JP2016096224A - 電子部品装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】2つの電子部品を配線部品を介して信頼性よく接続できる構造の電子部品装置を提供する。
【解決手段】配線部品搭載領域Aが画定された第1絶縁層31と、配線部品搭載領域Aを除いて第1絶縁層31の上に形成された配線層Pと、第1絶縁層31の上に形成され、配線部品搭載領域Aの上に開口部32aを備え、かつ、配線層Pの上に接続ホールHを備えた第2絶縁層32と、第2絶縁層32の開口部32a内の配線部品搭載領域Aに搭載され、一方の接続部Cと他方の接続部Cとを備えた配線部品40とを有する配線基板1と、配線部品40の一方の接続部Cに接続されると共に、配線基板1の一方の接続ホールH内の配線層Pに接続された第1電子部品60と、配線部品40の他方の接続部Cに接続されると共に、配線基板1の他方の接続ホールH内の配線層Pに接続された第2電子部品70とを含む。
【選択図】図11
【解決手段】配線部品搭載領域Aが画定された第1絶縁層31と、配線部品搭載領域Aを除いて第1絶縁層31の上に形成された配線層Pと、第1絶縁層31の上に形成され、配線部品搭載領域Aの上に開口部32aを備え、かつ、配線層Pの上に接続ホールHを備えた第2絶縁層32と、第2絶縁層32の開口部32a内の配線部品搭載領域Aに搭載され、一方の接続部Cと他方の接続部Cとを備えた配線部品40とを有する配線基板1と、配線部品40の一方の接続部Cに接続されると共に、配線基板1の一方の接続ホールH内の配線層Pに接続された第1電子部品60と、配線部品40の他方の接続部Cに接続されると共に、配線基板1の他方の接続ホールH内の配線層Pに接続された第2電子部品70とを含む。
【選択図】図11
Description
本発明は、電子部品装置及びその製造方法に関する。
従来、電子機器に使用される電子部品装置は、配線基板の上に電子部品が搭載されている。配線基板上に2つの電子部品を横方向に並べて搭載する電子部品装置では、2つの電子部品が微細配線を介して接続される。
2つの電子部品を接続する方法としては、微細配線を内蔵する配線部品を配線基板に配置する方法、又は配線基板に微細配線を作り込む方法などがある。
後述する予備的事項の欄で説明するように、2つの半導体チップを配線部品を介して接続する配線基板では、配線基板とその上に配置された配線部品とに半導体チップの接続端子を接続する必要がある。
このため、配線基板に接続される半導体チップの接続端子は配線部品の厚み以上の高い高さが必要になる。よって、特に半導体チップの接続端子が狭ピッチ化されると、接続端子の形成が困難になると共に、配線基板との接続の信頼性が得られなくなる。
2つの電子部品を配線部品を介して信頼性よく接続できる構造の電子部品装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
以下の開示の一観点によれば、配線部品搭載領域が画定された第1絶縁層と、前記配線部品搭載領域を除いて前記第1絶縁層の上に形成された配線層と、前記第1絶縁層の上に形成され、前記配線部品搭載領域の上に開口部を備え、かつ、前記配線層の上に接続ホールを備えた第2絶縁層と、前記第2絶縁層の開口部内の前記配線部品搭載領域に搭載され、一方の接続部と他方の接続部とを備えた配線部品とを含む配線基板と、前記配線部品の一方の接続部に接続されると共に、前記配線基板の一方の接続ホール内の前記配線層に接続された第1電子部品と、前記配線部品の他方の接続部に接続されると共に、前記配線基板の他方の接続ホール内の前記配線層に接続された第2電子部品とを有する電子部品装置が提供される。
また、その開示の他の観点によれば、配線部品搭載領域が画定された第1絶縁層の上に、前記配線部品搭載領域を除いて配線層を形成する工程と、前記第1絶縁層の上に、前記配線部品搭載領域の上に開口部を備え、かつ、前記配線層の上に接続ホールを備えた第2絶縁層を形成する工程と、前記第2絶縁層の開口部内の前記配線部品搭載領域に、一方の接続部と他方の接続部とを備えた配線部品を搭載する工程とを含む方法により配線基板を得る工程と、前記配線部品の一方の接続部及び前記配線基板の一方の接続ホール内の前記配線層に第1電子部品を接続する工程と、前記配線部品の他方の接続部及び前記配線基板の他方の接続ホール内の前記配線層に第2電子部品を接続する工程とを有する電子部品装置の製造方法が提供される。
