JP2016058579A - 寄生素子抽出装置及び方法、並びに寄生素子抽出プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】十分な精度でかつ従来技術に比較して短い抽出時間で寄生素子を抽出することができる寄生素子抽出装置を提供する。【解決手段】電子回路の各配線の寄生素子の抽出を行う寄生素子抽出処理を実行する制御手段を備える寄生素子抽出装置において、上記制御手段は、上記電子回路の論理回路接続情報であるネットリストと、上記電子回路のタイミング制約を規定するタイミング制約条件と、上記論理回路接続情報で使用されるセルと上記セルのピン情報に基づいて、上記電子回路において所定のパス毎に選別してネット記述ファイルを生成し、配置配線データと上記ネット記述ファイルとに基づいて、上記選別されたパス毎に所定の抽出精度を設定して当該電子回路の各配線の寄生素子を抽出して、当該寄生素子を含む回路接続情報を生成する。【選択図】図３

Description

本発明は、例えば半導体集積回路などの電子回路における寄生素子を抽出する寄生素子抽出装置及び方法、並びにそれを用いた寄生素子抽出プログラムに関する。

近年、半導体集積回路におけるプロセスの微細化に伴う回路規模の増大により、配置配線後の回路動作の検証作業が膨大なものとなってきている。特に、配置配線データから配線上の寄生素子を抽出し、配線の寄生素子を含む回路接続情報の作成に多くの工数を必要としている。通常、配置配線データから寄生素子を含む回路接続情報を作成する際には、ＬＰＥ（Ｌａｙｏｕｔ Ｐａｒａｓｉｔｉｃ Ｅｘｔｒａｃｔｉｏｎ）ツールを用いるが、このときの抽出精度の設定は、抽出対象の電子回路の全ての配線に対して一律に設定される。例えば、寄生容量素子抽出については、最小抽出容量値となるしきい値を与え、このしきい値以下の容量素子については寄生素子を含む回路接続情報から除外される。

例えば、配置配線データから抽出対象とするネットの分類や選別により、寄生素子抽出の短時間の実施に結び付ける技術は、過去において提案されている。特許文献１では、配線を駆動するセルの駆動力に応じてネットの抽出精度を変更する手法が提案されている。また、特許文献２では、回路を構成する各パスに対して遅延を計算することにより、タイミング制約が緩いパスを抽出対象から除外する手法が提案されている。また、特許文献３では、注目ネットに対する隣接するネットの電位が相対的にどのような動作をするかを考慮した分類を実施後、寄生素子抽出工程につなげる方法が提案されている。

プロセスの微細化により、より高精度の静的タイミング検証が要求されており、その要求を満足するためには、高精度の寄生素子を含む回路接続情報が必要となっている。前述の例で言えば、最小抽出容量値の設定を小さくすれば抽出される回路接続情報の精度は向上するが、ＬＰＥツールによる抽出の実行時間が長くなってしまう。また逆に、前述のしきい値を大きく設定すれば、抽出時間は短くなるが、その引き換えに、十分な精度を持った寄生素子を含む回路接続情報が得られないことになる。

本発明の目的は以上の問題点を解決し、例えば半導体集積回などの電子回路における寄生素子を抽出する寄生素子抽出装置において、十分な精度でかつ従来技術に比較して短い抽出時間で寄生素子を抽出することができる寄生素子抽出装置を提供することにある。

本発明の一態様に係る寄生素子抽出装置は、電子回路の各配線の寄生素子の抽出を行う寄生素子抽出処理を実行する制御手段を備える寄生素子抽出装置において、
上記制御手段は、
上記電子回路の論理回路接続情報であるネットリストと、上記電子回路のタイミング制約を規定するタイミング制約条件と、上記論理回路接続情報で使用されるセルと上記セルのピン情報に基づいて、上記電子回路において所定のパス毎に選別してネット記述ファイルを生成し、
配置配線データと上記ネット記述ファイルとに基づいて、上記選別されたパス毎に所定の抽出精度を設定して当該電子回路の各配線の寄生素子を抽出して、当該寄生素子を含む回路接続情報を生成することを特徴とする。

従って、本発明に係る寄生素子抽出装置によれば、十分な精度でかつ従来技術に比較して短い抽出時間で寄生素子を抽出することができる寄生素子抽出装置を提供することができる。

