JPH07245076A - 信号検出回路 - Google Patents
信号検出回路Info
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- JPH07245076A JPH07245076A JP3450494A JP3450494A JPH07245076A JP H07245076 A JPH07245076 A JP H07245076A JP 3450494 A JP3450494 A JP 3450494A JP 3450494 A JP3450494 A JP 3450494A JP H07245076 A JPH07245076 A JP H07245076A
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- Japan
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- signal
- counter
- comparator
- level
- detector
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 面倒な調整を伴わず、正確にＳＮ比良く信号
検出を行うことができる信号検出回路を実現する。 【構成】 検出器１からの検出信号が増幅器２によって
増幅され、第１と第２のコンパレータ３，４によって第
１と第２の基準レベルＬ１とＬ２と比較される。第１の
コンパレータ３の出力信号は、カウンタ９に、また、第
２のコンパレータ４の出力信号はカウンタ１０に供給さ
れるが、カウンタ９，１０は、入力信号の立ち上がりエ
ッジにより動作する。第１と第２のカウンタ９，１０の
カウント値は、演算器１１に供給されその差が求められ
る。
検出を行うことができる信号検出回路を実現する。 【構成】 検出器１からの検出信号が増幅器２によって
増幅され、第１と第２のコンパレータ３，４によって第
１と第２の基準レベルＬ１とＬ２と比較される。第１の
コンパレータ３の出力信号は、カウンタ９に、また、第
２のコンパレータ４の出力信号はカウンタ１０に供給さ
れるが、カウンタ９，１０は、入力信号の立ち上がりエ
ッジにより動作する。第１と第２のカウンタ９，１０の
カウント値は、演算器１１に供給されその差が求められ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査電子顕微鏡などに
おいて、２次電子やＸ線検出信号をＳＮ比良く検出する
ための信号検出回路に関する。
おいて、２次電子やＸ線検出信号をＳＮ比良く検出する
ための信号検出回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡などにおいては、試料に
電子ビームを照射し、試料から発生した２次電子やＸ線
などを検出している。これらの２次電子やＸ線の信号は
微弱であるため、ＳＮ比良く検出する信号検出回路が必
要である。図１はこの種信号検出回路の一例を示してい
る。この回路は特定レベル範囲の信号が正規の信号で、
その範囲外のレベルの信号はノイズとし、そのノイズ成
分をカットする回路である。図において１は例えば２次
電子検出器であり、検出器１からは入射した２次電子１
個当たり単一のパルス信号が得られる。
電子ビームを照射し、試料から発生した２次電子やＸ線
などを検出している。これらの２次電子やＸ線の信号は
微弱であるため、ＳＮ比良く検出する信号検出回路が必
要である。図１はこの種信号検出回路の一例を示してい
る。この回路は特定レベル範囲の信号が正規の信号で、
その範囲外のレベルの信号はノイズとし、そのノイズ成
分をカットする回路である。図において１は例えば２次
電子検出器であり、検出器１からは入射した２次電子１
個当たり単一のパルス信号が得られる。
【０００３】検出器１からの検出信号パルスは増幅器２
に供給されて増幅された後、第１と第２のコンパレータ
３，４に供給される。第１のコンパレータ３は検出信号
パルスと第１の信号レベルＬ1との比較を行い、第２の
コンパレータ４は検出信号パルスと第２の信号レベルＬ
2との比較を行う。
に供給されて増幅された後、第１と第２のコンパレータ
３，４に供給される。第１のコンパレータ３は検出信号
パルスと第１の信号レベルＬ1との比較を行い、第２の
コンパレータ４は検出信号パルスと第２の信号レベルＬ
2との比較を行う。