以下の開示によれば、電子部品装置の配線基板では、第1絶縁層の配線部品搭載領域には、配線層が形成されておらず、第1絶縁層の配線部品搭載領域の上に第2絶縁層の開口部が配置されている。
そして、第2絶縁層の開口部内に露出する第1絶縁層の配線部品搭載領域に配線部品が搭載される。これにより、配線部品の上面の高さ位置は、配線層及び第2絶縁層の厚み分だけ低い位置に配置される。
従って、配線層の上面の高さ位置と、配線部品の上面の高さ位置との間の高さの差を小さくすることができるため、配線層に接続される電子部品の接続端子の高さを低くすることができる。
よって、電子部品内の高さの異なる接続端子を、配線基板の配線層及び配線部品に信頼性よく接続することができる。
以下、実施形態について、添付の図面を参照して説明する。
実施形態を説明する前に、基礎となる予備的事項について説明する。図1は予備的事項に係る電子部品装置を示す部分断面図である。
図1に示すように、電子部品装置の配線基板100では、絶縁層200の上にパッドPを含む配線層300が形成されている。また、絶縁層200の上に、パッドP上に開口部400aが設けられたソルダレジスト層400が形成されている。
さらに、ソルダレジスト層400の上に配線部品500が接着剤(不図示)によって固定されている。配線部品500には微細な配線層520が内蔵されており、上面に配線層520の接続部Cが形成されている。
そして、第1半導体チップ600の第1接続端子T1がはんだ320によって配線部品500の一方の接続部Cに接続されている。また、第1半導体チップ600の第2接続端子2が配線基板100の一方のパッドPにはんだ320によって接続されている。
また同様に、第2半導体チップ620の第1接続端子T1がはんだ330によって配線部品500の他方の接続部Cに接続されている。また、第2半導体チップ620の第2接続端子T2が配線基板100の他方のパッドPにはんだ330によって接続されている。
このようにして、第1半導体チップ600と第2半導体チップ620とが配線部品500の微細な配線層520を介して相互接続されている。
ここで、配線部品500はソルダレジスト層400の上に配置されるため、配線部品500の厚みの全体が段差となる。
このため、第1半導体チップ600の第2接続端子T2を配線基板100のパッドPに接続するには、第2接続端子T2の高さを配線部品500の段差以上の高さに設定する必要がある。
一方、第1半導体チップ600の第1接続端子T1を配線部品500の接続部Cに接続するには、配線部品500の段差を考慮する必要はない。このため、第1半導体チップ600の第1接続端子T1の高さはかなり低く設定される。
このように、第1半導体チップ600の第2接続端子T2の高さは、配線部品500の厚みの影響により、第1接続端子T1の高さよりもかなり高く設定される。
例えば、配線部品500の厚み:50μm、配線部品500の下の接着剤(不図示)の厚み:10μm、配線基板100のパッドPの厚み:15μm、ソルダレジスト層400のパッドP上からの厚み:20μmに設定される。
この場合は、配線基板100のパッドPの上面から配線部品500の接続部Cの上面のまでの高さは、80μmと高くなる。
第1半導体チップ600の第2接続端子T2は、上記した高さに対応するように高さを高く設定する必要がある。配線部品500及びソルダレジスト層400の厚みが厚くなると、それらの高さ位置の差はさらに大きくなる。
近年では、半導体チップの高性能化により、接続端子のピッチが狭小化されている。特に半導体チップの接続端子が狭ピッチ化されると、高さが75μm以上の高い接続端子を形成することは困難になる。
また、半導体チップ内で接続端子の高さの差が大きくなると、半導体チップと、配線線基板及び配線部品との接続の信頼性が得られなくなる。
以上のことから、半導体チップの接続端子の高さを低くして接続の信頼性を確保できる構造の配線基板が求められる。
以下に説明する実施形態では、前述した課題を解消することができる。
(実施形態)
図2〜図10は実施形態の配線基板及び電子部品装置を説明するための図である。以下、配線基板及び電子部品装置の製造方法を説明しながら、配線基板及び電子部品装置の構造について説明する。
図2〜図10は実施形態の配線基板及び電子部品装置を説明するための図である。以下、配線基板及び電子部品装置の製造方法を説明しながら、配線基板及び電子部品装置の構造について説明する。
