JP2016085917A - 荷電粒子線装置及び情報処理装置 - Google Patents
荷電粒子線装置及び情報処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016085917A JP2016085917A JP2014219493A JP2014219493A JP2016085917A JP 2016085917 A JP2016085917 A JP 2016085917A JP 2014219493 A JP2014219493 A JP 2014219493A JP 2014219493 A JP2014219493 A JP 2014219493A JP 2016085917 A JP2016085917 A JP 2016085917A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- sample
- value
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/222—Image processing arrangements associated with the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2443—Scintillation detectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2448—Secondary particle detectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/24495—Signal processing, e.g. mixing of two or more signals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/245—Detection characterised by the variable being measured
- H01J2237/24507—Intensity, dose or other characteristics of particle beams or electromagnetic radiation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】荷電粒子線装置は、試料を設置するステージと、荷電粒子線を前記試料に照射する荷電粒子線光学系と、前記試料から二次的に発生した荷電粒子を検出する荷電粒子検出装置と、を備える。前記荷電粒子検出装置は、前記試料からの前記荷電粒子を光子に変換し、前記光子をアナログの電気信号に変換する光電変換部と、前記アナログの電気信号をデジタル信号に変換するアナログ−デジタル変換部と、前記デジタル信号を計数処理する演算部と、を備える。前記演算部が、1つの荷電粒子が前記試料に照射されたときに生じる1イベントに関する単位波高値を用いて、前記デジタル信号における単位時間当たりの信号を多値化し、多値計数値として出力する。
【選択図】図1
Description
本発明に関連する更なる特徴は、本明細書の記述、添付図面から明らかになるものである。また、上記した以外の、課題、構成及び効果は、以下の実施例の説明により明らかにされる。
図1は、第1実施例における荷電粒子検出装置の概略構成図である。荷電粒子検出装置は、試料に一次荷電粒子を照射したときに試料から二次的に発生した荷電粒子を検出する装置である。荷電粒子検出装置は、シンチレータ101と、ライトガイド102と、光電子増倍管103と、アナログ増幅器104と、アナログ−デジタル変換器(ADコンバータ)105と、波高弁別部106と、電子計数器107と、演算処理部108とを備える。
本実施例では、荷電粒子検出装置を荷電粒子線装置に適用した例を説明する。荷電粒子線装置は、一次荷電粒子線(例えば、電子)を試料表面で走査して、試料から二次的に発生した荷電粒子を検出することによって、試料の観察画像の取得、分析、加工などを行うものである。荷電粒子線装置の代表的な例として、走査電子顕微鏡(SEM)がある。以下では、一例として、走査電子顕微鏡(SEM)に適用した例として説明するが、他の荷電粒子線装置(走査透過電子顕微鏡、ヘリウムイオン顕微鏡など)でも適用することができる。すなわち、本発明は、荷電粒子線装置全般に適用可能である。
本実施例では、第1実施例の荷電粒子検出装置及び第2実施例の荷電粒子線装置に関して、放出電子の計数及び演算方法、並びに画像取得方法を説明する。
放出電子の計数の後、画像信号に変換する信号演算処理の第一の例は、最も単純な方法であり、各画素内のイベントにおける計数値の積算値を出力する方法である。演算処理部108が、試料像の各画素における多値計数値の積算値を画素信号として出力する。すなわち、SEM画像の画素信号をZl, mを以下とする。
信号演算処理方法の第二の例は、各画素内のイベントにおける計数値Nに閾値をもうけて弁別する方法である。演算処理部108が、多値計数値Nが所定の閾値よりも小さい第1の組と、多値計数値Nが所定の閾値以上である第2の組とに弁別し、第1の組の積算値と第2の組の積算値のそれぞれを画素信号として出力する。例えば、N=0かN=1のA組と、Nが2以上のB組とに分ける方法がある。図3の114、115は閾値を用いて多値計数値のデータを2つの組に弁別した結果を示す。ここで、図3の115がA組に相当し、図3の114がB組に相当する。
信号演算方法の第三の例は、演算処理部108が、各画素の多値計数値に関して所定の統計処理を実行し、統計処理の結果を出力する。例えば、Nk l,m,iのヒストグラムを出力し、各画素におけるイベントの値(多値計数値)から平均値、分散を算出する。すでに述べたように、図4は、ヒストグラム、平均値、分散を出力した例である。観察対象の試料に応じて、ヒストグラム、平均、分散などが変化することが考えられ、これらの統計処理の結果を信号処理に利用することができる。