本発明の一実施形態に係る寄生素子抽出装置１０の構成を示すブロック図である。 図１のハードディスクメモリ２３の構成を示すブロック図である。 図１の寄生素子抽出装置１０によって実行される寄生素子抽出処理を示すフローチャートである。 図２及び図３の配置配線データ１１０の一例を示す図である。 図２及び図３の論理回路接続情報１２０の一例を示す図である。 図２及び図３のタイミング制約条件１３０の一例を示す図である。 図２及び図３のセル及びピン情報１４０の一例を示す図である。 図２及び図３のネット記述ファイル１６０の一例を示す図である。 図２及び図３の寄生素子を含む回路接続情報１９０の一例を示す図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の各実施形態において、同様の構成要素については同一の符号を付している。

従来例での課題を解決するために、十分な寄生抽出精度を保持しつつ、簡易的に寄生素子抽出対象のネットを要求抽出精度別に分類することにより、短い実行時間で寄生素子抽出する手法を用いて寄生素子抽出装置を提供する。

例えば、配置配線後の回路動作検証時の静的タイミング解析では、データ信号の送信側フリップフロップセルと受信側フリップフロップセルとを接続するデータパスと、それらのフリップフロップセルにクロック信号を供給するクロックパスの遅延の競合が重要となる。これらのパスに対して選択的に高精度な抽出が可能であれば、タイミング検証時の精度を劣化させることなく、また、配置配線データ全体に対しての一律の高精度な設定は緩和されるため、抽出時間の削減が期待できる。

そこで、本発明に係る実施形態では、クロックパスとデータパスを論理回路接続情報、使用セル及びそれらのピン情報、タイミング制約条件から簡易的に選り分け寄生抽出を実行する手法を提案する。

図１は本発明の一実施形態に係る寄生素子抽出装置１０の構成を示すブロック図である。図１において、寄生素子抽出装置１０は例えば情報処理装置であるディジタル計算機にてなり、図３の寄生素子抽出処理を実行することにより、コンピュータを利用して例えば半導体集積回路などの電子回路の各配線の寄生素子を抽出することを特徴としている。

以下、本実施形態に係る寄生素子抽出装置１０の構成及び処理について詳述する。

図１において、寄生素子抽出装置１０は、
（ａ）当該寄生素子抽出装置１０の動作及び処理を演算及び制御するコンピュータのＣＰＵ（中央演算処理装置）２０と、
（ｂ）オペレーションプログラムなどの基本プログラム及びそれを実行するために必要なデータを格納するＲＯＭ（読み出し専用メモリ）２１と、
（ｃ）ＣＰＵ２０のワーキングメモリとして動作し、当該寄生素子抽出処理で必要なパラメータやデータを一時的に格納するＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）２２と、
（ｄ）当該寄生素子抽出処理において用いる各種データ、情報及びファイル（図２参照。）を格納するためのハードディスクメモリ２３と、
（ｅ）例えばハードディスクメモリで構成され、ＣＤ−ＲＯＭドライブ装置４５を用いて読み込んだ、図３の寄生素子抽出処理の処理プログラム（当該寄生素子抽出プログラムはコンピュータにより実行可能なプログラムである。）を格納するプログラムメモリ２４と、
（ｆ）所定のデータや指示コマンドを入力するためのキーボード４１に接続され、キーボード４１から入力されたデータや指示コマンドを受信して所定の信号変換などのインターフェース処理を行ってＣＰＵ２０に伝送するキーボードインターフェース３１と、
（ｇ）ディスプレイ４３上で指示コマンドを入力するためのマウス４２に接続され、マウス４２から入力されたデータや指示コマンドを受信して所定の信号変換などのインターフェース処理を行ってＣＰＵ２０に伝送するマウスインターフェース３２と、
（ｈ）ＣＰＵ２０によって処理されたデータや設定指示画面、生成されたデータを表示するディスプレイ４３に接続され、表示すべき画像データをディスプレイ４３用の画像信号に変換してディスプレイ４３に出力して表示するディスプレイインターフェース３３と、
（ｉ）ＣＰＵ２０によって処理されたデータなどを印字するプリンタ４４に接続され、印字すべき印字データの所定の信号変換などを行ってプリンタ４４に出力して印字するプリンタインターフェース３４と、
（ｊ）ＣＤ−ＲＯＭ４５ａから寄生素子抽出プログラムのプログラムデータを読み出すＣＤ−ＲＯＭドライブ装置４５に接続され、当該プログラムデータを所定の信号変換などを行ってプログラムメモリ２４に転送するドライブ装置インターフェース３５とを備え、
これらの回路等２０〜２４、３１〜３５はバス３０を介して接続される。