第1実施形態の配線基板の製造方法では、まず、図2(a)に示すような構造のコア基板10を用意する。コア基板10は、ガラスエポキシ樹脂などから形成される絶縁基板12を備えている。絶縁基板12には厚み方向に貫通するスルーホールTHが形成されており、スルーホールTH内に貫通導体TCが充填されている。
また、コア基板10の両面側には第1配線層21がそれぞれ形成されている。両面側の第1配線層21は貫通電極TCを介して相互接続されている。
あるいは、スルーホールTHの側壁にスルーホールめっき層が形成され、スルーホールTHの残りの孔に樹脂体が充填されていてもよい。
コア基板10のスルーホールTHはドリルなどによって形成される。また、コア基板10の第1配線層21及び貫通電極TCは、めっき法及びフォトリソグラフィなどを使用して形成される。
次いで、図2(b)に示すように、コア基板10の両面側に未硬化の樹脂フィルムを貼付し、加熱処理して硬化させることにより絶縁層31をそれぞれ形成する。絶縁層31はエポキシ樹脂又はポリイミド樹脂などから形成される。第1絶縁層の一例が絶縁層31である。
絶縁層31の上面には、後に配線部品を搭載するための配線部品搭載領域Aが画定されている。
続いて、図3(a)に示すように、配線部品搭載領域Aを除いてコア基板10の両面側の絶縁層31をレーザで加工することにより、第1配線層21に到達するビアホールVHをそれぞれ形成する。
さらに、図3(b)に示すように、コア基板10の両面側の絶縁層31の上に、ビアホールVH内のビア導体を介して第1配線層21に接続される第2配線層22をそれぞれ形成する。第2配線層22は、絶縁層31の配線部品搭載領域Aを除く領域に形成される。
図3(b)では、第2配線層22のパッドPの部分が示されている。
第2配線層22は、島状のパッドであってもよいし、あるいは引き出し配線の一端にパッドが繋がって配置されていてもよい。
第2配線層22は、セミアディティブ法によって形成される。詳しく説明すると、まず、絶縁層31の上及びビアホールVHの内面に無電解めっき又はスパッタ法により銅などからなるシード層(不図示)を形成する。
次いで、第2配線層22が配置される領域に開口部が設けられためっきレジスト層(不図示)を形成する。さらに、シード層をめっき給電経路に利用する電解めっきにより、めっきレジスト層の開口部に銅などからなる金属めっき層(不図示)を形成する。
さらに、めっきレジスト層を除去した後に、金属めっき層をマスクにしてシード層をウェットエッチングにより除去する。
以上により、シード層及び金属めっき層により第2配線層22が形成される。
次いで、図4(a)に示すように、コア基板10の上面側のパッドP及び絶縁層31の上に感光性のソルダレジスト材32aを形成する。ソルダレジスト材32aの形成は、液状のソルダレジスト材を塗布してもよいし、あるいはフィルム状のソルダレジスト材をラミネートしてもよい。
次いで、図4(b)に示すように、ソルダレジスト材32aに対して、フォトリソグラフィに基づいて露光及び現像を行うことにより、ソルレジスト層32を形成する。ソルダレジスト層32は、配線部品搭載領域Aの上に一括した開口部32aを備え、パッドPの上に接続ホールHを備えて形成される。
第2絶縁層の一例がソルダレジスト層32である。第2絶縁層は最上の保護用の絶縁層として形成され、ソルダレジスト層32以外にも各種の絶縁材料を使用することができる。
また、コア基板10の下面側の絶縁層31の上に、第2配線層22の接続部上に開口部33aが設けられたソルダレジスト層33を形成する。
このようにして、絶縁層31の配線部品搭載領域Aには、第2配線層22(パッドP)及びソルダレジスト層32が形成されないようにし、配線部品搭載領域Aの全体にわたって絶縁層31が露出する空きスペースとする。
以上により、最上のソルダレジスト層32の開口部32a内の配線部品搭載領域Aに絶縁層31が露出した構造のベース配線基板1aを得る。図4(b)のベース配線基板1aの例では、絶縁基板12の両面側に2層の多層配線層(第1、第2配線層21,22)を形成したが、多層配線層の積層数は任意に設定することができる。
次いで、図5に示すように、絶縁層31の配線部品搭載領域Aに、接着剤14を介して配線部品40を搭載して固定する。
配線部品40は内部に微細な内部配線層42を備えており、上面に内部配線層42の接続部Cが露出して形成されている。また、配線部品40は内部にグランド層Gが形成されている。特に図示されていないが、配線部品40の上面にグランド層Gの接続部が同様に露出して形成されている。
