JPS63232127A - 薬液供給装置 - Google Patents
薬液供給装置Info
- Publication number
- JPS63232127A JPS63232127A JP5895287A JP5895287A JPS63232127A JP S63232127 A JPS63232127 A JP S63232127A JP 5895287 A JP5895287 A JP 5895287A JP 5895287 A JP5895287 A JP 5895287A JP S63232127 A JPS63232127 A JP S63232127A
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- JP
- Japan
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- lid
- container
- supply device
- piping
- fixed
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 10
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Landscapes
- Containers And Plastic Fillers For Packaging (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、半導体製造装置特に半導体基板の表面に種
々の薬液を滴下あるいは噴霧して、基板の表面に所望の
パターンを形成するのに使用される薬液供給装置に関す
るものである。
々の薬液を滴下あるいは噴霧して、基板の表面に所望の
パターンを形成するのに使用される薬液供給装置に関す
るものである。
［従来技術］
半導体製造のりソゲラフイエ程における薬液供給装置に
於いては、種々の薬液が使用され、写真製版工程におけ
るフォトレジストがその１例である。
於いては、種々の薬液が使用され、写真製版工程におけ
るフォトレジストがその１例である。
フォトレジストは、通常ガロンビンと呼ばれる容器によ
り供給される。ガロンビンの口部にはオネジが切られて
おリメネジ部を持つキャップにより蓋されている。
り供給される。ガロンビンの口部にはオネジが切られて
おリメネジ部を持つキャップにより蓋されている。
このフォトレジストを使用する場合、上記ガロンビンに
は、配管を固定出来る特殊キャップを製作し用いられて
いた。
は、配管を固定出来る特殊キャップを製作し用いられて
いた。
第３図に、従来の薬液供給装置を示す。図において、（
３ａ）及び（３ｂ）は配管、（４）はビン（容器）、（
５）は蓋である。
３ａ）及び（３ｂ）は配管、（４）はビン（容器）、（
５）は蓋である。
第３図に示す如く、ポンプ（図示なし）により配管（３
ｂ）を介して、フォトレジストが吸い−Ｌげられあるい
は必要に応じ圧送用の窒素ガスが配管（３ａ）を通じて
供給され、これらの（３ａ）及び（３ｂ）の配管は、接
着溶接・継手等により蓋（５）に固定され、蓋（５）と
容器（４）とはネジにより螺合するような薬液供給装置
を用いていた。
ｂ）を介して、フォトレジストが吸い−Ｌげられあるい
は必要に応じ圧送用の窒素ガスが配管（３ａ）を通じて
供給され、これらの（３ａ）及び（３ｂ）の配管は、接
着溶接・継手等により蓋（５）に固定され、蓋（５）と
容器（４）とはネジにより螺合するような薬液供給装置
を用いていた。
フォトレジストを消費し、容器（４）が空になると容器
（４）から蓋（５）を取付けることにより、フォトレジ
ストを常に供給可能な状態に保っていた。
（４）から蓋（５）を取付けることにより、フォトレジ
ストを常に供給可能な状態に保っていた。
従来、容器（４）と蓋（５）を着脱する場合、（３ａ）
及び（３ｂ）の配管の付いている蓋（５）を回すことが
出来ず、大きな容器（４）を回してネジを緩めたり締め
たすせねばならなかった。
及び（３ｂ）の配管の付いている蓋（５）を回すことが
出来ず、大きな容器（４）を回してネジを緩めたり締め
たすせねばならなかった。
［発明が解決しようとする問題点］
上述の如く、従来の薬液供給装置は、蓋と配管が固定さ
れているため、蓋を開閉する時に配管がよじれたり、上
部にスペースが無い場合や配管がまがらない場合は、ビ
ン又はタンク等の容器を回転させる必要がある。
れているため、蓋を開閉する時に配管がよじれたり、上
部にスペースが無い場合や配管がまがらない場合は、ビ
ン又はタンク等の容器を回転させる必要がある。
その為スペースの無い場合や、ビン又タンクが大型にな
ると、蓋の開閉が困難になり、小スペース化やビン、タ
ンク等の大型化が出来ない等の欠点がある。
ると、蓋の開閉が困難になり、小スペース化やビン、タ
ンク等の大型化が出来ない等の欠点がある。
本発明は、上２記の如き欠点を改善するためのものであ
り、大きな容器を回さずに小さな蓋を操作するだけで蓋
の着脱を可能にし、薬液の補給を容品にし、装置の小型
化、ビン・タンク等の大型化が可能な薬液供給装置を提
供することを目的とするものである。
り、大きな容器を回さずに小さな蓋を操作するだけで蓋