信号演算処理方法の第四の例は、隣接する画素のイベントの一部の計数値を用いて、演算処理する方法である。演算処理部108が、試料像の各画素に関して隣接画素の一部を含めた積算値を画素信号として出力する。この方法は、観察倍率が大きくなり、一次電子の試料内広がりよりも画素サイズが小さくなった場合(例えば、20万倍の観察では、画素サイズは、約0.6 nm)に特に有効である。x方向での隣接画素の場合、以下の式で表せる。
好適な二次電子放出率の高い低照射エネルギーを用いると、絶縁体や高抵抗試料の観察では、試料が正に帯電し、像障害が発生することがある。そこで、本実施例では、試料帯電の影響を除去するために、一次電子線を遮断できる制御系と照射するタイミングと検出するタイミングを同期した走査電子顕微鏡に、第1実施例の荷電粒子検出装置を適用した例を説明する。
2:偏向器
3:対物レンズ
5:試料
6:試料ホルダ
7:ステージ
8:加速電圧制御部
9:一次電子の電流制御部
10:偏向走査信号制御部
11:対物レンズコイル制御部
12:ステージ制御部
13:ブランカ
13a:ブランカ絞り
14:ブランカ制御部
15:照射パルス電子線
16:放出パルス電子
17:操作インターフェース
18:計測結果表示部
20:GUI
21:計測条件入力部
22:加速電圧設定部
23:一次電子の電流設定部
24:試料ホルダ印加電圧設定部
25:計測時間設定部
26:計測結果表示部
27:時系列計測データ表示部
28:第1の統計処理結果表示部(放出電子数のヒストグラム)
29:第2の統計処理結果表示部(平均値及び分散)
30:GUI
31:SEM観察条件設定部
32:信号閾値設定部
33:SEM画像表示部
34:閾値画像表示部
40:GUI
41:SEM観察条件入力部
42:画素積算条件入力部
43:SEM画像表示部
44:画素積算処理画像表示部
101:シンチレータ
102:ライトガイド
103:光電子増倍管
104:アナログ増幅器
105:アナログ−デジタル変換器
106:波高弁別部
107:電子計数器
108:演算処理部
110:アナログパルス信号
111:デジタル信号
112:波高計測結果
113:計数結果
114:信号処理結果
115:信号処理結果
120:平坦部
121:平坦部のアナログ信号
122:平坦部の2値計数結果
123:平坦部の多値計数結果
130:エッジ部
131:エッジ部のアナログ信号
132:エッジ部の2値計数結果
133:エッジ部の多値計数結果
Claims (15)
- 試料を設置するステージと、
荷電粒子線を前記試料に照射する荷電粒子線光学系と、
前記試料から二次的に発生した荷電粒子を検出する荷電粒子検出装置と、
を備え、
前記荷電粒子検出装置は、
前記試料からの前記荷電粒子を光子に変換し、前記光子をアナログの電気信号に変換する光電変換部と、
前記アナログの電気信号をデジタル信号に変換するアナログ−デジタル変換部と、
前記デジタル信号を計数処理する演算部と、
を備え、
前記演算部が、1つの荷電粒子が前記試料に照射されたときに生じる1イベントに関する単位波高値を用いて、前記デジタル信号における単位時間当たりの信号を多値化し、多値計数値として出力することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記演算部が、試料像の各画素における前記多値計数値の積算値を画素信号として出力することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記演算部が、前記多値計数値が所定の閾値よりも小さい第1の組と、前記多値計数値が前記所定の閾値以上である第2の組とに弁別し、前記第1の組の積算値と前記第2の組の積算値のそれぞれを画素信号として出力することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記演算部が、前記多値計数値に関して所定の統計処理を実行し、前記統計処理の結果を出力することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4に記載の荷電粒子線装置において、
前記統計処理の結果が、前記多値計数値のヒストグラム、平均、及び分散の少なくとも1つであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記演算部が、あらかじめ作成された統計モデルを用いて、試料像の各画素における推定計数値を画素信号として出力することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記演算部が、試料像の各画素に関して隣接画素の一部を含めた積算値を画素信号として出力することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子線の電流をIp、素電荷をeとすると、前記光電変換部におけるアナログ増幅の周波数帯域f1は、10×Ip/e以上であり、前記アナログ−デジタル変換部のサンプリング周波数f2は、2×f1以上であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子線光学系が、前記荷電粒子線を遮断してパルス荷電粒子を前記試料に照射するように構成されており、
前記荷電粒子線光学系での前記パルス荷電粒子の偏向制御と、前記荷電粒子検出装置での前記試料からの放出パルス荷電粒子の検出制御とが同期するように構成されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子線装置が走査電子顕微鏡であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を試料に照射して前記試料に起因する荷電粒子を検出したときの検出情報を、電流値または電圧値として入力する入力部と、
電流値または電圧値で定められた任意の第1および第2の閾値に基づき、前記検出情報を、第1の状態、第2の状態、及び第3の状態に分ける第1の判定をする判定部と、
を備えることを特徴とする情報処理装置。 - 請求項11に記載の情報処理装置において、
前記第1の状態は、前記荷電粒子を検出しない状態であり、
前記第2の状態は、前記荷電粒子を1つ検出した状態であり、