例えば、配線部品40の内部配線層42のライン(幅):スペース(間隔)は2μm:2μmである。これに対して、ベース配線基板1aの第2配線層22のライン(幅):スペース(間隔)は10μm:10μmである。
このように、配線部品40の内部配線層42は、狭ピッチの接続端子を備えた半導体チップ同士を接続するため、ベース配線基板1aの第2配線層22よりもピッチが狭く設定される。
図6には、配線部品40の好適な具体例が示されている。図6に示すように、配線部品40として、シリコンを基板として使用するシリコン配線部品40aがある。シリコン配線部品40aでは、シリコン基板45の上に、第1絶縁層46、グランド層G、第2絶縁層46a、内部配線層48、及び第3絶縁層46bが順に積層されている。
第3絶縁層46bには内部配線層48に到達する第1ビアホールVH1が形成されている。また、第3絶縁層46b及び第2絶縁層46aにはグランド層Gに到達する第2ビアホールVH2が形成されている。
そして、第1ビアホールVH1内のビア導体を介して内部配線層48に接続される接続パッドP1が第3絶縁層46bの上に形成されている。また、第2ビアホールVH2内のビア導体を介してグランド層Gに接続される接続パッドP2が第3絶縁層46bの上に形成されている。
さらに、第3絶縁層46bの上に、接続パッドP1,P2の上に開口部49aがそれぞれ配置された保護絶縁層49が形成されている。
シリコン配線部品40aの一端側の接続パッドP1,P2に第1半導体チップの接続端子が接続される。また、シリコン配線部品40aの他端側の接続パッドP1,P2に第2半導体チップの接続端子が接続される。
このようにして、第1半導体チップと第2半導体チップとがシリコン配線部品40aを介して相互接続される。
シリコン配線部品40aの他に、セラミックスやポリイミドフィルムなどを基板として使用する各種の配線部品を使用することができる。
次に、前述した図5の配線部品40の搭載方法について、図7(a)及び(b)の部分拡大図を参照してさらに説明する。図7(a)に示すように、まず、絶縁層31の配線部品搭載領域Aに接着剤14を塗布する。接着剤14としては、エポキシ樹脂系の接着剤が使用される。接着剤14の塗布時の厚みは、例えば20μm〜30μm程度である。
そして、同じく図7(a)に示すように、搭載ツール50に配線部品40の上面側を固定する。配線部品40を搭載する際には、配線基板1のパッドPの上面の位置を基準として、パッドPの上面から所要の高さ位置に配線部品40の上面が配置されるようにする。
図7(a)に図7(b)を加えて参照すると、レーザ高さ測定装置によって配線基板1のパッドPの上面の高さを測定し、パッドPに対する配線部品40の接続部Cの高さ位置を調整する。
配線部品40の高さ位置の調整は、搭載ツール50に固定された配線部品40を接着剤14に当接させ、下側に押し込んだり、上側に持ち上げたりして行なわれる。
半導体チップの接続端子は、段差の異なる配線基板1のパッドPと配線部品40の接続部Cとに同時に接続される。配線基板1のパッドP、配線部品40、接着剤14、及びソルダレジスト層32などの各厚みは、製造公差によって基板内又は基板間でばらつきが生じている。
このため、配線基板1のパッドPの高さ位置に対して配線部品40の接続部Cの高さ位置が極力ばらつかないように配線部品40の高さ位置が調整される。これにより、後に半導体チップの接続端子を配線基板1のパッドP及び配線部品40の接続部Cに接続する際に、接続がオープンになることなく信頼性よく接続することができる。
さらに、配線部品40の高さ位置を調整した後に、配線部品40から搭載ツール50を取り外す。その後に、加熱処理することにより、接着剤14を硬化させる。
以上により、図5に示すように、実施形態の配線基板1が得られる。配線基板1は、ベース配線基板1aの配線部品搭載領域Aに配線部品40が搭載されて構築される。
図5に示すように、実施形態の配線基板1では、前述した図2(a)で説明したコア基板10の両面側に、第1配線層21の上にビアボールVHを備えた絶縁層31がそれぞれ形成されている。
両面側の絶縁層31の上には、ビアホールVH内のビア導体を介して第1配線層21に接続される第2配線層22がそれぞれ形成されている。コア基板10の上面側の第2配線層22は、絶縁層31の配線部品搭載領域Aを除く領域に形成されている。コア基板10の上面側の第2配線層22では、パッドPの部分が図示されている。