図２は図１のハードディスクメモリ２３の構成を示すブロック図である。図２において、ハードディスクメモリ２３は以下のデータ、情報又はファイルを格納する処理データメモリ２３ａを含む。これらのデータ等については詳細後述する。
（ａ）配置配線データ１１０、
（ｂ）論理回路接続情報（ネットリスト）１２０、
（ｃ）タイミング制約条件１３０、
（ｄ）セル及びピン情報１４０、
（ｅ）ネット記述ファイル１６０、
（ｆ）抽出精度設定ファイル１７０、及び
（ｇ）寄生素子を含む回路接続情報１９０。

図３は図１の寄生素子抽出装置１０によって実行される寄生素子抽出処理を示すフローチャートである。また、図４は図２及び図３の配置配線データ１１０の一例を示す図である。

ここで、配置配線データ１１０は、レイアウトを実行した配線パターンが格納されている。図４では、実際の電子回路の物理的形状すなわち回路レイアウトを示している。ここでは、例えば、入力ネットＩＮ１については、インバータセルｉｎｖ１、フリップフロップセルｆｆ１、インバータセルｉｎｖ２とｉｎｖ３、フリップフロップセルｆｆ２を経由し、出力ネットＯＵＴ１へ接続されている。図４に示した回路レイアウトは、後に説明する論理回路接続情報１２０に基づいて作成されるものである。なお、配置配線データ１１０の実態は、図４の回路レイアウトを文字列や数値列で記述したデータである。

図５は図２及び図３の論理回路接続情報１２０の一例を示す図である。論理回路接続情報１２０では、回路の論理仕様を実現するためのセルとセル間の接続を示す回路接続情報が定義されている。図５の一例に示すように、例えば、インスタンス名ｉｎｖ１のインバータセルの入力ピンＩはＩＮ１と接続され、出力ピンＯはネットＮＥＴ１に接続され、ネットＮＥＴ１はインスタンス名ｆｆ１のフリップフロップセルのデータピンＤに接続されている。さらに、このフリップフロップセルの出力ピンＱはネットＮＥＴ２に接続され、ネットＮＥＴ２はインスタンス名ｉｎｖ２のインバータセルの入力ピンＩと接続されている。このように、論理回路接続情報１２０では、電子回路の構成要素である各セル間の論理回路接続情報が記述されている。

図６は図２及び図３のタイミング制約条件１３０の一例を示す図である。タイミング制約条件１３０は、設計要求に応じたタイミングを規定する制約条件であり、例えば、クロック周波数の指定や、電子回路の入出力ポートへの遅延を指定するものであり、通常は静的タイミング解析時に使用される。図６はこのタイミング制約条件１３０の具体例である。タイミング制約の記述には様々なコマンドが用意されているが、ここでは、後に用いる「ｃｒｅａｔｅ＿ｃｌｏｃｋとｃｒｅａｔｅ＿ｇｅｎｅｒａｔｅｄ＿ｃｌｏｃｋ」の記述のみを例示している。図６の「ｃｒｅａｔｅ＿ｃｌｏｃｋ」においては、ポートＩＮ２には周期１のクロックをクロック信号名ＣＬＫ２で与える、といった内容が設定されている。

図７は図２及び図３のセル及びピン情報１４０の一例を示す図である。セル及びピン情報１４０は、論理回路接続情報１２０で設定されている全てのフリップフロップセルのセル名とそのピン名とその属性が記述されている。図７に示すように、セル名ＦＦ１Ｘ１に続いて、このセルが有する３つのピン名ＣＬＫ、Ｄ、Ｑが記載され、続いて、「ｉｎ ｉｎ ｏｕｔ」としてこの３つのピンそれぞれの入出力属性が示されている。また、セル名ＦＦ２Ｘ４の４つ目のピンＱＢＡＲについては、「ｏｕｔ」として出力ピンであることを示している。