【０００４】第１のコンパレータ３の出力は、第１のワ
ンショットマルチバイブレータ５に供給され、第２のコ
ンパレータ４の出力は、第２のワンショットマルチバイ
ブレータ６に供給される。第１と第２のワンショットマ
ルチバイブレータ５，６の出力信号は演算器７に供給さ
れる。演算器７の出力は、カウンタ８に供給されてカウ
ントされる。このような構成の動作を図２の信号波形図
も参考にして説明する。
ンショットマルチバイブレータ５に供給され、第２のコ
ンパレータ４の出力は、第２のワンショットマルチバイ
ブレータ６に供給される。第１と第２のワンショットマ
ルチバイブレータ５，６の出力信号は演算器７に供給さ
れる。演算器７の出力は、カウンタ８に供給されてカウ
ントされる。このような構成の動作を図２の信号波形図
も参考にして説明する。
【０００５】検出器１の検出信号は増幅器２によって増
幅されるが、この増幅された信号Ｓ 1，Ｓ2，Ｓ3を図２
（ａ）に示す。図２（ａ）の信号は、第１と第２のコン
パレータ３，４に供給され、それぞれ第１と第２の信号
レベルＬ1，Ｌ2と比較される。第１のコンパレータ３
は、信号が第１の信号レベルＬ1を越えている期間図２
（ｂ）に示すようにハイレベル信号を発生する。第２の
コンパレータ４は、信号が第２の信号レベルＬ2を越え
ている期間、図２（ｃ）に示すようにハイレベル信号を
発生する。
幅されるが、この増幅された信号Ｓ 1，Ｓ2，Ｓ3を図２
（ａ）に示す。図２（ａ）の信号は、第１と第２のコン
パレータ３，４に供給され、それぞれ第１と第２の信号
レベルＬ1，Ｌ2と比較される。第１のコンパレータ３
は、信号が第１の信号レベルＬ1を越えている期間図２
（ｂ）に示すようにハイレベル信号を発生する。第２の
コンパレータ４は、信号が第２の信号レベルＬ2を越え
ている期間、図２（ｃ）に示すようにハイレベル信号を
発生する。
【０００６】第１のワンショットマルチバイブレータ５
は、第１のコンパレータ３からの信号の立ち上がりに基
づいて、図２（ｄ）に示すように，一定幅のハイレベル
信号を発生する。また、第２のワンショットマルチバイ
ブレータ６は、第２のコンパレータ４からの信号の立ち
下がりに基づいて、図２（ｅ）に示すように、パルス信
号を発生する。第１と第２のワンショットマルチバイブ
レータ５，６の出力信号は、演算器７に供給されるが、
演算器７は第１のワンショットマルチバイブレータ５か
らの図２（ｄ）に示したハイレベル信号をマスキング信
号Ｍとし、図２（ｄ）のハイレベル信号の期間、第２の
ワンショットマルチバイブレータ６からの信号を通過さ
せない。
は、第１のコンパレータ３からの信号の立ち上がりに基
づいて、図２（ｄ）に示すように，一定幅のハイレベル
信号を発生する。また、第２のワンショットマルチバイ
ブレータ６は、第２のコンパレータ４からの信号の立ち
下がりに基づいて、図２（ｅ）に示すように、パルス信
号を発生する。第１と第２のワンショットマルチバイブ
レータ５，６の出力信号は、演算器７に供給されるが、
演算器７は第１のワンショットマルチバイブレータ５か
らの図２（ｄ）に示したハイレベル信号をマスキング信
号Ｍとし、図２（ｄ）のハイレベル信号の期間、第２の
ワンショットマルチバイブレータ６からの信号を通過さ
せない。
【０００７】従って、信号Ｓ1に基づく第２のワンショ
ットマルチバイブレータ６の出力パルスＰ1は、演算器
７を通過してカウンタ８によってカウントされる。一
方、信号Ｓ2に基づく第２のワンショットマルチバイブ
レータ６の出力パルスＰ2は、図２（ｄ）のマスキング
信号Ｍによってマスキングされる。尚、第２の信号レベ
ルより小さな強度の信号Ｓ3は、いずれのコンパレータ
３，４からも信号が得られず、カウンタ８にカウントさ
れることはない。
ットマルチバイブレータ６の出力パルスＰ1は、演算器
７を通過してカウンタ８によってカウントされる。一
方、信号Ｓ2に基づく第２のワンショットマルチバイブ
レータ６の出力パルスＰ2は、図２（ｄ）のマスキング
信号Ｍによってマスキングされる。尚、第２の信号レベ
ルより小さな強度の信号Ｓ3は、いずれのコンパレータ
３，４からも信号が得られず、カウンタ８にカウントさ
れることはない。
【０００８】このようにして、第１のレベルＬ1と、第
２のレベルＬ2との間の強度の信号Ｓ 1のみがカウントさ
れ、ノイズ成分である第１のレベル以上の強度の信号Ｓ
2や第２のレベル以下の強度の信号Ｓ3はカットされる。
尚、カウンタ８のカウント値が検出信号強度となり、こ