また、コア基板10の下面側の絶縁層31の上に、第2配線層22の接続部上に開口部33aが設けられたソルダレジスト層33が形成されている。
図8は図5の配線基板1を平面からみた縮小平面図である。図8のI−Iに沿った断面が図5の断面図に相当する。
図5に図8の縮小平面図を加えて参照すると、コア基板10の上面側の絶縁層31の上にソルダレジスト層32が形成されている。ソルダレジスト層32は、最上の保護用の絶縁層の一例である。ソルダレジスト層32は、絶縁層31の配線部品搭載領域Aに一括した開口部32aを備え、パッドPの上に接続ホールHを備えて形成されている。
図8の縮小平面図に示すように、配線部品搭載領域Aを介して対向する領域に複数の接続ホールHが2列に並んでそれぞれ配置されている。各接続ホールHの下にパッドPがそれぞれ配置されている。
このように、絶縁層31の配線部品搭載領域Aには、第2配線層22(パッドP)及びソルダレジスト層32が形成されておらず、ソルダレジスト層32の開口部32内の全体に絶縁層31が露出している。
そして、ソルダレジスト層32の開口部32内の絶縁層31の上に接着剤14によって配線部品40が固定されて搭載されている。
これにより、配線部品40の上面の高さ位置は、パッドP及びソルダレジスト層32の厚み分だけ予備的事項の構造よりも低い位置に配置される。
従って、配線基板1のパッドPの上面の高さ位置と、配線部品40の上面の高さ位置との間の高さの差を小さくすることができる。その結果、配線基板1のパッドPに接続される半導体チップの接続端子の高さを予備的事項の構造よりも低くすることができる。
しかも、配線基板1のパッドPの高さ位置を基準にして配線部品40の高さ位置が調整されるため、配線基板1のパッドPの上面から配線部品40の上面までの高さを一定に制御することができる。
よって、半導体チップ内の高さの異なる接続端子を、配線基板1のパッドP及び配線部品40に信頼性よく接続することができる。
配線部品40の厚みはパッドPの厚みよりも厚いため、ソルダレジスト層32の開口部32a内に搭載されるとしても、配線部品40の上面の高さ位置はパッドPの上面の高さ位置よりも高い位置に配置される。
図8の縮小平面図に示すように、配線部品40は四角形状を有し、内部配線層42は一端側から他端側に延在して形成され、複数の内部配線層42が縦方向に並んで配置されている。そして、各内部配線層42の両端部に接続される接続部Cがそれぞれ露出して形成されている。
次に、図5及び図8の実施形態の配線基板1を使用して電子部品装置を製造する方法について説明する。図9に示すように、まず、第1半導体チップ60及び第2半導体チップ70を用意する。第1、第2半導体チップ60,70は、第1接続端子T1及び第2接続端子T2をそれぞれ備えている。第1、第2半導体チップ60,70の各第1接続端子T1は配線部品40の接続部Cに接続されるため、高さが低く設定されている。
一方、第1、第2半導体チップ60,70の各第2接続端子T2は配線基板1のパッドPに接続されるため、高さが高く設定されている。
第1、第2半導体チップ60,70の各第1接続端子T1及び第2接続端子T2は、銅柱60aとその先端に設けられたはんだ60bとからそれぞれ形成される。銅柱60a及びはんだ60bは、例えば、めっき法によって形成される。
第1、第2半導体チップ60,70の各第1接続端子T1及び第2接続端子T2の各直径は5μm〜70μm、例えば20μmである。また、配線部品40に接続される第1接続端子T1の配置ピッチは30μm〜70μm、例えば50μm程度である。図9では、第1、第2半導体チップ60,70の各第1接続端子T1は1つしか描かれていないが、実際には複数で形成されている。
また、配線基板1のパッドPに接続される第2接続端子T2の配置ピッチは30μm〜120μm、例えば80μmである。
また、第1、第2接続端子T1,T2の先端のはんだ60bの厚みは、2μm〜30μm、例えば25μmである。
次いで、図10に示すように、チップマウンタ(不図示)に第1半導体チップ60を固定する。そして、第1半導体チップ60を配線基板1及び配線部品40の一端部の上に配置する。
このとき、図10に図8の縮小平面図を加えて参照すると、第1半導体チップ60の第1接続端子T1のはんだ60bが配線部品40の一方の接続部C上に配置され、第2接続端子T2のはんだ60bが配線基板1の一方のパッドP上に配置される。