前記第3の状態は、前記荷電粒子を2つ、または2つ以上検出した状態であることを特徴とする情報処理装置。 - 請求項11に記載の情報処理装置において、
前記荷電粒子は走査電子顕微鏡にて計測された電子であることを特徴とする情報処理装置。 - 請求項11に記載の情報処理装置において、
前記試料の種類または前記荷電粒子の種類に応じて、前記第2の閾値を定めることを特徴とする情報処理装置。 - 請求項11に記載の情報処理装置において、
前記判定部は、前記第1の閾値に基づき、前記検出情報を前記第1の状態と前記第2の状態とに分ける第2の判定をし、
前記情報処理装置は、前記第1の判定に基づく前記試料の計測画像と、前記第2の判定に基づく前記試料の計測画像とを表示するGUIを有することを特徴とする情報処理装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014219493A JP6289339B2 (ja) | 2014-10-28 | 2014-10-28 | 荷電粒子線装置及び情報処理装置 |
DE112015004889.8T DE112015004889B4 (de) | 2014-10-28 | 2015-10-22 | Strahlvorrichtung für geladene Teilchen und Informationsverarbeitungsvorrichtung |
US15/520,953 US10453648B2 (en) | 2014-10-28 | 2015-10-22 | Charged particle bean device and information-processing device |
PCT/JP2015/079761 WO2016068002A1 (ja) | 2014-10-28 | 2015-10-22 | 荷電粒子線装置及び情報処理装置 |
CN201580052516.3A CN107078011B (zh) | 2014-10-28 | 2015-10-22 | 带电粒子束装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014219493A JP6289339B2 (ja) | 2014-10-28 | 2014-10-28 | 荷電粒子線装置及び情報処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016085917A true JP2016085917A (ja) | 2016-05-19 |
JP6289339B2 JP6289339B2 (ja) | 2018-03-07 |
Family
ID=55857341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014219493A Active JP6289339B2 (ja) | 2014-10-28 | 2014-10-28 | 荷電粒子線装置及び情報処理装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10453648B2 (ja) |
JP (1) | JP6289339B2 (ja) |
CN (1) | CN107078011B (ja) |
DE (1) | DE112015004889B4 (ja) |
WO (1) | WO2016068002A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019087406A (ja) * | 2017-11-07 | 2019-06-06 | キヤノン株式会社 | 電子線検出素子、電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡 |
KR20210033515A (ko) * | 2018-09-11 | 2021-03-26 | 주식회사 히타치하이테크 | 전자선 장치 |
JP7498223B2 (ja) | 2022-05-25 | 2024-06-11 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡およびキャリブレーション方法 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6289339B2 (ja) * | 2014-10-28 | 2018-03-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び情報処理装置 |
WO2018134870A1 (ja) * | 2017-01-17 | 2018-07-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡および走査電子顕微鏡による試料観察方法 |
JP7114317B2 (ja) * | 2018-04-20 | 2022-08-08 | 株式会社日立ハイテク | 高さ検出装置および荷電粒子線装置 |
JP7031516B2 (ja) * | 2018-07-06 | 2022-03-08 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 照射量補正量の取得方法、荷電粒子ビーム描画方法、及び荷電粒子ビーム描画装置 |
US20210407074A1 (en) * | 2018-11-01 | 2021-12-30 | Tokyo Electron Limited | Image processing method and image processing device |
JP7149532B2 (ja) * | 2019-04-26 | 2022-10-07 | 株式会社日立製作所 | 粒子線実験データ解析装置 |
DE112019007206T5 (de) * | 2019-05-21 | 2022-01-05 | Hitachi High-Tech Corporation | Ladungsteilchenstrahlvorrichtung |