の信号は図示していないが、メモリーに供給され、試料
上の電子ビームの走査位置に応じて記憶される。メモリ
ーに記憶された信号は読み出されて陰極線管に供給さ
れ、２次電子像の表示などが行われる。
２のレベルＬ2との間の強度の信号Ｓ 1のみがカウントさ
れ、ノイズ成分である第１のレベル以上の強度の信号Ｓ
2や第２のレベル以下の強度の信号Ｓ3はカットされる。
尚、カウンタ８のカウント値が検出信号強度となり、こ
の信号は図示していないが、メモリーに供給され、試料
上の電子ビームの走査位置に応じて記憶される。メモリ
ーに記憶された信号は読み出されて陰極線管に供給さ
れ、２次電子像の表示などが行われる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】第１のワンショットマ
ルチバイブレータ５で作成するハイレベル信号（マスキ
ング信号）Ｍは、確実にノイズ信号Ｓ2に基づく図２
（ｅ）のパルスＰ2のみをマスキングしなければならな
い。この信号Ｍの幅の調整は信号の検出のＳＮ比を向上
させる上で重要である。例えば、マスキング信号Ｍの幅
が広すぎると、信号Ｓ 2の後に直ぐに供給される正規の
検出信号（第１と第２のレベルＬ1，Ｌ2の間の強度の信
号）までマスキングしてしまい、また、逆に幅が狭すぎ
ると、マスキングすべきパルスを通過させてしまう。し
かしながら、この信号Ｍの幅の調整は極めて困難であ
る。
ルチバイブレータ５で作成するハイレベル信号（マスキ
ング信号）Ｍは、確実にノイズ信号Ｓ2に基づく図２
（ｅ）のパルスＰ2のみをマスキングしなければならな
い。この信号Ｍの幅の調整は信号の検出のＳＮ比を向上
させる上で重要である。例えば、マスキング信号Ｍの幅
が広すぎると、信号Ｓ 2の後に直ぐに供給される正規の
検出信号（第１と第２のレベルＬ1，Ｌ2の間の強度の信
号）までマスキングしてしまい、また、逆に幅が狭すぎ
ると、マスキングすべきパルスを通過させてしまう。し
かしながら、この信号Ｍの幅の調整は極めて困難であ
る。
【００１０】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、面倒な調整を伴わず、正確にＳＮ
比良く信号検出を行うことができる信号検出回路を実現
するにある。
もので、その目的は、面倒な調整を伴わず、正確にＳＮ
比良く信号検出を行うことができる信号検出回路を実現
するにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく信号検出
回路は、検出器と、検出器からの信号の内、第１のレベ
ル以上の強度の信号を通過させる第１のコンパレータ
と、検出器からの信号の内、第２のレベル以上の強度の
信号を通過させる第２のコンパレータと、第１のコンパ
レータを通過した信号をカウントする第１のカウンタ
と、第２のコンパレータを通過した信号をカウントする
第２のカウンタと、第１と第２のカウンタのカウント値
の差を求める演算器とを備えたことを特徴としている。
回路は、検出器と、検出器からの信号の内、第１のレベ
ル以上の強度の信号を通過させる第１のコンパレータ
と、検出器からの信号の内、第２のレベル以上の強度の
信号を通過させる第２のコンパレータと、第１のコンパ
レータを通過した信号をカウントする第１のカウンタ
と、第２のコンパレータを通過した信号をカウントする
第２のカウンタと、第１と第２のカウンタのカウント値
の差を求める演算器とを備えたことを特徴としている。
【００１２】
【作用】本発明に基づく信号検出回路は、２種の信号レ
ベルを設定し、それぞれの信号レベル以上の強度の信号
をカウントし、２種のカウント値の差を求める。
ベルを設定し、それぞれの信号レベル以上の強度の信号
をカウントし、２種のカウント値の差を求める。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図３は本発明の一実施例である走査電子顕
微鏡などの検出器からの信号検出回路を示しており、図
１の従来装置と同一ないしは類似構成要素には同一番号
を付してその詳細な説明を省略する。この実施例で、第
１のコンパレータ３の出力は、第１のカウンタ９に供給
されてカウントされ、第２のコンパレータ４の出力は、
第２のカウンタ１０に供給されてカウントされる。第１
と第２のカウンタ９，１０のカウント値は、演算器１１
に供給され、両カウント値の差が求められる。第１と第
２カウンタ９，１０の出力は、ゲイン制御部１２にも供