さらに同様に、チップマウンタ(不図示)に第2半導体チップ70を固定する。そして、配線部品40を介して第1半導体チップ60と対向するように、第2半導体チップ70を配線基板1及び配線部品40の他端部の上に配置する。
このとき、図10に図8の縮小平面図を加えて参照すると、第2半導体チップ70の第1接続端子T1のはんだ60bが配線部品40の他方の接続部C上に配置され、第2接続端子T2のはんだ60bが配線基板1の他方のパッドP上に配置される。
その後に、リフロー加熱することにより、第1半導体チップ60の第1接続端子T1をはんだ60bを介して配線部品40の一方の接続部Cに接続する。また同時に、第1半導体チップ60の第2接続端子T2をはんだ60bを介して配線基板1の一方のパッドPに接続する。
さらに同時に、第2半導体チップ70の第1接続端子T1がはんだ60bを介して配線部品40の他方の接続部Cに接続される。また同時に、第2半導体チップ70の第2接続端子T2がはんだ60bを介して配線基板1の他方のパッドPに接続される。
第1、第2半導体チップ60,70の第1、第2接続端子T1,T2の各はんだ60bとして、錫(Sn)−銀(Ag)系のはんだを使用する場合は、245℃程度の温度でリフロー加熱が行われる。
その後に、図11に示すように、第1半導体チップ60と、配線基板1及び配線部品40との隙間にアンダーフィル樹脂62を充填する。また同様に、第2半導体チップ70と、配線基板1及び配線部品40との隙間にアンダーフィル樹脂72を充填する。
さらに、コア基板10の下面側の第2配線層22の接続部にはんだボールを搭載するなどして外部接続端子ETを形成する。
以上により、実施形態の電子部品装置2が得られる。コア基板10が多面取り用の大型基板である場合は、各製品領域が得られるように配線基板1が切断される。
図11に示すように、実施形態の電子部品装置2では、前述した図5の配線基板1に搭載された配線部品40の一方の接続部Cに、第1半導体チップ60の高さが低い方の第1接続端子T1がはんだ60bを介して接続されている。
また、前述した図5の配線基板1の一方のパッドPに、第1半導体チップ60の高さが高い方の第2接続端子T2がはんだ60bを介して接続されている。
前述したように、配線部品40は、ソルダレジスト層32の開口部32a内の絶縁層31の上に搭載される。このため、ソルダレジスト層32の上に配線部品40を搭載する場合に比べて、第2配線層22(パッドP)及びソルダレジスト層32の厚み分だけ、配線部品40の接続部Cの上面の高さ位置を低くすることができる。
これより、配線基板1のパッドPの高さ位置と、配線部品40の接続部Cの高さ位置との間の高さの差を小さくすることができる。
従って、第1半導体チップ60の高さが高い方の第2接続端子T2の高さを低くすることができる。
前述した予備的事項と同様に、配線部品40の厚み:50μm、接着剤14の厚み:10μm、配線基板1のパッドPの厚み:15μm、ソルダレジスト層32のパッドP上での厚み:20μmとする場合について検討してみる。
本実施形態では、上記した厚みの場合、配線基板1のパッドPの上面から配線部品40の接続部Cの上面までの高さは、45μm程度と低くなる。
このように、第1半導体チップ60の高さが高い方の第2接続端子T2の高さを低くすることができる。このため、半導体チップの接続端子が狭ピッチ化されるとしても、接続端子を容易に形成できるようになる。
また、前述したように、配線部品40は、配線基板1のパッドPの上面の高さ位置を基準として、設計スペック内の所定の高さ位置に調整されて搭載される。このため、第1半導体チップ60の第2接続端子T2を配線基板1のパッドPに歩留りよく接続することができ、接続の信頼性を確保することができる。
第1半導体チップ60の第2接続端子T2の高さが多少ばらつくとしても、第2接続端子T2の先端のはんだ60によってそのばらつきを吸収することができる。
また、配線部品40を介して第1半導体チップ60と対向するように第2半導体チップ70が同様に搭載されている。配線基板1に搭載された配線部品40の他方の接続部Cに、第2半導体チップ70の高さが低い方の第1接続端子T1がはんだ60bを介して接続されている。
また、配線基板1の他方のパッドPに、第2半導体チップ70の高さが高い方の第2接続端子T2がはんだ60bを介して接続されている。
