JP2016082115A - プリント配線板 - Google Patents

プリント配線板 Download PDF

Info

Publication number
JP2016082115A
JP2016082115A JP2014213506A JP2014213506A JP2016082115A JP 2016082115 A JP2016082115 A JP 2016082115A JP 2014213506 A JP2014213506 A JP 2014213506A JP 2014213506 A JP2014213506 A JP 2014213506A JP 2016082115 A JP2016082115 A JP 2016082115A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductor layer
thickness
layer
printed wiring
wiring board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014213506A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6467858B2 (ja
Inventor
俊樹 古谷
Toshiki Furuya
俊樹 古谷
裕樹 吉川
Yuki Yoshikawa
裕樹 吉川
浩司 関根
Koji Sekine
浩司 関根
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP2014213506A priority Critical patent/JP6467858B2/ja
Publication of JP2016082115A publication Critical patent/JP2016082115A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6467858B2 publication Critical patent/JP6467858B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

【課題】薄くて反りの小さいプリント配線板を提供する。
【解決手段】プリント配線板10は、第1面Fと第2面Sとを有するコア材20zとコア材の第1面上に形成されている上側のビルドアップ層55Fとコア材の第2面上に形成されている下側のビルドアップ層55Sとを有する。上側のビルドアップ層は複数の上側の導体層を有する。下側のビルドアップ層は複数の下側の導体層を有する。そして、各下側の導体層の厚みの和は各上側の導体層の厚みの和より大きく、両者の差は1μmより大きい。また、上側のビルドアップ層上に電子部品が実装される。
【選択図】図1