抽出対象の電子回路のクロックパス及びデータパスの選別は、パス選別工程１５０において実施する。まず、タイミング制約条件１３０に記述されているクロック信号に関する制約条件「ｃｒｅａｔｅ＿ｃｌｏｃｋ」と「ｃｒｅａｔｅ＿ｇｅｎｅｒａｔｅｄ＿ｃｌｏｃｋ」のコマンド記述から、クロック信号を定義しているポート情報を取得する。そして、このポートから論理回路を経て接続される全てのフリップフロップセルのクロックピンまでのパス情報を論理回路接続情報１２０より得る。

この工程について図５と図６を用いて説明する。図６の「ｃｒｅａｔｅ＿ｃｌｏｃｋ」よりクロック信号を定義しているポートとしてＩＮ２を取得する。このポートＩＮ２に関しては、図５の論理回路接続情報１２０より、最初にインバータセルｉｎｖ４の入力ピンＩが受け、ネットＮＥＴ５を経由して、インバータセルｉｎｖ５の入力ピンＩとフリップフロップセルｆｆ１のクロックピンＣＬＫに渡っていることが分かる。さらに、インバータセルｉｎｖ５の入力ピンＩ以降は、ネットＮＥＴ６、ネットＮＥＴ７を経由して、フリップフロップセルｆｆ２のクロックピンＣＬＫに接続されていることが分かる。すなわち、「ｃｒｅａｔｅ＿ｃｌｏｃｋ」によって得られるクロックポートＩＮ２のクロックパスは、ネットＮＥＴ５、ネットＮＥＴ６、ネットＮＥＴ７で構成されると見て取れる。このように、このパス特定作業をタイミング制約条件１３０に記述されているクロック信号に関する制約条件全てに対して実行することにより、抽出対象の電子回路のクロックパスを網羅し、それらを構成するネットを特定できる。

次に、抽出対象の電子回路のデータパス情報の取得は、論理回路接続情報１２０とセル及びピン情報１４０とを用いて実施する。セル及びピン情報１４０に記載されているピンの入出力属性から各フリップフロップセルのデータ信号に関する入出力ピンが特定できる。従って、送信側フリップフロップセルのデータ出力ピンＱやＱＢＡＲを始点にして、受信側フリップフロップセルのデータ入力ピンＤを終点とするパスを論理回路接続情報１２０から回路接続情報をたどることで取得する。

この工程を図５と図７を用いて説明する。図７から、セル名ＦＦ１Ｘ１のデータ出力ピンは、「ｏｕｔ」の記載から、３つ目に定義されているピンＱであることが分かる。図５において、このセルが使用されているのはフリップフロップセルｆｆ１とフリップフロップセルｆｆ２であるが、ここでは、フリップフロップセルｆｆ１に着目すると、このピンＱにはネットＮＥＴ２が接続している。さらに、このネットＮＥＴ２は、インバータセルｉｎｖ２とインバータセルｉｎｖ３を通過し、ネットＮＥＴ３、ネットＮＥＴ４を経由して、フリップフロップセルｆｆ２のデータ入力ピンＤにたどりついている。すなわち、フリップフロップセルｆｆ１のデータ出力ピンＱから始まるデータパスは、ネットＮＥＴ５、ネットＮＥＴ６、ネットＮＥＴ７から構成されると見て取れる。このように、このパス特定作業を論理回路接続情報１２０に記載されている全てのフリップフロップセルのデータ出力ピンに対して実行することにより、抽出対象の電子回路のデータパスを網羅し、それらを構成するネットを特定できる。

前記のパス選別工程１５０により取得されたクロックパス及びデータパスの情報から、その構成要素であるネット情報をクロックパス及びデータパス別に分類し、ネット記述ファイル１６０に格納する。また、ネット記述ファイル１６０には、クロックパス及びデータパス以外のパスを構成するネット情報も格納する。

図８にネット記述ファイル１６０の一例を示す。クロックパス、データパス及びそれら以外のパスそれぞれに属するネットが記載されている。なお、パス選別工程１５０においては、パス遅延を計算するといった高い計算負荷の処理が介在する訳ではなく、論理回路接続情報１２０から回路接続情報を探索するだけであり計算負荷は低い。