第2半導体チップ70においても、前述した第1半導体チップ60と同様に、第2接続端子T2を配線基板1のパッドPに信頼性よく接続することができる。
このようして、第1半導体チップ60と第2半導体チップ70とが配線部品40の微細な内部配線層42を介して相互接続されている。
本実施形態の電子部品装置2では、微細な内部配線層42が内蔵された配線部品40を第1半導体チップ60と第2半導体チップ70との間の領域のみに配置することで、両者を相互接続することができる。
このため、コア基板10上の全体にわたって微細配線を形成する場合よりも製造コストを削減することができる。また、配線基板1の上に配線部品40を搭載するため、配線基板に形成したキャビティに配線部品を埋め込む方式よりも製造コストを削減することができる。
さらには、前述したように、配線基板1のパッドPと配線部品40との間の段差を低くできるため、第1、第2半導チップ60,70と配線基板1及び配線部品40との接続の信頼性を確保できる。
前述した形態では、電子部品として半導体チップを例示したが、キャパシタ素子、抵抗素子及びインダクタ素子などから選択される各種の電子部品を搭載することができる。
(付記1)
配線部品搭載領域が画定された第1絶縁層と、
前記配線部品搭載領域を除いて前記第1絶縁層の上に形成された配線層と、
前記第1絶縁層の上に形成され、前記第1絶縁層の配線部品搭載領域の上に開口部を備え、前記配線層の上に接続ホールを備えた第2絶縁層と、
前記第2絶縁層の開口部内の前記第1絶縁層の上に接着剤を介して搭載された配線部品と、
前記配線部品の上面側に配置された一方の接続部と他方の接続部と、
前記配線部品の内部に形成され、前記一方の接続部と他方の接続部とに接続された内部配線層と
を有することを特徴とする配線基板。
配線部品搭載領域が画定された第1絶縁層と、
前記配線部品搭載領域を除いて前記第1絶縁層の上に形成された配線層と、
前記第1絶縁層の上に形成され、前記第1絶縁層の配線部品搭載領域の上に開口部を備え、前記配線層の上に接続ホールを備えた第2絶縁層と、
前記第2絶縁層の開口部内の前記第1絶縁層の上に接着剤を介して搭載された配線部品と、
前記配線部品の上面側に配置された一方の接続部と他方の接続部と、
前記配線部品の内部に形成され、前記一方の接続部と他方の接続部とに接続された内部配線層と
を有することを特徴とする配線基板。
(付記2)
前記第2絶縁層は、ソルダレジスト層であることを特徴とする付記1に記載の配線基板。
前記第2絶縁層は、ソルダレジスト層であることを特徴とする付記1に記載の配線基板。
(付記3)
前記配線部品の上面の高さ位置は、前記配線層の上面の高さ位置よりも高いことを特徴とする付記1又は2に記載の配線基板。
前記配線部品の上面の高さ位置は、前記配線層の上面の高さ位置よりも高いことを特徴とする付記1又は2に記載の配線基板。
(付記4)
前記配線部品は、シリコン配線部品であることを特徴とする付記1乃至3のいずれかに記載の配線基板。
前記配線部品は、シリコン配線部品であることを特徴とする付記1乃至3のいずれかに記載の配線基板。
(付記5)
配線部品搭載領域が画定された第1絶縁層の上に、前記配線部品搭載領域を除いて配線層を形成する工程と、
前記第1絶縁層の上に、前記配線部品搭載領域の上に開口部を備えた第2絶縁層を形成する工程と、
前記第2絶縁層の開口部内の前記配線部品搭載領域に配線部品を搭載する工程と
を有することを特徴とする配線基板の製造方法。
配線部品搭載領域が画定された第1絶縁層の上に、前記配線部品搭載領域を除いて配線層を形成する工程と、
前記第1絶縁層の上に、前記配線部品搭載領域の上に開口部を備えた第2絶縁層を形成する工程と、
前記第2絶縁層の開口部内の前記配線部品搭載領域に配線部品を搭載する工程と
を有することを特徴とする配線基板の製造方法。
(付記6)
前記配線部品を搭載する工程において、
前記配線部品は接着剤を介して前記第1絶縁層の上に搭載され、
前記配線層の上面の高さ位置を基準にして、前記配線部品の上面の高さ位置を所定の高さ位置に調整することを特徴とする付記6に記載の配線基板の製造方法。
前記配線部品を搭載する工程において、
前記配線部品は接着剤を介して前記第1絶縁層の上に搭載され、
前記配線層の上面の高さ位置を基準にして、前記配線部品の上面の高さ位置を所定の高さ位置に調整することを特徴とする付記6に記載の配線基板の製造方法。
(付記7)
