。
前記容器本体の上方に取り付けられるとともに前記容器本体の内部と外部との気体の流通を可能にしつつ前記容器本体の内部と外部との液体の流通を不能にしたフィルタ部を備える請求項１に記載のバルブ一体型容器。
前記容器本体は、前記拡径部の上方に設けられるとともに前記軸線方向に延びかつ外周面に雄ねじが形成された筒状の第２開口部を有し、
前記第２開口部に形成された前記雄ねじに締結される雌ねじが内周面に形成されたキャップを備え、
前記フィルタ部は、前記キャップに取り付けられている請求項２に記載のバルブ一体型容器。
前記拡径部は、前記縮径部および前記連結部とともに一体成型される第１拡径部と該第１拡径部の上方に設けられる第２拡径部とを有し、
前記第１拡径部の上端と前記第２拡径部の下端とが熱溶着により接合されている請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のバルブ一体型容器。
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のバルブ一体型容器と、
前記バルブ一体型容器を着脱可能であるとともに該バルブ一体型容器に収容された液体を取り出すサーバ装置とを備える液体取り出し装置であって、
前記サーバ装置は、
前記容器本体の前記縮径部が挿入される凹所と、
前記凹所に前記縮径部が挿入された状態で前記弁体の先端部に接触して該弁体を前記第１開口部から離間させる突起部と、
前記縮径部が前記凹所へ挿入されたことに応じて前記縮径部を前記凹所へ固定したロック状態にするとともに操作者の解除操作に応じて前記縮径部を前記凹所から取り外し可能な解除状態とするロック機構とを備える液体取出装置。
前記サーバ装置の前記凹所の内周面には前記軸線回りの複数箇所に該軸線方向に延びる溝部が形成されており、
前記バルブ一体型容器の前記縮径部の外周面には前記軸線回りの複数箇所に該軸線方向に延びる突起部が形成されており、
複数箇所の前記溝部の前記軸線回りの位置が複数箇所の前記突起部の前記軸線回りの位置と一致しており、
複数箇所の前記溝部に複数箇所の前記突起部を挿入することにより前記バルブ一体型容器が前記サーバ装置に取り付けられる請求項５に記載の液体取出装置。
バルブ一体型容器の製造方法であって、
軸線方向に延びる筒状に形成されるとともに第１拡径部と縮径部と前記第１拡径部および前記縮径部を連結する連結部とを有する下端側容器を形成する工程と、
上端側に第２開口部が設けられて下端側に底面を有する容器から該底面部分を切断して下方に第２拡径部を有する上端側容器を形成する工程と、
前記下端側容器の前記第１拡径部の上端と前記上端側容器の前記第２拡径部の下端とを熱溶着により接合する工程と、
前記縮径部の下端に設けられた第１開口部から液体を流出させるか否かを切り替えるバルブ機構を前記第２開口部から挿入して前記下端側容器の前記縮径部に取り付ける工程と、
前記第２開口部の外周面に設けられた雄ねじに内周面に雌ねじが形成されたキャップを締結する工程とを備えるバルブ一体型容器の製造方法。