Description

本発明は、コア材とコア材の両面に形成されているビルドアップ層とを有するプリント配線板に関する。
特許文献1は、コア基板と上側のビルドアップ層と下側のビルドアップ層を有するプリント配線板を開示している。特許文献1のコア基板は第1面と第1面と反対側の第2面とを有する絶縁基板と第1面上の第1導体層と第2面上の第2導体層で形成されている。特許文献1の上側のビルドアップ層は絶縁基板の第1面上に形成されていて、ICチップを搭載するためのパッドを含む最上の導体層を有する。特許文献1の下側のビルドアップ層は絶縁基板の第2面上に形成されていて、マザーボードと接続するためのパッドを含む最下の導体層を有する。そして、第1導体層の厚みと最上の導体層の厚みの和は第2導体層の厚みと最下の導体層の厚みの和より大きい。
特開2014−45019号公報
特許文献1のプリント配線板では、第1導体層の厚みと最上の導体層の厚みの和は第2導体層の厚みと最下の導体層の厚みの和より大きい。そのため、特許文献1のプリント配線板は非対称な構造である。従って、熱により、特許文献1のプリント配線板は反ると考えられる。そして、特許文献1の19段落に示されているように、特許文献1では、2次実装時の半導体装置の反りが検討されている。しかしながら、特許文献1では、プリント配線板に電子部品を実装することが十分に考慮されていないと考えられる。従って、特許文献1のプリント配線板では、プリント配線板とICチップ等の電子部品との間の接続信頼性が低いと予想される。
本発明の目的は、薄くて反りの小さいプリント配線板を提供することである。別の目的は、電子部品とプリント配線板との間の接続信頼性や回路基板と半導体装置との間の接続信頼性を高くすることである。別の観点の目的は、反りの小さい半導体装置を提供することである。
本発明に係るプリント配線板は、第1面と前記第1面と反対側の第2面とを有するコア材と、前記コア材の前記第1面の直上に形成されている第1の上側の導体層と、前記コア材の前記第2面の直下に形成されている第1の下側の導体層と、前記コア材の前記第1面と前記第1の上側の導体層上に形成されている最上の上側の樹脂絶縁層と、前記最上の上側の樹脂絶縁層の直上に形成されていて電子部品を搭載するための上側のパッドを含む最上の上側の導体層と、前記コア材の前記第2面と前記第1の下側の導体層下に形成されている最下の下側の樹脂絶縁層と、前記最下の下側の樹脂絶縁層の直下に形成されていて回路基板と接続するための下側のパッドを含む最下の下側の導体層、とを有する。そして、前記第1の下側の導体層の厚みと前記最下の下側の導体層の厚みの和SA2は前記第1の上側の導体層の厚みと前記最上の上側の導体層の厚みの和SF2より大きく、前記和SA2と前記和SF2の差は1μmより大きい。
図1(A)は本発明の実施形態に係るプリント配線板の断面図であり、図1(B)、図1(C)はプリント配線板の反りの模式図である。 実施形態に係るプリント配線板の応用例の断面図。 実施形態のプリント配線板の製造方法を示す工程図。 実施形態のプリント配線板の製造方法を示す工程図。 実施形態の改変例のプリント配線板の断面図 実施形態と参考例のプリント配線板の反りの予想図。
[実施形態]
図1(A)は実施形態のプリント配線板10の断面図である。プリント配線板10は、第1面Fと第1面Fと反対側の第2面Sとを有するコア材(絶縁基板)20zとコア材20zの両面に形成されているビルドアップ層55F、55Sを有する。ビルドアップ層55Fは、上側のビルドアップ層であり、コア材の第1面上に形成されている。ビルドアップ層55Sは下側のビルドアップ層であり、コア材の第2面下に形成されている。
図1(A)に示されている上側のビルドアップ層55Fは、コア材の第1面Fの直上に形成されている第1の上側の導体層58Fとコア材の第1面Fと第1の上側の導体層58F上に形成されている第1の上側の樹脂絶縁層50Fと第1の上側の樹脂絶縁層50Fの直上に形成されている第2の上側の導体層158Fと第2の上側の導体層158Fと第1の上側の樹脂絶縁層50F上に形成されている第2の上側の樹脂絶縁層150Fと第2の上側の樹脂絶縁層150Fの直上に形成されている第3の上側の導体層258Fとで形成される。そして、上側の樹脂絶縁層の内、最上に位置する上側の樹脂絶縁層150Fは最上の上側の樹脂絶縁層150Fである。上側の導体層の内、最上に位置する上側の導体層258Fは最上の上側の導体層258Fである。最上の上側の導体層258Fは、ICチップ等の電子部品を搭載するための上側のパッド73Fを有する。
図1に示されるように、第1の上側の導体層58Fは厚みf1を有し、第2の上側の導体層158Fは厚みf2を有し、最上の上側の導体層258Fは厚みf3を有する。
図1に示されている下側のビルドアップ層55Sは、コア材の第2面Sの直下に形成されている第1の下側の導体層58Sとコア材の第2面Sと第1の下側の導体層58S下に形成されている第1の下側の樹脂絶縁層50Sと第1の下側の樹脂絶縁層50Sの直下に形成されている第2の下側の導体層158Sと第2の下側の導体層158Sと第1の下側の樹脂絶縁層50S下に形成されている第2の下側の樹脂絶縁層150Sと第2の下側の樹脂絶縁層150Sの直下に形成されている第3の下側の導体層258Sとで形成される。そして、下側の樹脂絶縁層の内、最下に位置する下側の樹脂絶縁層150Sは最下の下側の樹脂絶縁層150Sである。下側の導体層の内、最下に位置する下側の導体層258Sは最下の下側の導体層258Sである。最下の下側の導体層258Sは、マザーボード等の回路基板と接続するための下側のパッド73Sを有する。
図1に示されるように、第1の下側の導体層58Sは厚みs1を有し、第2の下側の導体層158Sは厚みs2を有し、最下の下側の導体層258Sは厚みs3を有する。
図1に直線SLが描かれている。直線SLは、コア材20zの厚み方向の中心を通り、第1面Fに平行な直線である。直線SLと第1面Fとの間の距離と直線SLと第2面Sとの間の距離は等しい。そして、第1の上側の導体層58Fと第1の下側の導体層58Sは直線SLに対し、略対称に形成されている。第2の上側の導体層158Fと第2の下側の導体層158Sは直線SLに対し、略対称に形成されている。第3の上側の導体層258Fと第3の下側の導体層258Sは直線SLに対し、略対称に形成されている。
第1の上側の導体層58Fと第1の下側の導体層58Sはコア材20zを貫通する貫通孔28に形成されているスルーホール導体36で接続される。貫通孔28は、第1面側に形成されている第1開口部28Fと第2面側に形成されている第2開口部28Sで形成されている。貫通孔の形状は、砂時計形状である。
第1の上側の導体層58Fと第1の下側の導体層58Sとスルーホール導体36は、例えば、US7786390に開示されている方法で製造される。US7786390の内容は本明細書に取り込まれる。
上側のビルドアップ層55F上に開口71Fを有する上側のソルダーレジスト層70Fが形成されている。開口71Fにより上側のパッド73Fが露出される。上側のパッド73F上にICチップ実装用の半田バンプ76Fが形成されている。パッド73F上にパッドの酸化を防止するための保護膜72が形成されている。保護膜は、例えば、Ni/Au、Ni/Pd/Au、Pd/AuやOSP(Organic Solderability Preservative)膜で形成される。