前記第2絶縁層は、ソルダレジスト層であることを特徴とする付記6又は7に記載の配線基板の製造方法。
前記第2絶縁層は、ソルダレジスト層であることを特徴とする付記6又は7に記載の配線基板の製造方法。
1…配線基板、1a…ベース配線基板、2…電子部品装置、10…コア基板、12…絶縁基板、14…接着剤、21…第1配線層、22…第2配線層,31…絶縁層、46…第1絶縁層,46a…第2絶縁層、46b…第3絶縁層、32a,33a,49a…開口部、32,33…ソルダレジスト層、40…配線部品、40a…シリコン配線部品、42,48…内部配線層、49…保護絶縁層、50…搭載ツール、60…第1半導体チップ、60a…銅柱、60b…はんだ、62,72…アンダーフィル樹脂、70…第2半導体チップ、A…配線部品搭載領域、ET…外部接続端子、G…グランド層、H…接続ホール、TC…貫通導体、TH…スルーホール、VH,VH1,VH2…ビアホール。
Claims (9)
- 配線部品搭載領域が画定された第1絶縁層と、
前記配線部品搭載領域を除いて前記第1絶縁層の上に形成された配線層と、
前記第1絶縁層の上に形成され、前記配線部品搭載領域の上に開口部を備え、かつ、前記配線層の上に接続ホールを備えた第2絶縁層と、
前記第2絶縁層の開口部内の前記配線部品搭載領域に搭載され、一方の接続部と他方の接続部とを備えた配線部品と
を含む配線基板と、
前記配線部品の一方の接続部に接続されると共に、前記配線基板の一方の接続ホール内の前記配線層に接続された第1電子部品と、
前記配線部品の他方の接続部に接続されると共に、前記配線基板の他方の接続ホール内の前記配線層に接続された第2電子部品と
を有することを特徴とする電子部品装置。 - 前記配線部品は接着剤を介して前記第1絶縁層の上に搭載され、
前記配線部品は内部に内部配線層を有し、前記配線部品の上面側に配置された前記一方の接続部と前記他方の接続部とが前記内部配線層に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品装置。 - 前記第1電子部品及び前記第2電子部品は、銅柱を含む第1接続端子と、銅柱を含む第2接続端子とをそれぞれ備え、前記第1接続端子の高さは前記第2接続端子の高さよりも低く設定されており、かつ、
前記第1電子部品及び前記第2電子部品の各第1接続端子が前記配線部品の接続部にそれぞれ接続され、前記第1電子部品及び前記第2電子部品の各第2接続端子が前記配線基板の配線層にそれぞれ接続されることを特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品装置。 - 前記第2絶縁層は、ソルダレジスト層であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電子部品装置。
- 前記配線部品の上面の高さ位置は、前記配線層の上面の高さ位置よりも高いことを特徴とする請求項付記1乃至4のいずれか一項に記載の電子部品装置。
- 前記配線部品は、シリコン配線部品であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の電子部品装置。
- 配線部品搭載領域が画定された第1絶縁層の上に、前記配線部品搭載領域を除いて配線層を形成する工程と、
前記第1絶縁層の上に、前記配線部品搭載領域の上に開口部を備え、かつ、前記配線層の上に接続ホールを備えた第2絶縁層を形成する工程と、
前記第2絶縁層の開口部内の前記配線部品搭載領域に、一方の接続部と他方の接続部とを備えた配線部品を搭載する工程と
を含む方法により配線基板を得る工程と、
前記配線部品の一方の接続部及び前記配線基板の一方の接続ホール内の前記配線層に第1電子部品を接続する工程と、
前記配線部品の他方の接続部及び前記配線基板の他方の接続ホール内の前記配線層に第2電子部品を接続する工程と
を有することを特徴とする電子部品装置の製造方法。 - 前記配線部品を搭載する工程において、
前記配線部品は接着剤を介して前記第1絶縁層の上に搭載され、
前記配線層の上面の高さ位置を基準にして、前記配線部品の上面の高さ位置を所定の高さ位置に調整することを特徴とする請求項7に記載の電子部品装置の製造方法。 - 前記第2絶縁層は、ソルダレジスト層であることを特徴とする請求項7又は8に記載の電子部品装置の製造方法。
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