EP3745442A1 (en) * | 2019-05-29 | 2020-12-02 | FEI Company | Method of examining a sample using a charged particle microscope |
CN111150936B (zh) * | 2019-11-04 | 2020-12-18 | 刘延兵 | 一种带电荷的粒子波产生方法及装置 |
CN110940857A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-03-31 | 西安锐驰电器有限公司 | 一种频谱参数检测方法 |
JP7437262B2 (ja) * | 2020-07-31 | 2024-02-22 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置および電気ノイズの計測方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01155251A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-19 | Shimadzu Corp | 表面分析装置 |
JPH0320947A (ja) * | 1989-06-16 | 1991-01-29 | Univ Nagoya | 走査型電子顕微鏡における信号処理装置 |
JPH07245076A (ja) * | 1994-03-04 | 1995-09-19 | Jeol Ltd | 信号検出回路 |
JP2011175811A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0756786B2 (ja) * | 1988-03-09 | 1995-06-14 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡の焦点合わせ装置 |
JP4268463B2 (ja) * | 2003-06-25 | 2009-05-27 | 浜松ホトニクス株式会社 | 時間分解測定装置および位置検出型電子増倍管 |
JP2007531876A (ja) * | 2004-04-02 | 2007-11-08 | カリフォルニア インスティテュート オブ テクノロジー | 超高速光電子顕微鏡のための方法およびシステム |
JP2008123990A (ja) * | 2006-10-17 | 2008-05-29 | Jeol Ltd | 電子線装置及び電子線装置の動作方法 |
JP5655084B2 (ja) * | 2010-09-25 | 2015-01-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子ビーム顕微鏡 |
CN102759408B (zh) * | 2011-04-25 | 2015-04-15 | 中国科学院空间科学与应用研究中心 | 一种单光子计数成像系统及其方法 |
JP5744629B2 (ja) * | 2011-06-03 | 2015-07-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡及び電子線を用いた撮像方法 |
JP6121651B2 (ja) * | 2012-04-04 | 2017-04-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の観察条件の設定方法、および電子顕微鏡による観察方法 |
EP2653891A1 (en) * | 2012-04-19 | 2013-10-23 | Fei Company | Method for analyzing an EDS signal |
CN104380064B (zh) * | 2012-06-15 | 2016-07-06 | 株式会社日立高新技术 | 光信号检测电路、光量检测装置以及带电粒子束装置 |
EP2690431A1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-01-29 | FEI Company | X-ray spectroscopic technique using merged spectral data |
JP6169451B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2017-07-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置および荷電粒子線の計測方法 |
JP6289339B2 (ja) * | 2014-10-28 | 2018-03-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び情報処理装置 |
JP7073668B2 (ja) * | 2017-10-25 | 2022-05-24 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
-
2014
- 2014-10-28 JP JP2014219493A patent/JP6289339B2/ja active Active
-
2015
- 2015-10-22 US US15/520,953 patent/US10453648B2/en active Active
- 2015-10-22 CN CN201580052516.3A patent/CN107078011B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2015-10-22 DE DE112015004889.8T patent/DE112015004889B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2015-10-22 WO PCT/JP2015/079761 patent/WO2016068002A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01155251A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-19 | Shimadzu Corp | 表面分析装置 |