下側のビルドアップ層55S下に開口71Sを有する下側のソルダーレジスト層70Sが形成されている。開口71Sにより下側のパッド73Sが露出される。下側のパッド73S上にマザーボードと接続するための半田バンプ76Sが形成されている。パッド73S上にパッドの酸化を防止するための保護膜72が形成されている。
図2は実施形態のプリント配線板10の応用例の断面図である。上側のパッド73F上の半田バンプ76Fを介してICチップ等の電子部品90がプリント配線板10に実装される。半田バンプ76Fは、電子部品90の電極92に接続される。電子部品90とプリント配線板10とからなる半導体装置10Sが形成される。下側のパッド73S上の半田バンプ76Sを介して、半導体装置10Sはマザーボード等の回路基板96に搭載される。半田バンプ76Sは回路基板96の外部端子94に接続される。
電子部品90はリフローでプリント配線板10に実装される。半導体装置10Sはリフローでマザーボード96に搭載される。リフローでプリント配線板は高温になる。電子部品や半導体装置を搭載するリフロー温度は約220度から約280度である。プリント配線板や半導体装置の温度が変化すると、プリント配線板や半導体装置の反りが変化しやすい。例えば、図1(B)に示される凹の反りから図1(C)に示される凸の反りに変化する。図1(B)と図1(C)では、上側のビルドアップ層が上を向いている。下側のビルドアップ層55Sが平らな板500の表面SAFと対向するように、プリント配線板や半導体装置が板500上に置かれる。図1(B)では、プリント配線板や半導体装置の外周が板500から離れている。図1(C)では、プリント配線板や半導体装置の中央部分が板500から離れている。
下側のビルドアップ層に属する下側の導体層の厚みの和SAは上側のビルドアップ層に属する上側の導体層の厚みの和SFより厚い。図1のプリント配線板では、和SAは厚みs1と厚みs2と厚みs3の和SA3であり、和SFは厚みf1と厚みf2と厚みf3の和SF3である。和SAと和SFの差は1μmより大きい。実施形態のプリント配線板は、直線SLに対し非対称な構造である。和SAが和SFより大きいので、プリント配線板の温度が上昇すると、下側のビルドアップ層に属する導体の伸びが上側のビルドアップ層に属する導体の伸びより大きい。そのため、図6(B2)に示されるように、リフロー温度でプリント配線板は凹の反りを有しやすい。プリント配線板が凹の反りを有すると、図6(B3)に示されるように、電子部品90の外周の電極と半田バンプ間の接続面積やプリント配線板の上側のパッドと半田バンプ間の接続面積が大きくなる。外周の接続箇所は大きな応力を受ける。しかしながら、実施形態のプリント配線板では、接続面積が大きいので、プリント配線板と電子部品間の接続信頼性が高い。
和SAと和SFの差は30μm以下である。差が大きいと、凹の反りの量が大きくなる。電子部品の中央の電極とプリント配線板の上側のパッドが繋がらない。電子部品の外周の電極とプリント配線板の外周の上側のパッド間の距離が短くなる。隣接する外周の上側のパッドが半田バンプを介し短絡する。
第1の上側の導体層58Fの厚みf1は15μmである。第1の下側の導体層58Sの厚みs1は21μmである。第1の下側の導体層58Sの厚みs1が第1の上側の導体層58Fの厚みf1より厚い。厚みs1と厚みf1の差は2〜8μmある。プリント配線板に電子部品90が実装される時、プリント配線板は凹の反りを有する。厚みs1と厚みf1の差は、4〜6μmあることがより好ましい。電子部品がプリント配線板に実装される時、プリント配線板は凹の反りを有し、プリント配線板と電子部品間の距離が適切である。プリント配線板に電子部品を実装する歩留まりが高い。半田バンプを介する電子部品とプリント配線板間の接合強度が高いので、ヒートサイクルでプリント配線板と電子部品間の接続信頼性が高い。
第2の上側の導体層158Fの厚みf2は14μmである。第2の下側の導体層158Sの厚みs2は18μmである。第2の下側の導体層158Sの厚みs2が第2の上側の導体層158Fの厚みf2より厚い。厚みs2と厚みf2の差は2〜8μmある。厚みs2と厚みf2の差は、4〜6μmあることがより好ましい。電子部品がプリント配線板に実装される時、プリント配線板は凹の反りを有し、プリント配線板と電子部品間の距離が適切である。プリント配線板に電子部品を実装する歩留まりが高い。半田バンプを介する電子部品とプリント配線板間の接合強度が高いので、ヒートサイクルでプリント配線板と電子部品間の接続信頼性が高い。
最上の上側の導体層258Fの厚みf3は16μmである。最下の下側の導体層258Sの厚みs3は21μmである。最下の下側の導体層258Sの厚みs3が最上の導体層258Fの厚みf3より厚い。厚みs3と厚みf3の差は2〜8μmある。厚みs3と厚みf3の差は、4〜6μmあることがより好ましい。電子部品がプリント配線板に実装される時、プリント配線板は凹の反りを有し、プリント配線板と電子部品間の距離が適切である。プリント配線板に電子部品を実装する歩留まりが高い。半田バンプを介する電子部品とプリント配線板間の接合強度が高いので、ヒートサイクルでプリント配線板と電子部品間の接続信頼性が高い。
このように、プリント配線板10では、直線SLに対し対称な位置に形成されている導体層の厚みの差が制御されている。例えば、厚みs1と厚みf1の差と厚みs2と厚みf2の差と厚みs3と厚みf3の差がほぼ等しい。そのため、プリント配線板10によれば、リフロー温度でのプリント配線板の反りの方向と反りの量を容易に制御することができる。従って、ヒートサイクルでプリント配線板と電子部品間の接続信頼性が高い。また、半導体装置の反りの方向や反りの量が制御される。
第1の上側の導体層58Fの面積の占有率OF1(第1の上側の導体層58Fの面積/コア材20zの第1面Fの面積×100)は67.53%である。第1の下側の導体層58Sの面積の占有率OS1(第1の下側の導体層58Sの面積/コア材20zの第2面Sの面積×100)は83.30%である。占有率OS1は占有率OF1より大きい。第1面Fの面積と第2面Sの面積はほぼ等しいので、第1の下側の導体層58Sの面積が、第1の上側の導体層58Fの面積より大きい。
第2の上側の導体層158Fの面積の占有率OF2(第2の上側の導体層158Fの面積/第1の上側の樹脂絶縁層50Fの面積×100)は52.55%である。第2の下側の導体層158Sの面積の占有率OS2(第2の下側の導体層158Sの面積/第1の下側の樹脂絶縁層50Sの面積×100)は79.46%である。占有率OS2は占有率OF2より大きい。第1の上側の樹脂絶縁層の面積と第1の下側の樹脂絶縁層の面積はほぼ等しいので、第2の下側の導体層158Sの面積が、第2の上側の導体層158Fの面積より大きい。
最上の上側の導体層258Fの面積の占有率OF3(最上の上側の導体層258Fの面積/最上の上側の樹脂絶縁層150Fの面積×100)は67.66%である。最下の下側の導体層258Sの面積の占有率OS3(最下の下側の導体層258Sの面積/最下の下側の樹脂絶縁層250Sの面積×100)は80.58%である。占有率OS3は占有率OF3より大きい。最上の上側の樹脂絶縁層の面積と最下の下側の樹脂絶縁層の面積はほぼ等しいので、最下の下側の導体層258Sの面積が、最上の上側の導体層258Fの面積より大きい。
