JP2016072507A5 - - Google Patents
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Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014202122A JP6463935B2 (ja) | 2014-09-30 | 2014-09-30 | 露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 |
| CN201510567210.3A CN105467772B (zh) | 2014-09-30 | 2015-09-08 | 曝光装置、曝光方法及设备制造方法 |
| US14/852,658 US9726981B2 (en) | 2014-09-30 | 2015-09-14 | Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
| KR1020150132044A KR102002666B1 (ko) | 2014-09-30 | 2015-09-18 | 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014202122A JP6463935B2 (ja) | 2014-09-30 | 2014-09-30 | 露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016072507A JP2016072507A (ja) | 2016-05-09 |
| JP2016072507A5 true JP2016072507A5 (enExample) | 2017-11-02 |
| JP6463935B2 JP6463935B2 (ja) | 2019-02-06 |
Family
ID=55584240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014202122A Active JP6463935B2 (ja) | 2014-09-30 | 2014-09-30 | 露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9726981B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6463935B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102002666B1 (enExample) |
| CN (1) | CN105467772B (enExample) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102575073B1 (ko) * | 2016-04-12 | 2023-09-06 | 삼성전자주식회사 | 마스크 데이터 검증 방법 |
| JP6973612B2 (ja) * | 2016-08-29 | 2021-12-01 | 株式会社ニコン | 積層装置、薄化装置、露光装置、制御装置、プログラム、積層体の製造方法、及び装置 |
| KR102426485B1 (ko) | 2017-09-29 | 2022-07-27 | 온투 이노베이션 아이엔씨. | 리소그래피 노광 공정의 최적화를 위한 시스템 및 방법 |
| JP7222659B2 (ja) * | 2018-10-29 | 2023-02-15 | キヤノン株式会社 | 露光装置、および物品製造方法 |
| CN114746810B (zh) * | 2019-11-21 | 2025-09-12 | Asml荷兰有限公司 | 用于确定光刻设备的控制数据的方法和设备 |
| EP3839630A1 (en) * | 2019-12-19 | 2021-06-23 | ASML Netherlands B.V. | Methods and apparatus for configuring a lens model request |
| KR102840275B1 (ko) | 2020-02-21 | 2025-07-30 | 온투 이노베이션 아이엔씨. | 리소그래피 공정에서 오버레이 오류를 보정하기 위한 시스템 및 방법 |
| JP7759368B2 (ja) * | 2023-10-27 | 2025-10-23 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3336649B2 (ja) * | 1992-12-25 | 2002-10-21 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法、及びその露光方法を含むデバイス製造方法、及びそのデバイス製造方法により製造されたデバイス |
| JPH06291021A (ja) * | 1993-04-06 | 1994-10-18 | Nikon Corp | 位置合わせ方法 |
| US5808910A (en) * | 1993-04-06 | 1998-09-15 | Nikon Corporation | Alignment method |
| JP3278303B2 (ja) | 1993-11-12 | 2002-04-30 | キヤノン株式会社 | 走査型露光装置及び該走査型露光装置を用いるデバイス製造方法 |
| JP3569962B2 (ja) * | 1994-06-17 | 2004-09-29 | 株式会社ニコン | 位置合わせ装置及び位置合わせ方法、それを用いた露光装置及び露光方法 |
| US6312859B1 (en) * | 1996-06-20 | 2001-11-06 | Nikon Corporation | Projection exposure method with corrections for image displacement |
| US20060194129A1 (en) * | 2005-02-25 | 2006-08-31 | Horn Douglas M | Substrate edge focus compensation |
| JP5498243B2 (ja) * | 2010-05-07 | 2014-05-21 | キヤノン株式会社 | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
| CN102736422B (zh) * | 2011-03-31 | 2015-07-22 | 上海微电子装备有限公司 | 一种接近式逐场曝光装置与方法 |
| CN103545174B (zh) * | 2012-07-16 | 2016-08-24 | 无锡华润上华科技有限公司 | 光刻对焦参数测试方法及系统 |
-
2014
- 2014-09-30 JP JP2014202122A patent/JP6463935B2/ja active Active
-
2015
- 2015-09-08 CN CN201510567210.3A patent/CN105467772B/zh active Active
- 2015-09-14 US US14/852,658 patent/US9726981B2/en active Active
- 2015-09-18 KR KR1020150132044A patent/KR102002666B1/ko active Active
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