の着脱を可能にし、薬液の補給を容品にし、装置の小型
化、ビン・タンク等の大型化が可能な薬液供給装置を提
供することを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、薬液が収納され口部にオネジ部を有する容器
と、その容器のネジに対応するメネジ部を持つ外蓋と薬
液を流入出させるための配管を固定した中蓋とからなり
、その外蓋に中蓋を取付け、容器に外蓋を螺合したこと
からなる薬液供給装置であり、又配管を固定した中蓋を
、外蓋のメネジ部の上部に間挿し固定化したことからな
る薬液供給装置である。
と、その容器のネジに対応するメネジ部を持つ外蓋と薬
液を流入出させるための配管を固定した中蓋とからなり
、その外蓋に中蓋を取付け、容器に外蓋を螺合したこと
からなる薬液供給装置であり、又配管を固定した中蓋を
、外蓋のメネジ部の上部に間挿し固定化したことからな
る薬液供給装置である。
［作用］
本発明は、蓋を二重構造にし、開閉の時は配管を固定し
ている蓋は回転せず、ネジに成っている蓋のみを回転す
るようにしたものである。
ている蓋は回転せず、ネジに成っている蓋のみを回転す
るようにしたものである。
それにより、取扱いが便利で、薬液供給装置の小型化、
ビン・タンク等の大型化が可能となる。
ビン・タンク等の大型化が可能となる。
次に本発明の実施例について述べる。
［実施例］
第１図は本発明に係る薬液供給装置の一実施例装置の説
明図である。
明図である。
図において、１は外蓋、２は中蓋、３ａ及び３ｂは配管
パイプ、４は容器である。
パイプ、４は容器である。
第１図に示すように、写真製版工程に用いられるフォト
レジストを使用する場合、別に設けられたポンプにより
フォトレジストを配管（３ｂ）並びに圧送用窒素ガス供
給用配管（３ａ）により、容器（４）に供給する。
レジストを使用する場合、別に設けられたポンプにより
フォトレジストを配管（３ｂ）並びに圧送用窒素ガス供
給用配管（３ａ）により、容器（４）に供給する。
この場合、薬液が収納される口部にオネジ部を有する容
器（４）に、この容器（４）のネジに対応するメネジ部
を宜する外蓋（１）の開口部に（３ａ）及び（３ｂ）の
配管を密に取付は固定した中蓋（２）を間挿し、次いで
外蓋（１）と容器（４）のネジ同士を螺合し密閉する。
器（４）に、この容器（４）のネジに対応するメネジ部
を宜する外蓋（１）の開口部に（３ａ）及び（３ｂ）の
配管を密に取付は固定した中蓋（２）を間挿し、次いで
外蓋（１）と容器（４）のネジ同士を螺合し密閉する。
第２図は他の薬液供給装置の蓋の部分の一実施例装置の
説明図である。
説明図である。
図において、１ａは外蓋、２ａは中蓋、３ａ及び３ｂは
配管である。
配管である。
この第２図においては、配管（３ａ）及び（３ｂ）を固
定した中蓋（２ａ）を図示する如く、外蓋（１ａ）のメ
ネジ部の上部に間挿し、一体化したものである。
定した中蓋（２ａ）を図示する如く、外蓋（１ａ）のメ
ネジ部の上部に間挿し、一体化したものである。
この場合も、外蓋（１ａ）のみが回転するように構成し
たので容器（４）を回さないで締付けることを可能とす
るものである。
たので容器（４）を回さないで締付けることを可能とす
るものである。
［発明の効果］
本発明の薬液供給装置は、蓋を二重構造にし、開閉の時
はパイプを固定している蓋は回転せずネジに成っている
蓋のみが回転するように構成したことにより、取扱いが
容易で、薬液供給装置の小型化、ビン・タンク等容器の
大型化が可能となるなどの効果を奏するものである。
はパイプを固定している蓋は回転せずネジに成っている
蓋のみが回転するように構成したことにより、取扱いが
容易で、薬液供給装置の小型化、ビン・タンク等容器の
大型化が可能となるなどの効果を奏するものである。
第１図は本発明に係る薬液供給装置の一実施例装置の説
明図、第２図は他の薬液供給装置の一実施例装置の説明
図、第３図は従来の薬液供給装置の説明図である。 図において、１及び１ａは外蓋、２及び２ａは中蓋＋３
ａ及び３ｂは配管、４は容器、５は蓋（キャップ）であ
る。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
明図、第２図は他の薬液供給装置の一実施例装置の説明
図、第３図は従来の薬液供給装置の説明図である。 図において、１及び１ａは外蓋、２及び２ａは中蓋＋３
ａ及び３ｂは配管、４は容器、５は蓋（キャップ）であ
る。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (2)
- （１）薬液が収納される口部にオネジ部を有する容器と
、該容器のオネジに対応するメネジ部を持つ外蓋と薬液
を流入出させるための配管を固定した中蓋とからなり、
該外蓋に中蓋を取付け、前記容器に前記外蓋を螺合した
ことを特徴とする薬液供給装置。 - （２）前記配管を固定した中蓋を、前記外蓋のメネジ部