プリント配線板10では、直線SLに対し対称な位置に形成されている導体層の占有率が制御されている。そして、下側のビルドアップ層に属する導体層の占有率が上側のビルドアップ層に属する導体層の占有率より大きい。そのため、電子部品が実装される時、プリント配線板10は凹の反りを有しやすい。
占有率OS1と占有率OF1の差と占有率OS2と占有率OF2の差と占有率OS3と占有率OF3の差は10%から30%の間である。リフロー温度でのプリント配線板の反りの方向と反りの量を容易に制御することができる。従って、ヒートサイクルでプリント配線板と電子部品間の接続信頼性が高い。また、半導体装置の反りの方向や反りの量が制御される。
各上側の樹脂絶縁層50F、150Fの面積と各下側の樹脂絶縁層50S、150Sの面積と第1面Fの面積と第2面Sの面積はほぼ等しい。
コア材の厚みKは100μmから200μmである。図1のコア材の厚みKは155μmである。第1の上側の樹脂絶縁層50Fの厚みF1と第2の上側の樹脂絶縁層150Fの厚みF2と第1の下側の樹脂絶縁層50Sの厚みS1と第2の下側の樹脂絶縁層150Sの厚みS2は15μmから35μmである。図1では、厚みF1、F2、S1、S2は20μmである。上側のソルダーレジスト層70Fの厚みF3と下側のソルダーレジスト層70Sの厚みさS3は15μmから25μである。図1では、厚みF3、S3は15μmである。厚みF1、F2、S1、S2は、図1に示されるように、隣接する導体層間の距離である。厚みF3、S3は導体層258F、258Sの上面とソルダーレジスト層70F、70Sの上面との間の距離である。
図6は、プリント配線板の温度が変化する時、予想される実施形態のプリント配線板10の反りと参考例のプリント配線板110の反りを示している。図6(A)は参考例のプリント配線板110の反りを示し、図6(B)は実施形態のプリント配線板10の反りを示す。図6に示される参考例と実施形態のプリント配線板10,110は、コア材20zと、上側のビルドアップ層55Fと下側のビルドアップ層55Sと上側のソルダーレジスト層70Fと下側のソルダーレジスト層70Sを有する。上側のビルドアップ層55Fは、3つの導体層58F、158F、258Fと2つの樹脂絶縁層50F、150Fを有し、下側のビルドアップ層55Sは、3つの導体層58S、158S、258Sと2つの樹脂絶縁層50S、150Sを有する。
図6(A)に示される参考例のプリント配線板110は、以下の関係1を満たす。
関係1:和SAと和SFが等しい。厚みf1と厚みs1は等しく、厚みf2と厚みs2は等しく、厚みf3と厚みs3は等しい。
図6(B)に示される実施形態のプリント配線板10は、以下の関係2を満たす。
関係2:和SAは和SFより大きく、和SAと和SFの差は15μmである。厚みs1は厚みf1より厚く、厚みs1と厚みf1の差は5μmである。厚みs2は厚みf2より厚く、厚みs2と厚みf2の差は5μmである。厚みs3は厚みf3より厚く、厚みs3と厚みf3の差は5μmである。プリント配線板10では、各差は等しい。
和SA、SFと厚みf1、f2、f3、s1、s2、s3に関わる構成以外、実施形態のプリント配線板10と参考例のプリント配線板110は同様である。
図6(A1)は、常温での参考例のプリント配線板110の反りの状態を示す。続いて、プリント配線板110は電子部品を実装する温度(約240℃)下に置かれる。その時のプリント配線板110の反りの状態が図6(A2)に示される。参考例は関係1を満足するので、直線SLより上に位置する部分のプリント配線板(上側のプリント配線板)10Uの伸びと直線SLより下に位置する部分のプリント配線板(下側のプリント配線板)10Bの伸びがほぼ等しい。そのため、図6(A2)に示されるように、プリント配線板110は電子部品の実装温度でほぼ平坦である。尚、符号10U、10Bは図1に示されている。そして、図6(A3)に示されるように、プリント配線板110に電子部品が実装される。電子部品90とプリント配線板110とからなる参考例の半導体装置110Sが完成する。その後、半導体装置110Sは常温に戻る。その時の半導体装置110Sの反りの状態が図6(A4)に示されている。電子部品90の熱膨張係数はプリント配線板110の熱膨張係数より小さい。そのため、電子部品は半導体装置の伸縮に影響を与える。電子部品の近くに位置するプリント配線板の伸縮量は小さい。それに対し、電子部品から離れている部分では、プリント配線板の伸縮量は大きい。従って、半導体装置110Sが実装温度から常温に戻るとき、上側のプリント配線板10Uの縮み量は小さく、下側のプリント配線板10Uの縮み量は大きい。そのため、図6(A4)に示されるように、半導体装置110Sは凸の反りを有する。反りの量t1が図6(A4)に示されている。
図6(B1)は、常温での実施形態のプリント配線板10の反りの状態を示す。続いて、プリント配線板10は電子部品を実装する温度(約240℃)下に置かれる。その時のプリント配線板110の反りの状態が図6(B2)に示される。実施形態は関係2を満足するので、下側のプリント配線板10Bの伸びが上側のプリント配線板10Uの伸びより大きい。そのため、図6(B2)に示されるように、プリント配線板10は電子部品の実装温度で凹の反りを有する。尚、符号10U、10Bは図1に示されている。そして、図6(B3)に示されるように、プリント配線板10に電子部品が実装される。電子部品90とプリント配線板10とからなる実施形態の半導体装置10Sが完成する。その後、半導体装置10Sは常温に戻る。その時の半導体装置10Sの反りの状態が図6(B4)に示されている。電子部品90の熱膨張係数はプリント配線板10の熱膨張係数より小さい。実施形態では、半導体装置10Sが実装温度から常温に戻るとき、上側のプリント配線板10Uの縮み量は小さく、下側のプリント配線板10Uの縮み量は大きい。そのため、図6(B4)に示されるように、半導体装置110Sは凸の反りを有する。反りの量t3が図6(B4)に示されている。しかしながら、半導体装置10S、110Sが実装温度から常温に戻るとき、参考例では、反りの方向が平坦から凸の反りに変化する。それに対し、実施形態では、反りの方向が凹の反りから凸の反りに変化する。そのため、参考例の反りの量t1と実施形態の反りの量t3が比較されると、反りの量t3は反りの量t1より小さい。
特許文献1を参照することで製造されるプリント配線板は参考例2のプリント配線板である。参考例2のプリント配線板では、和SFは和SAより大きい。そのため、実装温度での参考例2の半導体装置は凸の反りを有する。そして、参考例2の半導体装置が実装温度から常温に戻る時、下側のプリント配線板の縮み量は上側のプリント配線板の縮み量より大きい。従って、常温時の参考例2の半導体装置の凸の反りは大きくなる。参考例2の半導体装置では、凸の反りが維持され、反りの量が大きくなる。従って、常温時の参考例2の半導体装置の反りの量は、図6(A4)に示される常温時の参考例の半導体装置110Sの反りの量より大きい。
コア材の体積は上側のプリント配線板10Uと下側のプリント配線板10Bでほぼ等しい。上側のビルドアップ層に属する各樹脂絶縁層の厚みと下側のビルドアップ層に属する各樹脂絶縁層の厚みがほぼ等しい。上側のソルダーレジスト層の厚みと下側のソルダーレジスト層の厚みはほぼ等しい。導体層の剛性は樹脂の剛性より高い。そのため、プリント配線板や半導体装置の反りは導体層の厚みや面積、体積に関連する。