さらに、配置配線データ１１０、ネット記述ファイル１６０、抽出精度設定ファイル１７０を入力情報として寄生素子抽出工程１８０を実施し、寄生素子を含む回路接続情報１９０を得る。ここで、抽出精度設定ファイル１７０は、クロックパス、データパス、それら以外のパスに対して、寄生素子抽出時にそれぞれどのような精度で抽出するかを指定するものがある。例えば、クロックパスとデータパスに対しては許容相対誤差３％の抽出精度、それら以外のパスに対しては許容相対誤差１０％の抽出誤差といった要求精度が設定されている。寄生素子抽出工程１８０では、ネット記述ファイル１６０に記載されたクロックパス及びデータパスの構成要素であるネットとそれら以外のパスのネットに対して、抽出精度設定ファイル１７０で指定される精度に沿った寄生抽出を実行する。一般的な寄生素子抽出工程ではＬＰＥツールが用いられる。そこでは、種々の典型的な基本配線パターンの寄生容量をフィールドソルバにより求め、それをデータベースとして保持し、抽出対象のレイアウトと基本配線パターンとの形状の類似性を考慮し、抽出対象の各ネットの寄生素子を算出する。このようなアルゴリズムであるため、抽出対象のレイアウトと基本配線パターンとの形状のかい離が大きい場合、所定のしきい値よりも高い高精度の抽出は、上記しきい値よりも低い低精度の抽出に比べより実行時間を有することになる。

本実施形態では、ＬＰＥツールの類似性考慮の際の判定基準にパス毎の依存性を持たせる。すなわち、ネット記述ファイル１６０で指定されるパス毎に、抽出精度設定ファイル１７０で要求される抽出精度を達成するような抽出を行う。これにより、クロックパスとデータパスに対しては厳しい類似性チェックが課せられ、寄生精度を落とすことはなく、他方、それ以外のパスに対しては緩い類似性の判定基準が適用され、抽出時間の短縮が図れる。このようにパス毎の抽出精度に選択性を持たせることにより、全パスに対して高精度の一律の類似性チェックを課す寄生抽出工程よりも短時間で寄生抽出結果が得られる。

図９は図２及び図３の寄生素子を含む回路接続情報１９０の一例を示す図である。図９に示すように、寄生素子である寄生容量Ｃ１〜Ｃ１６を含む。寄生素子抽出工程１８０後の抽出結果は、寄生素子を含む回路接続情報１９０に格納する。寄生素子を含む回路接続情報１９０は、ＤＳＰＦ（Ｄｅｔａｉｌｅｄ Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｐａｒａｓｉｔｉｃ Ｆｏｒｍａｔ）やＳＰＥＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｐａｒａｓｉｔｉｃ Ｅｘｃｈａｎｇｅ Ｆｏｒｍａｔ）といった一般的なデータ形式である。当該回路接続情報１９０はその後の静的タイミング解析等の回路設計工程で用いられる。

以上説明したように、本実施形態では、例えばクロックパス及びデータパスなどの所定の選択されたネットのパスのみに対して高精度抽出を実施するので、抽出対象の電子回路の全ネットに対して一律の抽出精度を設定する従来手法よりも実行時間において優位となる。従って、配置配線データから寄生素子抽出を実行する前に静的タイミング解析で重要となるパス情報を簡易的に取得し、それらを高精度に抽出する。これにより、従来手法で得られる寄生素子を含む回路接続情報を用いた静的タイミング解析の精度を損なうことなく、より短い時間で寄生素子抽出を実施することが可能となる。

以上の本実施形態においては、半導体集積回路における寄生素子を抽出する寄生素子抽出装置について説明しているが、本発明はこれに限らず、電子回路における寄生素子を抽出する寄生素子抽出装置に広く適用することができる。

以上の実施形態においては、クロックパス及びデータパスについては所定のしきい値よりも厳しい高い抽出精度を適用して寄生素子を抽出する一方、その他のパスについては上記しきい値より低い緩い抽出精度を適用して寄生素子を抽出する。本発明はこれに限らず、クロックパスとデータパスのうちの少なくとも一方などの所定のパスについては所定のしきい値以上の厳しい抽出精度を適用して寄生素子を抽出してもよい。

以上の実施形態においては、図３の寄生素子抽出処理の処理プログラム（寄生素子抽出プログラム）が記憶されたコンピュータにより読取可能なＣＤ−ＲＯＭ４５ａを用いている。本発明はこれに限らず、ＣＤ−Ｒ，ＣＤ−ＲＷ，ＤＶＤ，ＤＶＤ−Ｒ，ＤＶＤ−ＲＷ，ＤＶＤ−ＲＡＭなどのコンピュータにより読取可能な種々の記録媒体を用いてもよい。

