JP2016095228A - 走査型プローブ顕微鏡を用いた作業方法および走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡を用いた作業方法および走査型プローブ顕微鏡 Download PDFInfo
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Abstract
Description
11,21 カンチレバー
12 探針
20 作業用走査プローブ
33 光学認識装置
40 制御装置
41 XYテーブル
50 フォトマスク(対象物)
Claims (9)
- 先端に探針が設けられたカンチレバーを含む観察用走査ヘッドと,先端に探針が設けられたカンチレバーを含む作業用走査ヘッドとを,相互に独立に動作可能に,走査型プローブ顕微鏡に設け,
作業前または作業後に前記観察用走査ヘッドで対象物の作業箇所を観察し,
前記作業用走査ヘッドで対象物の作業箇所における所定の作業を行う,
走査型プローブ顕微鏡を用いた作業方法。 - まず前記観察用走査ヘッドで対象物の作業箇所を観察して位置情報を得,
得られた位置情報に基づいて前記作業用走査ヘッドで所定の作業を行う,
請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡を用いた作業方法。 - 前記作業用走査ヘッドによる所定の作業の後に,前記観察用走査ヘッドによって作業結果を観察する,
請求項1または2に記載の走査型プローブ顕微鏡を用いた作業方法。 - 前記作業用走査ヘッドによる所定の作業が異物の除去である,請求項1から3のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡を用いた作業方法。
- 前記観察用走査ヘッドによる観察が,異物の有無の確認および異物有の場合の位置情報の取得,または異物の除去の確認である,請求項4に記載の走査型プローブ顕微鏡を用いた作業方法。
- 観察用走査ヘッドまたは作業用走査ヘッドの動作に先だって,光学認識装置により対象物の位置,姿勢についての情報を取得する,請求項1から5のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡を用いた作業方法。
- 作業箇所を示す位置情報が与えられており,前記観察用走査ヘッドによりさらに精密な位置情報を得る,請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡を用いた作業方法。
- 前記作業用走査ヘッドの探針に付着した異物を除去する工程を含む,請求項4に記載の走査型プローブ顕微鏡を用いた作業方法。
- 先端に探針が設けられたカンチレバーを含む観察用走査ヘッドと,
先端に探針が設けられたカンチレバーを含む作業用走査ヘッドと,
が相互に独立に動作可能に設けられている走査型プローブ顕微鏡。
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-
2014
- 2014-11-14 JP JP2014231474A patent/JP2016095228A/ja active Pending
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