電子部品90とプリント配線板10の間に封止樹脂が入れられる。その後、図6(B4)に示される半導体装置10Sを回路基板96に搭載するため、半導体装置10Sは半導体装置10Sを回路基板に搭載する温度下に置かれる。半導体装置が高温になっても、電子部品と封止樹脂により、半導体装置の反りは抑制される。従って、半導体装置が回路基板に搭載される時、図6(B4)に示される反りとほぼ同様な反りが維持される。従って、回路基板に搭載しやすい半導体装置を提供することができる。半導体装置が凸の反りを有する。そのため、プリント配線板10の下側のパッド73Sと半田バンプ76S間の接続面積が大きくなる。回路基板の外周の外部端子94と半田バンプ76S間の接続面積が大きくなる。半導体装置と回路基板間の接続信頼性が高い。
[実施形態のプリント配線板の製造方法]
実施形態のプリント配線板10の製造方法が図3〜図4に示される。
第1面Fと第2面Sとを有する絶縁基板(コア材)20zが準備される。絶縁基板20zは補強材と樹脂とからなる。出発基板は、絶縁基板20zと絶縁基板20zの両面に積層されている銅箔22F、22Sで形成されている(図3(A))。補強材の例は、ガラスクロスやガラス繊維やアラミド繊維等である。樹脂は、エポキシ樹脂やBT(ビスマレイミドトリアジン)樹脂などである。銅箔22Fは第1銅箔であり、銅箔22Sは第2銅箔である。
第1面F上の銅箔22FにCO2レーザが照射される。絶縁基板20zの第1面F側にスルーホール導体用の貫通孔を形成するための第1開口部28Fが絶縁基板20zに形成される。更に、第2面S上の銅箔22SにCO2レーザが照射される。第1開口部28Fに繋がる第2開口部28Sが形成される(図3(B))。第1開口部28Fは第1面Fから第2面Sに向かってテーパーしている。第2開口部28Sは第2面Sから第1面Fに向かってテーパーしている。
第1銅箔22Fと第2銅箔22S、貫通孔28の側壁上に無電解銅めっき膜24が形成される。その後、無電解銅めっき膜上にめっきレジストが形成される。電解めっき処理が行われ、電解銅めっき膜25で貫通孔28が充填されスルーホール導体36が形成される。同時に、めっきレジストから露出する無電解銅めっき膜上に電解銅めっき膜25(25F、25S)が形成される。この際、第2面上の電解銅めっき膜25Sを形成するための電流密度は第1面上の電解銅めっき膜25Fを形成するための電流密度より大きい。そのため、電解銅めっき膜25Sの厚みは電解銅めっき膜25Fの厚みより厚い。めっきレジストが除去され、電解銅めっき膜25F、25Sから露出する無電解銅めっき膜24と銅箔22F、22Sが除去される。第1の上側の導体層58Fと第1の下側の導体層58Sが形成される。貫通孔28に導体層58Fと導体層58Sを接続するスルーホール導体36が形成される(図3(C))。第1の上側の導体層58Fの厚みf1は15μmであって、第1の下側の導体層58Sの厚みs1は21μmである。厚みs1は厚みf1より大きい。厚みs1と厚みf1の差は6μmである。第1の上側の導体層58Fの占有率OF1は67.53%である。第1の下側の導体層58Sの占有率OS1は83.30%である。占有率OS1は占有率OF1より大きい。占有率OS1と占有率OF1の差は15.77%である。
コア材20zの第1面Fと導体層58F上に第1の上側の樹脂絶縁層50Fが形成される。コア材20zの第2面Sと導体層58S下に第1の下側の樹脂絶縁層50Sが形成される。上側の樹脂絶縁層50Fは厚みF1を有し、下側の樹脂絶縁層50Sは厚みS1を有する。厚みF1と厚みS1は等しい。
CO2ガスレーザで第1の上側の樹脂絶縁層50Fにビア導体用の開口51Fが形成される。第1の下側の樹脂絶縁層50Sにビア導体用の開口51Sが形成される。開口51Fは導体層58Fに至り、開口51Sは導体層58Sに至る。上側の樹脂絶縁層50F上と開口51Fの内壁に無電解銅めっき膜52Fが形成される。下側の樹脂絶縁層50S上と開口51Sの内壁に無電解銅めっき膜52Sが形成される。無電解銅めっき膜52F、52S上にめっきレジストが形成される。電解めっき処理により、めっきレジストから露出する無電解銅めっき膜52Fに電解銅めっき膜56Fが形成される。めっきレジストから露出する無電解銅めっき膜52S上に電解銅めっき膜56Sが形成される。この際、電解銅めっき膜56Sを形成するための電流密度は電解銅めっき膜56Fを形成するための電流密度より大きい。そのため、電解銅めっき膜56Sの厚みは電解銅めっき膜56Fの厚みより厚い。
めっきレジストが除去される、電解銅めっき膜56F、56Sから露出する無電解銅めっき膜52F、52Sが除去される。第2の上側の導体層158Fと第2の下側の導体層158Sが形成される。同時に第1の上側のビア導体60Fと第1の下側のビア導体60Sが形成される(図3(D))。第2の上側の導体層158Fの厚みf2は14μmであって、第2の下側の導体層158Sの厚みs2は18μmである。厚みs2は厚みf2より大きい。厚みs2と厚みf2の差は4μmである。第2の上側の導体層158Fの占有率OF2は52.55%である。第2の下側の導体層158Sの占有率OS2は79.46%である。占有率OS2は占有率OF2より大きい。占有率OS2と占有率OF2の差は26.91%である。
上側の樹脂絶縁層50Fと上側の導体層158F上に第2の上側の樹脂絶縁層150Fが形成され、下側の樹脂絶縁層50Sと下側の導体層158S下に第2の下側の樹脂絶縁層150Sが形成される。第2の上側の樹脂絶縁層150Fに第2の上側のビア導体用の開口151Fが形成され、第2の下側の樹脂絶縁層150Sに第2の下側のビア導体用の開口151Sが形成される。第2の上側の樹脂絶縁層150F上に最上の上側の導体層258Fが形成され、第2の下側の樹脂絶縁層150S下に最下の下側の導体層258Sが形成される。最上の上側の導体層258Fの形成方法は、第2の上側の導体層158Fの形成方法と同様である。最下の下側の導体層258Sの形成方法は、第2の下側の導体層158Sの形成方法と同様である。第2の上側のビア導体用の開口151Fに第2の上側のビア導体160Fが形成され、第2の下側のビア導体用の開口151Sに第2の下側のビア導体160Sが形成される。ビア導体160F、160Sの形成方法は、ビア導体60F、60Sの形成方法と同様である(図4(A))。最上の上側の導体層258Fの厚みf3は16μmであって、最下の下側の導体層158Sの厚みs3は21μmである。厚みs3は厚みf3より大きい。厚みs3と厚みf3の差は5μmである。
最上の上側の導体層258Fの占有率OF3は67.66%である。最下の下側の導体層258Sの占有率OS3は80.58%である。占有率OS3は占有率OF3より大きい。占有率OS3と占有率OF3の差は12.92%である。
最上の上側の樹脂絶縁層150Fと最上の上側の導体層258F上に上側のソルダーレジスト層70Fが形成される。最下の下側の樹脂絶縁層150Sと最下の下側の導体層258S下に下側のソルダーレジスト層70Sが形成される。露光処理と現像処理により、上側のソルダーレジスト層70Fに開口71Fが形成され、下側のソルダーレジスト層70Sに開口71Sが形成される(図4(B))。開口71Fにより上側のパッド73Fが露出され、開口71Sにより下側のパッド73Sが露出される。