１０…寄生素子抽出装置、
２０…ＣＰＵ、
２１…ＲＯＭ、
２２…ＲＡＭ、
２３…ハードディスクメモリ、
２３ａ…処理データメモリ、
２４…プログラムメモリ、
３０…バス、
３１…キーボードインターフェース、
３２…マウスインターフェース、
３３…ディスプレイインターフェース、
３４…プリンタインターフェース、
３５…ドライブ装置インターフェース、
４１…キーボード、
４２…マウス、
４３…ディスプレイ、
４４…プリンタ、
４５…ＣＤ−ＲＯＭドライブ装置、
４５ａ…ＣＤ−ＲＯＭ、
１１０…配置配線データ、
１２０…論理回路接続情報、
１３０…タイミング制約条件、
１４０…セル及びピン情報、
１５０…パス選別工程、
１６０…ネット記述ファイル、
１７０…抽出精度設定ファイル、
１８０…寄生素子抽出工程、
１９０…寄生素子を含む回路接続情報。

特開２００６−２６１５９３号公報 特許第３６７６１３０号公報 特開２００４−１７８２８５号公報

Claims (7)

1. 電子回路の各配線の寄生素子の抽出を行う寄生素子抽出処理を実行する制御手段を備える寄生素子抽出装置において、
   上記制御手段は、
   上記電子回路の論理回路接続情報であるネットリストと、上記電子回路のタイミング制約を規定するタイミング制約条件と、上記論理回路接続情報で使用されるセルと上記セルのピン情報に基づいて、上記電子回路において所定のパス毎に選別してネット記述ファイルを生成し、
   配置配線データと上記ネット記述ファイルとに基づいて、上記選別されたパス毎に所定の抽出精度を設定して当該電子回路の各配線の寄生素子を抽出して、当該寄生素子を含む回路接続情報を生成することを特徴とする寄生素子抽出装置。
2. 上記所定のパスは、クロックパスと、データパスとのうちの少なくとも一方であることを特徴とする請求項１記載の寄生素子抽出装置。
3. 上記所定のパスは、クロックパス及びデータパスを含み、
   上記制御手段は、上記クロックパス及びデータパスに対して所定のしきい値よりも高い抽出精度を設定して当該電子回路の各配線の寄生素子を抽出する一方、その他のパスに対して上記しきい値よりも低い抽出精度を設定して当該電子回路の各配線の寄生素子を抽出することを特徴とする請求項１記載の寄生素子抽出装置。
4. 電子回路の各配線の寄生素子の抽出を行う寄生素子抽出処理を制御手段により実行される寄生素子抽出方法において、
   上記制御手段が、上記電子回路の論理回路接続情報であるネットリストと、上記電子回路のタイミング制約を規定するタイミング制約条件と、上記論理回路接続情報で使用されるセルと上記セルのピン情報に基づいて、上記電子回路において所定のパス毎に選別してネット記述ファイルを生成する工程と、
   上記制御手段が、配置配線データと上記ネット記述ファイルとに基づいて、上記選別されたパス毎に所定の抽出精度を設定して当該電子回路の各配線の寄生素子を抽出して、当該寄生素子を含む回路接続情報を生成する工程とを含むことを特徴とする寄生素子抽出方法。
5. 上記所定のパスは、クロックパスと、データパスとのうちの少なくとも一方であることを特徴とする請求項４記載の寄生素子抽出方法。
6. 上記所定のパスは、クロックパス及びデータパスを含み、
   上記制御手段が、上記クロックパス及びデータパスに対して所定のしきい値よりも高い抽出精度を設定して当該電子回路の各配線の寄生素子を抽出する一方、その他のパスに対して上記しきい値よりも低い抽出精度を設定して当該電子回路の各配線の寄生素子を抽出することを特徴とする請求項４記載の寄生素子抽出方法。
7. 請求項４〜６のうちのいずれか１つに記載の寄生素子抽出方法の各工程をコンピュータにより実行される寄生素子抽出処理を含むことを特徴とする、コンピュータにより実行可能な寄生素子抽出プログラム。

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