給される。ゲイン制御部１２は増幅器２のゲインを制御
する。このような構成の動作を図４の信号波形図も参考
にして説明する。
に説明する。図３は本発明の一実施例である走査電子顕
微鏡などの検出器からの信号検出回路を示しており、図
１の従来装置と同一ないしは類似構成要素には同一番号
を付してその詳細な説明を省略する。この実施例で、第
１のコンパレータ３の出力は、第１のカウンタ９に供給
されてカウントされ、第２のコンパレータ４の出力は、
第２のカウンタ１０に供給されてカウントされる。第１
と第２のカウンタ９，１０のカウント値は、演算器１１
に供給され、両カウント値の差が求められる。第１と第
２カウンタ９，１０の出力は、ゲイン制御部１２にも供
給される。ゲイン制御部１２は増幅器２のゲインを制御
する。このような構成の動作を図４の信号波形図も参考
にして説明する。
【００１４】検出器１からの検出信号が増幅器２によっ
て増幅され、第１と第２のコンパレータ３，４によって
第１と第２の基準レベルＬ1とＬ2と比較されるところま
では、図１の従来回路と同じである。従って、図４
（ａ）の検出信号に対し、第１のコンパレータ３からは
図４（ｂ）の信号が得られ、第２のコンパレータ４から
は図４（ｃ）の信号が得られる。第１のコンパレータ３
の出力信号は、カウンタ９に、また、第２のコンパレー
タ４の出力信号はカウンタ１０に供給されるが、カウン
タ９，１０は、入力信号の立ち上がりエッジにより動作
する。
て増幅され、第１と第２のコンパレータ３，４によって
第１と第２の基準レベルＬ1とＬ2と比較されるところま
では、図１の従来回路と同じである。従って、図４
（ａ）の検出信号に対し、第１のコンパレータ３からは
図４（ｂ）の信号が得られ、第２のコンパレータ４から
は図４（ｃ）の信号が得られる。第１のコンパレータ３
の出力信号は、カウンタ９に、また、第２のコンパレー
タ４の出力信号はカウンタ１０に供給されるが、カウン
タ９，１０は、入力信号の立ち上がりエッジにより動作
する。
【００１５】従って、第１のカウンタ９からは図４
（ｄ）のカウント値が得られ、第２のカウンタ１０から
は図４（ｅ）のカウント値が得られる。第１と第２のカ
ウンタ９，１０のカウント値は、演算器１１に供給され
その差が求められる。図４の例では、第１のカウンタ９
のカウント値は１であり、第２のカウンタ１０のカウン
ト値は２であるので、演算器１１からは１の値が得られ
る。演算器１１の出力信号は、図示していないが、メモ
リーに供給され、試料上の電子ビームの走査位置に応じ
て記憶される。
（ｄ）のカウント値が得られ、第２のカウンタ１０から
は図４（ｅ）のカウント値が得られる。第１と第２のカ
ウンタ９，１０のカウント値は、演算器１１に供給され
その差が求められる。図４の例では、第１のカウンタ９
のカウント値は１であり、第２のカウンタ１０のカウン
ト値は２であるので、演算器１１からは１の値が得られ
る。演算器１１の出力信号は、図示していないが、メモ
リーに供給され、試料上の電子ビームの走査位置に応じ
て記憶される。
【００１６】第１と第２のカウンタ９．１０のカウント
値と、演算器１１の出力はゲイン制御部１２に供給され
る。ゲイン制御部１２は、供給された各種の信号に基づ
いて、増幅器２のゲインを適正に制御するために設けら
れているものである。例えば、演算器１１の出力値がほ
ぼ０となり、目的のカウント値が得られないケースで、
第１のカウンタ９と第２のカウンタ１０のカウント値の
両者がほぼ０に等しい場合には、ゲイン制御部１２は増
幅器２のゲインを増大させる。一方、演算器１１の出力
値がほぼ０となり、目的のカウント値が得られないケー
スで、第１のカウンタ９と第２のカウンタ１０のカウン
ト値の両者がほぼ等しく、ある値を有している場合に
は、ゲイン制御部１２は増幅器２のゲインを減少させ
る。このようにして、増幅器のゲインの調整を行い、演
算器１１の出力値が適正な値を示すようにする。
値と、演算器１１の出力はゲイン制御部１２に供給され
る。ゲイン制御部１２は、供給された各種の信号に基づ
いて、増幅器２のゲインを適正に制御するために設けら
れているものである。例えば、演算器１１の出力値がほ
ぼ０となり、目的のカウント値が得られないケースで、
第１のカウンタ９と第２のカウンタ１０のカウント値の
両者がほぼ０に等しい場合には、ゲイン制御部１２は増
幅器２のゲインを増大させる。一方、演算器１１の出力
値がほぼ０となり、目的のカウント値が得られないケー