上側のパッド73Fと下側のパッド73S上に保護膜72が形成される(図4(C))。保護膜は、パッドの酸化を防止するための膜である。保護膜は、例えば、Ni/Au、Ni/Pd/Au、Pd/AuやOSP(Organic Solderability Preservative)膜で形成される。
上側のパッド73F上に半田バンプ76Fが形成され、下側のパッド73S上に半田バンプ76Sが形成される。半田バンプを有するプリント配線板が完成する(図1)。
プリント配線板の半田バンプ76Fを介して電子部品(ICチップ)90が実装される。半導体装置10Sが完成する。半田バンプ76Sを介して、半導体装置10Sが回路基板96に搭載される(図2)。
図1のプリント配線板10では、上側の樹脂絶縁層50Fはコア材20zの第1面Fと導体層58Fの直上に形成されている。導体層158Fは上側の樹脂絶縁層50Fの直上に形成されている。上側の樹脂絶縁層150Fは導体層158Fと上側の樹脂絶縁層50Fの直上に形成されている。導体層258Fは上側の樹脂絶縁層150Fの直上に形成されている。上側のソルダーレジスト層70Fは導体層258Fと上側の樹脂絶縁層150Fの直上に形成されている。
図1のプリント配線板10では、下側の樹脂絶縁層50Sはコア材20zの第2面Sと導体層58Sの直下に形成されている。導体層158Sは下側の樹脂絶縁層50Sの直下に形成されている。下側の樹脂絶縁層150Sは導体層158Sと下側の樹脂絶縁層50Sの直下に形成されている。導体層258Sは下側の樹脂絶縁層150Sの直下に形成されている。下側のソルダーレジスト層70Sは導体層258Sと下側の樹脂絶縁層150Sの直下に形成されている。
[実施形態の第1改変例]
図5(A)は実施形態の第1改変例に係るプリント配線板10M1の断面図である。第1改変例では、図1に示されるプリント配線板10の第3の上側の導体層258Fと第2の上側の樹脂絶縁層150F上に第3の上側の樹脂絶縁層250Fが形成されている。さらに、第3の上側の樹脂絶縁層250F上に第4の上側の導体層358Fが形成されている。第3の上側の樹脂絶縁層250Fを貫通する第3の上側のビア導体260Fが形成されている。そして、第4の上側の導体層358Fと第3の上側の樹脂絶縁層250F上に上側のソルダーレジスト層70Fが形成されている。第3の上側の樹脂絶縁層250Fは第1改変例の最上の上側の樹脂絶縁層250Fであり、第4の上側の導体層358Fは第1改変例の最上の上側の導体層358Fである。最上の上側の導体層358Fは上側のソルダーレジスト層の開口71Fにより露出される上側のパッド73Fを有する。上側の導体層358Fは厚みf4を有する。
第1改変例では、図1に示されるプリント配線板10の第3の下側の導体層258Sと第2の下側の樹脂絶縁層150S下に第3の下側の樹脂絶縁層250Sが形成されている。さらに、第3の下側の樹脂絶縁層250S下に第4の下側の導体層358Sが形成されている。第3の下側の樹脂絶縁層250Sを貫通する第3の下側のビア導体260Sが形成されている。そして、第4の下側の導体層358Sと第3の下側の樹脂絶縁層250S下に下側のソルダーレジスト層70Sが形成されている。第3の下側の樹脂絶縁層250Sは第1改変例の最下の下側の樹脂絶縁層250Sであり、第4の下側の導体層358Sは第1改変例の最下の下側の導体層358Sである。最下の下側の導体層358Sは下側のソルダーレジスト層の開口71Sにより露出される下側のパッド73Sを有する。下側の導体層358Sは厚みs4を有する。
厚みf4は16μmであって、厚みs4は21μmである。厚みs4は厚みf4より大きい。厚みs4と厚みf4の差は5μmである。最上の上側の導体層の厚みと最下の下側の導体層の厚みとの差は2〜8μmある。厚みの差は4〜6μmあることがより好ましい。
下側のビルドアップ層55Sに属する下側の導体層58S、158S、258S、358Sの和SA(SA4)は、上側のビルドアップ層55Fに属する上側の導体層58F、158F、258F、358Fの和SF(SF4)より大きい。和SA4と和SF4の差は、図1のプリント配線板と同様に1μmより大きい。和SA4と和SF4の差は、図1のプリント配線板と同様に30μm以下である。
第1改変例の最上の上側の導体層358Sの占有率OF4は67.66%である。第1改変例の最下の下側の導体層358Sの占有率OS4は80.58%である。占有率OS4は占有率OF4より大きい。占有率OS4と占有率OF4の差は10%から30%の間である。
実施形態の第1改変例に係るプリント配線板10M1は、図1に示される実施形態のプリント配線板10と同様な効果を有する。
[実施形態の第2改変例]
図5(B)は実施形態の第2改変例に係るプリント配線板10M2の断面図である。第2改変例のプリント配線板10M2は、図1に示されるプリント配線板10の第2の上側の樹脂絶縁層150Fと第2の上側のビア導体160Fと第3の上側の導体層258Fと第2の下側の樹脂絶縁層150Sと第2の下側のビア導体160Sと第3の下側の導体層258Sを有していない。それ以外、第2の改変例のプリント配線板10M2は実施形態のプリント配線板10と同じである。第2の上側の導体層158Fが最上の上側の導体層であり、第1の上側の樹脂絶縁層50Fが最上の上側の樹脂絶縁層である。また、第2の下側の導体層158Sが最下の下側の導体層であり、第1の下側の樹脂絶縁層50Sが最下の下側の樹脂絶縁層である。
第1の上側の導体層58Fの厚みf1は15μmであって、第1の下側の導体層58Sの厚みs1は21μmである。厚みs1は厚みf1より厚い。厚みs1と厚みf1の差は6μmである。厚みs1と厚みf1の差は2〜8μmある。厚みの差は4〜6μmあることがより好ましい。
最上の上側の導体層158Fの厚みf2は14μmであって、最下の下側の導体層158Sの厚みs2は18μmである。厚みs2は厚みf2より厚い。厚みs2と厚みf2の差は4μmである。厚みs2と厚みf2の差は2〜8μmあるの。厚みの差は4〜6μmあることがより好ましい。
厚みs1と厚みs2の和SA(SA2)は厚みf1と厚みf2の和SF(SF2)より大きい。和SA2と和SF2の差は1μmより大きい。和SA2と和SF2の差は30μm以下である。
第1の上側の導体層58Fの占有率OF1は67.53%である。第1の下側の導体層58Sの占有率OS1は83.30%である。占有率OS1は占有率OF1より大きい。占有率OS1と占有率OF1の差は10%から30%であり、図5(B)のプリント配線板では、差は15.77%である。
最上の上側の導体層158Fの占有率OF2は52.55%である。最下の下側の導体層158Sの占有率OS2は79.46%である。占有率OS2は占有率OF2より大きい。占有率OS2と占有率OF2の差は10%から30%であり、図5(B)のプリント配線板では、差は26.91%である。
実施形態の第2改変例に係るプリント配線板10M2は、図1に示される実施形態のプリント配線板10と同様な効果を有する。
10 プリント配線板
20z 絶縁基板
28 貫通孔
30 コア基板
58F 第1の上側の導体層
58S 第1の下側の導体層
36 スルーホール導体
50F 第1の上側の樹脂絶縁層
50S 第1の下側の樹脂絶縁層
158F 第2の上側の導体層
158S 第2の下側の導体層
258F 最上の上側の導体層
258S 最下の下側の導体層