の上部に間挿し固定化したことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の薬液供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5895287A JPS63232127A (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 | 薬液供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5895287A JPS63232127A (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 | 薬液供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63232127A true JPS63232127A (ja) | 1988-09-28 |
Family
ID=13099167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5895287A Pending JPS63232127A (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 | 薬液供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63232127A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8820587B2 (en) | 2004-12-27 | 2014-09-02 | Surpass Industry Co., Ltd. | Connector |
| EP3015420A1 (en) | 2014-10-31 | 2016-05-04 | Surpass Industry Co., Ltd. | Plug-integrating container |
| EP3023383A2 (en) | 2014-11-21 | 2016-05-25 | Surpass Industry Co., Ltd. | Valve-integrating container, liquid withdrawing device equipped with the same, and method for manufacturing valve-integrating container |
-
1987
- 1987-03-16 JP JP5895287A patent/JPS63232127A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8820587B2 (en) | 2004-12-27 | 2014-09-02 | Surpass Industry Co., Ltd. | Connector |
| EP3015420A1 (en) | 2014-10-31 | 2016-05-04 | Surpass Industry Co., Ltd. | Plug-integrating container |
| KR20160052369A (ko) | 2014-10-31 | 2016-05-12 | 사파스고교 가부시키가이샤 | 플러그 일체형 용기 |
| US10682648B2 (en) | 2014-10-31 | 2020-06-16 | Surpass Industry Co., Ltd. | Plug-integrating container |
| EP3023383A2 (en) | 2014-11-21 | 2016-05-25 | Surpass Industry Co., Ltd. | Valve-integrating container, liquid withdrawing device equipped with the same, and method for manufacturing valve-integrating container |
| KR20160061258A (ko) | 2014-11-21 | 2016-05-31 | 사파스고교 가부시키가이샤 | 밸브 일체형 용기, 이를 구비한 액체 취출장치, 및 밸브 일체형 용기의 제조 방법 |
| EP3023383A3 (en) * | 2014-11-21 | 2016-08-24 | Surpass Industry Co., Ltd. | Valve-integrating container, liquid withdrawing device equipped with the same, and method for manufacturing valve-integrating container |
| US9517925B2 (en) | 2014-11-21 | 2016-12-13 | Surpass Industry Co., Ltd. | Valve-integrating container, liquid withdrawing device equipped with the same, and method for manufacturing valve-integrating container |
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