スで、第１のカウンタ９と第２のカウンタ１０のカウン
ト値の両者がほぼ等しく、ある値を有している場合に
は、ゲイン制御部１２は増幅器２のゲインを減少させ
る。このようにして、増幅器のゲインの調整を行い、演
算器１１の出力値が適正な値を示すようにする。
【００１７】なお、ゲイン制御部１２は、第１のカウン
タ９と第２のカウンタ１０のそれぞれのカウント値（Ｃ
1，Ｃ2）の割算（Ｃ1／Ｃ2）を行い、この割算の結果が
０の場合（Ｃ1／Ｃ2＝０）、増幅器２のゲインを増大さ
せ、この割算の結果が１の場合（Ｃ1／Ｃ2＝１）、増幅
器２のゲインを減少させるように構成しても良い。ただ
し、第２のカウンタ１０のカウント値が０の場合（Ｃ2
＝０）には、無条件に増幅器２のゲインを増大させる。
タ９と第２のカウンタ１０のそれぞれのカウント値（Ｃ
1，Ｃ2）の割算（Ｃ1／Ｃ2）を行い、この割算の結果が
０の場合（Ｃ1／Ｃ2＝０）、増幅器２のゲインを増大さ
せ、この割算の結果が１の場合（Ｃ1／Ｃ2＝１）、増幅
器２のゲインを減少させるように構成しても良い。ただ
し、第２のカウンタ１０のカウント値が０の場合（Ｃ2
＝０）には、無条件に増幅器２のゲインを増大させる。
【００１８】図５は本発明の他の実施例を示している。
この実施例で、第１と第２カウンタ９，１０の出力は、
基準レベル制御部１３にも供給される。基準レベル制御
部１３は第１と第２のコンパレータ３，４に供給する基
準レベル信号Ｌ1，Ｌ2を発生する基準レベル信号発生器
１４を制御する。この基準レベル制御部１３は、演算器
１１の出力値がほぼ０となり、目的のカウント値が得ら
れないケースで、第１のカウンタ９と第２のカウンタ１
０のカウント値の両者がほぼ０に等しい場合には、基準
レベル信号発生器１４からの２種の信号のレベルを減少
させる。
この実施例で、第１と第２カウンタ９，１０の出力は、
基準レベル制御部１３にも供給される。基準レベル制御
部１３は第１と第２のコンパレータ３，４に供給する基
準レベル信号Ｌ1，Ｌ2を発生する基準レベル信号発生器
１４を制御する。この基準レベル制御部１３は、演算器
１１の出力値がほぼ０となり、目的のカウント値が得ら
れないケースで、第１のカウンタ９と第２のカウンタ１
０のカウント値の両者がほぼ０に等しい場合には、基準
レベル信号発生器１４からの２種の信号のレベルを減少
させる。
【００１９】一方、演算器１１の出力値がほぼ０とな
り、目的のカウント値が得られないケースで、第１のカ
ウンタ９と第２のカウンタ１０のカウント値の両者がほ
ぼ等しく、ある値を有している場合には、基準レベル信
号制御部１３は、基準レベル信号発生器１４からの２種
の信号のレベルを増大させる。このようにして、第１と
第２のコンパレータ３，４に供給される基準信号レベル
の調整を行い、演算器１１の出力値が適正な値を示すよ
うにする。
り、目的のカウント値が得られないケースで、第１のカ
ウンタ９と第２のカウンタ１０のカウント値の両者がほ
ぼ等しく、ある値を有している場合には、基準レベル信
号制御部１３は、基準レベル信号発生器１４からの２種
の信号のレベルを増大させる。このようにして、第１と
第２のコンパレータ３，４に供給される基準信号レベル
の調整を行い、演算器１１の出力値が適正な値を示すよ
うにする。
【００２０】なお、基準信号レベル制御部１３は、第１
のカウンタ９と第２のカウンタ１０のそれぞれのカウン
ト値（Ｃ1，Ｃ2）の割算（Ｃ1／Ｃ2）を行い、この割算
の結果が０の場合（Ｃ1／Ｃ2＝０）、２種の基準信号レ
ベルを減少させ、この割算の結果が１の場合（Ｃ1／Ｃ2
＝１）、２種の基準信号レベルを増大させるように構成
しても良い。ただし、第２のカウンタ１０のカウント値
が０の場合（Ｃ2＝０）には、無条件に２種の基準信号
レベルを減少させる。
のカウンタ９と第２のカウンタ１０のそれぞれのカウン
ト値（Ｃ1，Ｃ2）の割算（Ｃ1／Ｃ2）を行い、この割算
の結果が０の場合（Ｃ1／Ｃ2＝０）、２種の基準信号レ
ベルを減少させ、この割算の結果が１の場合（Ｃ1／Ｃ2
＝１）、２種の基準信号レベルを増大させるように構成
しても良い。ただし、第２のカウンタ１０のカウント値
が０の場合（Ｃ2＝０）には、無条件に２種の基準信号
レベルを減少させる。
【００２１】以上本発明の一実施例を説明したが、本発
明はこの実施例に限定なれない。例えば、この信号検出
回路は、走査電子顕微鏡における２次電子の検出回路以
外に、Ｘ線の検出信号のために用いても良く、走査電子
顕微鏡以外の微弱な検出信号を扱う全ての装置に用いる
ことができる。
明はこの実施例に限定なれない。例えば、この信号検出
回路は、走査電子顕微鏡における２次電子の検出回路以
外に、Ｘ線の検出信号のために用いても良く、走査電子
顕微鏡以外の微弱な検出信号を扱う全ての装置に用いる
ことができる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づく信
号検出回路は、２種の信号レベルを設定し、それぞれの
信号レベル以上の強度の信号をカウントし、２種のカウ
ント値の差を求めるように構成したので、ワンショット
マルチバイブレータのタイミングによるパルスキャンセ
ル動作が不要となり、面倒な調整を伴わず、正確にＳＮ
比良く信号検出を行うことができる。また、カウンタの
最高速度までのカウンティングが可能となる。更に、２
種の基準レベルを越えたパルス数を個別に同時測定でき
るため、増幅器のゲインや基準信号レベルが最適なレベ
ルにあるかを簡単に知ることができる。その結果、増幅
器のゲインや基準信号レベルの調整を最適に行うことが
できる。
号検出回路は、２種の信号レベルを設定し、それぞれの
信号レベル以上の強度の信号をカウントし、２種のカウ
ント値の差を求めるように構成したので、ワンショット
マルチバイブレータのタイミングによるパルスキャンセ
ル動作が不要となり、面倒な調整を伴わず、正確にＳＮ
比良く信号検出を行うことができる。また、カウンタの
最高速度までのカウンティングが可能となる。更に、２
種の基準レベルを越えたパルス数を個別に同時測定でき
るため、増幅器のゲインや基準信号レベルが最適なレベ
ルにあるかを簡単に知ることができる。その結果、増幅
器のゲインや基準信号レベルの調整を最適に行うことが
できる。
【図１】従来の信号検出回路を示す図である。
【図２】図１の回路における信号波形図である。
【図３】本発明の一実施例である信号検出回路を示す図
である。
である。
【図４】図３の回路における信号波形図である。
【図５】本発明の他の実施例を示す図である。
１ 検出器 ２ 増幅器 ３，４ コンパレータ ９，１０ カウンタ １１ 演算器 １２ ゲイン制御部 １３ 基準信号レベル制御部 １４ 基準信号レベル発生器
Claims (3)
- 【請求項１】 検出器と、検出器からの信号の内、第１
のレベル以上の強度の信号を通過させる第１のコンパレ
ータと、検出器からの信号の内、第２のレベル以上の強
度の信号を通過させる第２のコンパレータと、第１のコ
ンパレータを通過した信号をカウントする第１のカウン
タと、第２のコンパレータを通過した信号をカウントす
る第２のカウンタと、第１と第２のカウンタのカウント
値の差を求める演算器とを備えた信号検出回路。 - 【請求項２】 検出器と、検出器からの信号を増幅する
増幅器と、増幅された信号の内、第１のレベル以上の強
度の信号を通過させる第１のコンパレータと、増幅され
た信号の内、第２のレベル以上の強度の信号を通過させ
る第２のコンパレータと、第１のコンパレータを通過し
た信号をカウントする第１のカウンタと、第２のコンパ
レータを通過した信号をカウントする第２のカウンタ
と、第１と第２のカウンタのカウント値の差を求める演
算器と、第１と第２のカウンタのカウント値に応じて前
記増幅器のゲインを制御する制御手段とを備えた信号検
出回路。 - 【請求項３】 検出器と、検出器からの信号を増幅する
増幅器と、増幅された信号の内、第１のレベル以上の強
度の信号を通過させる第１のコンパレータと、増幅され
た信号の内、第２のレベル以上の強度の信号を通過させ
る第２のコンパレータと、第１のコンパレータを通過し
た信号をカウントする第１のカウンタと、第２のコンパ
レータを通過した信号をカウントする第２のカウンタ
と、第１と第２のカウンタのカウント値の差を求める演
算器と、第１と第２のカウンタのカウント値に応じて第
１と第２のレベルを制御する制御手段とを備えた信号検
出回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3450494A JPH07245076A (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | 信号検出回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3450494A JPH07245076A (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | 信号検出回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07245076A true JPH07245076A (ja) | 1995-09-19 |
Family
ID=12416094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3450494A Withdrawn JPH07245076A (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | 信号検出回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07245076A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19915767A1 (de) * | 1998-08-24 | 2000-03-09 | Peter Hoffrogge | Verfahren zum Betrieb eines Rastermikroskops und Rastermikroskop zur Durchführung des Verfahrens |
| JP2011175811A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| WO2016068002A1 (ja) * | 2014-10-28 | 2016-05-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び情報処理装置 |
| WO2018179029A1 (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線システム |
-
1994
- 1994-03-04 JP JP3450494A patent/JPH07245076A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19915767A1 (de) * | 1998-08-24 | 2000-03-09 | Peter Hoffrogge | Verfahren zum Betrieb eines Rastermikroskops und Rastermikroskop zur Durchführung des Verfahrens |
| JP2011175811A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| WO2016068002A1 (ja) * | 2014-10-28 | 2016-05-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び情報処理装置 |
| JP2016085917A (ja) * | 2014-10-28 | 2016-05-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び情報処理装置 |
| CN107078011A (zh) * | 2014-10-28 | 2017-08-18 | 株式会社日立高新技术 | 带电粒子束装置和信息处理装置 |
| CN107078011B (zh) * | 2014-10-28 | 2018-11-02 | 株式会社日立高新技术 | 带电粒子束装置 |
| US10453648B2 (en) | 2014-10-28 | 2019-10-22 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle bean device and information-processing device |
| WO2018179029A1 (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線システム |
| KR20190104199A (ko) * | 2017-03-27 | 2019-09-06 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 하전 입자선 시스템 |
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