Claims (12)

  1. 第1面と前記第1面と反対側の第2面とを有するコア材と、
    前記コア材の前記第1面の直上に形成されている第1の上側の導体層と、
    前記コア材の前記第2面の直下に形成されている第1の下側の導体層と、
    前記コア材の前記第1面と前記第1の上側の導体層上に形成されている最上の上側の樹脂絶縁層と、
    前記最上の上側の樹脂絶縁層の直上に形成されていて電子部品を搭載するための上側のパッドを含む最上の上側の導体層と、
    前記コア材の前記第2面と前記第1の下側の導体層下に形成されている最下の下側の樹脂絶縁層と、
    前記最下の下側の樹脂絶縁層の直下に形成されていて回路基板と接続するための下側のパッドを含む最下の下側の導体層、とを有するプリント配線板であって、
    前記第1の下側の導体層の厚みと前記最下の下側の導体層の厚みの和SA2は前記第1の上側の導体層の厚みと前記最上の上側の導体層の厚みの和SF2より大きく、前記和SA2と前記和SF2の差は1μmより大きい。
  2. 請求項1のプリント配線板であって、さらに、前記コア材の前記第1面と前記第1の上側の導体層上に形成されている第1の上側の樹脂絶縁層と、前記第1の上側の樹脂絶縁層の直上に形成されている第2の上側の導体層と、前記コア材の前記第2面と前記第1の下側の導体層下に形成されている第1の下側の樹脂絶縁層と、前記第1の下側の樹脂絶縁層の直下に形成されている第2の下側の導体層と、を有し、前記和SA2と前記第2の下側の導体層の厚みの和SA3は、前記和SF2と前記第2の上側の導体層の厚みの和SF3より大きく、前記和SA3と前記和SF3の差は1μmより大きい。
  3. 請求項2のプリント配線板であって、さらに、前記第1の上側の樹脂絶縁層と前記第2の上側の導体層上に形成されている第2の上側の樹脂絶縁層と、前記第2の上側の樹脂絶縁層の直上に形成されている第3の上側の導体層と、前記第1の下側の樹脂絶縁層と前記第2の下側の導体層下に形成されている第2の下側の樹脂絶縁層と、前記第2の下側の樹脂絶縁層の直下に形成されている第3の下側の導体層と、を有し、前記和SA3と前記第3の下側の導体層の厚みの和SA4は、前記和SF3と前記第3の上側の導体層の厚みの和SF4より大きく、前記和SA4と前記和SF4の差は1μmより大きい。
  4. 請求項1のプリント配線板であって、前記第1の下側の導体層の厚みは前記第1の上側の導体層の厚みより厚く、前記第1の下側の導体層の厚みと前記第1の上側の導体層の厚みの差は2μmから8μmであり、前記最下の下側の導体層の厚みは前記最上の上側の導体層の厚みより厚く、前記最下の下側の導体層の厚みと前記最上の上側の導体層の厚みの差は2μmから8μmである。
  5. 請求項2のプリント配線板であって、前記第1の下側の導体層の厚みは前記第1の上側の導体層の厚みより厚く、前記第1の下側の導体層の厚みと前記第1の上側の導体層の厚みの差は2μmから8μmであり、前記第2の下側の導体層の厚みは前記第2の上側の導体層の厚みより厚く、前記第2の下側の導体層の厚みと前記2の上側の導体層の厚みの差は2μmから8μmであり、前記最下の下側の導体層の厚みは前記最上の上側の導体層の厚みより厚く、前記最下の下側の導体層の厚みと前記最上の上側の導体層の厚みの差は2μmから8μmである。
  6. 請求項3のプリント配線板であって、前記第1の下側の導体層の厚みは前記第1の上側の導体層の厚みより厚く、前記第1の下側の導体層の厚みと前記第1の上側の導体層の厚みの差は2μmから8μmであり、前記第2の下側の導体層の厚みは前記第2の上側の導体層の厚みより厚く、前記第2の下側の導体層の厚みと前記2の上側の導体層の厚みの差は2μmから8μmであり、前記第3の下側の導体層の厚みは前記第3の上側の導体層の厚みより厚く、前記第3の下側の導体層の厚みと前記3の上側の導体層の厚みの差は2μmから8μmであり、前記最下の下側の導体層の厚みは前記最上の上側の導体層の厚みより厚く、前記最下の下側の導体層の厚みと前記最上の上側の導体層の厚みの差は2μmから8μmである。
  7. 請求項1のプリント配線板であって、前記第1の下側の導体層の面積は前記第1の上側の導体層の面積より大きく、前記最下の下側の導体層の面積は前記最上の上側の導体層の面積より大きい。
  8. 請求項2のプリント配線板であって、前記第1の下側の導体層の面積は前記第1の上側の導体層の面積より大きく、前記第2の下側の導体層の面積は前記第2の上側の導体層の面積より大きく、前記最下の下側の導体層の面積は前記最上の上側の導体層の面積より大きい。
  9. 請求項3のプリント配線板であって、前記第1の下側の導体層の面積は前記第1の上側の導体層の面積より大きく、前記第2の下側の導体層の面積は前記第2の上側の導体層の面積より大きく、前記第3の下側の導体層の面積は前記第3の上側の導体層の面積より大きく、前記最下の下側の導体層の面積は前記最上の上側の導体層の面積より大きい。
  10. 請求項4のプリント配線板であって、前記第1の下側の導体層の面積は前記第1の上側の導体層の面積より大きく、前記最下の下側の導体層の面積は前記最上の上側の導体層の面積より大きい。
  11. 請求項5のプリント配線板であって、前記第1の下側の導体層の面積は前記第1の上側の導体層の面積より大きく、前記第2の下側の導体層の面積は前記第2の上側の導体層の面積より大きく、前記最下の下側の導体層の面積は前記最上の上側の導体層の面積より大きい。
  12. 請求項6のプリント配線板であって、前記第1の下側の導体層の面積は前記第1の上側の導体層の面積より大きく、前記第2の下側の導体層の面積は前記第2の上側の導体層の面積より大きく、前記第3の下側の導体層の面積は前記第3の上側の導体層の面積より大きく、前記最下の下側の導体層の面積は前記最上の上側の導体層の面積より大きい。
JP2014213506A 2014-10-20 2014-10-20 プリント配線板 Active JP6467858B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014213506A JP6467858B2 (ja) 2014-10-20 2014-10-20 プリント配線板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014213506A JP6467858B2 (ja) 2014-10-20 2014-10-20 プリント配線板

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016082115A true JP2016082115A (ja) 2016-05-16
JP6467858B2 JP6467858B2 (ja) 2019-02-13

Family

ID=55959026

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014213506A Active JP6467858B2 (ja) 2014-10-20 2014-10-20 プリント配線板

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6467858B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109699118A (zh) * 2017-10-24 2019-04-30 三星电子株式会社 包括翘曲抵消区的印刷电路板以及半导体封装件

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012156368A (ja) * 2011-01-27 2012-08-16 Kyocera Corp 配線基板およびその実装構造体ならびに配線基板の製造方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012156368A (ja) * 2011-01-27 2012-08-16 Kyocera Corp 配線基板およびその実装構造体ならびに配線基板の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109699118A (zh) * 2017-10-24 2019-04-30 三星电子株式会社 包括翘曲抵消区的印刷电路板以及半导体封装件
CN109699118B (zh) * 2017-10-24 2024-01-30 三星电子株式会社 包括翘曲抵消区的印刷电路板以及半导体封装件

Also Published As

Publication number Publication date
JP6467858B2 (ja) 2019-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6503687B2 (ja) プリント配線板
KR100653249B1 (ko) 메탈코어, 패키지 기판 및 그 제작방법
JP2016149411A (ja) 半導体素子内蔵配線板及びその製造方法
JP2015018979A (ja) プリント配線板
JP2016004888A (ja) プリント配線板及びプリント配線板の製造方法
US10262930B2 (en) Interposer and method for manufacturing interposer
JP2015211194A (ja) プリント配線板および半導体パッケージ、ならびにプリント配線板の製造方法
US20170064825A1 (en) Printed wiring board and method for manufacturing printed wiring board
JP2015065400A (ja) 素子内蔵型印刷回路基板及びその製造方法
JP2015225895A (ja) プリント配線板および半導体パッケージ、ならびにプリント配線板の製造方法
JP2014239218A (ja) 半導体パッケージ基板及び半導体パッケージ基板の製造方法
JP2016082163A (ja) プリント配線板
KR20150135048A (ko) 인쇄회로기판, 인쇄회로기판의 제조 방법 및 이를 포함하는 적층형 패키지
JP2016082143A (ja) プリント配線板
JP6467858B2 (ja) プリント配線板
JP5660462B2 (ja) プリント配線板
CN106165553B (zh) 印刷电路板、包括该印刷电路板的封装基板及其制造方法
JP2018022823A (ja) プリント配線板
JP2016082089A (ja) プリント配線板
JP2016134409A (ja) プリント配線板
JP2015201594A (ja) プリント配線板
JP2017050312A (ja) プリント配線板及びプリント配線板の製造方法
JP2016134410A (ja) プリント配線板
JP6572686B2 (ja) プリント配線板及びプリント配線板の製造方法
JP4439248B2 (ja) 配線基板およびこれを用いた半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170911

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180521

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180529

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181218

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181231

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6467858

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250