JP2016050582A - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
12 ローター
14 ローター軸
16 ステーター
18 ポンプインレット
20 マグネット支承部室
22 マグネット支承部
24 ローター側の支承半部
26 ステーター側の支承半部
28 ローター側のマグネットリング
30 ステーター側のマグネットリング
32 支承間隙
34 シーリングガス
36 供給孔
38 供給孔
40 ローター軸
42 星状スポーク部
44 供給孔
46 緊急用または安全用支承部インサート
48 供給孔
50 リング間隙
52 ポンプ段、シーリング段
54 シーリング段
56 インレットフランジ
58 ローターディスク
60 シーリングガス流
62 ステーターディスク
64 ローターディスク
66 プロセスガス
Claims (16)
- 真空ポンプ(10)、特にターボ分子ポンプ又はサイドチャネルポンプであって、ローター軸(14)を有するローター(12)、ステーター(16)、及び、ポンプインレット(18)の領域に設けられたマグネット支承部室(20)を有し、このマグネット支承部室内に、ローター軸(14)の回転可能なサポートの為にマグネット支承部(22)が配置されている真空ポンプにおいて、
過剰圧力のシーリングガスによるマグネット支承部室(20)の付勢の為の手段が設けられていることを特徴とする真空ポンプ。 - シーリングガスが、少なくとも部分的にローター軸(14)を通してマグネット支承部室(20)に供給可能であることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- マグネット支承部室(20)のシーリングガス(34)による付勢の為に、マグネット支承部室(20)内に開口する少なくとも一つの供給孔(36,38)が設けられており、当該供給孔が、ポンプアウトレットの領域内に設けられ、シーリングガス(34)でもって付勢される真空ポンプ(10)の一室までローター軸(14)を通って延在していることを特徴とする請求項1または2に記載の真空ポンプ。
- ローター軸(40)に対して平行な少なくとも一つの供給孔(36,38)が設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- ローター軸(40)と一致する供給孔(36)が設けられていることを特徴とする請求項4に記載の真空ポンプ。
- ローター軸(40)に対して半径方向に間隔を有し、そしてこれに対して対称に配置された少なくとも二つの供給孔(38)が設けられていることを特徴とする請求項4または5に記載の真空ポンプ。
- シーリングガス(34)が、少なくとも部分的に、ステーター(16)内、特に、ステーター(16)の各星状スポーク部(42)内に設けられた供給孔(44)を通してマグネット支承部(20)に供給可能であることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- シーリングガス(34)が、少なくとも部分的に、緊急用又は安全用支承部インサート(46)を通過している供給孔(48)を介してマグネット支承部室(20)に供給可能であることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- マグネット支承部室(20)に供給されるシーリングガス(34)の量の調整の為に、少なくとも一つの供給孔(36,38,44または48)が毛細管を設けられていることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 真空ポンプ(10)、特にターボ分子ポンプまたはサイドチャネルポンプであって、ローター軸(14)を有するローター(12)、ステーター(16)、及び、ポンプインレット(18)の領域に設けられたマグネット支承部室(20)を有し、このマグネット支承部室内に、ローター軸(14)の回転可能なサポートの為にマグネット支承部(22)が設けられている、特に請求項1から9のいずれ一項に記載の真空ポンプにおいて、
ステーター(16)に対して相対的に回転するローター(12)の使用の下、マグネット支承部室(20)を真空引きする、及び/又は、遮断するための手段(53,54)が設けられていることを特徴とする真空ポンプ。 - マグネット支承部(20)の領域内に設けられたリング間隙(50)が、ローター(12)とステーター(16)の間において、マグネット支承部室(20)を付勢するポンプ段及び/又はシーリング段(52)として形成されていることを特徴とする請求項10に記載の真空ポンプ。
- リング間隙(50)が、ホルベックポンプ段又は十字ねじ山ポンプ段を形成するために、ローター側及び/又はステーター側に、構造化を付与されたポンプ効果を発する面を有することを特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ。
- 構造化を付与されたポンプ効果を発する面が、一または複数の搬送チャネルを形成し、当該搬送チャネルが、ねじ線形状またはねじ山状にローター軸(40)の周りを軸方向に推移していることを特徴とする請求項12に記載の真空ポンプ。
- リング間隙(50)が、ゲーデ段又はジーグバーン段として形成されていることを特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ。
- 軸方向のリング間隙(50)がターボ翼構造を有することを特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ。
- マグネット支承部室(20)の遮断の為に、シーリング段(54)が設けられており、このシール段が、ローター(12)とステーター(16)の間に設けられた動的なラビリンスシール又はジーグバーン段を有することを特徴とする請求項10に記載の真空ポンプ。
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