JPH0320947A (ja) * | 1989-06-16 | 1991-01-29 | Univ Nagoya | 走査型電子顕微鏡における信号処理装置 |
JPH07245076A (ja) * | 1994-03-04 | 1995-09-19 | Jeol Ltd | 信号検出回路 |
JP2011175811A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019087406A (ja) * | 2017-11-07 | 2019-06-06 | キヤノン株式会社 | 電子線検出素子、電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡 |
JP2021182558A (ja) * | 2017-11-07 | 2021-11-25 | キヤノン株式会社 | 電子線検出素子、電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡 |
JP7135182B2 (ja) | 2017-11-07 | 2022-09-12 | キヤノン株式会社 | 電子線検出素子、電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡 |
KR20210033515A (ko) * | 2018-09-11 | 2021-03-26 | 주식회사 히타치하이테크 | 전자선 장치 |
KR102456983B1 (ko) | 2018-09-11 | 2022-10-21 | 주식회사 히타치하이테크 | 전자선 장치 |
JP7498223B2 (ja) | 2022-05-25 | 2024-06-11 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡およびキャリブレーション方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112015004889T5 (de) | 2017-07-13 |
US10453648B2 (en) | 2019-10-22 |
JP6289339B2 (ja) | 2018-03-07 |
US20170345614A1 (en) | 2017-11-30 |
WO2016068002A1 (ja) | 2016-05-06 |
CN107078011B (zh) | 2018-11-02 |
DE112015004889B4 (de) | 2021-03-18 |
CN107078011A (zh) | 2017-08-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6289339B2 (ja) | 荷電粒子線装置及び情報処理装置 | |
JP7209744B2 (ja) | 顕微鏡検査のための半導体荷電粒子検出器 | |
US9633818B2 (en) | Charged particle beam apparatus, image forming method using a charged particle beam apparatus, and image processing apparatus | |
JP5655084B2 (ja) | 荷電粒子ビーム顕微鏡 | |
JP6267529B2 (ja) | 荷電粒子線装置及び画像生成方法 | |
JP4914180B2 (ja) | 時定数測定機能を搭載した走査型電子顕微鏡 | |
US10541103B2 (en) | Charged particle beam device | |
US20180247790A1 (en) | Charged particle beam device and image forming method using same | |
JP2013224938A (ja) | Eds信号の解析方法 | |
US8093567B2 (en) | Method and system for counting secondary particles | |
JP2011175811A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
WO2022106161A1 (en) | Semiconductor charged particle detector for microscopy | |
WO2020129150A1 (ja) | 測定装置、及び信号処理方法 | |
JP2005061998A (ja) | 表面電位測定方法及び試料観察方法 | |
US10615000B2 (en) | Electron beam microscope | |
Joy | Noise and its effects on the low-voltage SEM | |
JP6298601B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
WO2021085049A1 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP5968131B2 (ja) | 電子顕微鏡および電子顕微鏡による画像形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170309 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180123 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180206 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6289339 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |